JPS6392444A - Conductive barrier film - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、導電性バリヤーフィルムに関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to electrically conductive barrier films.

更に詳しくは、外表面の導電性が高く、透視性があり、
水蒸気や酸素ガス等のバリヤー性に優れ腐蝕性ガスを発
生しない等の優れた性質を有し、殊にＩＣ，ＬＳＩの如
き電子部品のように静電気障害に弱く、水分や腐蝕性ガ
スにより損傷しやすい物品の包装に適した導電性バリヤ
ーフィルムに関する。More specifically, the outer surface has high conductivity and transparency,
It has excellent properties such as excellent barrier properties against water vapor and oxygen gas, and does not generate corrosive gases, and is particularly vulnerable to static electricity damage, such as electronic components such as ICs and LSIs, and is easily damaged by moisture and corrosive gases. The present invention relates to a conductive barrier film suitable for packaging easy-to-use articles.

［従来の技術］ 電子部品のうちＩＣ，、ＬＳＩ等の半導体製品あるいは
その中間製品は、僅かな静電気の放電あるいは静電界の
影響によってもその機能が破壊されてしまうという弱点
を有している。この静電放電は、電子部品の包装体の包
装材の内側と外側とで生じる。すなわち、包装体内で電
子部品が動き、包装材の内面と摩擦して静電気を生起さ
せ、この静電気がエレクトロニクスデバイスの導電部に
流入して電子部品の破壊が起る。[Prior Art] Among electronic components, semiconductor products such as ICs, LSIs, and intermediate products thereof have a weakness in that their functions are destroyed even by the slightest discharge of static electricity or the influence of an electrostatic field. This electrostatic discharge occurs inside and outside the packaging material of the electronic component package. That is, the electronic component moves within the package and rubs against the inner surface of the packaging material to generate static electricity, which flows into the conductive portion of the electronic device, causing destruction of the electronic component.

また、包装体が外部の物と接触・摩擦することによって
包装材が帯電し、この静電気が電子部品に流入すること
によっても破壊が起こる。更に包装体が静電界中に置か
れた場合に包装材の静電気シールド性が低い場合には包
装材の中の電子部品は静電界にさらされ、その結果電子
部品の破壊が起こる。Furthermore, when the packaging material comes into contact with and rubs against an external object, the packaging material becomes electrically charged, and this static electricity flows into electronic components, causing destruction. Further, when the package is placed in an electrostatic field and the electrostatic shielding properties of the packaging material are low, electronic components within the packaging material are exposed to the electrostatic field, resulting in destruction of the electronic components.

また、電子部品の包装体は税関等の検査で包装体内部が
透視し得ることが要求される。これは、内部が透視でき
ない場合には包装材を破って検査することとなるが、包
装材が破られてしまうと、電子部品は、静電気に対して
未保護の状態になる為、その後の取り扱いや輸送の過程
で使用不可能となってしまう。Moreover, the packaging for electronic components is required to be able to see through the inside of the packaging during inspection by customs authorities and the like. If the inside cannot be seen through, the packaging material must be torn for inspection, but if the packaging material is torn, the electronic components will be unprotected from static electricity, so they must be handled afterwards. or become unusable during the transportation process.

また、フラットパッケージＩＣのように、パッケージ厚
みの薄い電子部品をノ、（板に組み込む際に、ペーパー
フェイスソレダリングのように２３０°Ｃという高温雰
囲気中でハンダ伺けすると、パッケージ割れがおこる現
象が知られている。In addition, when electronic components with thin packages such as flat package ICs are assembled into a board, if soldering is performed in a high temperature atmosphere of 230°C as in paper face soldering, the package may crack. It has been known.

最近の研究では、この現象はフラットパッケージＩＣが
パッケージを通して吸湿し、この水分が）＼ンダ伺けで
一気に高温に熱せられて蒸発気化して急膨張するために
起こるものであることが明らかにされた。このことから
、ＩＣを包装体で包み、−・定の乾燥状態にして保管す
る必要性が認識されるに４くっている。Recent research has revealed that this phenomenon occurs because the flat package IC absorbs moisture through the package, and this moisture is heated to a high temperature at once, evaporates, and expands rapidly. Ta. For this reason, it has been recognized that it is necessary to wrap ICs in packages and store them in a constant dry state.

また、磁気ディスク装置のように、静電気に対して敏感
なだけでなく、湿気と酸素によってさびを発生しやすい
電子部品のあることも知られている。It is also known that there are electronic components, such as magnetic disk drives, that are not only sensitive to static electricity, but also susceptible to rust due to moisture and oxygen.

静電気障害に弱いＩＣ等の電子部品を収納し、内部を透
視できる包装材として従来帯電防１１、剤をねり込んだ
ポリ第１／フインフイルムおよび、透視できる程度に金
属薄層を被覆したフィルムと帯電防１１−剤をねり込ん
だポリオレフィンフィルムとのラミネートフィルムが知
られている（金属薄層を被覆したものについては、ＵＳ
Ｐ　４，１５４，３４４号、ＵＳＰ　４，１５６，７５
１号参照）。Conventional static protection 11 is used as a packaging material for housing electronic components such as ICs that are susceptible to static electricity damage and allows the interior to be seen through, poly 1/fin film coated with an agent, and film coated with a thin metal layer to the extent that it can be seen through. A laminated film with a polyolefin film in which an antistatic agent is incorporated is known (for those coated with a thin metal layer, the US
P 4,154,344, USP 4,156,75
(See No. 1).

［発明が解決しようとする問題点］ ところが、前者は帯電防止性能が低く、特に湿度が低く
なると帯電防止性能が非常に低下するという欠点を有し
、また水蒸気バリヤー性に劣るものであった。[Problems to be Solved by the Invention] However, the former has a drawback in that its antistatic performance is low, particularly when the humidity is low, the antistatic performance is significantly reduced, and it is also inferior in water vapor barrier properties.

また、校名は、静電気障害には有効であるが、水蒸気バ
リヤー性や酸素バリヤー層１に難があった。In addition, although the name of the school was effective against static electricity damage, it had problems with water vapor barrier properties and oxygen barrier layer 1.

バリヤー性を改善する為に、アルミ箔を貼合したフィル
ムもあるが、内部を透視できないだけでなく、帯電防１
１−性能が劣るものであった。Some films are laminated with aluminum foil to improve barrier properties, but not only can the interior not be seen through, but the static protection level is 1.
1-Performance was poor.

このように静′市気障害を起さず、水蒸気や酸素のバリ
ヤー性に優れたフィルムがないために、」−記のごとき
帯電防１１―性能を有するフィルムを包装材とした包装
体の中にシリカゲルを多量に入れて包装間体内を−・定
湿度以−ドの乾燥状態にすることが提案されているが、
水蒸気バリヤー性が不足している為、シリカゲルの吸湿
性能が低下してしまい、輸送、保管中に電子部品が吸湿
してしまったり、サビを発生してしまう等の難があった
。また、帯電防止性能を有するフィルムに包装した後、
アルミ箔を貼合したフィルムで再包装することが提案さ
れているが、中身が見えない為、袋を開封してしまうト
ラブルや、包装に時間がかかる等の問題があった。Because there is no film that does not cause static air pollution and has excellent barrier properties against water vapor and oxygen, it is necessary to use a film that has anti-static properties as described in ``11'' as a packaging material. It has been proposed that a large amount of silica gel be added to the packaging to keep the inside of the packaging dry at a constant humidity level or higher.
Due to the lack of water vapor barrier properties, the moisture absorption performance of silica gel deteriorates, causing problems such as electronic components absorbing moisture during transportation and storage, and causing rust. In addition, after being packaged in a film with antistatic performance,
It has been proposed to repackage the product using a film laminated with aluminum foil, but since the contents cannot be seen, there are problems with opening the bag and the time it takes to wrap it.

［問題点を解決するための１段及び作用］本発明によれ
ば、少なくとも導電層と、硬質プラスチックよりなる支
持層と、バリヤー層と帯電防止性シーラント層とを有す
るフィルムであって、導電層と帯電防■Ｉ−性シーラン
ト層は各々が該フィルムのいずれか片側の外表層として
配置され、かつバリヤー層が導電層と接触しないように
配置されてなることを特徴とする導電性バリヤーフィル
ムが提供される。[Steps and effects for solving the problems] According to the present invention, there is provided a film having at least a conductive layer, a support layer made of a hard plastic, a barrier layer and an antistatic sealant layer, the conductive layer and antistatic sealant layer are each disposed as an outer surface layer on either side of the film, and the barrier layer is disposed so as not to come into contact with the conductive layer. provided.

硬質プラスチックよりなる支持層とは、融点１４０°Ｃ
以上の硬質の合成樹脂により形成された層をいう。支持
層としては、例えばナイロン−６（Ｎｙ−６）、ナイロ
ン−６６（Ｎｙ−６６）、ナイロン−６１０（Ｎｙ−６
１０）等のポリアミド樹脂；ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）　、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ
）等の芳香族ポリエステル樹脂のように耐熱性に優れる
だけでなく、強度が大きくバリヤー性の大きいものが好
ましい。また、これらの樹脂は二軸配向したフィルム層
であるのが強度等、種々の物性が良好であり好ましい。The support layer made of hard plastic has a melting point of 140°C.
This refers to a layer formed from the above hard synthetic resin. As the support layer, for example, nylon-6 (Ny-6), nylon-66 (Ny-66), nylon-610 (Ny-6
10) Polyamide resins such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT)
) and other aromatic polyester resins that not only have excellent heat resistance but also high strength and barrier properties are preferred. Further, it is preferable that these resins have a biaxially oriented film layer because various physical properties such as strength are good.

−１−記の樹脂よりも多少物性は劣るが二軸配向ポリプ
ロピレンフィルム（ｏｐｐ）や、二軸延伸ポリスチレン
フィルム、二軸延伸ポリビニルアルコールフィルム、二
軸延伸エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルムも
、本発明の支持層として使用可能である。Biaxially oriented polypropylene film (OPP), biaxially oriented polystyrene film, biaxially oriented polyvinyl alcohol film, and biaxially oriented ethylene-vinyl alcohol copolymer film are also used, although their physical properties are somewhat inferior to the resin described in -1-. It can be used as a support layer for the invention.

