JPWO2005084831A1

JPWO2005084831A1 - Method for removing alkali-soluble photosensitive resin

Info

Publication number: JPWO2005084831A1
Application number: JP2006510765A
Authority: JP
Inventors: 伊藤　仁一; 仁一伊藤; 西尾　康明; 康明西尾
Original assignee: 特定非営利活動法人病院地域医療推進協議会
Priority date: 2004-03-08
Filing date: 2005-03-07
Publication date: 2007-11-29
Also published as: WO2005084831A1; TW200602132A

Abstract

化学薬品の使用量をできるだけ低減し、簡易、かつ、効率よく実施できるアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法を提供する。アルカリ可溶型感光性樹脂の付着した被洗浄体（８０）に、ドライアイス噴射装置（４０）内でドライアイス粒子を噴射する。剥離片は電解酸性水槽（６０）及び、回収槽（７０）でフィルター回収を行う。次いで被洗浄体（８０）は電解酸性水噴霧装置（５０）内で剥離残渣の洗浄を行い、水洗槽（９０）にて電解酸性水の中和及び洗浄を行う。なお、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離、及び、回収に使用した電解酸性水は再利用可能であるため、廃液の排出量を大幅に削減できる。Provided is an alkali-soluble photosensitive resin peeling method which can be carried out easily and efficiently by reducing the amount of chemicals used as much as possible. Dry ice particles are sprayed in the dry ice spraying device (40) onto the body (80) to which the alkali-soluble photosensitive resin is adhered. The peeled pieces are collected by a filter in an electrolytic acid water tank (60) and a recovery tank (70). Subsequently, the to-be-cleaned body (80) wash | cleans a peeling residue in an electrolytic acid water spray apparatus (50), and neutralizes and wash | cleans electrolytic acid water in a water washing tank (90). In addition, since the electrolytic acid water used for peeling and recovery of the alkali-soluble photosensitive resin can be reused, the amount of waste liquid discharged can be greatly reduced.

Description

本発明は、例えば、プリント配線基板の製造工程において、硬化したアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離、及び剥離片の回収を簡易に行えるようにした剥離方法に関する。 The present invention relates to a peeling method in which, for example, in a manufacturing process of a printed wiring board, it is possible to easily remove a cured alkali-soluble photosensitive resin and recover a peeled piece.

アルカリ可溶型感光性樹脂は、主にステンレスを含む鉄含有製品及び燐青銅などの銅含有製品の装飾加工、銅箔を用いた半導体やプリント配線基板の回路形成などする際の、エッチング用マスク材やメッキ用マスク材として利用されている。しかし、エッチング及びメッキ処理後、プリント配線基板からアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離する工程においては、前記感光性樹脂の剥離から廃液処理に至るまで、大量の薬品による化学反応をベースとする処理が組み込まれている。 Alkali-soluble photosensitive resin is an etching mask used for decorative processing of iron-containing products mainly containing stainless steel and copper-containing products such as phosphor bronze, and circuit formation of semiconductors and printed wiring boards using copper foil. It is used as a material and mask material for plating. However, in the process of removing the alkali-soluble photosensitive resin from the printed wiring board after etching and plating, the process is based on a chemical reaction with a large amount of chemicals from the removal of the photosensitive resin to the waste liquid treatment. Is incorporated.

一方、最近になり、地球環境の汚染問題が浮上し、大気汚染では、オゾン層の破壊の元凶としてのトリクロロエタン、トリクロロエチレンの使用禁止、河川の汚染では、工場排水基準や産業廃棄物規制などで環境を保護している。 On the other hand, recently, pollution problems of the global environment have emerged. For air pollution, the use of trichloroethane and trichlorethylene as the root cause of the destruction of the ozone layer is prohibited. For river pollution, environmental conditions such as factory effluent standards and industrial waste regulations. Is protecting.

しかしながら、大量の水で希釈してＣＯＤやＢＯＤ等の汚染基準をクリアーするには限界がきており、工場からの排水の総量規制が導入されている。そのため、例えばプリント配線基板の製造工程においては、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離工程において化学薬品を大量に使用するため、現状のままでは、その生産量を制限せざるを得なくなりつつあり、現在使用している薬品のみによる加工方法の見直しがせまられている。 However, there is a limit to diluting with a large amount of water and clearing pollution standards such as COD and BOD, and the regulation of the total amount of wastewater from factories has been introduced. Therefore, for example, in the manufacturing process of the printed wiring board, in order to use a large amount of chemicals in the peeling process of the alkali-soluble photosensitive resin, as it is, the production amount is forced to be limited, The processing method using only the chemicals currently in use is being reviewed.

廃液を発生させない付着物の洗浄方法として、薬品などを使用しない乾式でおこなう方法が考えられる。乾式による方法としては、例えば、ドライアイスを用いた洗浄技術が知られており、様々な分野で用途に応じた発明がなされている。 As a method of cleaning the deposits that do not generate waste liquid, a dry method that does not use chemicals can be considered. As a dry method, for example, a cleaning technique using dry ice is known, and inventions according to applications in various fields have been made.

例えば、下記特許文献１には、樹脂原料の低温粉砕装置内に付着した樹脂付着物を剥離する工程において、ドライアイス粒子群を被洗浄表面に衝突させて、被洗浄面の樹脂付着物を剥離することが開示されている。 For example, in the following Patent Document 1, in the step of peeling off the resin deposit adhered in the low temperature pulverization apparatus of the resin raw material, the dry ice particles are collided with the surface to be cleaned, and the resin deposit on the surface to be cleaned is peeled off. Is disclosed.

また、下記特許文献２には、ドライアイス粒子による洗浄能力を高めるために、被洗浄面に付着している付着物に界面活性剤、アルカリビルダー、石鹸などの洗浄剤を十分含浸させることで、ドライアイスによる付着物除去効果を向上させることが開示されている。 In addition, in Patent Document 2 below, in order to enhance the cleaning ability by dry ice particles, the deposits adhered to the surface to be cleaned are sufficiently impregnated with a cleaning agent such as a surfactant, alkali builder, soap, It has been disclosed to improve the effect of removing deposits by dry ice.

また、下記特許文献３には、半導体基板上のフォトレジストを剥離する工程において、被洗浄体に含水処理、及び凍結処理による前処理を実施した後、ドライアイス粒子を噴射させて半導体基板上の付着物を除去することが開示されている。
特公平４−５１２３３号公報特開平６-１８２３０６号公報特開２０００−５８４９４号公報 Further, in Patent Document 3 below, in the step of peeling the photoresist on the semiconductor substrate, the pre-treatment by water treatment and freezing treatment is performed on the object to be cleaned, and then dry ice particles are sprayed on the semiconductor substrate. It is disclosed to remove deposits.
Japanese Examined Patent Publication No. 4-51233 JP-A-6-182306 JP 2000-58494 A

上記のように、例えば、プリント配線基板の製造工程においては、エッチング後に残ったアルカリ可溶型感光性樹脂をプリント配線基板から剥離するため、化学薬品が大量に使用されている。 As described above, for example, in the manufacturing process of a printed wiring board, a large amount of chemicals are used to peel the alkali-soluble photosensitive resin remaining after etching from the printed wiring board.

しかしながら、従来の化学薬品のみを用いた剥離方法では、同時に大量の廃液が排出されるため、環境に与える負荷が大きい。更に、剥離片は薬品により溶解された、ドロ状となっているため、これらの回収及び廃棄処理に大きな手間と負担が課せられていた。 However, in the conventional peeling method using only chemicals, a large amount of waste liquid is discharged at the same time, so the load on the environment is large. Furthermore, since the peeling piece is dissolved in a chemical and is in the form of a stick, a great effort and burden are imposed on the recovery and disposal of these pieces.

そこで、廃液の排出量の低減し、剥離片が容易に回収、処理ができるようにするため、現在の薬品使用による剥離方法にかえて、乾式での洗浄が可能であるドライアイスを用いることに着目した。 Therefore, in order to reduce the discharge amount of waste liquid and make it possible to easily collect and process the peeled pieces, instead of using the current method of using chemicals, dry ice that can be washed in a dry process is used. Pay attention.

このドライアイスを用いた付着物の剥離方法は様々な分野で使用されている。しかしながら、上記特許文献１のように、被洗浄体にドライアイス粒子を噴射するだけでは、感光性樹脂を完全に剥離することができず、残渣の様なものが残ってしまう。更には、被洗浄体にドライアイス粒子を噴射することで結露が発生してしまうが、被洗浄体が金属製品である場合、錆の発生により、被洗浄体を損傷させてしまうという問題点もあった。また、上記特許文献２、３のように付着物に前処理を施すことで、ドライアイス粒子による剥離効果を向上させることは可能であるが、前処理工程が必要であり、時間及びコストを要するという問題点があった。 This method of peeling off deposits using dry ice is used in various fields. However, as in Patent Document 1 described above, by simply spraying dry ice particles onto the object to be cleaned, the photosensitive resin cannot be completely removed, and a residue like residue remains. Furthermore, although dew condensation occurs by spraying dry ice particles on the object to be cleaned, there is also a problem that if the object to be cleaned is a metal product, the object to be cleaned is damaged due to the occurrence of rust. there were. Moreover, it is possible to improve the peeling effect by dry ice particles by pretreating the deposit as in Patent Documents 2 and 3, but a pretreatment step is necessary, and time and cost are required. There was a problem.

そこで、本発明の目的は、化学薬品の使用量をできるだけ低減し、簡易、かつ、効率よく実施できるアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an alkali-soluble photosensitive resin peeling method that can be carried out easily and efficiently by reducing the amount of chemicals used as much as possible.

上記目的を達成するにあたって、本発明の第１は、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法は、アルカリ可溶型感光性樹脂が付着した被洗浄体にドライアイス粒子を噴射した後に、電解酸性水による洗浄を行うことを特徴とする。 In achieving the above object, according to the first aspect of the present invention, the alkali-soluble photosensitive resin is peeled off by spraying dry ice particles onto the object to be cleaned to which the alkali-soluble photosensitive resin is adhered, It is characterized by performing washing with water.

