JPWO2007091609A1 - Ultrasonic sensor - Google Patents

Ultrasonic sensor Download PDF

Info

Publication number
JPWO2007091609A1
JPWO2007091609A1 JP2007557872A JP2007557872A JPWO2007091609A1 JP WO2007091609 A1 JPWO2007091609 A1 JP WO2007091609A1 JP 2007557872 A JP2007557872 A JP 2007557872A JP 2007557872 A JP2007557872 A JP 2007557872A JP WO2007091609 A1 JPWO2007091609 A1 JP WO2007091609A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
surface portion
thickness
ultrasonic sensor
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007557872A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
卓 松本
卓 松本
太田　順司
順司 太田
西川　雅永
雅永 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of JPWO2007091609A1 publication Critical patent/JPWO2007091609A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/122—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

残響特性および指向性に優れた角型の超音波センサを提供する。超音波センサ１０は、略４角板状の底面部１４と略４角筒状の側面部１６とで構成される有底略４角筒状のケース１２を含む。側面部１６の厚みは、底面部１４の厚みより厚く形成される。側面部１６において、対向する一方側部分１６ａ，１６ａの厚みは、対向する他方側部分１６ｂ，１６ｂの厚みより薄く形成される。一方側部分１６ａ，１６ａの内周面は、断面円弧状に凹むように形成される。それによって、一方側部分１６ａ，１６ａの厚みは、傾斜的に変化するように形成される。ケース１２の底面部１４には、圧電素子２０が形成される。圧電素子２０には、ケーブル２２の信号線２２ａ，２２ｂが電気的に接続されるとともに、温度補償用のコンデンサ２４が並列に接続される。圧電素子２０上に吸音材２６が配置され、ケース１２内部に絶縁性樹脂２８が充填される。A rectangular ultrasonic sensor having excellent reverberation characteristics and directivity is provided. The ultrasonic sensor 10 includes a bottomed substantially quadrangular cylindrical case 12 configured by a substantially quadrangular plate-like bottom surface portion 14 and a substantially quadrangular cylindrical side surface portion 16. The thickness of the side surface portion 16 is formed to be thicker than the thickness of the bottom surface portion 14. In the side part 16, the thickness of the opposing one side parts 16a and 16a is formed thinner than the thickness of the opposing other side parts 16b and 16b. The inner peripheral surfaces of the one side portions 16a and 16a are formed so as to be recessed in a circular arc shape in cross section. Thereby, the thickness of one side part 16a, 16a is formed so that it may change in inclination. A piezoelectric element 20 is formed on the bottom surface portion 14 of the case 12. The piezoelectric element 20 is electrically connected to signal lines 22a and 22b of the cable 22 and a capacitor 24 for temperature compensation is connected in parallel. A sound absorbing material 26 is disposed on the piezoelectric element 20, and an insulating resin 28 is filled in the case 12.

Description

この発明は、超音波センサに関し、特にたとえば、自動車のバックソナーなどに用いられる超音波センサに関する。   The present invention relates to an ultrasonic sensor, and more particularly to an ultrasonic sensor used for, for example, a back sonar of an automobile.

図１０は、従来の超音波センサの一例を示す正面図解図であり、図１１は、その超音波センサの側面図解図である。超音波センサ１は、アルミニウムなどで形成された有底略４角筒状のケース２を含む。ケース２は、矩形状もしくは長円状の開口部を有する。ケース２内部の底面には、圧電素子３の一方面が接合される。また、ケーブル４の一方の信号線４ａが、温度補償用のコンデンサ５の一方の電極に半田付けされるとともに、ケース２の内側面に半田付けされる。さらに、ケーブル４の他方の信号線４ｂが、コンデンサ５の他方の電極に半田付けされるとともに、圧電素子３の他方面の電極に半田付けされる。それによって、ケーブル４の信号線４ａ，４ｂ間には、圧電素子３と温度補償用のコンデンサ５とが並列に接続される。また、圧電素子３の他方面上には、たとえばフェルトからなる吸音材６が配置される。さらに、ケース２内部には、シリコンゴムやウレタンゴムなどからなる絶縁性樹脂７が充填される。この絶縁性樹脂７によって、圧電素子３および吸音材６が密閉状態に封止されるとともに、信号線４ａ，４ｂやコンデンサ５が絶縁される。   FIG. 10 is a front view illustrating an example of a conventional ultrasonic sensor, and FIG. 11 is a side view illustrating the ultrasonic sensor. The ultrasonic sensor 1 includes a case 2 having a substantially rectangular tube shape with a bottom made of aluminum or the like. Case 2 has a rectangular or oval opening. One surface of the piezoelectric element 3 is joined to the bottom surface inside the case 2. One signal line 4 a of the cable 4 is soldered to one electrode of the temperature compensating capacitor 5 and is soldered to the inner surface of the case 2. Further, the other signal line 4 b of the cable 4 is soldered to the other electrode of the capacitor 5 and to the electrode on the other surface of the piezoelectric element 3. Accordingly, the piezoelectric element 3 and the temperature compensating capacitor 5 are connected in parallel between the signal lines 4a and 4b of the cable 4. On the other surface of the piezoelectric element 3, for example, a sound absorbing material 6 made of felt is disposed. Further, the case 2 is filled with an insulating resin 7 made of silicon rubber, urethane rubber or the like. The insulating resin 7 seals the piezoelectric element 3 and the sound absorbing material 6 in a sealed state, and insulates the signal lines 4a and 4b and the capacitor 5 from each other.

この超音波センサ１を用いて被検出物までの距離を測定する場合、ケーブル４の信号線４ａ，４ｂに駆動電圧を印加することにより、圧電素子３が励振される。圧電素子３の振動により、ケース２の底面も振動し、その底面に直交する向きに超音波が発せられる。超音波センサ１から発せられた超音波が被検出物で反射し、超音波センサ１に到達すると、圧電素子３が振動して電気信号に変換され、ケーブル４の信号線４ａ，４ｂから電気信号が出力される。したがって、駆動電圧を印加してから電気信号が出力されるまでの時間を測定することにより、超音波センサ１から被検出物までの距離を測定することができる。   When the distance to the object to be detected is measured using the ultrasonic sensor 1, the piezoelectric element 3 is excited by applying a driving voltage to the signal lines 4 a and 4 b of the cable 4. Due to the vibration of the piezoelectric element 3, the bottom surface of the case 2 is also vibrated, and an ultrasonic wave is emitted in a direction orthogonal to the bottom surface. When the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic sensor 1 is reflected by the object to be detected and reaches the ultrasonic sensor 1, the piezoelectric element 3 vibrates and is converted into an electric signal, and the electric signal is transmitted from the signal lines 4a and 4b of the cable 4. Is output. Therefore, the distance from the ultrasonic sensor 1 to the object to be detected can be measured by measuring the time from when the drive voltage is applied until the electrical signal is output.