支持層の厚さは５Ｂｍ〜１００　ｇｍの範囲で選ぶのが
好ましい。薄すぎる場合は、フィルム全体の強度、膜が
強くなり、厚すぎる場合は包装材のフィルムとして取扱
い難くなる。なお後述のように支持層を複数設けた場合
［後述の（４）、　（５）。The thickness of the support layer is preferably chosen in the range from 5 Bm to 100 gm. If it is too thin, the strength of the entire film and the film will be strong, and if it is too thick, it will be difficult to handle as a packaging film. Note that when a plurality of support layers are provided as described below [(4) and (5) described below.

（９）、　（１０）の層構成］は、支持層の合計厚さが
」１記範囲内にあればよい。(9) and (10)], the total thickness of the supporting layers may be within the range described in 1.

本発明における導電層とは、■基層（」１記の硬質プラ
スチック層が基層となる場合が多く、透明なプラスチッ
ク層である。）に形成されたカーボンブラックの塗布層
、または■基層に形成さりた金属の蒸着薄膜または金属
微粉末塗料である。The conductive layer in the present invention is: ■ a carbon black coating layer formed on the base layer (the hard plastic layer described in ``1'' is often the base layer, and is a transparent plastic layer), or ■ a carbon black coating layer formed on the base layer. It is a vapor-deposited thin film of metal or a fine metal powder coating.

本発明の導電層の表面に表層として厚さ０．２　ｐ、ｍ
〜１０μｍの透明なプラスチック層を形成させると導電
層が保護され好ましい。The surface layer of the conductive layer of the present invention has a thickness of 0.2 p, m.
It is preferable to form a transparent plastic layer of ~10 μm to protect the conductive layer.

カーボンブラックの塗布層の表面に」１記の表層を形成
した態様をとる場合には、表層に対しカーボンブラック
が一部突出した構造をとるのが好ましい。When adopting the embodiment in which the surface layer described in item 1 is formed on the surface of the carbon black coating layer, it is preferable to adopt a structure in which the carbon black partially protrudes from the surface layer.

このような構造の導電層は、以下に説明するようにして
形成させることができる。A conductive layer having such a structure can be formed as described below.

先ず、カーボンブラックを含む導電性塗料を基材の上に
塗布成膜させる。First, a conductive paint containing carbon black is applied onto a base material to form a film.

この導電性塗料は、導電成分としてカーボンブラックを
含み、他に必要に応じてバインダー、分散剤、溶媒また
は分散媒を配合したものである。This conductive paint contains carbon black as a conductive component, and a binder, a dispersant, a solvent, or a dispersion medium is also blended therein as required.

カーボンブラックは、導電性フィラー用のものから選ぶ
のがよい。種々の銘柄が入手できるが、粒度、分散性、
焼成による黒鉛化の程度、ストラフチャーの発達程度等
について必ずしも一義的に決まる選択の尺度は見出して
いない。導電性フィラー用のものを何種類かテストして
、同じ導電度に対してなるべく透明度のよい銘柄を選択
するのがよい。具体例としてはケッチェンブラック、フ
ァーネスブラック、アセチレンブラック、チャンネルブ
ラック、サーマルブラック等が挙げられるが、ケッチェ
ンブラックが最も好ましい結果をかえる。Carbon black is preferably selected from those used as conductive fillers. Various brands are available, but particle size, dispersibility,
No criteria for selection that necessarily uniquely determines the degree of graphitization caused by firing, the degree of development of stractures, etc. has been found. It is best to test several types of conductive fillers and choose a brand with the same conductivity and as good transparency as possible. Specific examples include Ketjen black, furnace black, acetylene black, channel black, thermal black, etc., but Ketjen black gives the most favorable results.

バ、インダーは基材との接着性がなるべく良いもので、
カーボンブラックの分散をなるべく助けるようなものを
選ぶのがよい。The inder should have as good adhesion to the base material as possible.
It is best to choose one that helps disperse carbon black as much as possible.

バインダーとしては、たとてえばＥＶＡラテックス、ア
クリル系ラテックス、ＳＢラテックス々どのラテックス
類、ＰＶＡ　、繊維素誘導体類、でんぷん誘導体類、ア
クリル系樹脂、ＥＶＡ系樹脂、スチレン系樹脂などの溶
剤に溶かして用いる樹脂類などが用いられる。Examples of binders include latexes such as EVA latex, acrylic latex, and SB latex, PVA, cellulose derivatives, starch derivatives, acrylic resins, EVA resins, and styrene resins, which are dissolved in solvents. Resins etc. are used.

バインダーの量については、特に注意を要し、あまり多
くすべさではない。即ち、乾燥塗膜中のカーボンブラッ
クの割合を、比較的大きくするようにすべきである。Particular attention should be paid to the amount of binder, and it should not be too large. That is, the proportion of carbon black in the dried coating should be relatively large.

このことは、透視可能な塗膜を得ると云う目的と一見相
反するように考えられるが、乾燥塗膜中にカーボンブラ
ック濃度が比較的低い場合には、塗膜の機械的強度は大
きくなり、カーボンブラックの脱離による汚染は少なく
なるが、導電性と透視性との／九うンスが悪化する。即
ち導電性を出すために膜厚を大きくすると、透視性は非
常に悪くなる。導電層塗膜中のカーボンブラックの濃度
は、使用するカーボンブラックの種類、分散方法、成膜
方法などで異るので、一定の濃度範囲を記すのは困難で
あるが、通常は８重量％程度以」−で、濃い方が望まし
く成膜方法を選べば、１００重量％カーボンブラックで
もよい。即ち、バインダーを全く用いないでも、カーボ
ン粒子の凝集により塗膜をつくることもできる。This may seem at first glance to contradict the purpose of obtaining a see-through coating, but if the carbon black concentration in the dried coating is relatively low, the mechanical strength of the coating increases, Contamination due to desorption of carbon black is reduced, but the ratio between electrical conductivity and transparency deteriorates. That is, when the film thickness is increased to improve conductivity, the transparency becomes extremely poor. The concentration of carbon black in the conductive layer coating varies depending on the type of carbon black used, dispersion method, film formation method, etc., so it is difficult to specify a specific concentration range, but it is usually around 8% by weight. 100% by weight carbon black may be used if a thicker layer is preferable and the film forming method is selected. That is, a coating film can be formed by agglomeration of carbon particles without using any binder.

分散剤としては、界面活性剤が所望により加えられる。As a dispersant, a surfactant may be added if desired.

ラテックス類は通常若干量の界面活性剤を含有して居り
、特に分散剤を追加しないでもよい場合があ□る。又、
溶剤に溶かして用いるバインダーも、分散剤として作用
することがあるから、分散剤を用いるか否か、およびそ
の使用量は個々のケース毎に必要性を判断して決めれば
よい。Latexes usually contain some amount of surfactant, and in some cases, it may not be necessary to add a dispersant. or,
Since a binder dissolved in a solvent may also act as a dispersant, whether or not to use a dispersant and its usage amount may be determined based on necessity in each individual case.

導電塗料として塗布するカーボンブラックの塗布量は、
導電性が得られる限り少ない方が透視性能を良くする為
に望ましい。この量は、カーボンブラックの種類や分散
状態などで変るが、上限は０．８ｇ／ｍ２で、０．１ｇ
／ｍ２以下が望ましい。下限については、０．０１ｇ／
ｍ２である。上記上限量以上では透視性能が劣り、下゛
限界以下では通常導電性能を発現し難い。また、導電層
の厚み、即ちほぼ連続した層状にカーボンブラックが成
膜している層の平均厚みは５ｋｍ〜０．０１ｋｍ、好ま
しくはＩｐＬｍ〜０．０１ｕＬｍにするのがよい。The amount of carbon black applied as a conductive paint is
In order to improve the see-through performance, it is desirable that the amount be as small as possible as long as conductivity can be obtained. This amount varies depending on the type of carbon black and the state of dispersion, but the upper limit is 0.8 g/m2 and 0.1 g
/m2 or less is desirable. For the lower limit, 0.01g/
It is m2. If the amount exceeds the above upper limit, the see-through performance will be poor, and if the amount is less than the lower limit, it will usually be difficult to exhibit conductive performance. Further, the thickness of the conductive layer, that is, the average thickness of the layer in which carbon black is formed in a substantially continuous layer, is preferably 5 km to 0.01 km, preferably IpLm to 0.01 uLm.

導電層の特徴としてカーボンブラックが表層に対して・
部突出した構造にすることが必要である。このような特
殊な構造は、種々の方法でつくることができる。The characteristic of the conductive layer is that carbon black is attached to the surface layer.
It is necessary to have a structure with a protruding part. Such special structures can be created in various ways.

先ず、バインダー含有率が少なく、機械的に弱い導電層
をつくり、このＬに表層を塗１ＩＨｊするこ゛とにより
、表層を塗布するさいの塗液や塗布装置の機械的な作用
によって、導電層を変形させて突出部をつくることがで
きる。First, a mechanically weak conductive layer with a low binder content is created, and a surface layer is applied to this L for 1IH. When the surface layer is applied, the conductive layer is deformed by the mechanical action of the coating liquid and coating device. A protrusion can be created by

また、レベリングし難い導電塗料をグラビアコーターな
どで細かい点状にＰｌ：ｌ／Ｄ　Ｌで、転写された微少
な点を突出部として残すこともできる。Furthermore, it is also possible to use a gravure coater or the like to apply a conductive paint that is difficult to level to fine dots using Pl:l/DL, leaving the transferred minute dots as protrusions.

また、導電塗料中にカーボンブラックの凝集粒子−を含
ませる方法も用い得る。Alternatively, a method may be used in which aggregated particles of carbon black are included in the conductive paint.

カーボンブラックが凝集した粒子は、導電層から表層側
に突出した部分を形成することができる。The aggregated particles of carbon black can form a portion protruding from the conductive layer toward the surface layer.

実施例１で例示した突出部は、この凝集した粒子による
ものである。また、カーボンの他、微少な導電体、たと
えばグラファイトや金属などの微少粒子を混合し、突出
部をつくることもできる。The protrusions exemplified in Example 1 are due to these aggregated particles. In addition to carbon, the protrusions can also be created by mixing minute particles of a conductor such as graphite or metal.