本発明によれば、アルカリ可溶型感光性樹脂の付着した被洗浄体にドライアイス粒子を噴射させることで、アルカリ可溶型感光性樹脂は冷却されるが、急激な温度変化により微細な亀裂が発生する。そして、このドライアイス粒子は高速で噴射されているため、その衝撃力とドライアイスが昇華する際に発生する膨張エネルギーで被洗浄体に付着している前記感光性樹脂を効果的に剥離除去することができる。また、ドライアイスは昇華性の物質であるため、対象物表層に達すると気化して炭酸ガスとなるため、被洗浄体を破損させることなく、アルカリ可溶型感光性樹脂を剥離できる。 According to the present invention, the alkali-soluble photosensitive resin is cooled by spraying dry ice particles onto the object to be cleaned, to which the alkali-soluble photosensitive resin is adhered, but fine cracks are caused by a sudden temperature change. Will occur. Since the dry ice particles are ejected at a high speed, the photosensitive resin adhering to the object to be cleaned is effectively peeled and removed by the impact force and the expansion energy generated when the dry ice sublimates. be able to. Further, since dry ice is a sublimable substance, when it reaches the surface layer of the object, it vaporizes and becomes carbon dioxide, so that the alkali-soluble photosensitive resin can be peeled without damaging the object to be cleaned.

しかしながら、ドライアイス粒子の噴射だけでは、アルカリ可溶型感光性樹脂を完全に剥離することができない。微細なアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離残渣、色素のような痕、結露により生じる錆、及び水滴の痕などが被洗浄体表面に残ってしまうが、このアルカリ可溶型感光性樹脂は酸性領域で凝固する性質であるため、電解酸性水による洗浄を行うことで、アルカリ可溶型感光性樹脂を剥離することがでる。また、色素のような痕、結露により生じる錆、及び水滴の痕なども同時に洗浄することができるので、清浄な加工表面が得られる。また、ここで使用する電解酸性水は、予め２０〜７０℃程度に加熱されたものであることが好ましく、剥離残渣の除去、及び結露より形成される水膜などの除去に対し、優れた効果を発揮することができる。 However, the alkali-soluble photosensitive resin cannot be completely peeled off only by spraying dry ice particles. Fine alkali-soluble photosensitive resin peeling residue, traces like pigments, rust caused by condensation, and traces of water droplets remain on the surface of the object to be cleaned, but this alkali-soluble photosensitive resin is acidic. Since it has a property of solidifying in the region, the alkali-soluble photosensitive resin can be peeled off by washing with electrolytic acid water. Further, since traces such as pigments, rust caused by condensation, and traces of water droplets can be cleaned at the same time, a clean processed surface can be obtained. Moreover, it is preferable that the electrolytic acid water used here is what was heated beforehand at about 20-70 degreeC, and was excellent in the removal of a peeling residue, and removal of the water film etc. which are formed from dew condensation. Can be demonstrated.

また、本発明のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法の第２は、アルカリ可溶型感光性樹脂が付着した被洗浄体にドライアイス粒子を噴射した後に、電解アルカリ性水又はアルカリ性薬品による洗浄を行うことを特徴とする。 In addition, the second method for removing the alkali-soluble photosensitive resin of the present invention is a method in which dry ice particles are sprayed on the object to be cleaned to which the alkali-soluble photosensitive resin is adhered, and then washed with electrolytic alkaline water or alkaline chemicals. It is characterized by performing.

処理スピードによってはドライアイス粒子の噴射だけでは、被洗浄体表面からアルカリ可溶型感光性樹脂を完全に剥離することができない場合がある。一方、アルカリ可溶型感光性樹脂であるため、強アルカリ性の水である電解アルカリ性水や、アルカリ性薬品溶液を用いて、溶解除去できる。 Depending on the processing speed, the alkali-soluble photosensitive resin may not be completely removed from the surface of the object to be cleaned only by spraying dry ice particles. On the other hand, since it is an alkali-soluble photosensitive resin, it can be dissolved and removed using electrolytic alkaline water, which is strongly alkaline water, or an alkaline chemical solution.

したがって、処理スピードによってはドライアイス粒子を噴射した後に、更に、電解アルカリ性水又はアルカリ性薬品溶液で洗浄することにより、被洗浄体表面からアルカリ可溶型感光性樹脂を完全に剥離することができ、清浄な加工表面が得られ、また、ドライアイス粒子の噴射により、被洗浄体表面から、アルカリ可溶型感光性樹脂の大部分を剥離できるため、たとえ、アルカリ性薬品（化学薬品）を用いたとしても、その使用量を極めて低減できる。 Therefore, depending on the processing speed, after spraying dry ice particles, by further washing with electrolytic alkaline water or alkaline chemical solution, the alkali-soluble photosensitive resin can be completely peeled from the surface of the object to be cleaned, A clean processed surface can be obtained, and most of the alkali-soluble photosensitive resin can be peeled off from the surface of the object to be cleaned by spraying dry ice particles, so even if alkaline chemicals (chemicals) are used However, the amount of use can be greatly reduced.

また、上記第２の発明において、被洗浄体を電解アルカリ性水又はアルカリ性薬品溶液で洗浄した後、更に電解酸性水による洗浄を行うことが好ましい。 In the second aspect of the invention, it is preferable to wash the object to be cleaned with electrolytic alkaline water or an alkaline chemical solution, and then further wash with electrolytic acidic water.

前述したように、アルカリ可溶型感光性樹脂は酸性領域では凝固する性質があるため、電解アルカリ性水やアルカリ性薬品溶液を用いて剥離残渣を溶解させた後、更に電解酸性水を噴霧して、被洗浄体を酸性領域とすることにより、電解アルカリ性水やアルカリ性薬品溶液に溶解した剥離片を、凝固、凝縮させることができ、剥離残渣の除去をより効率的に実施することができると共に、廃液処理が容易なものとなる。また、色素のような痕、結露による錆、及び水滴の痕なども同時に除去することができるので、清浄な加工表面を得ることができる。 As described above, since the alkali-soluble photosensitive resin has a property of solidifying in the acidic region, after dissolving the peeling residue using electrolytic alkaline water or an alkaline chemical solution, further spraying electrolytic acidic water, By making the object to be cleaned an acidic region, it is possible to coagulate and condense the stripped pieces dissolved in the electrolytic alkaline water or alkaline chemical solution, and to remove the stripped residue more efficiently, Processing becomes easy. Further, since traces such as pigments, rust caused by condensation, and traces of water droplets can be removed at the same time, a clean processed surface can be obtained.

また、本発明においては、被洗浄体にドライアイス粒子を噴射する際、その周囲を回収用カバーで覆っておき、かつ、剥離、飛散したアルカリ可溶型感光性樹脂を回収用カバー内から吸引して回収できるように構成されていることが好ましい。 Further, in the present invention, when spraying dry ice particles onto the object to be cleaned, the periphery thereof is covered with a recovery cover, and the separated and scattered alkali-soluble photosensitive resin is sucked from the recovery cover. It is preferable that it is configured so that it can be recovered.

高速のドライアイス粒子を衝突させてアルカリ可溶型感光性樹脂を被洗浄体から剥離しているため、剥離片は周囲にかなり飛散してしまう。そこで被洗浄体にドライアイス粒子を噴射する際、その周囲を回収カバーで包み込み、回収カバー内から吸引して剥離片を回収するように構成することで、周囲へ飛散させることなく効率的に剥離片を回収することができる。 Since the alkali-soluble photosensitive resin is peeled from the object to be cleaned by colliding with high-speed dry ice particles, the peeled pieces are considerably scattered around. Therefore, when spraying dry ice particles to the object to be cleaned, it is configured to wrap the surrounding area with a recovery cover and suck it from the recovery cover to recover the peeled pieces, thereby efficiently peeling without scattering to the surroundings. Pieces can be collected.

また、本発明においては、前記回収用カバーの少なくとも表面が、フッ素樹脂又はシリコン樹脂で形成されていることが好ましい。フッ素樹脂又はシリコン樹脂は他の物質との反応性が低いため、壁面に剥離した被洗浄体の再付着を防止することができるので、回収カバーの汚染を抑えることができる。 In the present invention, it is preferable that at least the surface of the recovery cover is formed of a fluororesin or a silicon resin. Since the fluororesin or silicon resin has low reactivity with other substances, it is possible to prevent the object to be cleaned that has peeled off the wall surface from being reattached, so that the recovery cover can be prevented from being contaminated.

また、本発明においては、吸引されたアルカリ可溶型感光性樹脂を、吸引された前記感光性樹脂を、サイクロン流による遠心力を利用した回収方法、エアーフィルターによる回収方法、及び、電解酸性水が貯留された水槽内に導入して凝固沈殿させる回収方法から選ばれた少なくとも一種以上の方法で回収することが好ましい。剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂は水分を含んでいないため、サイクロン流による遠心力やエアーフィルターによって容易に回収することができる。また、上述のようにアルカリ可溶型感光性樹脂は酸性領域で凝固するため、電解酸性水が貯留された水槽内へ導入し、凝固沈殿させることで容易に剥離片を回収することができる。そして、上記アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離で用いた電解酸性水、及び回収に使用した電解酸性水は剥離片を溶解させることがないため、フィルターろ過して剥離片を回収した後、再利用可能であり、廃液の排出量を大幅に削減できる。 Further, in the present invention, the suctioned alkali-soluble photosensitive resin, the suctioned photosensitive resin is recovered using a centrifugal force generated by a cyclone flow, a recovery method using an air filter, and electrolytic acid water It is preferable to recover by at least one method selected from a recovery method of introducing into a water tank in which water is stored and solidifying and precipitating. Since the peeled alkali-soluble photosensitive resin does not contain moisture, it can be easily recovered by a centrifugal force by a cyclone flow or an air filter. Further, since the alkali-soluble photosensitive resin is solidified in the acidic region as described above, the peeled piece can be easily recovered by introducing it into a water tank in which electrolytic acid water is stored and solidifying and precipitating. The electrolytic acid water used for peeling off the alkali-soluble photosensitive resin and the electrolytic acid water used for recovery do not dissolve the peeled pieces. It can be used, and the amount of waste liquid discharged can be greatly reduced.

また、本発明のドライアイス粒子の噴射工程において、直径が５〜５０μｍのドライアイス粒子を用い、噴射圧を０．０１〜５．０ＭＰａ、噴射時間を５〜１２０秒とすることが好ましい。これによれば、被洗浄体を損傷させず、効果的にアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離させることができる。 In the dry ice particle injection step of the present invention, it is preferable to use dry ice particles having a diameter of 5 to 50 μm, an injection pressure of 0.01 to 5.0 MPa, and an injection time of 5 to 120 seconds. According to this, the alkali-soluble photosensitive resin can be effectively peeled without damaging the object to be cleaned.

