JPS6426831U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426831U JPS6426831U JP12275387U JP12275387U JPS6426831U JP S6426831 U JPS6426831 U JP S6426831U JP 12275387 U JP12275387 U JP 12275387U JP 12275387 U JP12275387 U JP 12275387U JP S6426831 U JPS6426831 U JP S6426831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- small hole
- manufacturing
- utility
- scope
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Description
第1図および第2図は、それぞれ本考案の第1
および第2の実施例の平面図、第3図は、従来の
半導体基板の平面図である。 図において、1……半導体ウエハー、2……小
孔、3……オリエンテーシヨン・フラツト。
および第2の実施例の平面図、第3図は、従来の
半導体基板の平面図である。 図において、1……半導体ウエハー、2……小
孔、3……オリエンテーシヨン・フラツト。
Claims (1)
- 半導体装置の製造に用いられる半導体基板にお
いて、前記半導体基板の所定の部位に円形の小孔
を備えることを特徴とする半導体基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12275387U JPS6426831U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12275387U JPS6426831U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6426831U true JPS6426831U (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=31370977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12275387U Pending JPS6426831U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6426831U (ja) |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12275387U patent/JPS6426831U/ja active Pending