JPWO2006129567A1 - ウェット処理装置及び表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
200 本発明の実施例2に係る循環式ウェット処理装置(ウェット処理装置)
300 本発明の実施例3に係る循環式ウェット処理装置(ウェット処理装置)
400 本発明の実施例4に係る循環式ウェット処理装置(ウェット処理装置)
1 ウェット処理槽
3 振動式膜分離装置
13 配管(再供給路)
2 液体タンク(タンク、第1のタンク)
4 循環ポンプ(ポンプ、第2のポンプ)
331 第1の液体タンク
332 第2の液体タンク
333 第1のバルブ(流路切り替え機構)
338 第2のバルブ(流路切り替え機構)
334 配管(流路切り替え機構)
335 配管(流路切り替え機構)
336 配管(流路切り替え機構)
337 配管(流路切り替え機構)
341 第1の濃度検出センサ(濃度検出センサ)
342 第2の濃度検出センサ(濃度検出センサ)
350 制御装置
351 第1の変形例に係る振動式膜分離装置
352 第2の変形例に係る振動式膜分離装置
353 第3の変形例に係る振動式膜分離装置
354 第4の変形例に係る振動式膜分離装置
301 遠心分離装置
303 送液ポンプ(第1のポンプ)
306 液体タンク(第2のタンク)
402 第2の液体タンク(第2のタンク)
401 第2の振動式膜分離装置
(第1の変形例)
図9は振動式膜分離装置3に対する第1の変形例に係る振動式膜分離装置351の要部を示す斜視断面図であり、図10は第1の変形例に係る振動式膜分離装置351が備えるフィルタ31Aを示す平面図である。
(第2の変形例)
図11は振動式膜分離装置3に対する第2の変形例に係る振動式膜分離装置352の要部を示す斜視断面図であり、図12は第2の変形例に係る振動式膜分離装置352が備えるフィルタ31Bを示す斜視図である。
(第3の変形例)
図13は振動式膜分離装置3に対する第3の変形例に係る振動式膜分離装置353の要部を示す斜視断面図であり、図14は第3の変形例に係る振動式膜分離装置353が備えるフィルタ31Cを示す斜視図である。
(第4の変形例)
図15は振動式膜分離装置3に対する第4の変形例に係る振動式膜分離装置354の要部を示す縦断面図であり、図16は第4の変形例に係る振動式膜分離装置354が備えるフィルタ31Dを示す斜視図である。
の現像液中の不純物の含有量が多いと、現像液を循環させる配管の詰まりや、現像液を吐出するノズルの詰まりを引き起こしてしまうという問題もある。
[0018]
このため、遠心分離方式の場合に、安定したパターン形成をしたり、配管やノズルなどの再生された現像液の経路における詰まりを回避したりするためには、現像液を頻繁に交換する必要が生じてしまう。
[0019]
本発明が解決しようとする課題としては、特許文献1乃至3における上記の問題が一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
[0020]
本発明に係るウェット処理装置は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられるウェット処理装置において、前記ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、前記振動式膜分離装置によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する再供給路と、前記ウェット処理槽から供給される前記ウェット処理後の処理液を一旦貯留するタンクと、前記タンク内の処理液を前記振動式膜分離装置に供給するポンプと、前記振動式膜分離装置によって処理液と分離された不純物成分を含む濃縮液を前記振動式膜分離装置から前記タンクに導入する導入路と、を備えることを特徴としている。
[0021]
また、本発明に係る表示パネルの製造方法は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法において、ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、前記振動式膜分離装置により分離された前記不純物成分を含む濃縮液を貯留可能な複数のタンクのうちの何れか選択されたタンクに前記濃縮液を貯留していく過程と、前記選択されたタンク内に貯留される濃縮液中の不純物濃度を検出する過程と、前記選択されたタンク内の濃縮液中の前記不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記選択されたタンクを他のタンクに切り換える過程と、を備えることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
[0022]
[図1]本発明の実施例1に係るウェット処理装置の構成を示す模式図である。
[図2]本発明の実施例1に係るウェット処理装置における振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
[図3]図2に示した振動式膜分離装置が備えるフィルタの層構造を示す断面図である。
[図4]図2に示した振動式膜分離装置が備えるフィルタの平面図である。
[図5]図2に示した振動式膜分離装置の動作を説明するための模式図である。