また、本発明で使用する電解酸性水は、ｐＨが４．０以下であり、残留塩素濃度が１５ｐｐｍ以下であることが好ましい。 Moreover, the electrolytic acid water used in the present invention preferably has a pH of 4.0 or less and a residual chlorine concentration of 15 ppm or less.

電解酸性水のｐＨを４．０以下とすることで、アルカリ可溶型感光性樹脂の凝固、凝縮を効果的に実施することができるので、剥離、回収を容易におこなうことができる。また、残留塩素濃度を１５ｐｐｍ以下とすることで、塩基性炭酸塩の発生や、被洗浄体の腐食を抑えることができる。 By setting the pH of the electrolytic acid water to 4.0 or less, the alkali-soluble photosensitive resin can be effectively coagulated and condensed, so that peeling and recovery can be easily performed. Moreover, generation | occurrence | production of a basic carbonate and corrosion of a to-be-cleaned body can be suppressed by a residual chlorine density | concentration being 15 ppm or less.

また、この電解酸性水は陰極と陽極の間にイオン透過性の膜、又は中性膜を有する電解槽を用いて、水を電気分解して陽極側から得られるものが好ましい。 The electrolytic acid water is preferably obtained from the anode side by electrolyzing water using an electrolytic cell having an ion-permeable membrane or a neutral membrane between the cathode and the anode.

電解質として、塩化ナトリウムや、塩化カリウムなどの塩化物系の化合物を用いた場合は、低電圧での電気分解では塩素ガスが発生するため、高電圧、例えば２０Ｖ〜６０Ｖの加電圧で電気分解をおこなうことが好ましい。また、電解質として、硫酸ナトリウム、硫酸アンモニウム、硫酸カリウムなどの硫化物系の化合物を用いた場合は、電気分解による塩素ガスの発生はないため、５Ｖ〜５０Ｖの低電圧での電気分解であっても好適に実施することができる。 When a chloride compound such as sodium chloride or potassium chloride is used as the electrolyte, chlorine gas is generated by electrolysis at a low voltage, and therefore electrolysis is performed at a high voltage, for example, an applied voltage of 20 V to 60 V. It is preferable to do this. In addition, when a sulfide-based compound such as sodium sulfate, ammonium sulfate, or potassium sulfate is used as the electrolyte, there is no generation of chlorine gas due to electrolysis, so electrolysis at a low voltage of 5 V to 50 V is possible. It can implement suitably.

また、本発明で使用する電解アルカリ性水は、ｐＨが１０．０以上、酸化還元電位が−５０ｍＶ以下であることが好ましい。 Moreover, the electrolytic alkaline water used in the present invention preferably has a pH of 10.0 or more and a redox potential of −50 mV or less.

そして、この電解アルカリ性水は、陰極と陽極の間にイオン透過性の膜、又は中性膜を有する電解槽を用いて、水を５〜６０Ｖの電圧で電気分解して陰極側から得られるものが好ましい。 And this electrolytic alkaline water is obtained from the cathode side by electrolyzing water at a voltage of 5 to 60 V using an electrolytic cell having an ion-permeable membrane or a neutral membrane between the cathode and the anode. Is preferred.

更に、本発明において、被洗浄体の性状に応じて、被洗浄体を搬送しながら、その上下両面からドライアイス粒子を噴射して剥離させるか、被洗浄体の上下面のうち、一方の面をベルト状の搬送機構で支持し、残った他方の面からドライアイス粒子を噴射して剥離させるようにすることが好ましい。 Furthermore, in the present invention, according to the property of the object to be cleaned, while transporting the object to be cleaned, either dry ice particles are ejected from both the upper and lower surfaces of the object to be cleaned, or one of the upper and lower surfaces of the object to be cleaned Is supported by a belt-like transport mechanism, and dry ice particles are preferably ejected from the other surface to be separated.

本発明によれば、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離工程において、前記感光性樹脂の付着した被洗浄体にドライアイスを噴射し剥離片の回収を行った後、電解酸性水による洗浄を行うことで、従来の薬品による剥離方法に比べ、剥離片の回収が容易に行える。 According to the present invention, in the step of removing the alkali-soluble photosensitive resin, after dry ice is sprayed onto the object to be cleaned to which the photosensitive resin is adhered, the peeled piece is collected, and then washed with electrolytic acid water. As a result, it is possible to easily collect the peeled pieces as compared with the conventional peeling method using chemicals.

更に、本発明で使用している電解酸性水は再利用することができるため、廃液をほとんど排出することがなく、工場排水を低減できる。また、廃液中の剥離片は、ほぼ全て回収することができるため、廃液処理も容易である。 Furthermore, since the electrolytic acid water used in the present invention can be reused, the waste liquid is hardly discharged and the factory waste water can be reduced. In addition, since almost all the peeled pieces in the waste liquid can be collected, the waste liquid treatment is also easy.

本発明に使用する電解酸性水、及び電解アルカリ性水を製造するための装置の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the apparatus for manufacturing the electrolytic acid water used for this invention, and electrolytic alkaline water. 本発明に使用するアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離するためのシステムの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the system for peeling the alkali soluble photosensitive resin used for this invention. 本発明に使用するドライアイス噴射装置４０の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the dry ice injection apparatus 40 used for this invention. 本発明に使用するドライアイス噴射装置４０の別の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows another example of the dry ice injection apparatus 40 used for this invention. 本発明に使用する回収槽７０の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the collection tank 70 used for this invention. 本発明に使用する回収槽７０の別の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows another example of the collection tank 70 used for this invention. 本発明に使用するアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離するためのシステムの別の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows another example of the system for peeling the alkali-soluble type photosensitive resin used for this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１２．電解槽
１３．陰極
１４．陽極
１７．隔膜
１８．陰極室
１９．陽極室
２３．電解アルカリ性水導出管
２６．電解酸性水導出管
４０．ドライアイス噴射装置
４１．リングコンベヤー
４２．ベルトコンベヤー
４３．ドライアイス粒子噴射ノズル
４４．回収カバー
４５．吸引管
５０．電解酸性水噴霧装置
５１．噴霧機
５２、６１、７２、７３．フィルター槽
５５．電解アルカリ性水噴霧装置
６０．電解酸性水槽
７０．回収槽
７１．吸引機
７４．エアーフィルター
７５．噴霧機
８０．被洗浄体
９０．水洗槽
Ｐ１〜Ｐ４．ポンプ12 Electrolyzer 13. Cathode 14. Anode 17. Diaphragm 18. Cathode chamber 19. Anode chamber 23. Electrolytic alkaline water outlet pipe 26. Electrolytic acid water outlet tube 40. Dry ice spraying device 41. Ring conveyor 42. Belt conveyor 43. Dry ice particle injection nozzle 44. Collection cover 45. Suction tube 50. Electrolytic acid water spray device 51. Sprayer 52, 61, 72, 73. Filter tank 55. Electrolytic alkaline water spray device 60. Electrolytic acid bath 70. Collection tank 71. Suction machine 74. Air filter 75. Nebulizer 80. Object to be cleaned 90. Washing tank P1-P4. pump

本発明で用いる電解酸性水とは、基本的には、水を電解槽で電気分解することにより得られる強酸性イオン水であり、電解アルカリ性水とは、基本的に水を電解槽で電気分解することにより得られる強アルカリ性イオン水である。 The electrolytic acid water used in the present invention is basically strongly acidic ionic water obtained by electrolyzing water in an electrolytic cell. The electrolytic alkaline water is basically electrolyzed in an electrolytic cell. It is strongly alkaline ionic water obtained by doing.

図１には、本発明で用いる好ましい電解水を製造するための装置として、陽極と陰極との間にイオン透過性の膜を有する電解槽を用いた装置の一例が示されている。 FIG. 1 shows an example of an apparatus using an electrolytic cell having an ion-permeable membrane between an anode and a cathode as an apparatus for producing preferable electrolyzed water used in the present invention.

この装置は、原水導入管１、連結管６、その途中に設けられたフィルター槽５、電解槽１２、電解アルカリ水導出管２３、及び電解酸性水導出管２６とで主として構成されている。ここで、原水導入管１は、減圧弁２、圧力スイッチ３、電磁弁４を介してフィルター槽に連結され、更に連結管６を通して電解槽１２に連結されている。 This apparatus is mainly composed of a raw water introduction pipe 1, a connection pipe 6, a filter tank 5, an electrolytic tank 12, an electrolytic alkaline water outlet pipe 23, and an electrolytic acid water outlet pipe 26 provided in the middle thereof. Here, the raw water introduction pipe 1 is connected to a filter tank via a pressure reducing valve 2, a pressure switch 3, and an electromagnetic valve 4, and further connected to an electrolytic tank 12 through a connection pipe 6.

電解槽１２は、円筒状のステンレス電極、又はチタン＋白金電極からなる陰極１３と、この陰極１３よりも直径の小さい円筒状のチタン＋白金電極からなる陽極１４とを同心上に配置し、それらの上下端面を環状の蓋体１５、１６で封止した構造になっている。また、陰極１３と陽極１４との間には、同じく円筒状の隔膜１７がその両端を蓋体１５、１６に支持されて設置されており、電解槽１２内を、外側の陰極室１８と、内側の陽極室１９とに、容積比４５：５５の比率で区画している。なお、図１のような円筒状隔壁で仕切られた電解槽に限らず、平板状隔膜で陽極室と陰極室とに仕切った、平板型電解槽を用いることができ、その場合は、陽極室と陰極室の容積比を５：５となるようにすることが好ましい。 The electrolytic cell 12 has a cylindrical stainless steel electrode or a cathode 13 made of a titanium + platinum electrode and an anode 14 made of a cylindrical titanium + platinum electrode having a diameter smaller than that of the cathode 13 arranged concentrically. The upper and lower end surfaces are sealed with annular lids 15 and 16. A cylindrical diaphragm 17 is also installed between the cathode 13 and the anode 14 so that both ends thereof are supported by the lids 15 and 16, and the inside of the electrolytic cell 12 is provided with an outer cathode chamber 18, The inner anode chamber 19 is partitioned at a volume ratio of 45:55. In addition, not only the electrolytic cell partitioned by the cylindrical partition as shown in FIG. 1, but a flat plate electrolytic cell partitioned by a flat diaphragm into an anode chamber and a cathode chamber can be used. The volume ratio of the cathode chamber is preferably 5: 5.