また、カーボンを吸着し易い微粉末を混入して、カーボ
ンが吸着された微粒子を形成させて、突出部をつくらせ
ることもできる。突出部の１−）については、分析が困
難で、十分数量的に解明するには至っていないが、顕微
鏡で観察して、容易に発見できる程度に含まれていれば
十分である。Further, it is also possible to mix a fine powder that easily adsorbs carbon to form fine particles to which carbon is adsorbed, thereby forming a protrusion. The protrusion 1-) is difficult to analyze and has not been fully elucidated quantitatively, but it is sufficient if it is included to the extent that it can be easily discovered by observing with a microscope.

このような特殊な構造をとることにより、表層表面の表
面抵抗を著しく低下させることができる。この効果の原
因の詳細は不明であるが、導電層の表層への突出部分は
電荷の集中を起こし易いと想像されるので、表層表面と
導電層間の電荷の拡散が、主として導電層の突出部を経
て起こることも考えられる。By adopting such a special structure, the surface resistance of the surface layer can be significantly reduced. Although the details of the cause of this effect are unknown, it is assumed that the protruding parts of the conductive layer toward the surface layer are likely to cause charge concentration, so the diffusion of charge between the surface layer surface and the conductive layer is mainly caused by It is also possible that this may occur after.

導電層は基材の１−に通常はぼ均一な厚みに’１４’＞
　Ｉｊｉすればよいが、所望の場合には意図的に厚みに
厚薄をつけることができる。細かいメツシュ状または平
行線状などの連続した線状のやや厚い部分を設けること
は、意匠的な効果のほかに透視し易くかつ表面抵抗率が
低いものを得るために有効である。また、連続した線状
の部分のみを透視できないほどに厚みを増し、又はカー
ボンブラック濃度を」−げても、全体として透視はり能
であり、表面抵抗率を非常に低く改良することができる
。The conductive layer is usually applied to the base material with a substantially uniform thickness.
The thickness may be increased, but the thickness may be made thicker or thinner if desired. Providing a slightly thick continuous linear portion such as a fine mesh or parallel line is effective not only for the design effect but also for obtaining a material that is easy to see through and has a low surface resistivity. Furthermore, even if the thickness is increased or the carbon black concentration is increased to the point that only continuous linear portions cannot be seen through, the entire surface can be seen through, and the surface resistivity can be improved to a very low level.

このような連続した細線状の厚みの厚い部分、又はカー
ボンブラックの平面当りの濃度が大きい部分は、グラビ
ア印刷法で版をそのようなバタンか出来るように作って
おくとか、薄く全面にほぼ均一に導電層を塗布した上に
更に毛ねて１−記のようなバタンを塗布するなどの方法
で作ることができる。この場合、線の間隔は細かくする
方が好ましく、なるべく　２０ｍｍ以下にすべきである
。又、線幅もなるべく細く、好ましくは２ｍｍ以下にす
べきである。線間隔が大きすぎると、静電気障害に対す
る保護性能が不十分になり、線幅をあまり大きくすると
、透視するさいに目ざわりになるからである。For areas with thick continuous thin lines, or areas with a high concentration of carbon black per plane, it is best to use a gravure printing method to make the plate so that it can create such a slam, or print it thinly and almost uniformly over the entire surface. It can be made by a method such as applying a conductive layer on the conductive layer and then applying a batten as described in 1- above. In this case, it is preferable to make the distance between the lines narrower, and should preferably be 20 mm or less. Furthermore, the line width should be as thin as possible, preferably 2 mm or less. This is because if the line spacing is too large, the protective performance against electrostatic damage will be insufficient, and if the line width is too large, it will be noticeable when looking through the screen.

導電塗料の不揮発分中のカーボンブラック濃ＪＫが７０
重量％以りに高くなると、基材との接着力も不足するこ
とが多くなる。しか１７、カーボンブラックの濃度が高
くなるほど、導電層であるカーボンブラックの透視可能
な層の厚さは薄くしても良好な導電性を示すようになる
。このさい、この導電塗料の塗膜は、液が浸透し易いも
のになるらしく、導電層の」二に直接重ねて表層を設け
るために合成樹脂液を塗布すると、カーボンブラックの
導電層の導電性はほとんど低下しないで、合成樹脂液を
基材に達するまで浸透させることができること、および
、表層の合成樹脂を基材との接着性のよいものの中から
選ぶことにより導電層と、基材との接着性を改善するこ
とができることを見出した。Carbon black concentration JK in the non-volatile content of conductive paint is 70
When the amount is higher than % by weight, the adhesive strength with the base material is often insufficient. However, as the concentration of carbon black increases, even if the thickness of the transparent layer of carbon black, which is the conductive layer, becomes thinner, the conductivity becomes better. At this time, the coating film of this conductive paint seems to be easily penetrated by the liquid, so if a synthetic resin liquid is applied directly on top of the conductive layer to form a surface layer, the conductivity of the carbon black conductive layer will increase. It is possible to penetrate the synthetic resin liquid until it reaches the base material with almost no decrease in the conductive layer, and by selecting the synthetic resin for the surface layer from among those with good adhesion to the base material, the bond between the conductive layer and the base material can be improved. It has been found that adhesion can be improved.

導電塗料を基材に塗布するさいに、基材との濡れを良く
し、基材との接着性を向Ｊ−させるために、基材にコロ
ナ放電処理などの前処理を行ったり更に所望によっては
下塗りを行うこともできる。When applying a conductive paint to a base material, in order to improve wetting with the base material and improve adhesion to the base material, the base material may be subjected to pretreatment such as corona discharge treatment, or if desired. can also be undercoated.

表層は、導電塗料による塗膜の」二に直接重ねて透明な
合成樹脂の塗料を塗布することによって設けることがで
きる。この表層は、帯電防止プラスチックフィルムまた
はシートの表面層をなすものであるから、包装材料とし
て要求される表面の諸性質、すなわち、硬度、光沢、す
べり性、耐ブロッキング性などを充たすものを選釈すべ
きである。The surface layer can be provided by applying a transparent synthetic resin paint directly over the conductive paint film. This surface layer forms the surface layer of the antistatic plastic film or sheet, so choose one that satisfies the surface properties required for packaging materials, such as hardness, gloss, slipperiness, and anti-blocking properties. Should.

表層は帯電防止プラスチックフィルムの表面層になるも
のであるから、通常は、電気抵抗が低い合成樹脂を用い
るべきであると考えるところであるが、これは必ずしも
必要でない。即ち、樹脂自体の体積抵抗率は、非常に高
い通常のポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を用いても
、既に説明したような導電層の」−に直接塗布成膜した
表層は、表面抵抗率を非常に低くすることが可能である
ことを見出した。これは、“全く予期できなかった効果
であったが、導電層に表層に対して突出した部分を設け
であることによって成る程度は理解できると思われる。Since the surface layer is the surface layer of the antistatic plastic film, it is generally thought that a synthetic resin with low electrical resistance should be used, but this is not always necessary. In other words, even if a normal thermoplastic resin such as polyolefin is used, which has a very high volume resistivity, the surface layer formed by directly coating it on the conductive layer as described above has a very high surface resistivity. We found that it is possible to lower the Although this was a completely unexpected effect, it can be understood that it is caused by providing the conductive layer with a portion that protrudes from the surface layer.

表層として用い得る樹脂を例示すると、ポリスチレン、
ポリ塩化ビニル、硝化綿などの繊維素系プラスチック、
ポリエチレン、ＥＶＡ　、ポリアクリル酸エステル、ポ
リメタクリル酸エステル、ポリ塩化ビニリデン、ポリア
ミド、ポリエステル等の熱可塑性樹脂やフェノール樹脂
、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂を、エマルジョンや
溶液の形で塗布して用いることができる。また、重合性
の単量体を塗布して、重合成膜させる方法をとることも
できる。Examples of resins that can be used as the surface layer include polystyrene,
Cellulose plastics such as polyvinyl chloride and nitrified cotton,
Thermoplastic resins such as polyethylene, EVA, polyacrylic esters, polymethacrylic esters, polyvinylidene chloride, polyamide, polyester, etc., and thermosetting resins such as phenol resins and epoxy resins are applied in the form of emulsion or solution. be able to. It is also possible to apply a polymerizable monomer to form a polymerized film.

ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリルＳエステルな
どのアクリル系樹脂は、強度、接着性、透明性、などの
点で特に好ましい。Acrylic resins such as polyacrylic ester and polymethacrylic S ester are particularly preferred in terms of strength, adhesiveness, transparency, and the like.

表層には、滑り性の向上、耐摩耗性の改善などの目的で
種々のワックスなどの添加剤を添加することができる。Additives such as various waxes can be added to the surface layer for the purpose of improving slipperiness and abrasion resistance.

ポリエチレン系のワックスは、耐摩耗性を向上させ、他
のものを汚染させることが少ないので、特に好適である
。表層の厚みは１０　ｍルー０．２　ＪＬｒｎの間が適
当である。１０ｍｇより薄い表層は帯電防止効果を不十
分にし、０．２　ｇｍより厚い表層は塗膜の機械的強度
を不十分にする。Polyethylene-based waxes are particularly preferred because they improve abrasion resistance and are less likely to contaminate other materials. The appropriate thickness of the surface layer is between 10 m and 0.2 JLrn. A surface layer thinner than 10 mg will result in insufficient antistatic effect, and a surface layer thicker than 0.2 gm will result in insufficient mechanical strength of the coating.

本発明における導電性層として、上記のようなカーボン
ブラック塗布層のかわりに金属蒸着層や金属微粉末塗料
を使用することができる。この金属蒸着層に使用しうる
金属としては、アルミニウム、ニッケル、チタン、マグ
ネシウム等が挙げられる。金属蒸着層の厚さはＩＯＡ〜
５０００Ａ、好ましくは５０〜１００ＯＡの範囲から選
ぶのが、導電性と経済性の両面から望ましい。金属微粉
末塗料に使用しうる金属としては、スズ−アンチモン、
インジウム−スズ酸化物、スズ酸化物等が挙げられ、バ
インダーとして、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂
等が用いられ、水や有機溶剤に分散したものを塗布し使
用する。As the conductive layer in the present invention, a metal vapor deposition layer or a fine metal powder coating can be used instead of the carbon black coating layer as described above. Examples of metals that can be used for this metal vapor deposition layer include aluminum, nickel, titanium, and magnesium. The thickness of the metal vapor deposition layer is IOA ~
It is desirable to select from the range of 5000A, preferably from 50 to 100OA, from the viewpoint of both conductivity and economy. Metals that can be used for fine metal powder coatings include tin-antimony,
Examples include indium-tin oxide and tin oxide. As binders, polyester resins, acrylic resins, etc. are used, and those dispersed in water or organic solvents are applied and used.