この超音波センサ１では、それをたとえば自動車のバンパーに取り付けて障害物検知のためのバックソナーなどとして用いる場合、近距離の障害物を検知するために残響が小さい残響特性、さらに、地面や縁石を検知しないようにするために、垂直方向において狭く水平方向において広い指向性が要求される。この超音波センサ１では、特に、ケース２の側面部の振動を抑えて残響を小さくするために、ケース２の側面部の厚みＴ１がケース２の底面部の厚みＴ２より厚く形成されている（特許文献１参照）。   In this ultrasonic sensor 1, when it is used as a back sonar for detecting an obstacle by attaching it to a bumper of an automobile, for example, a reverberation characteristic having a small reverberation for detecting an obstacle at a short distance, and further, a ground or a curb In order to prevent the detection of noise, a directivity that is narrow in the vertical direction and wide in the horizontal direction is required. In this ultrasonic sensor 1, in particular, the thickness T1 of the side surface of the case 2 is made thicker than the thickness T2 of the bottom surface of the case 2 in order to suppress the vibration of the side surface of the case 2 and reduce reverberation ( Patent Document 1).

特開平９−２８４８９６号公報JP-A-9-284896

しかしながら、図１０に示す角型の超音波センサ１では、ケース２の側面部において厚みの薄い部分の内周面と外周面とが平行であるので、ケース２の側面部の振動が大きくなり、残響特性が悪化するという問題を有する。なお、この角型の超音波センサ１においてアルミニウムからなるケース２、フェルトからなる吸音材６およびシリコンゴムからなる絶縁性樹脂７を用いた場合の残響波形のグラフを図１２に示す。   However, in the rectangular ultrasonic sensor 1 shown in FIG. 10, since the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the thin portion of the side surface portion of the case 2 are parallel, the vibration of the side surface portion of the case 2 increases. There is a problem that the reverberation characteristics deteriorate. FIG. 12 shows a graph of a reverberation waveform when the case 2 made of aluminum, the sound absorbing material 6 made of felt, and the insulating resin 7 made of silicon rubber are used in the square ultrasonic sensor 1.

そこで、図１０に示す角型の超音波センサ１において、残響を小さくするために、ケース２の側面部の厚みをさらに厚く形成した場合、ケース２の振動面積が小さくなり、垂直方向における指向性が広くなってしまうという問題を有する。   Accordingly, in the rectangular ultrasonic sensor 1 shown in FIG. 10, when the thickness of the side surface portion of the case 2 is further increased in order to reduce reverberation, the vibration area of the case 2 is reduced, and the directivity in the vertical direction is reduced. Has the problem of becoming wide.

それゆえに、この発明の主たる目的は、残響特性および指向性に優れた角型の超音波センサを提供することである。   Therefore, a main object of the present invention is to provide a rectangular ultrasonic sensor excellent in reverberation characteristics and directivity.

この発明にかかる超音波センサは、底面部および側面部を有する有底略４角筒状のケースと、ケースの底面部の内面に形成される圧電素子とを備え、ケースの側面部の厚みが、ケースの底面部の厚みより厚く形成され、ケースの開口部が、ケースの側面部における対向する一方側部分の厚み方向において長く形成され、その方向と直交するケースの側面部における対向する他方側部分の厚み方向において短く形成され、ケースの側面部において、開口部が長く形成される方向における一方側部分の厚みが、開口部が短く形成される方向における他方側部分の厚みより薄く形成され、ケースの側面部において少なくとも一方側部分の厚みが、ケースの底面部の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成されている、超音波センサである。   An ultrasonic sensor according to the present invention includes a bottomed substantially rectangular tube-shaped case having a bottom surface portion and a side surface portion, and a piezoelectric element formed on the inner surface of the bottom surface portion of the case, and the thickness of the side surface portion of the case is The case is formed thicker than the thickness of the bottom portion of the case, and the opening of the case is formed longer in the thickness direction of the one side portion facing the side surface portion of the case, and the other side facing the side surface portion of the case orthogonal to the direction. It is formed short in the thickness direction of the part, and in the side surface portion of the case, the thickness of the one side part in the direction in which the opening is formed long is formed thinner than the thickness of the other side part in the direction in which the opening is formed short, An ultrasonic sensor formed such that the thickness of at least one side portion of the side surface portion of the case changes in an inclined manner in a direction parallel to the main surface of the bottom surface portion of the case. A.

この発明にかかる超音波センサにおいて、ケースの側面部において他方側部分の厚みも、ケースの底面部の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成されていることが好ましい。   In the ultrasonic sensor according to the present invention, the thickness of the other side portion of the side surface portion of the case is preferably formed so as to change in an inclined manner in a direction parallel to the main surface of the bottom surface portion of the case.

