JPS6391815A - Thin film magnetic head slider - Google Patents
Thin film magnetic head sliderInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明の目的は、信頼性の高い磁気ディスク用薄膜磁気
ヘッドスライダに関する。より詳細には、特に記録媒体
に対面した磁極の先端部の腐食あるいは摩耗による劣化
が画期的に少ない新規な薄膜磁気ヘッドスライダの構成
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a highly reliable thin film magnetic head slider for magnetic disks. More specifically, the present invention relates to a new thin-film magnetic head slider structure in which deterioration due to corrosion or abrasion of the tip of the magnetic pole facing the recording medium is dramatically reduced.
従来の技術
比較的小型のコンピュータシステムのための外部記憶装
置のひとつとして、いわゆる固定ディスク装置がある。2. Description of the Related Art A so-called fixed disk device is one type of external storage device for relatively small-sized computer systems.
この固定ディスク装置は記１、α密度が比較的高く、近
年のハードウェア並びにソウトウエアの進歩に付随する
情報の大量処理への要求に対応するものとして利用が拡
大し、それにつれて更なる高性能化が求められている。This fixed disk device has a relatively high α density, and its use has expanded to meet the demands for processing large amounts of information accompanying recent advances in hardware and software. is required.
固定ディスク装置は、記録媒体と電磁変換部とをひとつ
の容器内に収容して構成することにより、各部材の位置
関係等を精密に設定して高密度記録を可能とすることを
特徴としている。A fixed disk device is characterized by accommodating a recording medium and an electromagnetic transducer in a single container, thereby enabling high-density recording by precisely setting the positional relationship of each component. .
また、固定ディスク装置の他の大きな特徴として気体軸
受構造が挙げられる。これは、記録媒体である磁気ディ
スクの回転によって生じる空気流によって、磁気ヘッド
の電磁変換部をディスクの記録面から浮上させ、停止時
は記憶媒体上の所定の非記録面上にヘッドスライダを轟
接・保持する構成によって、両者の実質的な摩耗を回避
するものである。Another major feature of the fixed disk device is the gas bearing structure. This uses the air flow generated by the rotation of the magnetic disk (recording medium) to lift the electromagnetic transducer of the magnetic head above the recording surface of the disk, and when stopped, the head slider is moved onto a predetermined non-recording surface on the storage medium. The structure in which they are brought into contact with each other and held therein avoids substantial wear between the two.
このような固定ディスク装置に用いられる磁気ヘッドに
は、薄膜技術を利用した薄膜磁気ヘッドが広く用いられ
ている。即ち、記録媒体に情報を記録再生する電磁変換
部を薄膜技術により形成した磁気ヘッドである。第４図
は、このような従来の薄膜磁気ヘッドの概略的な構成を
示すものであり、電磁変換部のひとつを拡大した断面図
によって示している。Thin film magnetic heads using thin film technology are widely used as magnetic heads used in such fixed disk devices. That is, it is a magnetic head in which an electromagnetic transducer for recording and reproducing information on a recording medium is formed using thin film technology. FIG. 4 shows a schematic configuration of such a conventional thin film magnetic head, and shows an enlarged cross-sectional view of one of the electromagnetic transducers.
第４図に示すように、ヘッドスライダはスライダ基板で
ある金属ブロック１の側壁面上に、電磁変換部１０を備
えている。電磁変換部１０は、主に磁極１１とコイル１
２とから構成されている。磁極の一端に形成されるギャ
ップＧは、その下方に磁気記録媒体の記録面２が位置す
るように、電磁変換部１０の下面に配設される。尚、以
下の記述では、このヘッドスライダの下面、即ち磁気記
録媒体２の記録面に対向する面を、便宜上スライダ面と
呼ぶ。As shown in FIG. 4, the head slider includes an electromagnetic transducer 10 on the side wall surface of a metal block 1, which is a slider substrate. The electromagnetic converter 10 mainly includes a magnetic pole 11 and a coil 1.
It is composed of 2. The gap G formed at one end of the magnetic pole is arranged on the lower surface of the electromagnetic transducer 10 so that the recording surface 2 of the magnetic recording medium is located below the gap G. In the following description, the lower surface of the head slider, that is, the surface facing the recording surface of the magnetic recording medium 2 will be referred to as a slider surface for convenience.