金属蒸着層や金属微粉末層の上に、カーボンブラックと
同様に表層を設けても良い。A surface layer may be provided on the metal vapor deposition layer or the metal fine powder layer, similar to carbon black.

１　。1.

次に水蒸気や酸素バリヤー性を確保するためのバリヤー
層としての無機金属化合物蒸着層としては例えば珪素、
アルミニウム、ニッケル、チタン、セレン、マグネシウ
ム、バリウム、インジウム、カルシウム、ジルコニウム
、トリウム、タリウム、タンタル、亜鉛等、またはこれ
らの酸化物、ハロゲン化物、窒化物などの単体または混
合物を主体とする透明蒸着層があげられ、バリヤー性合
成樹脂層としては、塩化ビニリデン系樹脂、ポリビニル
アルコール樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合樹
脂などがあげられる。Next, as an inorganic metal compound vapor deposited layer as a barrier layer to ensure water vapor and oxygen barrier properties, for example, silicon,
Transparent vapor deposited layer mainly composed of aluminum, nickel, titanium, selenium, magnesium, barium, indium, calcium, zirconium, thorium, thallium, tantalum, zinc, etc., or their oxides, halides, nitrides, etc. alone or in mixtures Examples of the barrier synthetic resin layer include vinylidene chloride resin, polyvinyl alcohol resin, and ethylene-vinyl alcohol copolymer resin.

バリヤー性のレベルとしては、水蒸気透過率（ＪＩＳ　
Ｚ　０２０Ｂ　　、　４０℃Ｘ　９０＄ＲＨ）が４．０
ｇ／ｍＬ２４ｈｒ以下であること、＃素通過度（ＡＳＴ
Ｍ　Ｄ　１４３４　、２３°Ｃ）が２０ｃｃ／ｍ２・２
４ｈｒ−ａｔｍ以下であることのいずれかのバリヤー性
を満たしていることが望ましい。The level of barrier property is water vapor permeability (JIS
Z 020B, 40℃ x 90$RH) is 4.0
g/mL 24hr or less, #element passage rate (AST
M D 1434, 23°C) is 20cc/m2・2
It is desirable that the barrier properties be 4 hr-atm or less.

無機金属化合物蒸着層の厚さは通常１００〜５０００Ａ
、好ましくは３００〜８００Ａ程度の範囲から選ばれる
。厚さが１００Ａ未満の場合は透明性は良好であるが、
バリヤー性が悪く、また５００ＯＡより厚くしてもバリ
ヤー性は向上しにくいから、５０００Ａより厚いものは
経済的に不利であり、透明性が悪くなってしまう。The thickness of the inorganic metal compound vapor deposited layer is usually 100 to 5000A.
, preferably from a range of about 300 to 800A. When the thickness is less than 100A, transparency is good, but
The barrier properties are poor, and it is difficult to improve the barrier properties even if the thickness is made thicker than 500 OA, so those thicker than 5000 OA are economically disadvantageous and have poor transparency.

この無機金属化合物蒸着層は、支持層に直接蒸着しても
良いし、アンカーコート層を介して蒸着してもよい。そ
の形成方法も何ら制限されず、真空蒸着法１反応性蒸着
法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、イオ
ンブレーティング法、反応性イオンブレーティング法な
どの通常の方法がいずれも採用される。アンカーコート
剤としては例えばアルキルチタネート系、ポリインシア
ネート系、ポリアルキレンイミン系などのものがあげら
れる。その厚さは通常０．１〜２ｐ−ｍ程度である。ま
たアンカーコート層を設けるかわりにコロナ放電処理や
プラズマエツチング処理等が応用されることもあり、ア
ンカーコートとコロナ放電処理やプラズマエツチング処
理等が併用されることもある。This inorganic metal compound vapor-deposited layer may be directly vapor-deposited on the support layer, or may be vapor-deposited via an anchor coat layer. The formation method is not limited at all, and any conventional method such as a vacuum evaporation method, a reactive evaporation method, a sputtering method, a reactive sputtering method, an ion blating method, or a reactive ion blating method can be employed. Examples of anchor coating agents include those based on alkyl titanates, polyincyanates, and polyalkyleneimines. Its thickness is usually about 0.1 to 2 p-m. Furthermore, instead of providing an anchor coat layer, corona discharge treatment, plasma etching treatment, etc. may be applied, and the anchor coat and corona discharge treatment, plasma etching treatment, etc. may be used together.

バリヤー性合成樹脂層の厚さは、通常１〜５０ｐＬＩ１
１程度の範囲から選ばれる。厚さが１ルｍ未満の場合は
バリヤー性が不足し、５０ｇｍより厚い場合は経済的に
不利となる。積層方法としては、例えば塩化ビニリデン
系樹脂では支持層の導電層側と反対面に乳化重合法によ
って製造した塩化ビニリデン系ラテックスを塗布、乾燥
して形成する方法や、塩化ビニリデン系樹脂フィルムを
貼合する方法、或は、他のプラスチックフィルムに塩化
ビニリデン系ラテックスを塗布・乾燥したものとを支持
層とドライラミネート法やＰＥエクストルージョンラミ
ネート法等により貼合する方法等、通常の方法がいずれ
も採用される。The thickness of the barrier synthetic resin layer is usually 1 to 50 pLI1
Selected from a range of about 1. If the thickness is less than 1 gm, the barrier properties will be insufficient, and if it is thicker than 50 gm, it will be economically disadvantageous. Lamination methods include, for example, in the case of vinylidene chloride resin, a method of coating vinylidene chloride latex produced by emulsion polymerization on the opposite side of the support layer to the conductive layer and drying it, or laminating a vinylidene chloride resin film. Or, a method in which vinylidene chloride latex is coated and dried on another plastic film and then laminated with the support layer using a dry lamination method, a PE extrusion lamination method, etc. can be used. be done.

ポリビニルアルコール樹脂、エチレン−ビニルアルコー
ル共重合樹脂の積層方法としては、支持層の導電層側と
反対面に、それらの樹脂を製膜した二軸延伸又は未延伸
フィルム等をドライラミネート法やＰＥエクストルージ
ョンラミネート法等により貼合する等、通常の方法がい
ずれも採用される。Lamination methods for polyvinyl alcohol resins and ethylene-vinyl alcohol copolymer resins include dry laminating or PE extrusion of biaxially stretched or unstretched films made of these resins on the opposite side of the conductive layer of the support layer. Any conventional method may be used, such as lamination using a fusion lamination method or the like.

帯電防止性シーラン）・層は、■熱溶融性の樹脂に帯電
防止剤を塗布又は練込んだ樹脂層、更には■支持層の」
二に、導電層を形成したように、熱溶融性の樹脂層のう
え、カーボンブラックの塗布層、または金属の蒸Ｍ薄膜
、金属微粉末塗料を塗布したものよりなり、支持層の上
に導電層を形成する場合と同様に、カーボンブラック、
金属の蒸着薄膜、金属微粉末塗料の表面に表層として厚
さ０．２〜１０ＩＬｍの透明なプラスチック層を形成さ
せてもよい。ここで熱溶融性の樹脂とは、融点２００°
Ｃ以下で、かつ熱融着可能な合成樹脂である。熱溶融性
の樹脂としては例えば低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）
、高密度ポリエチレン（ｌ（ＤＰＥ）、リニヤ−低密度
ポリエチレン（Ｌ−ＬＤＰＥ）、低結晶性のポリプロピ
レン等のポリオレフィン系の樹脂；エチレン−酢酸ビニ
ル共重合体（ＥＶＡ）　　；エチレン系アイオノマー（
ＩＲ）等が一種又は二種以」１使用可能である。熱溶融
性樹脂に塗布又は練込まれる帯電防止剤としては、アニ
オン系、カチオン系、非イオン系の各種界面活性剤が用
いられ、それらを単独或は併用して使用する。アニオン
系界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンアル
キルニーチルの硫酩エステル、アルキルリン酸エステル
等が、カチオン系界面活性剤としては、ジステアリルジ
メチルアンモニウムクロライドなどの第４級アンモニウ
ム塩等が、非イオン系界面活性剤としては、ポリエチレ
ングリコール脂肪酸エステルやシロキサン系等が挙げら
れる。The antistatic sealan) layer consists of ■ a resin layer in which an antistatic agent is coated or kneaded into a hot-melt resin, and furthermore ■ a support layer.
Second, the conductive layer is formed by coating a heat-melting resin layer with a coating layer of carbon black, a vaporized thin film of metal, or a fine metal powder coating, and a conductive layer is formed on the support layer. Carbon black, as well as forming a layer
A transparent plastic layer having a thickness of 0.2 to 10 ILm may be formed as a surface layer on the surface of the vapor-deposited metal film or the fine metal powder coating. Here, thermofusible resin means a melting point of 20°
It is a synthetic resin that has a carbon content of C or less and is heat-sealable. Examples of heat-melting resins include low-density polyethylene (LDPE)
, high density polyethylene (DPE), linear low density polyethylene (L-LDPE), polyolefin resins such as low crystalline polypropylene; ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA); ethylene ionomer (
One or more types of IR) etc. can be used. As the antistatic agent applied or kneaded into the hot melt resin, various anionic, cationic, and nonionic surfactants are used, and these are used alone or in combination. Examples of anionic surfactants include polyoxyethylene alkyl nityl sulfur esters and alkyl phosphate esters, and examples of cationic surfactants include quaternary ammonium salts such as distearyldimethylammonium chloride. Examples of nonionic surfactants include polyethylene glycol fatty acid esters and siloxane surfactants.