337 配管(流路切り替え機構)
341 第1の濃度検出センサ(濃度検出センサ)
342 第2の濃度検出センサ(濃度検出センサ)
350 制御装置
351 第1の変形例に係る振動式膜分離装置
352 第2の変形例に係る振動式膜分離装置
353 第3の変形例に係る振動式膜分離装置
354 第4の変形例に係る振動式膜分離装置
301 遠心分離装置
303 送液ポンプ(第1のポンプ)
306 液体タンク(第2のタンク)
402 第2の液体タンク(第2のタンク)
401 第2の振動式膜分離装置
【発明を実施するための最良の形態】
[0024]
次に、本発明に係る実施形態を説明する。
[0025]
本実施形態に係るウェット処理装置は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられる。
[0026]
本実施形態に係るウェット処理装置は、ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、ウェット処理に用いられた処理液(例えば、現像液など)から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、振動式膜分離装置によって不純物成分が分離された後の処理液をウェット処理槽に再供給する再供給路と、を備えて構成されている。
[0027]
[0028]
板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなる。前記フィルタは平板状であり、前記フィルタには第1の開口部が形成されており、上下方向に隣接するフィルタ間には前記フィルタの外周縁に沿ってシール部材が配置されており、前記第1の開口部は上下方向に隣接するフィルタ相互間において整列しないように配置されている。
[0040]
あるいは、前記振動式膜分離装置及び前記第2の振動式膜分離装置の少なくとも何れか一方は、上下方向に所定間隔を空けて積層した複数個のフィルタと、前記フィルタを収容するフィルタ容器と、前記フィルタを回転させる回転機構と、から構成することができ、この場合、前記フィルタは、金属板と、前記処理液のみを透過させ、前記不純物成分を透過させない性質を有する透過性膜と、前記金属板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなり、前記フィルタは逆コーン形状であり、前記フィルタには第1の開口部が形成されており、上下方向に隣接するフィルタ間には前記フィルタの外周縁に沿ってシール部材が配置されており、前記第1の開口部は上下方向に隣接するフィルタ相互間において整列しないように配置されており、前記回転機構は前記フィルタの中心軸の回りに前記フィルタを回転させる。
[0041]
また、本実施形態に係る表示パネルの製造方法は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法である。
[0042]
本実施形態に係る表示パネルの製造方法は、ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、前記振動式膜分離装置により分離された前記不純物成分を含む濃縮液を貯留可能な複数のタンクのうちの何れか選択されたタンクに前記濃縮液を貯留していく過程と、前記選択されたタンク内に貯留される濃縮液中の不純物濃度を検出する過程と、前記選択されたタンク内の濃縮液中の前記不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記選択されたタンクを他のタンクに切り換える過程と、を備える。
[0043]
本実施形態に係る表示パネルの製造方法における前記パターンを形成する工程は、例えば、電極形成工程(例えば、Ag(銀)電極形成工程)、リブ形成工程、蛍光体層形成工程、ブラックマトリックス形成工程、ブラックストライプ形成工程、或いは、カラーフィルター形成工程であることが挙げられる。
[0044]
[0045]
本実施形態に係る表示パネルの製造方法は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法において、ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を、遠心分離装置を用いて前記分離過程の前に予め行う過程と、を備える。
[0046]
以上のような本発明の実施形態によれば、ウェット処理槽におけるウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行い、この振動式膜分離装置によって不純物成分が分離された後の処理液をウェット処理槽に再供給し、再利用することができる。
[0047]
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、この振動式膜分離装置が備えるフィルタは目詰まりしにくく、該フィルタの交換頻度を低くすることができる。よって、表示パネルの生産ラインを停止させる頻度を低減することができ、大型の基板を大量に処理する工程における振動式膜分離装置の使用も可能となる。
[0048]
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、その分離処理を連続的に行うことができる。よって、不純物成分の分離及び回収に長時間を要するということがない。
