JPS6414157U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6414157U JPS6414157U JP10852287U JP10852287U JPS6414157U JP S6414157 U JPS6414157 U JP S6414157U JP 10852287 U JP10852287 U JP 10852287U JP 10852287 U JP10852287 U JP 10852287U JP S6414157 U JPS6414157 U JP S6414157U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- leg
- arc discharge
- discharge type
- holding table
- Prior art date
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- Pending
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を適用した真空ア
ーク放電型ＰＶＤ装置の概略図、第２図はコーテ
イング治具の正面図である。 １……真空槽、２……ワーク保持台、３……コ
ーテイング治具、４……基台、５……脚、６……
ワーク、７……載置台。
ーク放電型ＰＶＤ装置の概略図、第２図はコーテ
イング治具の正面図である。 １……真空槽、２……ワーク保持台、３……コ
ーテイング治具、４……基台、５……脚、６……
ワーク、７……載置台。
Claims (1)
- 真空槽内に配置されたワーク保持台に載置され
る真空アーク放電型ＰＶＤ装置のコーテイング治
具であつて、前記ワーク保持台に載置される平板
形の基台と、この基台に下端部が立設されて前記
基台よりも細い幅を有する脚と、この脚の上端部
に取付けられて前記脚よりも大きい幅を有して上
表面にワークが載置される平板形の載置台とを備
え、前記基台と前記載置台との間の間隔を５０mm
以上としたことを特徴とする真空アーク放電型Ｐ
ＶＤ装置のコーテイング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10852287U JPS6414157U (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10852287U JPS6414157U (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414157U true JPS6414157U (ja) | 1989-01-25 |
Family
ID=31343936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10852287U Pending JPS6414157U (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6414157U (ja) |
-
1987
- 1987-07-14 JP JP10852287U patent/JPS6414157U/ja active Pending
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