熱溶融性の樹脂層の上にカーボンブラックの塗布層、ま
たは金属の蒸着薄膜、金属微粉末の塗布層を設ける際は
、支持層の上に、導電層を形成したのと同様に、実施す
ることが可能であり、表層に厚さ０．２〜１０ＪＬｍの
透明なプラスチック層を形成させることは、熱溶融性樹
脂層が袋の内側面として袋を形成し、内容物を入れた際
、耐摩耗性が要求されることから考えて、より望ましい
。表層としての透明なプラスチック層を設ける際、ヒー
トシール性を疎外しないような合成樹脂を用いるべきで
ある。例えば、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエ
チレン、ＥＶＡ　、ポリアクリル酸エステル、ポリメタ
クリル酎エステル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、
ポリエステル等の熱可塑性樹脂が良好である。When providing a coating layer of carbon black, a vapor-deposited metal film, or a coating layer of fine metal powder on a heat-melting resin layer, perform the same process as forming a conductive layer on a support layer. By forming a transparent plastic layer with a thickness of 0.2 to 10 JLm on the surface layer, the heat-melting resin layer forms the inner surface of the bag, and when the contents are put in, the This is more desirable considering that wear resistance is required. When providing a transparent plastic layer as a surface layer, a synthetic resin that does not impede heat sealability should be used. For example, polystyrene, polyvinyl chloride, polyethylene, EVA, polyacrylic ester, polymethacrylic ester, polyvinylidene chloride, polyamide,
Thermoplastic resins such as polyester are suitable.

帯電防止性シーラント層の厚さは、１０ｇｍ〜１００　
ｇｒｎとするのが好ましい。厚さが１１０７ｐ未満であ
ると、袋を形成した際のシール強度が不充分となる。１
００　ｇｍ以上であると、袋をつくる際にシールしにく
く、経済的に不利である。The thickness of the antistatic sealant layer is 10 gm to 100 gm.
It is preferable to use grn. If the thickness is less than 1107p, the sealing strength when forming a bag will be insufficient. 1
If it is more than 0.00 gm, it will be difficult to seal when making a bag, which is economically disadvantageous.

本発明における導電性バリヤーフィルムにあっては、導
電層と帯電防止性シーラント層（シーラント層と略記）
は各々が該フィルムのいずれか片側の外表層として配置
され、かつバリヤー層が導電層と接触しないように配置
される。The conductive barrier film of the present invention includes a conductive layer and an antistatic sealant layer (abbreviated as sealant layer).
are each disposed as an outer surface layer on either side of the film, and are disposed such that the barrier layer does not contact the conductive layer.

ここでバリヤー層が導電層と接触しないように、換言す
れば、バリヤー層が積層フィルムの内方の層となるよう
に配置することにより、導電層が外方から傷付けられて
もバリヤー層には傷が及ばないようにすることができる
。導電層は傷が４−１いても導電性は保持するが、バリ
ヤー層は一旦傷付くとバリヤー性が低下してしまうので
、バリヤー層を導電層と接触しないように配置すること
は本発明において必須である。By arranging the barrier layer so that it does not come into contact with the conductive layer, in other words, by arranging the barrier layer as an inner layer of the laminated film, even if the conductive layer is scratched from the outside, the barrier layer remains intact. You can prevent damage from occurring. The conductive layer maintains its conductivity even if scratched 4-1, but once the barrier layer is scratched, its barrier properties deteriorate. Therefore, in the present invention, it is important to arrange the barrier layer so that it does not come into contact with the conductive layer. Required.

ここで、本発明における最も基本的な層構成を例示する
と、 導電層／支持層／バリヤー層／シーラント層となる。ま
た、導電層の表面に既述の表層を設けて の層構成にしたものは導電層が保護されて好ましい。Here, the most basic layer structure in the present invention is exemplified as follows: conductive layer/support layer/barrier layer/sealant layer. Further, a layer structure in which the above-mentioned surface layer is provided on the surface of the conductive layer is preferable because the conductive layer is protected.

次に本発明の導電性バリヤーフィルムの好ましい層構成
の例を挙げる。Next, examples of preferred layer configurations of the conductive barrier film of the present invention will be listed.

（１）　ＣＢ／ＰＥＴ／ＳｉＯ／ＰＥ　　（帯電）（２
）表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＳｉＯ／ＰＥ　（帯電）（３）
表層／Ｃ：Ｂ／ＰＥＴ／ＳｉＯ／ＰＥ／ＰＥ　　（帯電
）（４）表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥＴ／
ＰＥ　　（帯電）（５）表層１０８／ＰＥＴ／ＰＥ／Ｓ
ｉｎ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＥ　（帯電）（６）　ＶＭＡｉ
’／ＰＥＴ／Ｓｉｎ／ＰＥ　　（帯電）（７）表層／Ｖ
ＭＡｊ！／ＰＥＴ／Ｓｉｎ／ＰＥ　（帯電）（８）表層
／ＶＭＡｐ／ＰＥＴ／ＳｉＯ／ＰＥ／ＰＥ　　（帯電）
（９）表層／ＶＭＡｊ？／ＰＥＴ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥ
Ｔ／ＰＥ　　（帯電）（１０）表層／ＶＭＡｉ）／ＰＥ
Ｔ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＥ　（帯電）（１
１）ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＶＤＣ／ＰＥ　（帯電）（１２）
表層／Ｃ：Ｂ／ＰＥＴ／ＰＶＤＧ／ＰＥ　　（帯電）（
１３）表層／Ｃ：Ｂ／ＰＥＴ／ＰＶＤＣ／ＰＥ／ＰＥ　
（帯電）（１４）表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＶＤＣ
／ＰＥＴ／ＰＥ　（帯電）（１５）表層／ＣＢ／ＰＥＴ
／ＰＥ／ＰＶＩ）Ｃ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＥ　　（帯電）
（１６）ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＶＤＣ／ＰＥ／ＣＢ（１７）
表層／Ｃ：Ｂ／ＰＥＴ／ＰＶＤＧ／ＰＥ／ＣＢ／表層（
１８）表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＶＤＣ／ＰＥＴ／
ＰＥ／Ｃ：Ｂ／表層但し、上記層構成の記号は以下の意
味を有する。(1) CB/PET/SiO/PE (charged) (2
) Surface layer/CB/PET/SiO/PE (charged) (3)
Surface layer/C: B/PET/SiO/PE/PE (Charged) (4) Surface layer/CB/PET/PE/SiO/PET/
PE (charged) (5) Surface layer 108/PET/PE/S
in/PET/PE/PE (charged) (6) VMAi
'/PET/Sin/PE (Charged) (7) Surface layer/V
MAj! /PET/Sin/PE (Charged) (8) Surface layer /VMAp/PET/SiO/PE/PE (Charged)
(9) Surface layer/VMAj? /PET/PE/SiO/PE
T/PE (Charged) (10) Surface layer/VMAi)/PE
T/PE/SiO/PET/PE/PE (charged) (1
1) CB/PET/PVDC/PE (charged) (12)
Surface layer/C:B/PET/PVDG/PE (charged) (
13) Surface layer/C: B/PET/PVDC/PE/PE
(Charging) (14) Surface layer/CB/PET/PE/PVDC
/PET/PE (Charged) (15) Surface layer /CB/PET
/PE/PVI)C/PET/PE/PE (charged)
(16) CB/PET/PVDC/PE/CB (17)
Surface layer/C: B/PET/PVDG/PE/CB/Surface layer (
18) Surface layer/CB/PET/PE/PVDC/PET/
PE/C:B/Surface layer However, the symbols for the above layer structure have the following meanings.

ＣＢ：カーポンブラック塗布層 ＰＥＴ：ホリエチレンテレフタレー１−　ＷＳｉＯ：Ｓ
ｉＯ蒸着層 ＰＥ：ポリエチレン層 ＶＭＡｆ！ニアルミニウム蒸着層 ＰＶＤＣ：ポリ塩化ビニリデン樹脂層 上記層構成のうち（１）の層構成のフィルムは、ＰＥＴ
の片面にＳｉＯ蒸着層を設け、他面にカーボンブラック
塗布処理した後に帯電防止剤を配合したポリエチレンを
押出し、ＳｉＯ蒸着面にラミネートすることにより得ら
れる。CB: Carbon black coating layer PET: Polyethylene terephthalate 1-WSiO: S
iO vapor deposition layer PE: polyethylene layer VMAf! Nialuminum vapor deposited layer PVDC: Polyvinylidene chloride resin layer Among the above layer structures, the film with the layer structure (1) is made of PET.
It is obtained by providing a SiO vapor deposited layer on one side of the film, coating the other side with carbon black, extruding polyethylene containing an antistatic agent, and laminating it on the SiO vapor deposited surface.

上記（２）の層構成のフィルムは、（１）のフィルムの
ＣＢ層表面に表層を形成したもので、ＣＢ層表面が保護
されることによる導電層の耐久性増大を図ったものであ
る。このフィルムは（１）のフィルムの製造法に表層形
成のための操作を加えることにより製造し得る。The film with the layer structure (2) above has a surface layer formed on the CB layer surface of the film (1), and is intended to increase the durability of the conductive layer by protecting the CB layer surface. This film can be produced by adding an operation for forming a surface layer to the film production method (1).

上記（３）の層構成のフィルムは、帯電防止性シーラン
ト層の帯電防止剤を配合したポリエチレン層をできるだ
け薄くして、その分を帯電防止剤無配合のポリエチレン
層を設けることにより低コスト化を図ったもので、ポリ
エチレンと帯電防止剤配合ポリエチレンとを同時に押出
してラミネートするか、あるいは帯電防止剤配合ポリエ
チレンのフィルムを別途作っておき、これを押出ポリエ
チレンを介して表層／ＣＢ／ＰＥＴ／Ｓ　ｉＯの積層物
のＳｉ０面にラミネートすること以外は（２）のフィル
ムの場合と同様にして製造し得る。The film with the layer structure (3) above can be manufactured at low cost by making the polyethylene layer containing an antistatic agent in the antistatic sealant layer as thin as possible, and replacing it with a polyethylene layer containing no antistatic agent. Either polyethylene and antistatic agent-containing polyethylene are simultaneously extruded and laminated, or a separate film of antistatic agent-containing polyethylene is made and then the surface layer/CB/PET/SiO is layered through extruded polyethylene. It can be produced in the same manner as in the case of the film (2) except that it is laminated on the Si0 side of the laminate.