この発明にかかる超音波センサでは、ケースの側面部の振動を抑えて残響を小さくするために、ケースの側面部の厚みがケースの底面部の厚みより厚く形成されている。この場合、ケースの側面部において少なくとも厚みの薄い一方側部分の厚みが均一ではなく傾斜的に変化するように形成されているので、ケースの側面部の振動が抑えられ、残響が低減され、残響特性が改善される。このように、この発明にかかる超音波センサでは、残響特性が改善されるため、ケースの側面部において厚みの薄い一方側部分の厚みを任意に設定することができるようになり、必要な指向性を得ることが容易となる。
この発明にかかる超音波センサのように、ケースの側面部において一方側部分の厚みが傾斜的に変化するように形成されていると残響が抑制されるのは、次の理由による。すなわち、ケースの開口部の長手方向における両側にあるケースの側面部の厚みが均一な厚みでその対向する両主面が平行であると、厚みと幅で決まる固有振動周波数でケースが共振してしまい、この共振によって残響が大きくなってしまう。それに対して、本発明者らは、この発明にかかる超音波センサのように敢えてケースの側面部の厚みを傾斜的に変化させることによって共振しないので、残響を抑制できることを見出したからである。
さらに、この発明にかかる超音波センサでは、ケースの側面部において厚みの薄い一方側部分がケースの開口部の長手方向における両側にあり、ケースの側面部において厚みの厚い他方側部分がケースの開口部の短手方向における両側にあることによって、指向性をより絞り、残響をより防ぐことができる。In the ultrasonic sensor according to the present invention, in order to suppress the vibration of the side surface portion of the case and reduce the reverberation, the thickness of the side surface portion of the case is formed larger than the thickness of the bottom surface portion of the case. In this case, since the thickness of at least one thin side portion of the side surface portion of the case is formed so as to change in an inclined manner instead of being uniform, vibration of the side surface portion of the case is suppressed, reverberation is reduced, and reverberation is reduced. The characteristics are improved. As described above, in the ultrasonic sensor according to the present invention, since the reverberation characteristics are improved, it is possible to arbitrarily set the thickness of the one side portion having a small thickness on the side surface portion of the case, and the necessary directivity. Can be easily obtained.
The reason why reverberation is suppressed when the thickness of one side portion of the side surface portion of the case is changed in an inclined manner as in the ultrasonic sensor according to the present invention is as follows. In other words, if the case has a uniform thickness on both sides in the longitudinal direction of the opening of the case and the opposing main surfaces are parallel, the case resonates at a natural vibration frequency determined by the thickness and width. Therefore, reverberation increases due to this resonance. On the other hand, the present inventors have found that reverberation can be suppressed because resonance does not occur by changing the thickness of the side surface of the case in an inclined manner like the ultrasonic sensor according to the present invention.
Further, in the ultrasonic sensor according to the present invention, the one side portion having a small thickness in the side surface portion of the case is on both sides in the longitudinal direction of the opening portion of the case, and the other side portion having a thick thickness in the side surface portion of the case is the opening of the case. By being on both sides in the short direction of the part, the directivity can be further reduced and reverberation can be further prevented.

また、この発明にかかる超音波センサにおいて、ケースの側面部において厚みの厚い他方側部分の厚みも均一ではなく傾斜的に変化するように形成されていると、ケースの側面部の振動がさらに抑えられ、残響がさらに低減される。   Further, in the ultrasonic sensor according to the present invention, if the thickness of the other side portion having a large thickness at the side surface portion of the case is formed so as to change in an inclined manner, the vibration of the side surface portion of the case is further suppressed. And reverberation is further reduced.

この発明によれば、残響特性および指向性に優れた角型の超音波センサが得られる。   According to the present invention, a rectangular ultrasonic sensor excellent in reverberation characteristics and directivity can be obtained.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。   The above-described object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of the best mode for carrying out the invention with reference to the drawings.

この発明にかかる超音波センサの一例を示す正面図解図である。It is a front view solution figure which shows an example of the ultrasonic sensor concerning this invention. 図１に示す超音波センサの側面図解図である。It is a side view solution figure of the ultrasonic sensor shown in FIG. ケースの側面部において薄い側の厚みを不均一にした図１に示す超音波センサとその厚みを均一にした図１０に示す超音波センサとにおけるケースの側面部の位置（高さ）に対する変位量のシミュレーション結果を示すグラフである。The amount of displacement with respect to the position (height) of the side surface portion of the case in the ultrasonic sensor shown in FIG. 1 in which the thickness of the thin side of the side surface portion of the case is non-uniform and the ultrasonic sensor shown in FIG. It is a graph which shows the simulation result of. 図１に示す超音波センサの残響波形を示すグラフである。It is a graph which shows the reverberation waveform of the ultrasonic sensor shown in FIG. ケースの側面部において開口部が長く形成される方向における一方側部分の厚みより開口部が短く形成される方向における他方側部分の厚みを厚く形成した超音波センサの振動状態を示すシミュレーションの図である。FIG. 6 is a simulation diagram showing the vibration state of an ultrasonic sensor in which the thickness of the other side portion in the direction in which the opening is formed shorter than the thickness of the one side portion in the direction in which the opening is formed longer in the side surface portion of the case. is there. ケースの側面部において開口部が長く形成される方向における一方側部分の厚みと開口部が短く形成される方向における他方側部分の厚みとを同じ寸法に形成した超音波センサの振動状態を示すシミュレーションの図である。Simulation showing the vibration state of an ultrasonic sensor in which the thickness of one side portion in the direction in which the opening is formed long in the side surface portion of the case and the thickness of the other side portion in the direction in which the opening is formed short have the same dimensions FIG. ケースの側面部において開口部が長く形成される方向における一方側部分の厚みより開口部が短く形成される方向における他方側部分の厚みを薄く形成した超音波センサの振動状態を示すシミュレーションの図である。FIG. 7 is a simulation diagram showing the vibration state of an ultrasonic sensor in which the thickness of the other side portion in the direction in which the opening is formed shorter than the thickness of the one side portion in the direction in which the opening is formed longer in the side surface portion of the case. is there. この発明にかかる超音波センサの他の例を示す正面図解図である。It is a front view solution figure which shows the other example of the ultrasonic sensor concerning this invention. 図８に示す超音波センサの側面図解図である。It is a side view solution figure of the ultrasonic sensor shown in FIG. 従来の超音波センサの一例を示す正面図解図である。It is a front view solution figure which shows an example of the conventional ultrasonic sensor. 図１０に示す超音波センサの側面図解図である。It is a side view solution figure of the ultrasonic sensor shown in FIG. 図１０に示す超音波センサの残響波形を示すグラフである。It is a graph which shows the reverberation waveform of the ultrasonic sensor shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 超音波センサ
１２ ケース
１４ 底面部
１４ａ 端側部分
１６ 側面部
１６ａ 一方側部分
１６ｂ 他方側部分
１８ 開口部
２０ 圧電素子
２２ ケーブル
２２ａ，２２ｂ 信号線
２４ コンデンサ
２６ 吸音材
２８ 絶縁性樹脂DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Ultrasonic sensor 12 Case 14 Bottom face part 14a End side part 16 Side part 16a One side part 16b The other side part 18 Opening part 20 Piezoelectric element 22 Cable 22a, 22b Signal line 24 Capacitor 26 Sound absorbing material 28 Insulating resin