[0049]
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、不純物成分の回収率は、該振動式膜分離装置が備える透過性膜の透過径によってのみ決定される。つまり、不純物成分の比重によって回収率がばらついてしまうということがなく、不純物成分の比重にかかわらず、不純物成分の分離を好適に行うことができる。
[0050]
このため、安定したパターン形成が可能となる。また、処理液を循環させる配管の詰まりが生じにくくなり、処理液を吐出するノズルを用いる場合に、このノズルの詰まりが生じにくくなることを可能にする。
【実施例1】
Claims (19)
- 表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられるウェット処理装置において、
前記ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、
前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、
前記振動式膜分離装置によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する再供給路と、
を備えることを特徴とするウェット処理装置。 - 前記ウェット処理槽から供給される前記ウェット処理後の処理液を一旦貯留するタンクと、
前記タンク内の処理液を前記振動式膜分離装置に供給するポンプと、
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置。 - 前記振動式膜分離装置によって処理液と分離された不純物成分を含む濃縮液を前記振動式膜分離装置から前記タンクに導入する導入路をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のウェット処理装置。
- 前記タンクを複数備え、
複数の前記タンクのうちの何れかのタンクに対し選択的に前記ウェット処理槽からの処理液及び前記振動式膜分離装置からの濃縮液を供給させるとともに、該選択されたタンク内の液体を前記振動式膜分離装置に供給させるための流路切り替え機構をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載のウェット処理装置。 - 複数の前記タンクの各々に貯留された処理液中の不純物濃度を検出する濃度検出センサと、
選択されているタンク内の処理液中の不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記流路切り替え機構を制御することにより選択するタンクを他のタンクに切り換える制御装置と、
を備えることを特徴とする請求項4に記載のウェット処理装置。 - 前記ウェット処理槽における前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を行う遠心分離装置を更に備え、
前記振動式膜分離装置は、前記遠心分離装置によって予め前記不純物成分が分離された後の処理液から、更に、前記不純物成分を分離させる処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置。 - 前記ウェット処理槽から供給される前記ウェット処理後の処理液を一旦貯留する第1のタンクと、
前記第1のタンク内の処理液を前記遠心分離装置に供給する第1のポンプと、
前記遠心分離装置によって前記不純物成分が分離された後の処理液を一旦貯留する第2のタンクと、
前記第2のタンク内の処理液を前記振動式膜分離装置に供給する第2のポンプと、
を更に備えることを特徴とする請求項6に記載のウェット処理装置。 - 前記振動式膜分離装置によって処理液から分離された不純物成分を含む濃縮液を前記振動式膜分離装置から前記第1のタンクに導入する導入路をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載のウェット処理装置。
- 前記振動式膜分離装置によって処理液から分離された不純物成分を含む濃縮液を一旦貯留する第2のタンクと、
前記第2のタンク内から供給される濃縮液から更に前記不純物成分を分離させる処理を行う第2の振動式膜分離装置と、
を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェット処理装置。 - 前記第2の振動式膜分離装置によって分離された前記不純物成分を含む濃縮液を前記第2の振動式膜分離装置から前記第2のタンクに導入する導入路をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載のウェット処理装置。
- 前記第2の振動式膜分離装置によって濃縮液から分離された処理液を前記第2の振動式膜分離装置から前記ウェット処理槽に再供給する供給路をさらに備えることを特徴とする請求項9又は10に記載のウェット処理装置。
- 前記振動式膜分離装置及び前記第2の振動式膜分離装置の少なくとも何れか一方は、
上下方向に所定間隔を空けて積層した複数個のフィルタと、
前記フィルタを収容するフィルタ容器と、
前記フィルタ及び前記フィルタ容器を振動させる加振機構と、からなり、