コイル１２は、電磁変換部１０においては金属ブロック
１の側壁と略平行になるように形成された導体であり、
磁極１１はこのコイル１２によって形成される磁界をな
ぞるように形成されている。実際には、磁極１１は、コ
イル１２を挾んで形成された２つの磁極部材１１ａと１
１１１とからなり、スライダ面とは反対の側で接合し、
スライダ側では上述のようにギャップＧを形成して記録
媒体と対向している。The coil 12 is a conductor formed to be substantially parallel to the side wall of the metal block 1 in the electromagnetic converter 10,
The magnetic pole 11 is formed to follow the magnetic field formed by this coil 12. In reality, the magnetic pole 11 consists of two magnetic pole members 11a and 1 formed by sandwiching the coil 12.
111, joined on the side opposite to the slider surface,
On the slider side, as described above, the gap G is formed and the slider faces the recording medium.
また、これらの部材は、磁極の下方先端のギャップＧの
形成部を除いて、総て保護材１３の内部に埋設されてい
る。Further, all of these members are buried inside the protective material 13 except for the portion where the gap G is formed at the lower tip of the magnetic pole.
このような構成のヘッドスライダは、第４図に矢印を以
って示すような、記録媒体の回転によってその表面に発
生する気流によって僅かに浮上し、この状態で記録媒体
の記録領域にアクセスする。The head slider having such a configuration is slightly floated by the airflow generated on the surface of the recording medium as the recording medium rotates, as shown by the arrow in FIG. 4, and accesses the recording area of the recording medium in this state. .
発明が解決しようとする問題点
ところで、この薄膜磁気ヘッドスライダは、前述の気体
軸受構造により、スライダ面と媒体面との間に間隙をも
って動作する。即ち、動作状態の固定ディスク装晋にお
いては、スライダ面に露出する磁極先端が固定ディスク
装置内の気体に曝される。Problems to be Solved by the Invention By the way, this thin film magnetic head slider operates with a gap between the slider surface and the medium surface due to the aforementioned gas bearing structure. That is, when the fixed disk device is in an operating state, the tip of the magnetic pole exposed on the slider surface is exposed to the gas inside the fixed disk device.
一方、ヘッドスライダあるいは磁気ディスクを収めたケ
ース内は塵芥フィルタを介して大気と連通している。こ
の塵芥フィルタは、塵芥の如き固形物の侵入を防止する
が、気体である水蒸気あるいは各種の腐食性成分につい
ては濾過効果を有し得ない。このため、金属である磁極
先端の露出部が腐食あるいは変質し、磁気ヘッドの記録
再生特性が低下するという問題があった。On the other hand, the inside of the case housing the head slider or magnetic disk is communicated with the atmosphere through a dust filter. Although this dust filter prevents solid matter such as dust from entering, it cannot filter water vapor or various corrosive components. As a result, the exposed portion of the tip of the magnetic pole, which is made of metal, corrodes or deteriorates, resulting in a problem in that the recording and reproducing characteristics of the magnetic head deteriorate.
更に、金属磁極の腐食によって生成した物質がスライダ
面上に突出した場合は、動作時のヘッドスライダの浮上
特性を変化させ、また甚だしい場合は記録媒体との接触
さえ起こす。Furthermore, if substances produced by corrosion of the metal magnetic poles protrude onto the slider surface, they change the flying characteristics of the head slider during operation and, in extreme cases, even cause contact with the recording medium.
前述のように、固定ディスク装置は高密度記録をその特
徴としており、記録面が傷つけられると、事実上使用不
可能となる。固定ディスク装置はその構造上、記録媒体
あるいはヘッドのみを交換することができず、上述のよ
うな損傷は装置の寿命の終焉を意味する。As mentioned above, fixed disk devices are characterized by high-density recording, and if the recording surface is damaged, they become virtually unusable. Due to the structure of a fixed disk device, it is not possible to replace only the recording medium or the head, and the above-mentioned damage means the end of the device's life.