図１は、この発明にかかる超音波センサの一例を示す正面図解図であり、図２は、その超音波センサの側面図解図である。この超音波センサ１０は、たとえばアルミニウムなどの金属で形成された有底略４角筒状のケース１２を含む。このケース１２は、略４角板状の底面部１４と略４角筒状の側面部１６とで構成される。ケース１２の内部の開口部１８は、たとえば断面略長円形状に形成される。   FIG. 1 is a front view showing an example of an ultrasonic sensor according to the present invention, and FIG. 2 is a side view showing the ultrasonic sensor. This ultrasonic sensor 10 includes a case 12 having a substantially quadrangular cylindrical shape with a bottom made of metal such as aluminum. The case 12 includes a bottom surface portion 14 having a substantially square plate shape and a side surface portion 16 having a substantially rectangular tube shape. The opening 18 inside the case 12 is formed, for example, in a substantially oval cross section.

すなわち、このケース１２では、底面部１４の外形が、正方形の４隅を丸くした略４角形状に形成されるとともに、側面部１６の外形も、底面部１４の外形に対応した略４角形状に形成される。   That is, in this case 12, the outer shape of the bottom surface portion 14 is formed in a substantially quadrangular shape in which four corners of a square are rounded, and the outer shape of the side surface portion 16 is also a substantially rectangular shape corresponding to the outer shape of the bottom surface portion 14. Formed.

また、このケース１２では、側面部１６において厚みの一番薄い部分の厚みＴ１が、底面部１４の厚みＴ２より厚く形成される。すなわち、このケース１２では、側面部１６の厚みが底面部１４の厚みより厚く形成される。   In the case 12, the thickness T 1 of the thinnest portion of the side surface portion 16 is formed to be thicker than the thickness T 2 of the bottom surface portion 14. That is, in the case 12, the side surface portion 16 is formed thicker than the bottom surface portion 14.

さらに、このケース１２では、側面部１６において対向する一方側部分１６ａ，１６ａの厚みが、側面部１６において対向する他方側部分１６ｂ，１６ｂの厚みＴ３より薄く形成される。そのため、ケース１２の側面部１６において、対向する一方側部分１６ａ，１６ａに厚みの一番薄い部分が存在する。   Further, in this case 12, the thickness of the one side portions 16a, 16a facing each other at the side surface portion 16 is formed thinner than the thickness T3 of the other side portions 16b, 16b facing each other at the side surface portion 16. Therefore, in the side surface portion 16 of the case 12, the thinnest portion exists in the opposing one side portions 16a, 16a.

また、このケース１２では、側面部１６において、厚みの薄い一方側部分１６ａ，１６ａの内周面が断面円弧状に凹むように形成されるとともに、これらの一方側部分１６ａ，１６ａの外周面が平面状に形成される。それによって、それらの一方側部分１６ａ，１６ａの厚みは、均一ではなく、中央から両側の他方側部分１６ｂ，１６ｂに接近するに従って徐々に厚くなるように形成され、すなわちケース１２の底面部１４の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成される。   Further, in the case 12, the side surface portion 16 is formed so that the inner peripheral surfaces of the thin one side portions 16a and 16a are recessed in a circular arc shape, and the outer peripheral surfaces of these one side portions 16a and 16a are It is formed in a planar shape. Accordingly, the thicknesses of the one side portions 16a and 16a are not uniform, and are formed so as to gradually increase from the center toward the other side portions 16b and 16b on both sides. It is formed to change in an inclined manner in a direction parallel to the main surface.

さらに、このケース１２では、側面部１６において、厚みの厚い他方側部分１６ｂ，１６ｂの内周面および外周面がそれぞれ平面状に形成され、それによって、これらの他方側部分１６ｂ，１６ｂの厚みＴ３は均一に形成される。   Further, in this case 12, the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the thicker other side portions 16b and 16b are formed in a planar shape in the side surface portion 16, respectively, whereby the thickness T3 of the other side portions 16b and 16b is formed. Are uniformly formed.

また、このケース１２では、開口部１８は、側面部１６の一方側部分１６ａの厚み方向において長く形成され、その方向と直交する側面部１６の他方側部分１６ｂの厚み方向において短く形成される。   Moreover, in this case 12, the opening part 18 is formed long in the thickness direction of the one side part 16a of the side part 16, and is formed short in the thickness direction of the other side part 16b of the side part 16 orthogonal to the direction.

このケース１２の内部において、底面部１４の内面には、圧電素子２０が取り付けられる。圧電素子２０は、たとえば円板状の圧電体基板の両主面に電極を形成したものである。そして、圧電素子２０の一方主面側の電極が、導電性接着剤などによって底面部１４に接着される。   Inside the case 12, the piezoelectric element 20 is attached to the inner surface of the bottom surface portion 14. The piezoelectric element 20 is formed by forming electrodes on both main surfaces of a disk-shaped piezoelectric substrate, for example. Then, the electrode on the one main surface side of the piezoelectric element 20 is bonded to the bottom surface portion 14 with a conductive adhesive or the like.

また、ケーブル２２の一方の信号線２２ａの中間部が温度補償用のコンデンサ２４の一方の電極に半田付けされるとともに、その信号線２２ａの先端部がケース１２の側面部１６の内面に半田付けされる。さらに、ケーブル２２の他方の信号線２２ｂの中間部がコンデンサ２４の他方の電極に半田付けされるとともに、その信号線２２ｂの先端部が圧電素子２０の他方主面側の電極に半田付けされる。それによって、ケーブル２２の信号線２２ａ，２２ｂ間には、圧電素子２０と温度補償用のコンデンサ２４とが並列に接続される。   Further, the middle portion of one signal line 22a of the cable 22 is soldered to one electrode of the temperature compensating capacitor 24, and the tip end portion of the signal line 22a is soldered to the inner surface of the side surface portion 16 of the case 12. Is done. Furthermore, the middle portion of the other signal line 22b of the cable 22 is soldered to the other electrode of the capacitor 24, and the tip end portion of the signal line 22b is soldered to the electrode on the other main surface side of the piezoelectric element 20. . Thus, the piezoelectric element 20 and the temperature compensating capacitor 24 are connected in parallel between the signal lines 22a and 22b of the cable 22.