そして隔膜１７は、陽イオンを陽極室１９側から陰極室１８側に透過しており、陰イオンを陰極室１８側から陽極室１９側に透過している。 The diaphragm 17 transmits cations from the anode chamber 19 side to the cathode chamber 18 side, and transmits anions from the cathode chamber 18 side to the anode chamber 19 side.

連結管６は、その先端が６ａ、６ｂに分岐し、一方の管６ａは、電解槽１２底部の蓋体１６に設けられた陰極室１８内への導入路２０に連結し、他方の管６ｂは、上記蓋体１６に設けられた陽極室１９内への導入路２１に連結しており、いずれも同径で同圧の原水が導入する構造となっている。 The connecting tube 6 has its tip branched into 6a and 6b. One tube 6a is connected to the introduction path 20 into the cathode chamber 18 provided in the lid 16 at the bottom of the electrolytic cell 12, and the other tube 6b. Are connected to an introduction path 21 into the anode chamber 19 provided in the lid body 16, and both have a structure in which raw water having the same diameter and the same pressure is introduced.

また、電解槽１２の上部の蓋体１５には、陰極室１８から電解アルカリ性水を取り出すための導出路２２が形成しており、これに電解アルカリ性水導出管２３が連結し、流量制御弁２８（流量調整弁は電解槽導入前でもよい）を介して電解アルカリ性水を供給するようになっている。更に、上部の蓋体１５には、陽極室１９から電解酸性水を取り出すための導出路２５が形成され、これに電解酸性水導出管２６が連結し、流量制御弁２９（流量調整弁は電解槽導入前でもよい）を介して電解酸性水を供給するようになっている。 In addition, a lead-out path 22 for taking out electrolytic alkaline water from the cathode chamber 18 is formed in the lid 15 at the top of the electrolytic cell 12, and an electrolytic alkaline water lead-out pipe 23 is connected to this, and a flow control valve 28. Electrolytic alkaline water is supplied through the flow rate adjusting valve (before the introduction of the electrolytic cell). Furthermore, a lead-out path 25 for taking out the electrolytic acid water from the anode chamber 19 is formed in the upper lid body 15, and an electrolytic acid water lead-out pipe 26 is connected to this, and a flow rate control valve 29 (the flow rate adjustment valve is electrolyzed). The electrolytic acid water is supplied via a tank before the introduction.

なお、電解槽１２には、陽極１４と陰極１３とに電力を供給する電源３０と、この電源３０からの電力を制御する制御装置３１とが設けられている。また、図示されてはいないが、陽極室１９には、陽極１４の軸方向に沿って隔膜を保持する樹脂製治具が配置されている。 The electrolytic cell 12 is provided with a power source 30 that supplies power to the anode 14 and the cathode 13 and a control device 31 that controls power from the power source 30. Although not shown, a resin jig for holding the diaphragm along the axial direction of the anode 14 is disposed in the anode chamber 19.

したがって、原水を原水導入管１から、減圧弁２、圧力スイッチ３、電磁弁４を介してフィルター槽５に導入すると、原水は隔膜１７が目詰まりしないようにここで１０μｍ以上の大きさの粒子は捕捉されて通過して、連結管６より流出する。 Therefore, when the raw water is introduced from the raw water introduction pipe 1 into the filter tank 5 through the pressure reducing valve 2, the pressure switch 3, and the electromagnetic valve 4, the raw water has a particle size of 10 μm or more so that the diaphragm 17 is not clogged. Is trapped and flows out from the connecting pipe 6.

連結管６より流出した原水は、分岐管６ａ，６ｂに分岐されて、電解槽１２の陰極室１８、及び陽極室１９にそれぞれ同圧、同量で流入する。陽極室１９に流れ込んだ原水は陽極室１９内を流れる。電解槽１２では、陽極１４と陰極１３との間で電圧が印加され、原水の電解が行われる。このとき、電圧５０〜６０Ｖ、電流１５〜２５Ａとなるように制御装置３１で電力を調整し、陽極室１９からは電解酸性水が１．５〜２．０リットル／分の流速で吐出し、陰極室１８からは電解アルカリ性水が１．５〜２．０リットル／分の流速で吐出するように流量を調整する。 The raw water flowing out from the connecting pipe 6 is branched into the branch pipes 6a and 6b and flows into the cathode chamber 18 and the anode chamber 19 of the electrolytic cell 12 with the same pressure and the same amount, respectively. The raw water that has flowed into the anode chamber 19 flows in the anode chamber 19. In the electrolytic cell 12, a voltage is applied between the anode 14 and the cathode 13, and electrolysis of raw water is performed. At this time, the power is adjusted by the control device 31 so that the voltage is 50 to 60 V and the current is 15 to 25 A, and the electrolytic acid water is discharged from the anode chamber 19 at a flow rate of 1.5 to 2.0 liters / minute, The flow rate is adjusted so that electrolytic alkaline water is discharged from the cathode chamber 18 at a flow rate of 1.5 to 2.0 liters / minute.

このような方法によって、ｐＨが４．０以下であり、かつ、残留塩素濃度が１５ｐｐｍ以下である電解酸性水、及びｐＨが１０．０以上であり、かつ、酸化還元電位が−５０ｍＶ以下である電解アルカリ性水を製造することができる。 By such a method, the acidic acidic water having a pH of 4.0 or lower and the residual chlorine concentration of 15 ppm or lower, the pH of 10.0 or higher, and the redox potential is −50 mV or lower. Electrolytic alkaline water can be produced.

電解酸性水、及び電解アルカリ性水を製造する際に、塩化ナトリウム、塩化カリウムなどの塩化物系の化合物；硫酸ナトリウム、硫酸アンモニウム、硫酸カリウムなどの硫化物系の化合物を電解質として用いるが、どちらも化合物も電解質として好適に利用できる。 When producing electrolytic acid water and electrolytic alkaline water, chloride compounds such as sodium chloride and potassium chloride; sulfide compounds such as sodium sulfate, ammonium sulfate and potassium sulfate are used as electrolytes, both of which are compounds. Can also be suitably used as an electrolyte.

しかし、電解質として塩化物系の化合物を用いた場合、低電圧による電気分解では塩素ガスが同時に生成されるため、高電圧での電気分解が必要である。よって、電解質として塩化物系の化合物を用いた場合、電気分解の加電圧として、２０〜６０Ｖであることが好ましく、５０〜６０Ｖであることがより好ましい。 However, when a chloride compound is used as the electrolyte, the electrolysis at a low voltage requires the electrolysis at a high voltage because chlorine gas is generated at the same time. Therefore, when a chloride compound is used as the electrolyte, the applied voltage for electrolysis is preferably 20 to 60 V, more preferably 50 to 60 V.

一方、電解質として硫化物系の化合物を用いた場合、塩素ガスなどの有毒性ガスを発生することがないため、低電圧での電気分解でも好適に実施することができるので、電気分解の加電圧として、５〜５０Ｖであることが好ましく、１０〜２０Ｖであることがより好ましい。 On the other hand, when a sulfide-based compound is used as the electrolyte, since no toxic gas such as chlorine gas is generated, it can be suitably carried out even at low voltage electrolysis. As for it, it is preferable that it is 5-50V, and it is more preferable that it is 10-20V.

また、本発明で用いることのできるアルカリ性薬品溶液とは、水酸化ナトリウム溶液や炭酸カリウム溶液などの、従来、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離に使用してきた強アルカリ性の化学薬品であり、特に限定はない。 In addition, the alkaline chemical solution that can be used in the present invention is a strongly alkaline chemical that has been conventionally used for stripping an alkali-soluble photosensitive resin, such as a sodium hydroxide solution or a potassium carbonate solution. There is no limitation.

本発明において、電解酸性水、電解アルカリ性水、又はアルカリ性薬品溶液による剥離残渣の除去は、一般的には、シャワリングにより行うのが好ましいが浸積による超音波洗浄であってもよい。 In the present invention, removal of the peeling residue with electrolytic acid water, electrolytic alkaline water, or alkaline chemical solution is generally preferably performed by showering, but may be ultrasonic cleaning by immersion.

図２には、本発明を実施するための好ましいアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離装置全体の概要を示す一例が示されている。 FIG. 2 shows an example showing an outline of a preferable alkali-soluble photosensitive resin peeling apparatus for carrying out the present invention.

すなわち、この好ましいシステム全体は、基本的には、回収カバーに覆われたドライアイス噴射装置４０、電解酸性水噴霧装置５０、ドライアイス噴射装置４０から剥離された剥離片を回収するための電解酸性水槽６０、ドライアイス噴射装置４０内で剥離させた剥離片を回収するための回収槽７０で主に構成されている。 That is, this preferable system as a whole is basically an electrolytic acid for recovering the peeled pieces peeled off from the dry ice spray device 40, the electrolytic acid water spray device 50, and the dry ice spray device 40 covered by the recovery cover. The water tank 60 and the recovery tank 70 for recovering the peeled pieces separated in the dry ice spray device 40 are mainly configured.

被洗浄体８０（以下、単に被洗浄体という）は、リングコンベアー４１に設置され、ドライアイス噴射装置４０へ搬送され、ドライアイス粒子の噴射が行われる。 An object to be cleaned 80 (hereinafter simply referred to as an object to be cleaned) is installed on the ring conveyor 41 and is transported to the dry ice jetting device 40, where dry ice particles are jetted.

被洗浄体としては例えば、メッキもしくはエッチング処理の行われた後のプリント配線基板、ＳＵＳ板、燐青銅板、ハステロイ板（ニッケル合金）などが挙げられる。 Examples of the object to be cleaned include a printed wiring board, a SUS plate, a phosphor bronze plate, and a hastelloy plate (nickel alloy) after plating or etching.

ドライアイス噴射装置４０で使用するドライアイス粒子は粒子径が５〜５０μｍであることが好ましく、５〜３０μｍであることがより好ましい。ドライアイス粒子の粒径が５０μｍ以上であると被洗浄体を損傷させてしまい、また、５μｍ以下であると洗浄効果が乏しく、殆どアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離することができないため好ましくない。 The dry ice particles used in the dry ice jet device 40 preferably have a particle size of 5 to 50 μm, and more preferably 5 to 30 μm. If the particle size of the dry ice particles is 50 μm or more, the object to be cleaned is damaged, and if it is 5 μm or less, the cleaning effect is poor and the alkali-soluble photosensitive resin cannot be peeled off, which is not preferable. .