これを、解決する方法として、磁性材料中に添加物を加
え、ヘッドの耐蝕性を向上させる方法も考えられている
が、この方法では磁性体の磁気特性を大きく変化させる
。特に、記録特性に大きな影響を与える飽和磁束密度を
低下させ、磁気ヘッドの電磁変換特性を劣化させるので
、高密度記録という要求にそぐわないものとなる。As a way to solve this problem, a method has been considered in which additives are added to the magnetic material to improve the corrosion resistance of the head, but this method significantly changes the magnetic properties of the magnetic material. In particular, it lowers the saturation magnetic flux density, which has a large effect on recording characteristics, and deteriorates the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head, making it unsuitable for high-density recording.
また、磁気ディスク装置内の湿度を下げる為に除湿機構
を設ける等の方法も考えられるが、装誼全体の小型化を
妨げ、また腐食性の成分に対する対策とはなり得ない。Additionally, a method such as providing a dehumidifying mechanism to lower the humidity inside the magnetic disk device may be considered, but this prevents miniaturization of the entire device and cannot be used as a countermeasure against corrosive components.
そこで、本発明の目的は磁極部の腐食が無く、耐摩耗性
に優れた信頼性の高い薄膜磁気ヘッドスライダを提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a highly reliable thin-film magnetic head slider that is free from corrosion of the magnetic pole portion, has excellent wear resistance, and has excellent wear resistance.
問題点を解決するための手段
即ち、本発明に従い、金属薄膜導体からなり、スライダ
基板の側壁面上に取り付けられたモールド材の内部に埋
設されたコイルと、金属薄膜磁性体からなり、前記モー
ルド材内で前記コイルに近接して設けられ、且つ記録媒
体に対向して露出した先端部を有する磁極とを備える薄
膜磁気ヘッドスライダであって、少なくとも前記磁極の
前記露出した先端部が潤滑材を塗布されて外気から遮断
されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダが
提供される。Means for solving the problem, namely, according to the present invention, a coil made of a metal thin film conductor and embedded inside a mold material attached to the side wall surface of the slider substrate, and a coil made of a metal thin film magnetic material, A thin film magnetic head slider comprising: a magnetic pole disposed close to the coil within a material and having an exposed tip facing a recording medium, wherein at least the exposed tip of the magnetic pole is coated with a lubricant; A thin film magnetic head slider is provided, which is characterized by being coated and shielded from the outside air.
本発明の好ましい態様に従うと、潤滑材としては、ポリ
フルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）が好ましい。According to a preferred embodiment of the invention, polyfluoropolyether (PFPE) is preferred as the lubricant.
尚、形成される潤滑材層は、磁極の露出部と空気との接
触を有効に遮断し得るものであり且つ非磁性体であれば
いかなる潤滑材によって形成されても差し支えない。た
だし、潤滑材層が過剰に厚くなると、ヘッドと記録媒体
との実質的な間隙が変化し、記録媒体に付与されるべき
磁界の強度が低下する恐れがある。また、粘性の高い潤
滑材は、記憶媒体の回転を妨げたりする恐れがあるので
適宜選択されるべきである。詳細については、具体例を
げて後述する。The lubricant layer to be formed may be formed of any lubricant as long as it can effectively block contact between the exposed portion of the magnetic pole and air and is non-magnetic. However, if the lubricant layer becomes excessively thick, the substantial gap between the head and the recording medium may change, and the strength of the magnetic field to be applied to the recording medium may decrease. Furthermore, since a highly viscous lubricant may hinder the rotation of the storage medium, it should be selected appropriately. Details will be described later using a specific example.
作用
本発明は、モールド材に磁極およびコイルを埋設して形
成した薄膜磁気ヘッドスライダのスライダ面に存在する
凹部に油状の潤滑材を充填することにより、磁極先端部
に潤滑材層を塗布し、これにより磁極先端部を空気から
遮断することを主要な特徴とする。Function The present invention applies a lubricant layer to the tip of the magnetic pole by filling an oily lubricant in the recesses existing on the slider surface of a thin-film magnetic head slider formed by embedding a magnetic pole and a coil in a molding material. The main feature is that this isolates the magnetic pole tip from the air.