また、圧電素子２０の他方主面上には、たとえばフェルトからなる吸音材２６が配置される。さらに、ケース１２内部には、たとえばシリコンゴムやウレタンゴムなどからなる絶縁性樹脂２８が充填される。この絶縁性樹脂２８によって、圧電素子２０および吸音材２６が密閉状態に封止されるとともに、ケーブル２２の信号線２２ａ，２２ｂや温度補償用のコンデンサ２４が絶縁される。   On the other main surface of the piezoelectric element 20, a sound absorbing material 26 made of, for example, felt is disposed. Further, the case 12 is filled with an insulating resin 28 made of, for example, silicon rubber or urethane rubber. The insulating resin 28 seals the piezoelectric element 20 and the sound absorbing material 26 in a sealed state, and also insulates the signal lines 22a and 22b of the cable 22 and the temperature compensating capacitor 24.

この超音波センサ１０では、ケーブル２２の信号線２２ａ，２２ｂに駆動電圧を印加することにより、圧電素子２０が励振される。圧電素子２０の振動により、ケース１２の底面部１４も振動し、底面部１４に直交する向きに超音波が発せられる。超音波センサ１０から発せられた超音波が被検出物で反射し、超音波センサ１０に到達すると、圧電素子２０が振動して電気信号に変換されて、ケーブル２２の信号線２２ａ，２２ｂから電気信号が出力される。したがって、駆動電圧を印加してから電気信号が出力されるまでの時間を測定することにより、超音波センサ１０から被検出物までの距離を測定することができる。   In the ultrasonic sensor 10, the piezoelectric element 20 is excited by applying a driving voltage to the signal lines 22 a and 22 b of the cable 22. Due to the vibration of the piezoelectric element 20, the bottom surface portion 14 of the case 12 also vibrates, and ultrasonic waves are emitted in a direction orthogonal to the bottom surface portion 14. When the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic sensor 10 is reflected by the object to be detected and reaches the ultrasonic sensor 10, the piezoelectric element 20 vibrates and is converted into an electric signal, and is electrically transmitted from the signal lines 22 a and 22 b of the cable 22. A signal is output. Therefore, the distance from the ultrasonic sensor 10 to the object to be detected can be measured by measuring the time from when the drive voltage is applied until the electrical signal is output.

また、この超音波センサ１０では、ケース１２の開口部１８が、ケース１２の側面部１６の一方側部分１６ａの厚み方向において長く形成され、その方向と直交する側面部１６の他方側部分１６ｂの厚み方向において短く形成されているので、一方側部分１６ａの厚み方向において狭く他方側部分１６ｂの厚み方向において広い指向性を有する。そのため、この超音波センサ１０は、たとえば自動車のバックソナーなどとして用いられる場合、ケース１２の側面部１６において一方側部分１６ａの厚み方向が垂直方向となり他方側部分１６ｂの厚み方向が水平方向となるように配置される。   Moreover, in this ultrasonic sensor 10, the opening 18 of the case 12 is formed long in the thickness direction of the one side portion 16a of the side surface portion 16 of the case 12, and the other side portion 16b of the side surface portion 16 perpendicular to that direction is formed. Since it is formed short in the thickness direction, it has a narrow directivity in the thickness direction of the one side portion 16a and a wide directivity in the thickness direction of the other side portion 16b. Therefore, when this ultrasonic sensor 10 is used as, for example, an automobile back sonar, the thickness direction of the one side portion 16a is the vertical direction and the thickness direction of the other side portion 16b is the horizontal direction in the side surface portion 16 of the case 12. Are arranged as follows.

この超音波センサ１０では、ケース１２の側面部１６の振動を抑えて残響を小さくするために、ケース１２の側面部１６の厚みがケース１２の底面部１４の厚みより厚く形成されている。この場合、この超音波センサ１０では、ケース１２の側面部１６において厚みの薄い一方側部分１６ａ，１６ａの厚みが均一ではなく傾斜的に変化するように形成されているので、ケース１２の側面部１６の振動が抑えられ、残響が低減され、残響特性が改善される。   In this ultrasonic sensor 10, the thickness of the side surface portion 16 of the case 12 is made larger than the thickness of the bottom surface portion 14 of the case 12 in order to suppress the vibration of the side surface portion 16 of the case 12 and reduce reverberation. In this case, in the ultrasonic sensor 10, the thickness of the one side portions 16 a and 16 a having a small thickness is not uniform in the side surface portion 16 of the case 12, but is formed to change in an inclined manner. 16 vibrations are suppressed, reverberation is reduced, and reverberation characteristics are improved.

図３は、このようにケースの側面部において薄い側の厚みを不均一にした図１に示す超音波センサ１０とその厚みを均一にした図１０に示す超音波センサ１とにおけるケースの側面部の位置（高さ）に対する変位量のシミュレーション結果を示すグラフである。なお、図３は、アルミニウムからなる高さ１０ｍｍのケース、フェルトからなる吸音材およびシリコンゴムからなる絶縁性樹脂を用いた超音波センサ１０，１についてのグラフである。   FIG. 3 shows the side surface portion of the case in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 1 in which the thickness of the thin side of the side surface portion of the case is made uneven and the ultrasonic sensor 1 shown in FIG. It is a graph which shows the simulation result of the displacement amount with respect to the position (height). FIG. 3 is a graph of the ultrasonic sensors 10 and 1 using a case made of aluminum having a height of 10 mm, a sound absorbing material made of felt, and an insulating resin made of silicon rubber.

図３のグラフから明らかなように、その厚みを不均一にした図１に示す超音波センサ１０では、ケース１２の側面部１６全体にわたって変位量が非常に小さい。それに対して、その厚みを均一にした図１０に示す超音波センサ１では、ケース２の側面部において圧電素子３とは反対側の部分での変位量が非常に大きい。   As is apparent from the graph of FIG. 3, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 1 having a non-uniform thickness, the displacement amount is very small over the entire side surface portion 16 of the case 12. On the other hand, in the ultrasonic sensor 1 shown in FIG. 10 having a uniform thickness, the amount of displacement in the portion on the side opposite to the piezoelectric element 3 in the side surface portion of the case 2 is very large.