また、噴射圧は０．０１〜５．０ＭＰａであることが好ましく、より好ましくは０．０１〜０．７ＭＰａであり、更に好ましくは０．０１５〜０．０２５である。噴射圧が５．０ＭＰａ以下であれば、被洗浄体を損傷させることなく、アルカリ可溶型感光性樹脂を剥離することができ、特に、０．７ＭＰａ以下であれば、基板表面に装飾した金属膜が薄膜であっても、金属膜が延びることがないため、寸法精度を損なうことがない。また、噴射圧が０．０１ＭＰａ以上であれば、被洗浄体表面から大半のアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離除去できるので、電解酸性水、電解アルカリ性水、アルカリ薬品などの使用量を低減でき、後の工程の剥離残渣の除去作業が容易となる。 Moreover, it is preferable that an injection pressure is 0.01-5.0 MPa, More preferably, it is 0.01-0.7 MPa, More preferably, it is 0.015-0.025. If the spray pressure is 5.0 MPa or less, the alkali-soluble photosensitive resin can be peeled without damaging the object to be cleaned, and in particular, if it is 0.7 MPa or less, the metal decorated on the substrate surface Even if the film is a thin film, the metal film does not extend, so that the dimensional accuracy is not impaired. In addition, if the injection pressure is 0.01 MPa or more, most of the alkali-soluble photosensitive resin can be peeled and removed from the surface of the object to be cleaned, so the amount of electrolytic acid water, electrolytic alkaline water, alkaline chemicals, etc. can be reduced. The removal work of the peeling residue in the subsequent process becomes easy.

また、噴射時間は５〜１２０秒であることが好ましく、被洗浄物のサイズにもよるが、３０〜５０秒であることがより好ましい。噴射時間が１２０秒以上であると、被洗浄体に、霜のように結露が発生しやすく、水滴の痕等の発生量が多くなり、また、５秒以下であるとアルカリ可溶型感光性樹脂を十分に剥離することができないことがある。 The spraying time is preferably 5 to 120 seconds, and more preferably 30 to 50 seconds, although it depends on the size of the object to be cleaned. When the spraying time is 120 seconds or more, condensation is likely to occur on the object to be cleaned, like frost, and the amount of traces of water drops increases, and when it is 5 seconds or less, the alkali-soluble photosensitive property The resin may not be sufficiently peeled off.

前記ドライアイス噴射装置４０は、被洗浄体の性状に応じて図３もしくは図４の装置となっている。被洗浄体が薄板で破損しやすい製品である場合、図３に示す装置では、被洗浄体の上下面のうち一方の面がベルトコンベヤー４２で支持され、残った他方の面にドライアイス粒子噴射ノズル４３が設置されており、ドライアイス粒子を噴射する構造となっている。また、被洗浄体が破損しにくい製品である場合、図４に示すように被洗浄体の上下面にドライアイス粒子噴射ノズル４３が設置されており、被洗浄体の上下面に対しドライアイス粒子を噴射する構造となっている。 The dry ice spraying device 40 is the device shown in FIG. 3 or 4 depending on the properties of the object to be cleaned. When the object to be cleaned is a thin plate and easily damaged, in the apparatus shown in FIG. 3, one of the upper and lower surfaces of the object to be cleaned is supported by the belt conveyor 42, and the remaining surface is sprayed with dry ice particles. The nozzle 43 is installed and has a structure for ejecting dry ice particles. When the object to be cleaned is not easily damaged, dry ice particle injection nozzles 43 are provided on the upper and lower surfaces of the object to be cleaned as shown in FIG. It has the structure which injects.

このドライアイス粒子噴射ノズル４３の形状は、広範囲の面積に対応出来るフラット型ノズル、より強い噴射圧を確保出来るコーン型ノズル、ドライアイスの噴出スピードを確保できる円筒型ノズルを利用することができ、好ましくはドライアイスの噴出スピードを確保できる円筒型ノズルである。 As the shape of the dry ice particle injection nozzle 43, a flat type nozzle capable of accommodating a wide area, a cone type nozzle capable of ensuring a stronger injection pressure, and a cylindrical nozzle capable of ensuring a dry ice injection speed can be used. Preferably, it is a cylindrical nozzle that can ensure the spray speed of dry ice.

ドライアイス噴射装置４０は外周部が回収カバー４４で覆われており、剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂の周囲への飛散を防止すると共に、回収カバー４４の上下に設置された吸引管４５より、剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂をドライアイス噴射装置４０の外部に設置した吸引機７１から吸引して、回収槽７０にて剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂の回収を行うと共にドライアイス粒子噴射の際に発生する炭酸ガスの排気を行う。排気された炭酸ガスは石灰水を環流したスクラバーなどで処理される。 The outer periphery of the dry ice spray device 40 is covered with a recovery cover 44, which prevents the peeled-off alkali-soluble photosensitive resin from scattering to the periphery, and from suction pipes 45 installed above and below the recovery cover 44. The peeled alkali-soluble photosensitive resin is sucked from a suction machine 71 installed outside the dry ice spraying device 40, and the peeled alkali-soluble photosensitive resin is recovered in the recovery tank 70 and dry ice is collected. Carbon dioxide generated during particle injection is exhausted. The exhausted carbon dioxide gas is treated with a scrubber or the like circulating lime water.

また、回収カバー４４の少なくとも表面は、フッ素樹脂又はシリコン樹脂で形成されていることが好ましい。フッ素樹脂又はシリコン樹脂は他の物質との反応性が低いため、壁面に剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂の再付着を防止することができ、回収カバー壁面の汚染を抑えることができる。 Moreover, it is preferable that at least the surface of the recovery cover 44 is formed of a fluororesin or a silicon resin. Since the fluororesin or silicon resin has low reactivity with other substances, it is possible to prevent the alkali-soluble photosensitive resin peeled off from the wall surface from reattaching, and to suppress contamination on the recovery cover wall surface.

回収槽７０は、家電の掃除機のようにエアーフィルターだけで回収する槽でも良いが、直ぐに目詰まりすることが想定されるので、サイクロン型掃除機のようなサイクロン流による遠心力を利用した回収機構や、図５に示した回収槽もしくは、図６に示した回収槽を用いることが好ましく、図５及び図６は回収槽どちらも好適に使用することができる。 The collection tank 70 may be a tank that collects only with an air filter, such as a vacuum cleaner for home appliances. However, since it is assumed that the collection tank 70 is clogged immediately, the collection tank 70 uses a centrifugal force generated by a cyclone flow like a cyclone type vacuum cleaner. It is preferable to use the mechanism, the collection tank shown in FIG. 5, or the collection tank shown in FIG. 6, and both of the collection tanks in FIGS. 5 and 6 can be suitably used.

まず、図５の回収槽によるアルカリ可溶型感光性樹脂の回収方法ついて説明する。図５の回収槽は電解酸性水で満たされており、吸引された剥離片を電解酸性水へ導入して、凝固、沈殿させることができる。回収槽底部からの配管はポンプＰ１を介してフィルター槽７２に接続しておりフィルター槽７２で、剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂の回収をおこなう。そして、フィルター槽７２からの配管は回収槽７０上部へ接続しており、ここでの電解酸性水は再利用できる構成となっている。 First, a method for recovering the alkali-soluble photosensitive resin using the recovery tank in FIG. 5 will be described. The recovery tank of FIG. 5 is filled with electrolytic acid water, and the sucked peeling pieces can be introduced into the electrolytic acid water to be solidified and precipitated. The piping from the bottom of the recovery tank is connected to the filter tank 72 via the pump P1, and the separated alkali-soluble photosensitive resin is recovered in the filter tank 72. The piping from the filter tank 72 is connected to the upper part of the recovery tank 70, and the electrolytic acid water here can be reused.

また、図６の回収槽では噴霧機７５から電解酸性水を噴霧し、剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂を凝集させ、吸引機７１の前方に設置されたエアーフィルター７４で剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂を回収する構造となっている。電解酸性水を噴霧させるため、回収槽下部には電解酸性水が貯留してしまうが、回収槽底部から貯留した電解酸性水を引き抜くための配管がポンプＰ２を介してフィルター槽７３に接続しており、フィルター槽７３で、電解酸性水の噴霧により回収槽内に脱落したアルカリ可溶型感光性樹脂の回収をおこない、フィルター槽７３からの配管が噴霧機７５へ接続した構成となっており、ここでの電解酸性水は再利用できる。 In the collection tank of FIG. 6, electrolytic acid water is sprayed from the sprayer 75, the peeled alkali-soluble photosensitive resin is aggregated, and the alkali-soluble peeled by the air filter 74 installed in front of the suction device 71. The type photosensitive resin is collected. In order to spray electrolytic acid water, electrolytic acid water is stored in the lower part of the recovery tank, but a pipe for extracting the electrolytic acid water stored from the bottom of the recovery tank is connected to the filter tank 73 via the pump P2. In the filter tank 73, the alkali-soluble photosensitive resin dropped into the recovery tank by spraying electrolytic acid water is recovered, and the pipe from the filter tank 73 is connected to the sprayer 75. The electrolytic acid water here can be reused.

また、図５及び図６での回収槽で使用する電解酸性水は、効率的に剥離片の回収を実施するため、ｐＨが４．０以下であることが好ましく、３．０以下であることがより好ましい。 In addition, the electrolytic acid water used in the collection tank in FIGS. 5 and 6 has a pH of preferably 4.0 or less, and preferably 3.0 or less in order to efficiently recover the peeled pieces. Is more preferable.