薄膜磁気ヘッドスライダの製造工程では、磁極を形成し
た後スライダ面を平坦研磨する。しかしながら、耐摩耗
性の要求からスライダ面には硬度の高い材料の使用が要
求される。このため、平坦研磨を行うと、比較的硬度の
低い金属からなる磁極先端部がスライダ面よりへこんだ
凹部として形成される。この部分に潤滑性材料を塗布す
ることにより、従来の薄膜磁気ヘッドのような磁極の先
端部が露出することはなくなる。In the manufacturing process of a thin film magnetic head slider, after forming a magnetic pole, the slider surface is polished flat. However, due to the requirement for wear resistance, the use of a highly hard material for the slider surface is required. Therefore, when flat polishing is performed, the tip of the magnetic pole made of a metal with relatively low hardness is formed as a concave portion recessed from the slider surface. By applying a lubricating material to this portion, the tip of the magnetic pole is no longer exposed as in conventional thin-film magnetic heads.
この様な耐蝕性保護材料として各種材料が使用可能であ
る。しかしながら、磁気ディスク用薄膜磁気ヘッドスラ
イダの場合、装置の起動停止の際にスライダ面と磁気記
録媒体が接触するため潤滑性が要求される。このため、
潤滑性を有する材料が必要となる。更に、記録媒体上に
は潤滑性を付与する材料が塗布されることが一般的であ
り、この材料と異なるものを本目的に使用することは好
ましくなく、記録媒体に塗布されている潤滑材と同等の
材料が好ましい。Various materials can be used as such corrosion-resistant protective materials. However, in the case of a thin-film magnetic head slider for a magnetic disk, lubricity is required because the slider surface and the magnetic recording medium come into contact when the device is started or stopped. For this reason,
A material with lubricity is required. Furthermore, it is common for a recording medium to be coated with a material that imparts lubricity, and it is not preferable to use a material different from this material for this purpose. Equivalent materials are preferred.
即ち、スライダ面に露出する金属薄膜磁極の先端部を、
潤滑材層によって空気から遮断することによって、該部
分の酸化あるいは腐食を排除するものである。In other words, the tip of the metal thin film magnetic pole exposed on the slider surface is
The lubricant layer prevents oxidation or corrosion of the part by shielding it from air.
この潤滑材は非磁性であり、薄く形成されているので、
ヘッドの磁気特性には事実上影響を及ぼさない。また、
ヘッド先端部の耐摩耗性および平滑性の向上をもたらす
。This lubricant is non-magnetic and thinly formed, so
The magnetic properties of the head are virtually unaffected. Also,
Improves the wear resistance and smoothness of the head tip.
実施例
以下に、添付の図面を参照して本発明をより具体的に詳
述するが、以下に示すものは本発明の一実施例に過ぎず
、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to the accompanying drawings, but what is shown below is only one example of the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention in any way. isn't it.
第１図は、本発明の薄膜磁気ヘッドスライダの一実施例
を示すものであり、従来技術との対照の便宜を図るため
に第４図と同じ視点から描いた断面図である。また、第
４図に示した従来のヘッドスライダと同じまた対応する
部材には同じ参照番号を付して一層の便宜を図った。FIG. 1 shows an embodiment of the thin film magnetic head slider of the present invention, and is a sectional view taken from the same viewpoint as FIG. 4 for convenience of comparison with the prior art. Further, the same reference numerals are given to the same or corresponding members as those of the conventional head slider shown in FIG. 4 for further convenience.
第１図に示す如く、本発明のヘッドスライダの電磁変換
器としてのヘッドの基本構造は、第４図に示した従来の
ヘッドスライダと同様であり、ヘッドスライダ基板であ
る金属ブロック１の側壁面上に、電磁変換部１０を備え
る。電磁変換部１０は、主に磁極１１とコイル１２とか
ら形成されている。磁極１１はコイル１２をはさんで両
側に位置する薄層からなる磁極１１ａ、 ｌｌｂから構
成され、磁極１１ａ１１１ｂは上方で接合し、磁気記録
媒体の記録面２に対向する側、すなわち下方で微小なギ
ャップＧを形成している。As shown in FIG. 1, the basic structure of the head as an electromagnetic transducer of the head slider of the present invention is the same as that of the conventional head slider shown in FIG. An electromagnetic conversion section 10 is provided on the top. The electromagnetic converter 10 is mainly formed from a magnetic pole 11 and a coil 12. The magnetic pole 11 is composed of magnetic poles 11a and 11b made of thin layers located on both sides of the coil 12, and the magnetic poles 11a and 111b are joined at the upper side, and a microscopic layer is formed at the side facing the recording surface 2 of the magnetic recording medium, that is, at the lower side. A gap G is formed.