上記（４）の層構成のフィルムは、支持層を２つにし、
一方の支持層にはカーボンブラック塗布処理を行い、他
方の支持層には無機金属化合物蒸着層を設けるようにし
たものである。そして、各々別個に作製した表層／ＣＢ
／ＰＥＴとＳ　ｉｎ／ＰＥＴとを押出ポリエチレンを介
してラミネ−ト後た後、帯電防止剤を配合したポリエチ
レンを押出すことにより製造し得る。この（４）のフィ
ルムは支持層としてのＰＥＴの内側に配置されるために
、Ｓｉ０層はＰＥ７層によってより強固に補強・保護さ
れ、Ｓｉ０層の水蒸気バリヤー性はより確実性の高いも
のとなる。The film with the layer structure of (4) above has two supporting layers,
One support layer is coated with carbon black, and the other support layer is provided with an inorganic metal compound vapor deposited layer. Then, the surface layer/CB was prepared separately.
It can be produced by laminating /PET and S in /PET via extruded polyethylene, and then extruding polyethylene blended with an antistatic agent. Since this film (4) is placed inside the PET support layer, the Si0 layer is more strongly reinforced and protected by the PE7 layer, and the water vapor barrier properties of the Si0 layer are more reliable. .

」１記（５）のフィルムは、　（４）のフィルムのＰＥ
（帯電）をＰＥ／ＰＥ　（帯電）によって置き変えたも
ので、（４）のフィルムのＰＥ（帯電）の層を薄くする
ことによる低コスト化を図ったものである。” The film in item 1 (5) has the PE of the film in (4).
(Charging) is replaced by PE/PE (Charging), and the cost is reduced by making the PE (Charging) layer of the film (4) thinner.

次に上記（６）〜（１０）の層構成のフィルムは、（１
）〜（５）の０８層をＶＭＡｐ層に置き変えたものであ
り　７ す、製法及び各積層フィルムの特徴は対応する０８層の
フィルムについて述べたのとほぼ同様である。Next, the film having the layer structure of (6) to (10) above is (1
) to (5), the 08 layer is replaced with a VMAp layer.The manufacturing method and characteristics of each laminated film are almost the same as those described for the corresponding 08 layer film.

上記（１１）〜（１５）の層構成のフィルムは（１）〜
（５）のＳｉＯ蒸着層をポリ塩化ビニリデン樹脂層に置
き変えたものであり、製法及び各積層フィルムの特徴は
、対応するＳｉＯ蒸着層のフィルムについて述べたのと
ほぼ同様である。Films with the layer configurations (11) to (15) above are (1) to
The SiO vapor deposited layer in (5) is replaced with a polyvinylidene chloride resin layer, and the manufacturing method and characteristics of each laminated film are almost the same as those described for the corresponding SiO vapor deposited film.

上記（１６）の層構成のフィルムはＰＥＴの片面にｐｖ
ｏｃ層を設け、他面にカーボンブラック塗布処理した後
に、帯電防止剤無配合のポリエチレンを押出し、その面
にカーボンブラックを塗布することにより得られる。The film with the layer structure of (16) above is PV on one side of PET.
After providing an OC layer and applying carbon black to the other side, it is obtained by extruding polyethylene containing no antistatic agent and applying carbon black to the other side.

上記（１７）の層構成のフィルムは（１６）のフィルム
のＣＢ層表面の両面に表層を形成したもので、ＣＢ層表
面が保護されることによる導電層の耐久性増大を図った
ものである。The film with the layer structure of (17) above has surface layers formed on both sides of the CB layer surface of the film (16), and is intended to increase the durability of the conductive layer by protecting the CB layer surface. .

」１記（１８）の層構成のフィルムは、支持層を２つに
し、一方の支持層にはカーボンブラックと表層の塗布処
理を行い、他方の支持層にはＰＶＤＣ層を設けるように
したものである。そして、各々別個に作成シタ表層／Ｃ
ＢＩＰＥＴ　トＰＶＤＣ／ＰＥＴとを押出ポリエチレン
を介してラミネート後、ＰＥＴ面にポリエチレンを押出
し、その面にカーボンブラックを塗布し、更に表層を設
けたものである。The film with the layer structure in item 1 (18) has two supporting layers, one supporting layer is coated with carbon black and a surface layer, and the other supporting layer is provided with a PVDC layer. It is. Then, each is created separately for the surface layer/C.
After laminating BIPET and PVDC/PET via extruded polyethylene, polyethylene was extruded onto the PET surface, carbon black was applied to that surface, and a surface layer was further provided.

［実施例］ 次に実施例を挙げて本発明を説明する。[Example] Next, the present invention will be explained with reference to Examples.

実施例１ 導電性フィラーとして市販されているカーボンブラック
である、ライオンアクゾ株式会社のケッチェンブラック
ＥＣｌ０重量％と、分散剤として非イオン系界面活性剤
８重量％と残部水とよりなる分散液を作った。別に、バ
インダーとして、部分けん化酢酸ビニルをメタノールと
水との混合重量比９０：１０の混合溶剤に、９．２重量
％溶解した液を作った。Example 1 A dispersion consisting of 0% by weight of Ketjenblack ECl from Lion Akzo Co., Ltd., which is carbon black commercially available as a conductive filler, 8% by weight of a nonionic surfactant as a dispersant, and the balance water was prepared. Had made. Separately, as a binder, a solution was prepared in which 9.2% by weight of partially saponified vinyl acetate was dissolved in a mixed solvent of methanol and water in a mixed weight ratio of 90:10.

カーボンブラックの分散液４０重量部を攪拌しながら、
バインダー溶解液６０重量部を添加して、カーボンブラ
ック４重量％、界面活性剤３．２重量％、バインダー５
．５重量％を含有し、溶剤がメタノールと水との混合割
合が重量比で５６：４４の混合溶剤である導電性塗料を
調製した。この導電性塗料の不揮発分は１２．７重量％
で、不揮発分の３１重量％がカーボンブラックである。While stirring 40 parts by weight of carbon black dispersion,
Adding 60 parts by weight of binder solution, 4% by weight of carbon black, 3.2% by weight of surfactant, 5% by weight of binder.
．． A conductive paint was prepared in which the solvent contained 5% by weight of methanol and water at a mixing ratio of 56:44 by weight. The nonvolatile content of this conductive paint is 12.7% by weight.
31% by weight of the non-volatile content is carbon black.

溶剤として、メタノールと水の混合溶剤を用いると、水
と比較して乾燥速度を高め、また表面張力を低下させて
、プラスチック表面に塗布し易くし、また、非イオン系
界面活性剤の分散作用を幾分低下させて、カーボンブラ
ックが若干凝集した粒子を作り易くすることができる。Using a mixed solvent of methanol and water as a solvent increases the drying speed compared to water, lowers the surface tension, makes it easier to apply to the plastic surface, and also improves the dispersion effect of nonionic surfactants. can be lowered somewhat to facilitate the formation of slightly agglomerated particles of carbon black.

厚み１２ＪＬｍの二軸延伸ポリエステルフィルムの片面
をコロナ放電処理して、この面に上記導電性塗料を乾量
で０．２ｇ／ｍ２グラビアコーターで塗布し乾燥し、こ
の上に重ねて、メタクリル酸メチルを主成分とするアク
リル樹脂１４．７重量％とポリエチレンワックス０．３
重量％を含むトルエンを溶剤とする上塗り塗料を乾量で
１　ｇ／ｍ２ｍ布し乾燥し、表層／ＣＢ／ＰＥＴの層構
成の積層物Ａを得た。One side of a biaxially stretched polyester film with a thickness of 12 JLm was subjected to corona discharge treatment, and the above-mentioned conductive paint was applied to this side with a dry amount of 0.2 g/m2 using a gravure coater, dried, and overlaid with methyl methacrylate. 14.7% by weight of acrylic resin and 0.3% polyethylene wax as main components
A dry amount of 1 g/m2m of top coat paint containing toluene as a solvent containing % by weight was applied and dried to obtain a laminate A having a layer structure of surface layer/CB/PET.

各塗料を乾燥した固形物の比重を１とすると、導電層の
厚みは約０．２ｐｍ、表層の厚みは約Ｉｇｍとなる。カ
ーボンブラックは０．０６ｇ／ｍ２の割合で塗布されて
いる。Assuming that the specific gravity of the dried solid material of each paint is 1, the thickness of the conductive layer is about 0.2 pm, and the thickness of the surface layer is about Igm. Carbon black was applied at a rate of 0.06 g/m2.

このフィルムの導電層と表層の側の断面の顕微鏡写真を
第１図に示した。第１図の通りカーボンブラックが表層
に対し一部突出していることが認められた。A microscopic photograph of a cross section of the conductive layer and surface layer side of this film is shown in FIG. As shown in Figure 1, it was observed that carbon black partially protruded from the surface layer.

一方、」１記二軸延伸ポリエステルフィルムとは別の厚
み１２ｇｍの二軸延伸ポリエステルフィルムの片面をコ
ロナ放電処理して、この面にポリウレタン系アンカーコ
ート剤（東洋モートン■ＡＤ−５２７＋　ＡＤ−９Ｌ−
１）をグラビアコート法で塗布、乾燥後、ＳｉＯの粉末
を１Ｏ−４７ＯｒｒＣ））真空下で５０ＯＡの真空蒸着
被膜を連続蒸着して、積層物Ｂを得た。積層物Ａのカー
ボンブラック非塗布面と、積層物Ｂの蒸着面にアンカー
コート剤としてポリエチレンイミン（ＢＡＳＦ■ポリミ
ンーＰ）をグラビアコート法で塗布、乾燥し、押出機Ｔ
ダイから、ポリエチレンを厚み２０ｐＬｆｆｌで押出し
て、積層物Ａと積層物Ｂをアンカーコート剤を介して積
層し、表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥＴの層
構成Ｃを得た。On the other hand, one side of a biaxially oriented polyester film with a thickness of 12 gm, which is different from the biaxially oriented polyester film described in 1., was treated with corona discharge, and a polyurethane anchor coating agent (Toyo Morton AD-527+ AD-9L-) was applied to this side.
1) was applied by a gravure coating method, and after drying, a 50OA vacuum-deposited film was continuously deposited with SiO powder under vacuum to obtain a laminate B. Polyethyleneimine (BASF ■Polymin-P) is applied as an anchor coating agent to the carbon black-uncoated surface of laminate A and the vapor-deposited surface of laminate B using a gravure coating method, dried, and transferred to extruder T.
Polyethylene was extruded from a die to a thickness of 20 pLffl, and laminate A and laminate B were laminated via an anchor coating agent to obtain a layer configuration C of surface layer/CB/PET/PE/SiO/PET.