また、ドライアイス噴射装置４０は外周部が回収カバーで覆われている構造となっている。剥離片の一部がドライアイス噴射装置の出入り口部から飛散してしまうことがあるため、外部へ飛散した剥離片を回収するため、ドライアイス噴射装置４０の下部に電解酸性水を貯留させた電解酸性水槽６０（図１参照）を用いて剥離片の回収を行う。電解酸性水槽６０底部からの配管がポンプＰ３を介してフィルター槽６１に接続しており、フィルター槽６１で、剥離、飛散したアルカリ可溶型感光性樹脂の回収をおこなう。そして、フィルター槽６１からの配管は電解酸性水槽６０上部へ接続しており、ここでの電解酸性水は再利用して使用できる。 Moreover, the dry ice injection device 40 has a structure in which the outer peripheral portion is covered with a recovery cover. Since a part of the peeling piece may scatter from the entrance / exit part of the dry ice spraying device, in order to collect the peeling piece scattered to the outside, electrolysis with electrolytic acid water stored in the lower part of the dry ice jetting device 40 The peeled piece is collected using the acidic water tank 60 (see FIG. 1). A pipe from the bottom of the electrolytic acid water tank 60 is connected to the filter tank 61 via the pump P3, and the separated and scattered alkali-soluble photosensitive resin is collected in the filter tank 61. The piping from the filter tank 61 is connected to the upper part of the electrolytic acidic water tank 60, and the electrolytic acidic water here can be reused.

回収槽７０及び電解酸性水槽６０で使用する電解酸性水は効率よく剥離片を回収するため、ｐＨが４．０以下であることが好ましく、３．０以下であることがより好ましい。 The electrolytic acidic water used in the recovery tank 70 and the electrolytic acidic water tank 60 has a pH of preferably 4.0 or less and more preferably 3.0 or less in order to efficiently recover the peeled pieces.

ドライアイス噴射装置４０でドライアイス粒子の噴射がされ、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離された被洗浄体は次に電解酸性水噴霧装置５０へ運ばれる。 The dry ice particles are ejected by the dry ice spraying device 40 and the object to be cleaned from which the alkali-soluble photosensitive resin is peeled is then conveyed to the electrolytic acid water spraying device 50.

電解酸性水噴霧装置５０では、噴霧機５１から電解酸性水が被洗浄体に対して噴霧する構造となっている。電解酸性水装置内に貯留した電解酸性水は装置底部から、貯留した電解酸性水を引き抜くための配管がポンプＰ４を介してフィルター槽５２に接続している。フィルター槽５２で、剥離したアルカリ可溶型感光性樹脂の回収をおこなっており、フィルター槽５２からの配管が噴霧機５１に接続しており、電解酸性水を再利用して使用できる構成となっている。 The electrolytic acid water spray device 50 has a structure in which electrolytic acid water is sprayed from the sprayer 51 onto the object to be cleaned. The electrolytic acid water stored in the electrolytic acid water device is connected to the filter tank 52 through a pump P4 through a pipe for extracting the stored electrolytic acid water from the bottom of the device. The peeled alkali-soluble photosensitive resin is collected in the filter tank 52, the pipe from the filter tank 52 is connected to the sprayer 51, and the electrolytic acid water can be reused. ing.

ここで使用する電解酸性水は、剥離残渣を効率よく剥離するため、ｐＨは４．０以下であることが好ましく、３．０以下であることがより好ましい。また、温度は２０〜７０℃に加熱されたものであることが好ましいが、３５〜４５℃に加熱されたものは剥離残渣の除去に優れた効果を発揮することができ、また、電解酸性水の蒸発による減少も起こりにくいため、より好ましい。 The electrolytic acid water used here has a pH of preferably 4.0 or less, and more preferably 3.0 or less, in order to efficiently peel the peeling residue. Moreover, it is preferable that the temperature is heated to 20 to 70 ° C., but the one heated to 35 to 45 ° C. can exhibit an excellent effect in removing the peeling residue, It is more preferable because it is less likely to decrease due to evaporation.

また、噴霧時間は５〜１２０秒であることが好ましく、３０〜８０秒であることがより好ましい。１２０秒以上であると、洗浄効率が悪くなり、また、５秒以下であると剥離残渣を殆ど除去することができないため好ましくない。 The spraying time is preferably 5 to 120 seconds, and more preferably 30 to 80 seconds. If it is 120 seconds or more, the cleaning efficiency is deteriorated, and if it is 5 seconds or less, the peeling residue can hardly be removed.

次いで、電解酸性水噴霧装置５０で電解酸性水の噴霧された被洗浄体は水洗槽９０へ移り、被洗浄体表面に付着している電解酸性水の中和洗浄が行なわれる。その後、次工程へ移り、図示しない乾燥工程に運ばれる。 Next, the object to be cleaned sprayed with the electrolytic acid water by the electrolytic acid water spray device 50 is moved to the water washing tank 90, and neutralization cleaning of the electrolytic acid water adhering to the surface of the object to be cleaned is performed. Then, it moves to the next process and is carried to a drying process (not shown).

このようにしてアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離は終了する。 In this way, peeling of the alkali-soluble photosensitive resin is completed.

また、図７には、本発明を実施するための好ましいアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離装置全体の概要を示す別の一例が示されている。なお、以下のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離装置の説明においては、前記剥離装置と同一部分には同符合を付して、その説明を省略することにする。 Moreover, another example which shows the outline | summary of the preferable peeling apparatus of the alkali soluble photosensitive resin preferable for implementing this invention is shown by FIG. In the following description of the alkali-soluble photosensitive resin peeling device, the same parts as those of the peeling device are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

この剥離装置は基本的には、回収カバーに覆われたドライアイス噴射装置４０、電解アルカリ性水噴霧装置５５、電解酸性水噴霧装置５０、ドライアイス噴射装置４０から剥離された剥離片を回収するための電解酸性水槽６０、ドライアイス噴射装置４０内で剥離させた剥離片を回収するための回収槽７０で主に構成されており、図１に示した剥離装置との変更点として、ドライアイス噴射装置４０の後に、電解アルカリ性水噴霧装置５５が新たに設置されている点である。ここでは被洗浄体に電解アルカリ性水に噴霧が実施されており、ドライアイス粒子の噴射剥離により剥離しきれなかったアルカリ可溶型感光性樹脂の溶解がおこなわれる。 This peeling device basically recovers the peeled pieces peeled from the dry ice spray device 40, the electrolytic alkaline water spray device 55, the electrolytic acid water spray device 50, and the dry ice spray device 40 covered with the recovery cover. 1 is mainly composed of a recovery tank 70 for recovering the peeled pieces separated in the electrolytic acid water tank 60 and the dry ice spraying apparatus 40, and is different from the peeling apparatus shown in FIG. An electrolytic alkaline water spray device 55 is newly installed after the device 40. Here, spraying is performed on the object to be cleaned in electrolytic alkaline water, and the alkali-soluble photosensitive resin that cannot be completely peeled off by spraying and peeling off the dry ice particles is dissolved.

剥離残渣を効率的に溶解させるため、電解アルカリ性水のｐＨは１０．０以上であることが好ましく、１１．０以上であることがより好ましい。また、電解アルカリ性水は温度を２０〜７０℃に加熱したものであることが好ましく、５０〜６０℃に加熱されたものであることが、剥離残渣の膨潤力に優れているため、より好ましく使用することができる。 In order to dissolve the peeling residue efficiently, the pH of the electrolytic alkaline water is preferably 10.0 or more, and more preferably 11.0 or more. Moreover, it is preferable that electrolytic alkaline water is what was heated to 20-70 degreeC, and since it is excellent in the swelling power of peeling residue that it is what was heated to 50-60 degreeC, it is used more preferably. can do.

噴霧時間は１０〜６０秒であることが好ましく、３０〜５０秒であることがより好ましい。６０秒以上であると電解アルカリ性水が空気酸化することによりｐＨが低下して洗浄効率が悪くなり、また電解アルカリ性水の消費量も増えるため、コスト的な負担が増加し、また１０秒以下であると殆ど効果が見られないため好ましくない。 The spraying time is preferably 10 to 60 seconds, and more preferably 30 to 50 seconds. If it is 60 seconds or more, the electrolytic alkaline water is oxidized by air to lower the pH, resulting in poor cleaning efficiency, and the consumption of electrolytic alkaline water is increased, increasing the cost burden, and in 10 seconds or less. If it exists, the effect is hardly seen, which is not preferable.

次いで、電解酸性水噴霧装置５０へ移され、剥離残渣の除去、表面洗浄が実施される。その後、水洗槽９０へ移され、被洗浄体表面に付着している電解酸性水の中和洗浄が行なわれ、次工程へ移り、図示しない乾燥工程に運ばれ、このようにしてアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離が終了される。 Subsequently, it moves to the electrolytic acid water spraying apparatus 50, and removal of a peeling residue and surface cleaning are implemented. Thereafter, it is moved to a water washing tank 90, neutralized and washed with electrolytic acid water adhering to the surface of the object to be cleaned, transferred to the next step, and carried to a drying step (not shown). The peeling of the photosensitive resin is finished.

このように、ドライアイス噴射後の剥離残渣を処理する際、電解酸性水による洗浄を行う前に予め、電解アルカリ性水による洗浄を実施することで、電解酸性水による剥離残渣の処理をより効率的に実施することができる。 In this way, when treating the peeling residue after spraying dry ice, cleaning with electrolytic alkaline water is performed in advance before washing with electrolytic acidic water, so that the treatment of the peeling residue with electrolytic acidic water is more efficient. Can be implemented.

また、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離工程で使用する電解酸性水は、剥離片を溶解させることがないため、剥離片をフィルターろ過などで除去することにより再利用することができ、廃水の排出量を極めて低減できる。 In addition, since the acidic acidic water used in the peeling step of the alkali-soluble photosensitive resin does not dissolve the peeled piece, it can be reused by removing the peeled piece by filter filtration or the like. Emissions can be greatly reduced.

更に、水洗槽９０より排出される排水は微弱な酸性水であり、容易に処理することができる。電解酸性水とは基本的には水であるため、例えば、電解酸性水を生成する際、対極側の陰極で同時に生成される電解アルカリ性水と混合して中和処理することができ、また有機物を多く含む場合は、中和処理後、活性汚泥等を用い有機物を処理させるなどの操作をおこなうことで、容易に処理できる。 Furthermore, the waste water discharged from the rinsing tank 90 is weak acidic water and can be easily treated. Since the electrolytic acid water is basically water, for example, when generating the electrolytic acid water, it can be mixed with the electrolytic alkaline water generated at the same time at the cathode on the counter electrode side and neutralized. In the case of containing a large amount of water, it can be easily treated by performing an operation such as treatment of organic matter using activated sludge after neutralization.