本発明に従い、このヘッドスライダのスライダ面には潤
滑材が塗布され潤滑材層３を形成している。潤滑＋２４
としてはＰＦＰＥ膜を採用した。上述したように、磁極
１１の下方は他のスライダ面より硬度が低いため凹部を
形成しており、潤滑材はこの凹部に充填される形状で保
持される。According to the present invention, a lubricant is applied to the slider surface of this head slider to form a lubricant layer 3. Lubrication +24
A PFPE membrane was used. As described above, since the lower part of the magnetic pole 11 has lower hardness than the other slider surfaces, a recess is formed, and the lubricant is held in a shape that fills the recess.
このように形成された潤滑材層３によりスライダ部を流
れる気体と磁極の接触が防止され、磁極の耐腐食性が向
上する。The lubricant layer 3 thus formed prevents the gas flowing through the slider portion from coming into contact with the magnetic pole, thereby improving the corrosion resistance of the magnetic pole.
第２図（ａ）および（ｂ）は本発明の第一の実現方法の
例を示す。先ず、加工を終了した磁気ヘッドスライダと
油状潤滑材２１（ＰＦＰＥからなる）を薄く塗布した平
坦面２２とを用意する。次に適当な加重を加えて磁気ヘ
ッドスライダを平坦面２２上で摺動させる。これにより
第２図ら）に示すごとく、スライダ面の凹部、すなわち
磁極の露出した先端部に潤滑材を付着し、その他の部分
の潤滑材を除去または薄くすることができる。FIGS. 2(a) and 2(b) show an example of the first implementation method of the present invention. First, a processed magnetic head slider and a flat surface 22 coated with a thin layer of oily lubricant 21 (made of PFPE) are prepared. Next, the magnetic head slider is slid on the flat surface 22 by applying an appropriate load. As a result, as shown in FIG. 2, etc., the lubricant can be applied to the recessed portion of the slider surface, that is, the exposed tip of the magnetic pole, and the lubricant can be removed or thinned from other parts.
このような潤滑材の塗布は、実際の薄膜磁気ヘッドスラ
イダと潤滑材を塗布した記録媒体とを用いて起動停止を
多数回繰り返すことによっても実現できる。Such application of the lubricant can also be achieved by repeating starting and stopping many times using an actual thin film magnetic head slider and a recording medium coated with the lubricant.
第２図を参照して説明した方法により作成した薄膜磁気
ヘッドスライダと従来の薄膜磁気ヘッドスライダとを腐
食性ガス中に２００時間放置した場合の磁極の露出部分
の変化を測定した。使用した腐食ガスは０． ｌｐｐｍ
のＮ Ｏｘ Ｓ Ｏｘを含有し、湿度５０％で３０℃の
空気流である。第１表にその測定結果を示す。測定は顕
微鏡による磁極先端部観察により行った。Changes in the exposed portion of the magnetic pole were measured when a thin film magnetic head slider prepared by the method described with reference to FIG. 2 and a conventional thin film magnetic head slider were left in a corrosive gas for 200 hours. The corrosive gas used was 0. lppm
The air stream contains 50% humidity and 30°C. Table 1 shows the measurement results. The measurement was performed by observing the tip of the magnetic pole using a microscope.
第１表
○・・・ 変色なし ×・・・ 変色あり第１表に
示す結果より、明らかに本発明の薄膜磁気ヘッドスライ
ダの方が従来のものより磁極先端部の変色が少なく、耐
食性に浸れていることがわかる。Table 1: ○: No discoloration ×: Discoloration From the results shown in Table 1, it is clear that the thin film magnetic head slider of the present invention has less discoloration at the tip of the magnetic pole than the conventional one, and has better corrosion resistance. It can be seen that
第３図（ａ）および（′ｂ）は本発明の潤滑材塗布の第
二の実現方法を示す。先ず、第３図（ａ）に示す如く、
薄膜磁気ヘッドスライダのスライダ面に潤滑材２４を薄
く塗布する。FIGS. 3(a) and ('b) show a second method of realizing the lubricant application of the present invention. First, as shown in Figure 3(a),
A lubricant 24 is applied thinly to the slider surface of the thin-film magnetic head slider.