続いて、ＰＥＴ面にコロナ放電処理後、ポリウレタン系
アンカーコート剤（東洋モートン■ＡＤ−５２７＋　Ａ
Ｄ−９Ｌ−１）を塗布・乾燥後、厚み３０ＪＬｍのポリ
エチレンを押出し、更に非イオン系帯電防止剤である三
洋化成工業■製ケミスタッ）　１１００を０．７重量％
含むポリエチレン２０Ｊｉ、ｍを押出し、積層し、下記
層構成り 表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥＴ／ＰＥ／Ｐ
Ｅ　（帯電）の導電性バリヤーフィルムを得た。Next, after corona discharge treatment on the PET surface, a polyurethane anchor coating agent (Toyo Morton AD-527+ A
After applying and drying D-9L-1), polyethylene with a thickness of 30 JLm was extruded, and 0.7% by weight of Chemistat) 1100 manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd., a nonionic antistatic agent, was added.
Polyethylene containing 20Ji, m was extruded and laminated to form the following layer structure surface layer/CB/PET/PE/SiO/PET/PE/P
A conductive barrier film of E (charged) was obtained.

この積層物りの表層の表面抵抗が９　Ｘ　１０５Ω、ヒ
ートシール層の表面抵抗が８　Ｘ　１０１１Ω、光線透
過率４５％で容易に物体を透視できた。The surface resistance of the surface layer of this laminate was 9 x 105Ω, the surface resistance of the heat seal layer was 8 x 1011Ω, and the light transmittance was 45%, allowing objects to be easily seen through.

このフィルムをＰＥ面を内側にして、ヒートシールして
袋をつくると、製袋加工性良好で、取扱い容易な袋が得
られた。また、ＪＩＳ　Ｌ　１０４８の学振式摩擦試験
機により、摩擦子に、白布の代りに試験フィルムを張り
、フィルムとフィルムのｓ擦試験を行って、表面抵抗が
初期の値を失って、立ち上がるまでの摩擦回数を測定し
た。このフィルムは、２５０００回であった。この種の
袋は数枚以上同時に使用されることが多いので、同じフ
ィルム同志の耐摩擦性は実用上重要であるが、このフィ
ルムはこの耐摩擦性が非常にすぐれていることが示され
た。When this film was heat-sealed with the PE side inside to make a bag, a bag with good bag-making processability and easy handling was obtained. In addition, using a JIS L 1048 Gakushin friction tester, a test film was placed on the friction element instead of a white cloth, and a film-to-film S friction test was performed until the surface resistance lost its initial value and stood up. The number of frictions was measured. This film was used 25,000 times. Since several bags of this type are often used at the same time, the abrasion resistance of the same film is important in practical terms, and this film has been shown to have extremely excellent abrasion resistance. .

また、この導電性バリヤーフィルムの水蒸気透過率はＪ
ＩＳ　Ｚ　０２０８に従って測定したところ、０．２ｇ
／ｍ２・２４ｈｒ未満であった。In addition, the water vapor permeability of this conductive barrier film is J
0.2g as measured according to IS Z 0208
/m2・24hr.

比較例１ 実施例１において得られる表層／ＣＢ／ＰＥＴの層構成
の積層物ＡのＣＢ非塗布面に非イオン系帯電防止剤であ
る、三洋化成工業■製ケミスタッ）　１１００を０．７
重量％含むポリエチレンを６５７Ｌｍ厚みに押出コート
法により積層して帯電防止性シーラント層を形成させた
。Comparative Example 1 A non-ionic antistatic agent, Chemista 1100 manufactured by Sanyo Chemical Industries Ltd., was added to the CB-uncoated surface of the laminate A having the surface layer/CB/PET layer structure obtained in Example 1 by 0.7.
Polyethylene containing % by weight was laminated to a thickness of 657 Lm by an extrusion coating method to form an antistatic sealant layer.

得られた積層フィルムの水蒸気透過率はＪＩＳ　Ｚ　０
２０８に従って測定したところ５．５ｇ／ｍ２・２ｈｒ
であった。The water vapor permeability of the obtained laminated film is JIS Z 0
5.5g/m2・2hr when measured according to 208
Met.

実施例２ 厚み１２ｐｍの二軸延伸ポリエステルフィルムを用い、
実施例１と同様にして、実施例１の積層物Ａを得た。表
層と導電層の断面を顕微鏡で観察すると、実施例１と同
様にカーボンブラックが表層に対して一部突出している
ことが認められた。Example 2 Using a biaxially stretched polyester film with a thickness of 12 pm,
Laminate A of Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1. When the cross sections of the surface layer and the conductive layer were observed under a microscope, it was found that carbon black partially protruded from the surface layer as in Example 1.

上記積層物Ａと実施例１の積層物Ｂとを実施例１と同様
にして積層して、表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／Ｓｉｎ／
ＰＥＴの層構成Ｃを得た。続いて、ＰＥＴ面に帯電防止
剤無配合のポリエチレンを押出し、積層した後、ポリエ
チレン面をコロナ放電処理し、この面に実施例１のカー
ボンブラック導電性塗料を乾量で０．１５ｇ／ｍ２グラ
ビアコーターで塗布し乾燥し、この上に重ねて実施例１
の表層用塗料を乾量でＩｇ／ｍ２塗布し乾燥し、層構成
り＝表層／ＣＢ／ＰＥＴ／ＰＥ／ＳｉＯ／ＰＥＴ／ＰＥ
／ＣＢ／表層の導電性バリヤーフィルムを得た。この積
層物りの表層の表面抵抗が９　Ｘ　１０５Ω、ヒートシ
ール層の表面抵抗が２　Ｘ　１０７Ω、光線透過率３５
％で容易に物体を透視できた。このフィルムをＰＥ面を
内側にしてヒートシールして袋を作ると、製袋加工性良
好で取扱い容易な袋が得られた。The above laminate A and the laminate B of Example 1 were laminated in the same manner as in Example 1, and the surface layer /CB/PET/PE/Sin/
A layer structure C of PET was obtained. Subsequently, polyethylene without antistatic agent was extruded and laminated on the PET surface, and then the polyethylene surface was subjected to corona discharge treatment, and the carbon black conductive paint of Example 1 was applied to this surface in a dry amount of 0.15 g/m2 gravure. Apply with a coater, dry, and layer it on top of Example 1.
Apply a dry amount of Ig/m2 of surface layer paint and dry, layer composition = surface layer/CB/PET/PE/SiO/PET/PE
/CB/A surface conductive barrier film was obtained. The surface resistance of the surface layer of this laminate is 9 x 105Ω, the surface resistance of the heat seal layer is 2 x 107Ω, and the light transmittance is 35.
%, I could easily see through objects. When this film was heat-sealed with the PE side inside to make a bag, a bag with good bag-making processability and easy handling was obtained.

耐摩擦回数は、外側、内側とも２５，０００回であつた
。また得られた導電性バリヤーフィルムの水蒸気透過率
は、０．２２／ｍ２−２４ｈｒテあった。The friction resistance was 25,000 times on both the outside and inside. The water vapor permeability of the conductive barrier film obtained was 0.22/m2-24hr.

実施例３ 実施例１で用いたカーボンブラックと、不揮発分４０重
量％を含むスチレンブタジェンラテックスと水とを混合
して、導電塗料をつくった。この塗料は、不揮発分２重
量％を含む不揮発分の７０重量％がカーボンブラックで
ある。この塗料は若干のカーボンブラックの凝集粒子を
含んででいた。厚み２０ｇｍのポリプロピレンフィルム
の片面をコロナ放電処理し、その上にカルボキシル基を
有するアクリル系樹脂液を下塗りした」二に、上記導電
性塗料を乾量で０．１２ｇ／ｍ２塗布して乾燥させた。Example 3 A conductive paint was prepared by mixing the carbon black used in Example 1, styrene-butadiene latex containing 40% by weight of non-volatile content, and water. This paint is 70% by weight non-volatile carbon black, including 2% by weight non-volatile content. This paint contained some agglomerated particles of carbon black. One side of a polypropylene film with a thickness of 20 gm was subjected to corona discharge treatment, and an acrylic resin liquid having a carboxyl group was undercoated thereon.Second, the above conductive paint was applied in a dry amount of 0.12 g/m2 and dried. .

カーボンブラックは０．０８ｇ／ｍ２の割合で塗布され
ている。Carbon black was applied at a rate of 0.08 g/m2.

この上に重ねて、硝化綿の１５％エチルアルコール溶液
を、乾量で１．６ｇ／ｍ２　塗布して乾燥し、表層／Ｃ
Ｂ１０ＰＰの積層物Ａを得た。硝化綿の比重を１．６　
とすると、塗膜の厚みはＬｇｒｎである。On top of this, apply a 15% ethyl alcohol solution of nitrified cotton at a dry weight of 1.6 g/m2 and dry.
A laminate A of B10PP was obtained. The specific gravity of nitrified cotton is 1.6
Then, the thickness of the coating film is Lgrn.

このフィルムの断面を顕微鏡で観察するとカーボンブラ
ックが表層に対して一部突出しているのが認められた。When the cross section of this film was observed under a microscope, it was observed that carbon black partially protruded from the surface layer.