また、電解アルカリ性水噴霧装置５５より排出される電解アルカリ性水にはアルカリ可溶型感光性樹脂が溶解しているが、アルカリ可溶型感光性樹脂は酸性領域で凝固、凝縮する性質があり、また、電解水は中性に戻りやすい性質を有しているため、ｐＨを下げて酸性領域にすることは容易であり、溶解している剥離片の回収を実施することができる。電解アルカリ性水も電解酸性水同様、基本的には水であるため、例えば、電解アルカリ性水を生成する際、対極側の陽極で同時に生成される電解酸性水と混合し、水溶液のｐＨを４．０以下とすることで、溶解していた剥離片を析出させることができ、ろ過処理などの操作により容易に溶解していた剥離片を回収することができる。剥離片の回収後、再度電解アルカリ性水などのアルカリ水を加え、中和処理するなどの操作をおこなうことで、容易に処理できる。 Moreover, although the alkali-soluble photosensitive resin is dissolved in the electrolytic alkaline water discharged from the electrolytic alkaline water spray device 55, the alkali-soluble photosensitive resin has a property of solidifying and condensing in an acidic region. Moreover, since electrolyzed water has the property of easily returning to neutrality, it is easy to lower the pH to an acidic region, and it is possible to recover the peeled pieces that are dissolved. Since electrolytic alkaline water is basically water like electrolytic acidic water, for example, when electrolytic alkaline water is produced, it is mixed with electrolytic acidic water simultaneously produced at the anode on the counter electrode side to adjust the pH of the aqueous solution to 4. By setting it to 0 or less, the peeled pieces that have been dissolved can be deposited, and the peeled pieces that have been easily dissolved by an operation such as filtration can be recovered. After the peeled piece is collected, it can be easily treated by adding neutral water such as electrolytic alkaline water again and neutralizing it.

また、本発明の別の態様では、図示しないが、図７の電解アルカリ性水噴霧装置５５をアルカリ性薬品溶液噴霧槽としてもよい。この態様においては、アルカリ性薬品溶液噴霧槽にて、被洗浄体へのアルカリ性薬品溶液の噴霧がなされており、ドライアイス粒子の噴射剥離により剥離しきれなかったアルカリ可溶型感光性樹脂の溶解がおこなわれる。 Further, in another aspect of the present invention, although not shown, the electrolytic alkaline water spray device 55 in FIG. 7 may be an alkaline chemical solution spray tank. In this embodiment, the alkaline chemical solution is sprayed onto the object to be cleaned in the alkaline chemical solution spray tank, and the dissolution of the alkali-soluble photosensitive resin that could not be completely peeled off by the spray peeling of the dry ice particles is achieved. It is carried out.

剥離残渣を効率的に溶解させるため、アルカリ性薬品溶液のｐＨは１０．０以上であることが好ましく、１１．０以上であることがより好ましい。また、アルカリ性薬品溶液は温度を２０〜７０℃に加熱したものであることが好ましく、５０〜６０℃に加熱されたものであることが、剥離残渣の膨潤力に優れているため、より好ましく使用することができる。 In order to dissolve the peeling residue efficiently, the pH of the alkaline chemical solution is preferably 10.0 or more, and more preferably 11.0 or more. In addition, the alkaline chemical solution is preferably heated to 20 to 70 ° C, and more preferably used because it is heated to 50 to 60 ° C because of excellent swelling power of the peeling residue. can do.

噴霧時間は１０〜６０秒であることが好ましく、３０〜５０秒であることがより好ましい。６０秒以上であると電解アルカリ性水が空気酸化することによりｐＨが低下して洗浄効率が悪くなり、またアルカリ性薬品溶液の消費量も増えるため、コスト的な負担や排水量が増加し、また１０秒以下であると殆ど効果が見られないため好ましくない。 The spraying time is preferably 10 to 60 seconds, and more preferably 30 to 50 seconds. If it is longer than 60 seconds, the electrolytic alkaline water is oxidized by air to lower the pH, resulting in poor cleaning efficiency, and the consumption of the alkaline chemical solution is increased. The following is not preferable because almost no effect is seen.

次いで、電解酸性水噴霧装置へ移され、剥離残渣の除去、表面洗浄が実施される。その後、水洗槽へ移され、被洗浄体表面に付着している電解酸性水の中和洗浄が行なわれ、次工程へ移り、乾燥工程に運ばれ、このようにしてアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離が終了される。 Subsequently, it is moved to an electrolytic acid water spray device, and removal of peeling residue and surface cleaning are performed. After that, it is transferred to a washing tank, neutralized and washed with electrolytic acid water adhering to the surface of the object to be cleaned, transferred to the next process, and transported to the drying process, thus alkali-soluble photosensitive resin The peeling of is finished.

なお、アルカリ性薬品溶液噴霧槽から排出される廃液にはアルカリ性薬品溶液にはアルカリ可溶型感光性樹脂が溶解しているが、アルカリ可溶型感光性樹脂は酸性領域で凝固、凝縮する性質があるため、ｐＨを下げて酸性領域を下げて酸性領域とすることで、溶解している剥離片の回収を実施することができる。そして、剥離片の回収後、再度アルカリ性薬品溶液などのアルカリ水を加え、中和処理するなどの操作をおこなうことで、容易に処理できる。また、従来のアルカリ性薬品の使用量に比較して著しく使用量を低下させることが可能であるため、排水処理の負荷を激減させることが可能となる。 In the waste liquid discharged from the alkaline chemical solution spray tank, the alkali-soluble photosensitive resin is dissolved in the alkaline chemical solution, but the alkali-soluble photosensitive resin has the property of solidifying and condensing in the acidic region. For this reason, the peeled pieces that have been dissolved can be recovered by lowering the pH and lowering the acidic region to the acidic region. And after collection | recovery of a peeling piece, it can process easily by performing operations, such as adding alkaline water, such as an alkaline chemical solution, and neutralizing again. Further, since the amount of use can be significantly reduced as compared with the amount of conventional alkaline chemicals used, the load of waste water treatment can be drastically reduced.

このように、アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離、及びその回収にドライアイス粒子、電解酸性水、電解アルカリ性水、アルカリ性薬品溶液を用いることで、従来の薬品のみによる剥離方法に比べ容易にアルカリ可溶型感光性樹脂を剥離することができると共に、剥離片の回収、及び廃液の処理が容易なものとなる。 As described above, by using dry ice particles, electrolytic acid water, electrolytic alkaline water, and alkaline chemical solution for peeling and recovering the alkali-soluble photosensitive resin, it is easier to remove alkali than the conventional chemical-only peeling method. The soluble photosensitive resin can be peeled off, and the strips can be easily collected and the waste liquid treated.

以下、本発明を実施例によって更に詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. In addition, this invention is not limited to a following example.

（プリント配線基板の製作）
プリント配線基板（基板材質：ガラスエポキシ樹脂）の表面にパネルメッキ法により、厚み（基材からの総厚み）２３μｍの銅膜を形成し、更にこの表面にポジ形のアルカリ可溶型感光性樹脂（日立化成製）をラミネートしたものを使用した。そして、この基板にパターンの切られたマスクを被せ、紫外線照射を行った。未硬化部分を３０℃に加熱した炭酸ナトリウム１％水溶液で膨潤させ除去した。硬化したアルカリ可溶型感光性樹脂をマスク材とし、塩化第二鉄液によるエッチングを行った。(Production of printed wiring board)
A copper film having a thickness (total thickness from the base material) of 23 μm is formed on the surface of a printed wiring board (substrate material: glass epoxy resin) by panel plating, and a positive alkali-soluble photosensitive resin is further formed on the surface. A laminate of (made by Hitachi Chemical) was used. Then, the substrate was covered with a mask with a pattern cut and irradiated with ultraviolet rays. The uncured portion was removed by swelling with a 1% aqueous solution of sodium carbonate heated to 30 ° C. Etching with a ferric chloride solution was performed using the cured alkali-soluble photosensitive resin as a mask material.

（電解酸性水及び電解アルカリ性水の製造）
電解原水としてイオン交換水、電解質として塩化ナトリウムを用いて、図１に示した装置を使用して、電圧６０Ｖ、電流２２Ａ、酸性イオン水の流量１．８リットル／分、アルカリイオン水の流量２．０リットル／分の条件で電解を行い、電解酸性水、及び電解アルカリ性水を製造した。こうして得られた電解酸性水、及び電解アルカリ性水について、酸化還元電位（ＯＲＰ）、残留塩素濃度（ｐｐｍ）、ｐＨを測定し、その結果を表１に示した。(Production of electrolytic acid water and electrolytic alkaline water)
Using ion exchange water as the electrolytic raw water and sodium chloride as the electrolyte, using the apparatus shown in FIG. 1, voltage 60V, current 22A, flow rate of acidic ion water 1.8 liters / minute, flow rate 2 of alkaline ion water 2 Electrolysis was performed under the condition of 0.0 liter / min to produce electrolytic acidic water and electrolytic alkaline water. The electrolytic acid water and electrolytic alkaline water thus obtained were measured for redox potential (ORP), residual chlorine concentration (ppm) and pH, and the results are shown in Table 1.

ここで、ｐＨ及び酸化還元電位は、堀場製作所製のｐＨ／イオンメーターを用いて測定した。

Here, pH and oxidation-reduction potential were measured using a pH / ion meter manufactured by Horiba.

〔実施例１〕
図２に示すリングコンベアー４１に６００ｍｍ角に調整した上記プリント配線基板を設置搬送し、ドライアイス噴射装置４０で、平均粒径３０μｍ程度のドライアイスを、ノズル形状が円筒型のものを用いて、噴射圧０．７ＭＰａで１５秒間プリント配線基板の両面に対し噴射した。そして、飛散した剥離片は図５の回収槽７０と、電解酸性水槽６０で回収した。[Example 1]
The above-described printed wiring board adjusted to 600 mm square is installed and transported to the ring conveyor 41 shown in FIG. 2, and dry ice having an average particle size of about 30 μm is used with a dry ice spray device 40, using a cylindrical nozzle. It sprayed with respect to both surfaces of the printed wiring board for 15 second with the injection pressure of 0.7 MPa. And the peeled-off peeling piece was collect | recovered with the collection tank 70 of FIG.

次いで、４０℃の電解酸性水を、０．１５ＭＰａの水圧で、２０秒間噴霧した。 Next, electrolytic acidic water at 40 ° C. was sprayed for 20 seconds at a water pressure of 0.15 MPa.