次に、第３図（ｂ）に示すごとく、薄膜磁気ヘッドスラ
イダを平坦面２２に連光な荷重で押し付け、平坦面２２
上を滑動させることにより磁極下方の凹部以外の潤滑材
を取り除き本発明の磁気ヘッドスライダを実現する。こ
の場合、スライダ面以外に潤滑性材料が付着しても磁気
ヘッドの機能に影響の無いことは明らかである。また、
凹部以外に潤滑性材料が残留しても媒体との接触の際に
拡散されるため薄膜磁気ヘッドスライダと媒体間の空気
流を乱すことは殆ど無い。Next, as shown in FIG. 3(b), the thin film magnetic head slider is pressed against the flat surface 22 with a continuous light load.
By sliding the upper part, lubricant other than the recessed part below the magnetic pole is removed, thereby realizing the magnetic head slider of the present invention. In this case, it is clear that even if a lubricant material adheres to a surface other than the slider surface, the function of the magnetic head is not affected. Also,
Even if lubricant material remains in areas other than the recessed portions, it is diffused upon contact with the medium, so it hardly disturbs the airflow between the thin film magnetic head slider and the medium.
尚、ＰＦＰＥは完全な非磁性体であり、磁気ヘッドスラ
イダのスライダ面全体あるいは他の面にもＰＦＰＥが付
着したとしても磁気ヘッドの特性に格別の影響が無いこ
とは明らかである。Note that PFPE is a completely non-magnetic material, and it is clear that even if PFPE adheres to the entire slider surface of the magnetic head slider or to other surfaces, it will not have any particular effect on the characteristics of the magnetic head.
従って、ヘッドスライダの下面全体にＰＦＰＥ膜を形成
すれば、金属性のスライダ基板等も同様に腐食から保護
される。この場合、ヘッドスライダのスライダ面全体が
均一な表面性状を備え、耐蝕性の向上のみならず平滑性
の向上をも期待できる。Therefore, if a PFPE film is formed on the entire lower surface of the head slider, the metallic slider substrate and the like can be similarly protected from corrosion. In this case, the entire slider surface of the head slider has a uniform surface texture, and not only improvement in corrosion resistance but also improvement in smoothness can be expected.
発明の効果
以上詳述のように、本発明に従う薄膜磁気ヘッドスライ
ダは、少なくともそのスライダ面に露出した磁極先端部
に潤滑材を塗布し、この潤滑材によって磁極先端部を空
気から遮断しているので、磁極先端部の耐蝕性を画期的
に向上することがてきる。また、この潤滑材を磁極先端
部のみならずヘッドスライダのスライダ面全体に塗布す
ることも本発明の範囲を逸脱するものではない。Effects of the Invention As detailed above, in the thin film magnetic head slider according to the present invention, a lubricant is applied to at least the tip of the magnetic pole exposed on the slider surface, and the tip of the magnetic pole is shielded from the air by this lubricant. Therefore, the corrosion resistance of the magnetic pole tip can be dramatically improved. Further, it is not outside the scope of the present invention to apply this lubricant not only to the tip of the magnetic pole but also to the entire slider surface of the head slider.
更に、潤滑性物質がスライダ面に付着しているため磁気
ディスク装置の起動停止時のスライダ・媒体間の摺動の
際の耐摩耗性を向上させる効果も期待できる。Furthermore, since the lubricating substance is attached to the slider surface, it can be expected to have the effect of improving the wear resistance during sliding between the slider and the medium when the magnetic disk device starts and stops.