また、図４は、図３のグラフに変位量の結果を示した図１の超音波センサ１０の残響波形を示すグラフであり、図１２は、図３のグラフに変位量の結果を示した図１０の超音波センサ１の残響波形を示すグラフである。   4 is a graph showing the reverberation waveform of the ultrasonic sensor 10 of FIG. 1 in which the graph of FIG. 3 shows the result of the displacement. FIG. 12 shows the result of the displacement in the graph of FIG. It is a graph which shows the reverberation waveform of the ultrasonic sensor 1 of FIG.

図４のグラフおよび図１２のグラフから、図１に示す超音波センサ１０では、図１０に示す超音波センサ１と比べて、残響の振幅が短時間で小さくなることがわかる。   From the graph of FIG. 4 and the graph of FIG. 12, it can be seen that the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 1 has a smaller reverberation amplitude in a shorter time than the ultrasonic sensor 1 shown in FIG.

また、この超音波センサ１０では、上述の結果から、ケース１２の側面部１６の一番薄い部分の厚みＴ１を任意の厚みに設定することができるため、必要な指向性を得ることが容易である。   Moreover, in this ultrasonic sensor 10, since the thickness T1 of the thinnest part of the side part 16 of case 12 can be set to arbitrary thickness from the above-mentioned result, it is easy to obtain required directivity. is there.

さらに、この超音波センサ１０では、ケース１２の側面部１６において厚みの薄い一方側部分１６ａがケース１２の開口部１８の長手方向における両側にあり、ケース１２の側面部１６において厚みの厚い他方側部分１６ｂがケース１２の開口部１８の短手方向における両側にあることによって、指向性をより絞り、残響をより防ぐことができる。   Further, in this ultrasonic sensor 10, the one side portion 16 a having a small thickness in the side surface portion 16 of the case 12 is on both sides in the longitudinal direction of the opening 18 of the case 12, and the other side having a thick thickness in the side surface portion 16 of the case 12. Since the portions 16b are on both sides in the short direction of the opening 18 of the case 12, directivity can be further reduced and reverberation can be further prevented.

さらに、この超音波センサ１０では、圧電素子２０に温度補償用のコンデンサ２４が並列に接続されているので、温度追随性が良好となり、温度ドリフトを低減することができる。   Further, in this ultrasonic sensor 10, since the temperature compensating capacitor 24 is connected in parallel to the piezoelectric element 20, the temperature followability is improved and the temperature drift can be reduced.

また、ケース１２の開口部１８の長手方向の最大長さを１２ｍｍとし、短手方向の長さを６ｍｍとし、それぞれ対向する側面部１６の厚みを変更した際の振動状態のシミュレーションを行った。図５は、ケース１２の側面部１６において開口部１８が長く形成される方向における一方側部分１６ａの厚み（その最小の厚みはたとえば０．５ｍｍである）より開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みをたとえば４ｍｍに厚く形成した超音波センサ１０の振動状態を示すシミュレーションの図である。また、図６は、ケース１２の側面部１６において開口部１８が長く形成される方向における一方側部分１６ａの最小の厚みと開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みとを同じ寸法たとえば０．５ｍｍに形成した超音波センサ１０の振動状態を示すシミュレーションの図である。さらに、図７は、ケース１２の側面部１６において開口部１８が長く形成される方向における一方側部分１６ａの最小の厚みたとえば０．５ｍｍより開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みをたとえば０．２５ｍｍに薄く形成した超音波センサ１０の振動状態を示すシミュレーションの図である。なお、図５、図６および図７において、ケース１２が振動によって最も変形している状態を実線で示し、ケース１２が変形していない状態を２点鎖線で示す。   In addition, the simulation of the vibration state was performed when the maximum length in the longitudinal direction of the opening 18 of the case 12 was set to 12 mm, the length in the short direction was set to 6 mm, and the thickness of the side surface portions 16 facing each other was changed. FIG. 5 shows a direction in which the opening 18 is formed shorter than the thickness of the one side portion 16a (the minimum thickness is, for example, 0.5 mm) in the direction in which the opening 18 is formed long in the side surface 16 of the case 12. It is a figure of the simulation which shows the vibration state of the ultrasonic sensor 10 which formed the thickness of the other side part 16b in in FIG. 6 shows the minimum thickness of one side portion 16a in the direction in which the opening 18 is formed long in the side surface portion 16 of the case 12, and the thickness of the other side portion 16b in the direction in which the opening 18 is formed short. It is the figure of simulation which shows the vibration state of the ultrasonic sensor 10 formed in the same dimension, for example, 0.5 mm. Further, FIG. 7 shows the minimum thickness of the one side portion 16a in the direction in which the opening 18 is formed long in the side surface portion 16 of the case 12, for example, the other side portion 16b in the direction in which the opening 18 is formed shorter than 0.5 mm. It is a figure of the simulation which shows the vibration state of the ultrasonic sensor 10 formed thinly, for example to the thickness of 0.25 mm. 5, 6, and 7, the state in which the case 12 is most deformed by vibration is indicated by a solid line, and the state in which the case 12 is not deformed is indicated by a two-dot chain line.