一方、二軸延伸ポリプロピレンフィルムの片面に、塩化
ビニリデン樹脂層を設けたフィルムとして市販されてい
るダイセル化学工業■セネシＫＯＰ１２０・ＨＢＩＯの
塩化ビニリデン樹脂面と、積層物Ａのカーボンブラック
非塗布面に、アンカーニート剤としてポリエチレンイミ
ンをグラビアコート法で塗布乾燥し、押出機Ｔダイがら
ポリエチレンを厚み２０ｇｍで押出して、積層して、表
層／ＣＢ１０ＰＰ／ＰＥ／ＰＶＤＣ１０ＰＰ　（７）層
構成りを得た。続いて、０２２面にコロナ放電処理を実
施後、ポリウレタン系アンカーコート剤（東洋モートン
■ＡＤ−５２７＋　ＡＤ−９Ｌ−１）をグラビアコート
法で塗布・乾燥後、押出機Ｔダイからポリエチレンを厚
み３０ｐｍで押出し、更に、非イオン系帯電防止剤であ
る三洋化成工業■ケミスタット１１００を１．５重量％
含むポリエチレンを厚み２０ｇｍ押出し、層構成Ｃの表
層／ＣＣＢ１０ＰＰ２０ＩＬ／ＰＥ／ＰＶＩＩＣ１０Ｐ
Ｐ／ＰＥ／ＰＥ（帯電）の導電性バリヤーフィルムを得
た。On the other hand, on the vinylidene chloride resin side of Daicel Chemical Industries Senesi KOP120/HBIO, which is commercially available as a film with a vinylidene chloride resin layer on one side of a biaxially stretched polypropylene film, and on the non-carbon black coated side of laminate A, Polyethyleneimine was applied as an anchor neat agent by a gravure coating method and dried, and polyethylene was extruded to a thickness of 20 gm from an extruder T die and laminated to obtain a surface layer/CB10PP/PE/PVDC10PP (7) layer structure. Next, after corona discharge treatment was performed on the 022 side, a polyurethane anchor coating agent (Toyo Morton AD-527+ AD-9L-1) was applied using the gravure coating method, and after drying, polyethylene was applied to a thickness of 30 pm from the T-die of the extruder. and further added 1.5% by weight of Sanyo Chemical Chemistat 1100, a nonionic antistatic agent.
Extruded polyethylene to a thickness of 20 g, surface layer of layer configuration C/CCB10PP20IL/PE/PVIIC10P
A conductive barrier film of P/PE/PE (charged) was obtained.

　ｂ この積層物Ｃの表層の表面抵抗が６Ｘ１０５Ω、ヒート
シール層の表面抵抗が９　Ｘ　１０１ｆｉΩ、光線透過
率５４％で、透視性良好であった。このフィルムをＰＥ
面を内側にしてヒートシールして袋を作ると、製袋加工
性良好で取扱い容易な袋が得られた。また、この導電性
バリヤーフィルムの水蒸気透過率は１．８ｇ／ｎＬ２４
ｈｒであった。b The surface resistance of the surface layer of this laminate C was 6 x 10 5 Ω, the surface resistance of the heat seal layer was 9 x 10 1 fi Ω, and the light transmittance was 54%, indicating good visibility. PE this film
When a bag was made by heat-sealing with the surface facing inside, a bag with good bag-making processability and easy handling was obtained. In addition, the water vapor permeability of this conductive barrier film is 1.8 g/nL24
It was hr.

実施例４ 厚み１２Ｉ１．ｍの二軸延伸ポリエステルフィルムの片
面をコロナ処理して、この面にポリウレタン系アンカー
コート剤（東洋モートン縛ＡＤ−５０３＋ＣＡＴ−１０
）をグラビアコート法で塗布乾燥後、Ａｐの粉末を１０
″４Ｔｏｒｒの真空下で１００Ａの真空蒸着被膜を連続
蒸着した。この蒸着面に、続いてポリウレタン系トップ
コート剤（東洋モートン■ＡＤ−７６Ｈ５＋ＣＡＴ−１
０）をグラビアコート法で乾量Ｉｇ／ｍ２塗布乾燥して
、積層物Ａを得た。つづいて積層物Ａの非塗布面と、実
施例３で使用したＫＯＰ（厚さ２０μｍ）の塩化ビニリ
デン樹脂面にアンカーコート剤としてポリエチレンイミ
ンをグラビア６ ア コート エチレンを厚み２０ＩＬｍで押出して積層して、表層／
Ａｉ！１００Ａ　／ＰＥＴ／ＰＥ／ＰＶＤＣ１０ＰＰ（
７）　！構成Ｂを得た。Example 4 Thickness 12I1. Corona treatment was applied to one side of a biaxially stretched polyester film of 200 m, and a polyurethane anchor coating agent (Toyo Morton Bonded AD-503 + CAT-10) was applied to this side.
) was coated by gravure coating method and after drying, 10% of Ap powder was applied.
A vacuum deposition film of 100A was continuously deposited under a vacuum of 4 Torr.A polyurethane top coat agent (Toyo Morton AD-76H5+CAT-1) was then applied to the deposition surface.
Laminate A was obtained by applying and drying 0) in a dry amount of Ig/m2 using a gravure coating method. Next, polyethyleneimine was applied as an anchor coating agent to the non-coated surface of laminate A and the vinylidene chloride resin surface of KOP (thickness: 20 μm) used in Example 3, and gravure 6 acoat ethylene was extruded and laminated to a thickness of 20 ILm. ,surface/
Ai! 100A /PET/PE/PVDC10PP (
7)! Configuration B was obtained.

続いて、０２２面にコロナ放電処理を実施後、アンカー
コート剤としてポリエチレンイミンをグラビアコート法
で塗布・乾燥し、押出機Ｔダイからポリエチレンを５０
７ｔｍ押出し、積層した後、ポリエチレン面をコロナ放
電処理し、この面に酸化錫を主成分とした金属微粉末塗
料として市販されている触媒化成工業■ＥＬＣＯＭ−Ｔ
Ｌ２０を、グラビアコート法で乾量３ｇ／ｍ２塗布・乾
燥後、この塗布面にポリウレタン系トップコート剤（東
洋モートン■ＡＤ−７６Ｈ５　＋ＣＡＴ−１０）をグラ
ビアコート法で乾量Ｉｇ／ｍ２塗布・乾燥して、 の層構成Ｃの導電性バリヤーフィルムを得た。Next, after corona discharge treatment was performed on the 022 side, polyethyleneimine was applied as an anchor coating agent by gravure coating and dried, and 50% of polyethylene was applied from the extruder T-die.
After 7tm extrusion and lamination, the polyethylene surface is subjected to corona discharge treatment, and this surface is coated with Catalysts & Chemicals ELCOM-T, which is commercially available as a fine metal powder coating containing tin oxide as the main component.
After applying L20 in a dry amount of 3 g/m2 using the gravure coating method and drying, apply a polyurethane top coat agent (Toyo Morton AD-76H5 + CAT-10) on this coated surface using a gravure coating method in a dry amount of Ig/m2 and drying. As a result, a conductive barrier film having the following layer structure C was obtained.

表層ＩＡＩ！１００Ａの表面抵抗が２　Ｘ　１０５Ω、
酸化錫（３ｇ／ｄ／表層の表面抵抗がＩＸ１０６Ω、光
線透過率４０％で容易に物体を透視できた。このフィル
ムをＰＥ面を内側にしてヒートシールして袋を作ると、
製袋加工性良好で、取扱い容易な袋が得られた。Surface IAI! The surface resistance at 100A is 2 x 105Ω,
Tin oxide (3g/d/surface resistance of the surface layer was IX 106Ω, light transmittance 40%, allowing objects to be seen through easily. When this film was heat-sealed with the PE side inside to make a bag,
A bag with good bag-making processability and easy handling was obtained.

また、この導電性バリヤーフィルムの水蒸気透過率は、
１．８ｇ／ｍ２−２４ｈｒテあった。In addition, the water vapor permeability of this conductive barrier film is
It was 1.8g/m2-24hr.

実施例５ 実施例１〜４で得られた導電性バリヤーフィルムを用い
て、フラットパッケージＩＣをシリカゲル５０ｇととも
に密封シールし、３０°Ｃ×８０％中に６ケ月間放置し
た後、２３０°Ｃでペーパーフェイルソルダリングによ
り、プリント基板にハンダイづけしだところ、パッケー
ジに亀裂が入ることもなく、良好に製膜できた。Example 5 Using the conductive barrier films obtained in Examples 1 to 4, a flat package IC was hermetically sealed with 50 g of silica gel, left at 30°C x 80% for 6 months, and then heated at 230°C. When soldering to a printed circuit board using paper fail soldering, the film was successfully formed without any cracks in the package.

比較例２ 帯電防止剤として、三洋化成工業■ケミスタッ）１１０
０を０．７重量％を含むポリチレン袋をインクレージョ
ン法により製膜し、これにフラットパッケージＩＣをシ
リカゲル５０ｇとともに密封シールし、３０℃×８０％
中に６ケ月間放置した後、２３０°Ｃでペーパーフェイ
スソルダリングによりプリント基板にハンダ付けしたと
ころ、パッケージ割れが発生してしまった。Comparative Example 2 As an antistatic agent, Sanyo Chemical Industries Chemistat) 110
A polyethylene bag containing 0.7% by weight of 0 is formed into a film by the inkling method, a flat package IC is hermetically sealed with 50g of silica gel, and the film is heated at 30°C x 80%.
After leaving it inside for 6 months, the package cracked when it was soldered to a printed circuit board using paper face soldering at 230°C.

［発明の効果］ 本発明の導電性バリヤーフィルムは、導電性が高く、透
視性があり、水蒸気バリヤー性に優れ腐蝕性ガスを発生
しないという優れた性質を有し、殊に［１１：、　ＬＳ
Ｉの如き電子部品のように、静電気障害に弱く、水分や
腐蝕性ガスにより損傷しやすい物品の包装に適する。[Effects of the Invention] The conductive barrier film of the present invention has excellent properties such as high conductivity, transparency, excellent water vapor barrier properties, and does not generate corrosive gas, especially [11:, LS
It is suitable for packaging items that are susceptible to static electricity damage and easily damaged by moisture and corrosive gases, such as electronic components such as I.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、実施例１の積層物Ａの断面の顕微鏡写真をト
レースした断面図である。 ｌ・・・導電層 ２・・・表層 ３・・・支持層FIG. 1 is a cross-sectional view obtained by tracing a microscopic photograph of the cross section of the laminate A of Example 1. l...Conductive layer 2...Surface layer 3...Support layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）少なくとも導電層と、硬質プラスチックよりなる
支持層と、バリヤー層と帯電防止性シーラント層とを有
するフィルムであって、導電層と帯電防止性シーラント
層は各々が該フィルムのいずれか片側の外表層として配
置され、かつバリヤー層が導電層と接触しないように配
置されてなることを特徴とする導電性バリヤーフィルム
。(1) A film having at least a conductive layer, a support layer made of hard plastic, a barrier layer, and an antistatic sealant layer, each of the conductive layer and the antistatic sealant layer being on either side of the film. 1. A conductive barrier film, which is disposed as an outer surface layer and is disposed so that the barrier layer does not come into contact with a conductive layer.