第１図は本発明の命薄膜磁気ヘッドの要部の断面図であ
り、
第２図（ａ）および（ｂ）は、本発明の薄膜磁気ヘッド
の作製方法、すなわち潤滑材の塗布方法を図解し、第３
図（ａ）およびら）は、発明の本発明の薄膜磁気ヘッド
の作製方法、すなわち潤滑材の塗布の別の方法を図解し
、
第４図は、従来技術の薄膜磁気ヘッドの要部の断面図で
ある。
〔主な参照番号および参照符号〕
１・・スライダ基板、
２・・磁気記録媒体、
３・・潤滑材層、
１０・・電磁変換部、
１１、ｌｌａ、 ｌｌｂ ・・磁極、
１２・・コイル、
１３・・モールド材、
Ｇ・・ギャップ、
２１．２４・・潤滑材、
２２・・平坦な面、FIG. 1 is a sectional view of the essential parts of the thin-film magnetic head of the present invention, and FIGS. 2(a) and 2(b) illustrate the method of manufacturing the thin-film magnetic head of the present invention, that is, the method of applying lubricant. And the third
Figures (a) and 3) illustrate a method for manufacturing the thin film magnetic head of the present invention, that is, another method of applying lubricant, and Figure 4 is a cross section of the main part of the thin film magnetic head of the prior art. It is a diagram. [Main reference numbers and reference symbols] 1...Slider substrate, 2...Magnetic recording medium, 3...Lubricant layer, 10...Electromagnetic transducer, 11, lla, llb...Magnetic pole, 12...Coil, 13...Mold material, G...Gap, 21.24...Lubricant, 22...Flat surface,
Claims (3)
に取り付けられたモールド材の内部に埋設されたコイル
と、金属薄膜磁性体からなり、前記モールド材内で前記
コイルに近接して設けられ、且つ記録媒体に対向して露
出した先端部を有する磁極とを備える薄膜磁気ヘッドス
ライダであって、少なくとも前記磁極の前記露出した先
端部が潤滑材を塗布されて外気から遮断されていること
を特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ。(1) A coil made of a metal thin film conductor and embedded inside a molding material attached to the side wall surface of the slider substrate, and a coil made of a metal thin film magnetic material and provided close to the coil within the molding material. and a magnetic pole having an exposed tip facing a recording medium, wherein at least the exposed tip of the magnetic pole is coated with a lubricant and is shielded from the outside air. Features a thin film magnetic head slider.
許請求の範囲第１項に記載の薄膜磁気ヘッドスライダ。(2) The thin film magnetic head slider according to claim 1, wherein the lubricant is PFPE.
該ヘッドスライダと磁気記録媒体とが接触し得る部分の
全面に亘って塗布されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項のいずれかに記載の薄膜磁気
ヘッドスライダ。(3) The lubricant layer is on the head slider surface.
3. The thin-film magnetic head slider according to claim 1, wherein the coating is applied over the entire surface of the area where the head slider and the magnetic recording medium can come into contact.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23777086A JPS6391815A (en) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | Thin film magnetic head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23777086A JPS6391815A (en) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | Thin film magnetic head slider |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391815A true JPS6391815A (en) | 1988-04-22 |
Family
ID=17020180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23777086A Pending JPS6391815A (en) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | Thin film magnetic head slider |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6391815A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02177009A (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-10 | Tdk Corp | Magnetic recording and reproducing method |
| JPH05217121A (en) * | 1991-11-22 | 1993-08-27 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Method and apparatus for coupling of thermo- sensitive element such as chip provided with magnetic converter, etc. |
| US5986851A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Selective carbon overcoat of the trailing edge of MR sliders |
| US6542334B2 (en) | 1998-11-18 | 2003-04-01 | Seagate Technology Llc | Edge structure for slider-disc interface and method of manufacture therefor |
| KR100462216B1 (en) * | 1997-07-26 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | Head Shaking Control Method |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP23777086A patent/JPS6391815A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02177009A (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-10 | Tdk Corp | Magnetic recording and reproducing method |
| JPH05217121A (en) * | 1991-11-22 | 1993-08-27 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Method and apparatus for coupling of thermo- sensitive element such as chip provided with magnetic converter, etc. |
| KR100462216B1 (en) * | 1997-07-26 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | Head Shaking Control Method |
| US5986851A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Selective carbon overcoat of the trailing edge of MR sliders |
| US6542334B2 (en) | 1998-11-18 | 2003-04-01 | Seagate Technology Llc | Edge structure for slider-disc interface and method of manufacture therefor |
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