前記フィルタは、金属板と、前記処理液のみを透過させ、前記不純物成分を透過させない性質を有する透過性膜と、前記金属板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなり、
前記フィルタは平板状であり、前記フィルタには第1の開口部と第2の開口部とが形成されており、
上下方向に隣接するフィルタ間には前記第2の開口部の周縁に沿ってシール部材が配置されており、
前記第1の開口部は上下方向に隣接するフィルタ相互間において整列しないように配置されていることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載のウェット処理装置。 - 前記振動式膜分離装置及び前記第2の振動式膜分離装置の少なくとも何れか一方は、
上下方向に所定間隔を空けて積層した複数個のフィルタと、
前記フィルタを収容するフィルタ容器と、
前記フィルタ及び前記フィルタ容器を振動させる加振機構と、からなり、
前記フィルタは、金属板と、前記処理液のみを透過させ、前記不純物成分を透過させない性質を有する透過性膜と、前記金属板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなり、
前記フィルタは逆コーン形状であり、前記フィルタには少なくとも第1の開口部と第2の開口部とが形成されており、
上下方向に隣接するフィルタ間には前記第2の開口部の周縁に沿ってシール部材が配置されていることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載のウェット処理装置。 - 前記振動式膜分離装置及び前記第2の振動式膜分離装置の少なくとも何れか一方は、
上下方向に所定間隔を空けて積層した複数個のフィルタと、
前記フィルタを収容するフィルタ容器と、
前記フィルタ及び前記フィルタ容器を振動させる加振機構と、からなり、
前記フィルタは、金属板と、前記処理液のみを透過させ、前記不純物成分を透過させない性質を有する透過性膜と、前記金属板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなり、
前記フィルタは平板状であり、前記フィルタには第1の開口部が形成されており、
上下方向に隣接するフィルタ間には前記フィルタの外周縁に沿ってシール部材が配置されており、
前記第1の開口部は上下方向に隣接するフィルタ相互間において整列しないように配置されていることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載のウェット処理装置。 - 前記振動式膜分離装置及び前記第2の振動式膜分離装置の少なくとも何れか一方は、
上下方向に所定間隔を空けて積層した複数個のフィルタと、
前記フィルタを収容するフィルタ容器と、
前記フィルタを回転させる回転機構と、からなり、
前記フィルタは、金属板と、前記処理液のみを透過させ、前記不純物成分を透過させない性質を有する透過性膜と、前記金属板と前記透過性膜との間に挟まれ、前記処理液を通過させるドレインクロスと、からなり、
前記フィルタは逆コーン形状であり、前記フィルタには第1の開口部が形成されており、
上下方向に隣接するフィルタ間には前記フィルタの外周縁に沿ってシール部材が配置されており、
前記第1の開口部は上下方向に隣接するフィルタ相互間において整列しないように配置されており、
前記回転機構は前記フィルタの中心軸の回りに前記フィルタを回転させるものであることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載のウェット処理装置。 - 表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法において、
ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、
前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、
を備えることを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 前記パターンを形成する過程は、電極、リブ、蛍光体層、ブラックマトリックス、ブラックストライプ及びカラーフィルターの何れか一つを形成する過程であることを特徴とする請求項12に記載の表示パネルの製造方法。
- 前記振動式膜分離装置により分離された前記不純物成分を含む濃縮液を貯留可能な複数のタンクのうちの何れか選択されたタンクに前記濃縮液を貯留していく過程と、
前記選択されたタンク内に貯留される濃縮液中の不純物濃度を検出する過程と、
前記選択されたタンク内の濃縮液中の前記不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記選択されたタンクを他のタンクに切り換える過程と、
を備えることを特徴とする請求項16または17に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を、遠心分離装置を用いて前記分離過程の前に予め行う過程を更に備えることを特徴とする請求項16乃至18の何れか一項に記載の表示パネルの製造方法。
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