図５に示すように、ケース１２の側面部１６において開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みを一方側部分１６ａの厚みより厚く形成すると、ケース１２の端部において振動がほとんどみられないのに対して、図６および図７に示すように、ケース１２の側面部１６において開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みを一方側部分１６ａの厚み以下の厚みに形成すると、ケース１２の端部において振動が大きくなり、その振動により残響が大きくなることがわかる。
また、図５、図６および図７に示す各超音波センサ１０のケース１２の底面部１４の変位量およびケース１２の側面部１６の開口部付近の変位量をシミュレーションで測定し、ケース１２の底面部１４の変位量に対するケース１２の側面部１６の開口部付近の変位量を相対的に比較した。なお、ここでの変位量は、ケース１２の底面部１４に対して垂直方向への変位と平行方向への変位とのそれぞれの変位量を合成したものを示す。その結果、図５に示す超音波センサ１０では、ケース１２の底面部１４に対する側面部１６の開口部付近の変位量は０．０６７と小さく、ケース１２の側面部１６の振動はケース１２の底面部１４の振動に対し無視できる程度の振動しか生じていないことがわかった。これに対して、図６に示す超音波センサ１０ではケース１２の底面部１４に対する側面部１６の開口部付近の変位量は０．８と大きく、また、図７に示す超音波センサ１０でもケース１２の底面部１４に対する側面部１６の開口部付近の変位量は１．０と大きく、それぞれ、ケース１２の側面部１６の振動はケース１２の側面部１４と同程度の振動を生じていることがわかった。これより、開口部１８が長く形成される方向における一方側部分１６ａの厚みが、開口部１８が短く形成される方向における他方側部分１６ｂの厚みよりも薄い構造にすることによって、ケース１２の側面部１６の振動が抑制でき、残響が低減できることがわかる。As shown in FIG. 5, if the thickness of the other side portion 16 b in the direction in which the opening 18 is formed short in the side surface portion 16 of the case 12 is greater than the thickness of the one side portion 16 a, vibration is generated at the end portion of the case 12. 6 and 7, the thickness of the other side portion 16 b in the direction in which the opening 18 is formed short in the side surface portion 16 of the case 12 is less than the thickness of the one side portion 16 a. It can be seen that when the thickness is formed, the vibration at the end of the case 12 increases, and the reverberation increases due to the vibration.
Further, the amount of displacement of the bottom surface portion 14 of the case 12 and the amount of displacement near the opening of the side surface portion 16 of the case 12 of each ultrasonic sensor 10 shown in FIGS. The amount of displacement in the vicinity of the opening of the side surface portion 16 of the case 12 relative to the amount of displacement of the bottom surface portion 14 was relatively compared. Here, the displacement amount indicates a combination of the displacement amounts in the vertical direction and the parallel direction with respect to the bottom surface portion 14 of the case 12. As a result, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 5, the amount of displacement in the vicinity of the opening of the side surface portion 16 with respect to the bottom surface portion 14 of the case 12 is as small as 0.067, and the vibration of the side surface portion 16 of the case 12 It was found that only a negligible vibration was generated with respect to the vibration of the portion 14. On the other hand, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 6, the displacement near the opening of the side surface portion 16 with respect to the bottom surface portion 14 of the case 12 is as large as 0.8. Also in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. The amount of displacement in the vicinity of the opening portion of the side surface portion 16 with respect to the bottom surface portion 14 of the twelve is as large as 1.0, and the vibration of the side surface portion 16 of the case 12 generates the same vibration as that of the side surface portion 14 of the case 12. I understood. Thus, the side surface of the case 12 is formed by making the structure in which the thickness of the one side portion 16a in the direction in which the opening 18 is formed long is thinner than the thickness of the other side portion 16b in the direction in which the opening 18 is formed short. It can be seen that the vibration of the portion 16 can be suppressed and the reverberation can be reduced.

図８は、この発明にかかる超音波センサの他の例を示す正面図解図であり、図９は、その超音波センサの側面図解図である。図８に示す超音波センサ１０では、図１に示す超音波センサ１０と比べて、ケース１２の側面部１６において、他方側部分１６ｂ，１６ｂの内周面の中間部分が断面円弧状に凹むように形成されている。それによって、ケース１２の側面部１６において、他方側部分１６ｂ，１６ｂの中間部分の厚みも中央から両側の一方側部分１６ａ，１６ａに接近するに従って徐々に厚くなるように形成され、すなわち、ケース１２の底面部１４の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成されている。   FIG. 8 is a front view solution view showing another example of the ultrasonic sensor according to the present invention, and FIG. 9 is a side view solution view of the ultrasonic sensor. In the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 8, compared to the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 1, in the side surface portion 16 of the case 12, the middle portion of the inner peripheral surface of the other side portions 16 b and 16 b is recessed in a circular arc shape. Is formed. Thereby, in the side surface part 16 of the case 12, the thickness of the intermediate part of the other side parts 16b, 16b is formed so as to gradually increase from the center toward the one side parts 16a, 16a on both sides. It is formed so as to change in an inclined manner in a direction parallel to the main surface of the bottom surface portion 14.

さらに、図８に示す超音波センサ１０では、ケース１２の底面部１４において、圧電素子２０が設けられる中央部分とケース１２の側面部１６の厚みの薄い一方側部分１６ａ，１６ａとの間における略楕円形板状の端側部分１４ａ，１４ａの厚みが、ケース１２の底面部１４の中央部分の厚みＴ２より薄く形成されている。   Further, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 8, in the bottom surface portion 14 of the case 12, a portion between the central portion where the piezoelectric element 20 is provided and the one side portions 16 a and 16 a where the side surface portion 16 of the case 12 is thin is provided. The thickness of the elliptical plate-like end portions 14 a and 14 a is formed to be thinner than the thickness T 2 of the central portion of the bottom surface portion 14 of the case 12.

なお、図８に示す超音波センサ１０では、コンデンサが設けられておらず、信号線２２ａ，２２ｂにはコンデンサが接続されていない。   In the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 8, no capacitor is provided, and no capacitor is connected to the signal lines 22a and 22b.

このように図８に示す超音波センサ１０では、図１に示す超音波センサ１０と比べて、ケース１２の側面部１６において厚みの厚い他方側部分１６ｂ，１６ｂの厚みも均一ではなく傾斜的に変化するように形成されているので、ケース１２の側面部１６の振動がさらに抑えられ、残響がさらに低減される。   As described above, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 8, the thicknesses of the thicker side portions 16b and 16b in the side surface portion 16 of the case 12 are not uniform and inclined as compared with the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. Since it is formed so as to change, vibration of the side surface portion 16 of the case 12 is further suppressed, and reverberation is further reduced.

さらに、図８に示す超音波センサ１０では、図１に示す超音波センサ１０と比べて、ケース１２の底面部１４において、ケース１２の側面部１６の厚みの薄い一方側部分１６ａ，１６ａ側の部分である端側部分１４ａ，１４ａの厚みが薄く形成されているので、指向性や残響特性などの特性を改善することが可能である。   Further, in the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 8, compared with the ultrasonic sensor 10 shown in FIG. 1, the bottom surface portion 14 of the case 12 is closer to the one side portions 16 a and 16 a where the side surface portion 16 of the case 12 is thinner. Since the end side portions 14a and 14a, which are portions, are formed to be thin, it is possible to improve characteristics such as directivity and reverberation characteristics.

