JPS645115U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS645115U JPS645115U JP9916887U JP9916887U JPS645115U JP S645115 U JPS645115 U JP S645115U JP 9916887 U JP9916887 U JP 9916887U JP 9916887 U JP9916887 U JP 9916887U JP S645115 U JPS645115 U JP S645115U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- bimorph
- quantity sensor
- mechanical quantity
- diaphragm
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第1図A〜Cは本考案に係る圧電型力学量セン
サの第1の実施例を示し、Aが平面図、Bがその
P―P線断面図、Cが底面図である。第2図はそ
の等価回路図である。第3図は本考案の第2の実
施例の要部を示す構成図、第4図はバイモルフ構
造を採用した従来の圧電型力学量センサの全体構
成を示す概略図、第5図Aは第4図の圧電ダイア
フラム部分を示す平面図、第5図Bはその側面図
である。 6a〜6d:圧電素子、7:圧電体、8a,8
b:電極、9,10,19:リード線、11,1
2:端子、18:小孔、500,501,502
:基体薄板、A,B:圧電ダイアフラム。
サの第1の実施例を示し、Aが平面図、Bがその
P―P線断面図、Cが底面図である。第2図はそ
の等価回路図である。第3図は本考案の第2の実
施例の要部を示す構成図、第4図はバイモルフ構
造を採用した従来の圧電型力学量センサの全体構
成を示す概略図、第5図Aは第4図の圧電ダイア
フラム部分を示す平面図、第5図Bはその側面図
である。 6a〜6d:圧電素子、7:圧電体、8a,8
b:電極、9,10,19:リード線、11,1
2:端子、18:小孔、500,501,502
:基体薄板、A,B:圧電ダイアフラム。
Claims (1)
- 基体薄板の表裏両面にそれぞれ圧電素子を設け
たバイモルフ型圧電ダイアフラムを有する圧電型
力学量センサにおいて、少なくとも一対の前記バ
イモルフ型圧電ダイアフラムを備えると共に、こ
の各圧電ダイアフラムのバイモルフ出力を焦電電
圧によるノイズが打ち消されるよう並列接続した
ことを特徴とする圧電型力学量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9916887U JPS645115U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9916887U JPS645115U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS645115U true JPS645115U (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=31326074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9916887U Pending JPS645115U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS645115U (ja) |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP9916887U patent/JPS645115U/ja active Pending