続いて、上水を０．１５Ｍｐａの水圧で、３０秒間、水洗装置による洗浄を行い、十分乾燥させた後、基板の状態観察を行った。 Subsequently, the clean water was washed with a water washing apparatus at a water pressure of 0.15 Mpa for 30 seconds and sufficiently dried, and then the state of the substrate was observed.

〔実施例２〕
図７に示すリングコンベアー４１に６００ｍｍ角に調整した上記プリント配線基板を設置搬送し、ドライアイス噴射装置４０で、平均粒径３０μｍ程度のドライアイスを、ノズル形状が円筒型のものを用いて、噴射圧０．７ＭＰａで１５秒間プリント配線基板の両面に対し噴射した。そして、飛散した剥離片は図５の回収槽７０と、電解酸性水槽６０で回収した。[Example 2]
The above-described printed wiring board adjusted to a 600 mm square is installed and transported on the ring conveyor 41 shown in FIG. 7, and dry ice having an average particle size of about 30 μm is used with a dry ice spray device 40 using a cylindrical nozzle. It sprayed with respect to both surfaces of the printed wiring board for 15 second with the injection pressure of 0.7 MPa. And the peeled-off peeling piece was collect | recovered with the collection tank 70 of FIG.

次いで、５０℃の電解アルカリ性水を０．１５Ｍｐａの水圧で３０秒間噴霧した。 Next, electrolytic alkaline water at 50 ° C. was sprayed at a water pressure of 0.15 Mpa for 30 seconds.

続いて、４０℃の電解酸性水を、０．１５ＭＰａの水圧で、２０秒間、噴霧したのち、上水を０．１５Ｍｐａの水圧で、３０秒間、水洗装置による洗浄を行い、十分乾燥させた後、基板の状態観察を行った。 Subsequently, after the electrolytic acid water at 40 ° C. was sprayed for 20 seconds at a water pressure of 0.15 MPa, the clean water was washed with a water washing device at a water pressure of 0.15 Mpa for 30 seconds and sufficiently dried. The state of the substrate was observed.

〔実施例３〕
円筒型のノズル形状のものを用い、ドライアイスの噴射圧を０．０１６ＭＰａとし、噴射時間を６０秒間とした以外は、実施例１と同様にして実施例３のプリント配線基板を製造し、十分乾燥させた後、基板の状態観察を行った。Example 3
A printed wiring board of Example 3 was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a cylindrical nozzle shape was used, the spraying pressure of dry ice was 0.016 MPa, and the spraying time was 60 seconds. After drying, the state of the substrate was observed.

〔実施例４〕
円筒型のノズル形状のものを用い、ドライアイスの噴射圧を０．０１６ＭＰａとし、噴射時間を６０秒間とした以外は、実施例２と同様にして実施例４のプリント配線基板を製造し、十分乾燥させた後、基板の状態観察を行った。Example 4
A printed wiring board of Example 4 was manufactured in the same manner as in Example 2 except that a cylindrical nozzle shape was used, the spraying pressure of dry ice was 0.016 MPa, and the spraying time was 60 seconds. After drying, the state of the substrate was observed.

（観察項目）
剥離残渣の確認、打痕の有無、水滴の痕の有無、剥離片の回収確認を３０倍の実体顕微鏡、及び目視より行った。(Observation items)
The confirmation of the peeling residue, the presence or absence of a dent, the presence or absence of a water drop, and the recovery of the peeled piece were confirmed with a 30-fold stereo microscope and visually.

（観察結果）
実施例１〜４のプリント配線基板上に剥離残渣、打痕、水滴の痕、及び微細な傷はなく、清浄な表面状態を得ることができた。また、実施例１、２に関しては薄板基板の場合銅箔が延びる現象が見受けられたが、実施例３、４のプリント配線基板は、銅膜が延びることがなく、寸法精度の極めて良好なものであった。(Observation results)
There were no peeling residue, dents, traces of water droplets, and fine scratches on the printed wiring boards of Examples 1 to 4, and a clean surface state could be obtained. In addition, with respect to Examples 1 and 2, a phenomenon was observed in which the copper foil extended in the case of a thin board, but the printed wiring boards of Examples 3 and 4 had very good dimensional accuracy without extending the copper film. Met.

ここで、実施例１、２と、実施例３、４との違いは、ドライアイス粒子を噴射する装置の相違で、実施例１、２で使用した噴射装置は、エアーコンプレッサーのエアー圧でドライアイス粒子を噴射するもの、実施例３、４で使用した噴射装置は、ブロワーを利用し、ドライアイス粒子を圧力ではなく粒子速度を上げて噴射するものである。そして、実施例３、４で使用した噴射装置の方が、被洗浄体が薄板の場合は良好であった。 Here, the difference between Examples 1 and 2 and Examples 3 and 4 is the difference in the apparatus for injecting dry ice particles. The injection apparatus used in Examples 1 and 2 is dry by the air pressure of the air compressor. Injecting ice particles, the injection device used in Examples 3 and 4 uses a blower to inject dry ice particles at a particle velocity rather than pressure. And the injection apparatus used in Examples 3 and 4 was better when the object to be cleaned was a thin plate.

以上の結果より、本発明のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法によれば、プリント配線基板からアルカリ可溶型感光性樹脂を容易に剥離させることができ、また、清浄な加工表面を得ることができる。 From the above results, according to the method for peeling an alkali-soluble photosensitive resin of the present invention, the alkali-soluble photosensitive resin can be easily peeled from the printed wiring board, and a clean processed surface is obtained. be able to.

本発明によれば、例えば、プリント配線基板の製造において、工業廃水の排出量を大幅に抑えることができる。
According to the present invention, for example, in the production of a printed wiring board, the amount of industrial wastewater discharged can be significantly reduced.

Claims

アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離工程において、前記感光性樹脂が付着した被洗浄体にドライアイス粒子を噴射した後に、電解酸性水による洗浄を行うことを特徴とするアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 An alkali-soluble photosensitive resin, wherein in the step of removing the alkali-soluble photosensitive resin, after the dry ice particles are sprayed onto the object to be cleaned, the substrate is cleaned with electrolytic acid water. Peeling method.

アルカリ可溶型感光性樹脂の剥離工程において、前記感光性樹脂が付着した被洗浄体にドライアイス粒子を噴射した後に、電解アルカリ性水又はアルカリ性薬品溶液による洗浄を行うことを特徴とするアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 In the step of stripping the alkali-soluble photosensitive resin, after the dry ice particles are sprayed onto the object to be cleaned to which the photosensitive resin is adhered, washing with electrolytic alkaline water or an alkaline chemical solution is performed. Type photosensitive resin peeling method.

前記被洗浄体を電解アルカリ性水又はアルカリ性薬品溶液で洗浄した後、更に電解酸性水による洗浄を行う請求項２に記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The method for peeling an alkali-soluble photosensitive resin according to claim 2, wherein the object to be cleaned is washed with electrolytic alkaline water or an alkaline chemical solution, and further washed with electrolytic acidic water.

前記被洗浄体にドライアイス粒子を噴射する際、その周囲を回収用カバーで覆っておき、かつ、剥離、飛散した前記感光性樹脂を回収用カバー内から吸引して回収する請求項１〜３のいずれか一つに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 4. When spraying dry ice particles onto the object to be cleaned, the periphery thereof is covered with a recovery cover, and the peeled and scattered photosensitive resin is recovered by suction from within the recovery cover. The peeling method of the alkali-soluble photosensitive resin as described in any one of these.

前記回収用カバーの少なくとも表面が、フッ素樹脂又はシリコン樹脂で形成されている請求項４記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The alkali-soluble photosensitive resin peeling method according to claim 4, wherein at least a surface of the recovery cover is formed of a fluororesin or a silicon resin.

吸引された前記感光性樹脂を、サイクロン流による遠心力を利用した回収方法、エアーフィルターによる回収方法、及び、電解酸性水が貯留された水槽内に導入して凝固沈殿させる回収方法から選ばれた少なくとも一種以上の方法で回収する請求項４又は５に記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The suctioned photosensitive resin was selected from a recovery method using a centrifugal force by a cyclone flow, a recovery method using an air filter, and a recovery method for introducing and solidifying and precipitating electrolytic acid water in a water tank. The alkali-soluble photosensitive resin peeling method according to claim 4 or 5, wherein the alkali-soluble photosensitive resin is collected by at least one method.

前記ドライアイス粒子の噴射工程において、直径が５〜５０μｍのドライアイス粒子を用い、噴射圧を０．０１〜５．０ＭＰａ、噴射時間を５〜１２０秒とする請求項１〜６のいずれか１つに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 7. The dry ice particle injection step uses dry ice particles having a diameter of 5 to 50 μm, an injection pressure of 0.01 to 5.0 MPa, and an injection time of 5 to 120 seconds. The peeling method of alkali-soluble type photosensitive resin as described in one.

前記電解酸性水のｐＨが４．０以下、残留塩素濃度が１５ｐｐｍ以下である請求項１、３〜７のいずれか１つに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The pH of the electrolytic acid water is 4.0 or less, and the residual chlorine concentration is 15 ppm or less. The method for stripping an alkali-soluble photosensitive resin according to any one of claims 1 and 3-7.

前記電解アルカリ性水のｐＨが１０．０以上、酸化還元電位が−５０ｍＶ以下である請求項２〜８のいずれか１つに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The method for peeling an alkali-soluble photosensitive resin according to any one of claims 2 to 8, wherein the pH of the electrolytic alkaline water is 10.0 or more and the oxidation-reduction potential is -50 mV or less.

前記被洗浄体を、搬送しながら、その上下両面からドライアイス粒子を噴射する請求項１〜９のいずれかに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 The method for peeling an alkali-soluble photosensitive resin according to any one of claims 1 to 9, wherein dry ice particles are sprayed from both upper and lower surfaces while conveying the object to be cleaned.

前記被洗浄体の上下面のうち一方の面をベルト状の搬送機構で支持し、残った他方の面からドライアイス粒子を噴射する請求項１〜９のいずれか１つに記載のアルカリ可溶型感光性樹脂の剥離方法。 10. The alkali-soluble composition according to claim 1, wherein one of the upper and lower surfaces of the object to be cleaned is supported by a belt-like transport mechanism, and dry ice particles are jetted from the remaining surface. Type photosensitive resin peeling method.