なお、上述の各超音波センサ１０では、各部が特定の大きさ、形状、配置、材料および数で規定されているが、この発明では、それらは任意に変更されてもよく、このように変更することによって、指向性や残響特性などの特性がさらに改善されてもよい。   In each of the ultrasonic sensors 10 described above, each part is defined by a specific size, shape, arrangement, material, and number. However, in the present invention, these may be arbitrarily changed. By doing so, characteristics such as directivity and reverberation characteristics may be further improved.

また、上述の各超音波センサ１０では、外部との電気的な接続のために信号線２２ａ，２２ｂが用いられるが、外部との電気的な接続のためにはピン端子が用いられてもよい。   In each of the ultrasonic sensors 10 described above, the signal lines 22a and 22b are used for electrical connection with the outside, but a pin terminal may be used for electrical connection with the outside. .

この発明にかかる超音波センサは、たとえば、自動車のバックソナーなどに利用される。   The ultrasonic sensor according to the present invention is used, for example, in a back sonar of an automobile.

Claims (2)

底面部および側面部を有する有底略４角筒状のケース、および
前記ケースの底面部の内面に形成される圧電素子を備え、
前記ケースの側面部の厚みが、前記ケースの底面部の厚みより厚く形成され、
前記ケースの開口部が、前記ケースの側面部における対向する一方側部分の厚み方向において長く形成され、その方向と直交する前記ケースの側面部における対向する他方側部分の厚み方向において短く形成され、
前記ケースの側面部において、前記開口部が長く形成される方向における前記一方側部分の厚みが、前記開口部が短く形成される方向における前記他方側部分の厚みより薄く形成され、
前記ケースの側面部において少なくとも前記一方側部分の厚みが、前記ケースの底面部の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成されている、超音波センサ。A bottomed substantially rectangular tube-shaped case having a bottom surface portion and a side surface portion, and a piezoelectric element formed on the inner surface of the bottom surface portion of the case,
The thickness of the side part of the case is formed to be thicker than the thickness of the bottom part of the case,
The opening of the case is formed long in the thickness direction of the one side portion facing the side surface portion of the case, and is formed short in the thickness direction of the other side portion facing the side surface portion of the case orthogonal to the direction,
In the side surface of the case, the thickness of the one side portion in the direction in which the opening is formed long is formed thinner than the thickness of the other side portion in the direction in which the opening is formed short,
The ultrasonic sensor, wherein a thickness of at least one side portion of the side surface portion of the case is formed to change in an inclined manner in a direction parallel to a main surface of the bottom surface portion of the case. 前記ケースの側面部において前記他方側部分の厚みが、前記ケースの底面部の主面に平行する方向において傾斜的に変化するように形成されている、請求項１に記載の超音波センサ。   The ultrasonic sensor according to claim 1, wherein a thickness of the other side portion of the side surface portion of the case is formed so as to change in an inclined manner in a direction parallel to the main surface of the bottom surface portion of the case.
JP2007557872A 2006-02-10 2007-02-07 Ultrasonic sensor Pending JPWO2007091609A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006033213 2006-02-10
JP2006033213 2006-02-10
PCT/JP2007/052145 WO2007091609A1 (en) 2006-02-10 2007-02-07 Ultrasonic sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2007091609A1 true JPWO2007091609A1 (en) 2009-07-02

Family

ID=38345205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007557872A Pending JPWO2007091609A1 (en) 2006-02-10 2007-02-07 Ultrasonic sensor

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2007091609A1 (en)
WO (1) WO2007091609A1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101095848B1 (en) 2010-09-30 2011-12-21 주성대학산학협력단 Manufacturing method of ultrasound sensor
DE202011002054U1 (en) * 2011-01-28 2011-05-26 Texmag Gmbh Vertriebsgesellschaft Ultrasonic edge sensor
CN102768355B (en) * 2011-05-05 2014-06-25 同致电子企业股份有限公司 Ultrasonic sensor
KR20130021217A (en) * 2011-08-22 2013-03-05 삼성전기주식회사 Ultrasonic sensor
AU2016240008A1 (en) 2015-03-27 2017-10-19 Bae Systems Plc Acoustic transducer
GB2536723A (en) * 2015-03-27 2016-09-28 Bae Systems Plc Acoustic Transducer
JP6667080B2 (en) * 2015-05-25 2020-03-18 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Ultrasonic device and ultrasonic sensor using the same
WO2021256047A1 (en) * 2020-06-17 2021-12-23 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Ultrasonic sensor device and vehicle

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0334685U (en) * 1989-08-14 1991-04-04
JPH09284896A (en) * 1996-04-17 1997-10-31 Murata Mfg Co Ltd Ultrasonic wave transmitter-receiver

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3034685U (en) * 1996-08-12 1997-02-25 日本セラミック株式会社 Ultrasonic transducer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0334685U (en) * 1989-08-14 1991-04-04
JPH09284896A (en) * 1996-04-17 1997-10-31 Murata Mfg Co Ltd Ultrasonic wave transmitter-receiver

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007091609A1 (en) 2007-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4086091B2 (en) Ultrasonic transducer
JPWO2007091609A1 (en) Ultrasonic sensor
EP2076062B1 (en) Ultrasonic sensor
KR101528890B1 (en) Ultrasonic sensor
US7692367B2 (en) Ultrasonic transducer
KR20110050441A (en) Ultrasonic sensor
WO2007102460A1 (en) Ultrasonic sensor, and its manufacturing method
KR101491509B1 (en) Ultrasonic sensor and manufacturing method therefor
KR100789764B1 (en) Ultrasonic transmitter-receiver
JP4228827B2 (en) Piezoelectric ultrasonic sensor and method for adjusting resonance frequency thereof
US9853578B2 (en) Ultrasonic generator
JP4304556B2 (en) Ultrasonic sensor
CN105324186A (en) Electroacoustic transducer
JP2014230109A (en) Ultrasonic transducer
JP2014027516A (en) Ultrasound transducer
JP2010014496A (en) Mounting structure of ultrasonic sensor
JP7088099B2 (en) Ultrasonic sensor
JP2004040614A (en) Ultrasonic sensor
WO2023203879A1 (en) Ultrasonic transducer and method for producing same
JP2016208423A (en) Ultrasonic transducer and vehicle sensor using the same
JP4768684B2 (en) Ultrasonic sensor
JP2023084335A (en) Ultrasonic sensor and object detection device

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101207

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110426