JPS6389109U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6389109U JPS6389109U JP18389686U JP18389686U JPS6389109U JP S6389109 U JPS6389109 U JP S6389109U JP 18389686 U JP18389686 U JP 18389686U JP 18389686 U JP18389686 U JP 18389686U JP S6389109 U JPS6389109 U JP S6389109U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- mass flow
- control unit
- series
- adjustment valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Description
第1図は本考案の質量流量コントロール装置の
断面図であり、第2図は従来の質量流量センサー
の概略図、第3図は従来の質量流量コントロール
装置の断面図である。 符号の説明、1……流体導管、1a……縮径膨
出部、1b……インレツト側端面、1c……イン
レツト側流通孔、1d……アウトレツト側流通孔
、2……バイパス、2a……バイパスケーシング
、3……毛細管、4……自己発熱抵抗体、5……
フイルター、6……ベースブロツク、6a……嵌
着孔、6b……流通孔、6c……センサー室、6
d……バルブ室、7……質量流量コントロール・
ユニツト、8……ハウジング、8a……縮径部、
8b……インレツトポート、8c……アウトレツ
トポート、8d……拡径部、9……電磁コイル、
10……質量流量センサー、11……質量調整バ
ルブ、11a……バルブケーシング、11b……
連通孔、11c……シール材、11d……アマチ
ユア、11e……オリフイス、12……O―リン
グ、13,15……ガス流通路、14……上蓋、
16……信号検出端子、17a,17b……スプ
リング、18……メタルシール、19……スペー
サリング、20……接続端子、21……プリント
基板、22……コネクタ、A……流量検出アンプ
、B……直線化回路、C……終段アンプ、D……
サーボ・アンプ、E……バルブ・ドライバ、F…
…流量設定装置。
断面図であり、第2図は従来の質量流量センサー
の概略図、第3図は従来の質量流量コントロール
装置の断面図である。 符号の説明、1……流体導管、1a……縮径膨
出部、1b……インレツト側端面、1c……イン
レツト側流通孔、1d……アウトレツト側流通孔
、2……バイパス、2a……バイパスケーシング
、3……毛細管、4……自己発熱抵抗体、5……
フイルター、6……ベースブロツク、6a……嵌
着孔、6b……流通孔、6c……センサー室、6
d……バルブ室、7……質量流量コントロール・
ユニツト、8……ハウジング、8a……縮径部、
8b……インレツトポート、8c……アウトレツ
トポート、8d……拡径部、9……電磁コイル、
10……質量流量センサー、11……質量調整バ
ルブ、11a……バルブケーシング、11b……
連通孔、11c……シール材、11d……アマチ
ユア、11e……オリフイス、12……O―リン
グ、13,15……ガス流通路、14……上蓋、
16……信号検出端子、17a,17b……スプ
リング、18……メタルシール、19……スペー
サリング、20……接続端子、21……プリント
基板、22……コネクタ、A……流量検出アンプ
、B……直線化回路、C……終段アンプ、D……
サーボ・アンプ、E……バルブ・ドライバ、F…
…流量設定装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 流体導管の中途に質量流量コントロール・ユニ
ツトが接続され、前記質量流量コントロール・ユ
ニツトが上流側にバイパスと質量流量センサーを
有すると共に下流側に流量調整バルブを有し、さ
らに前記質量流量センサーと流量調整バルブが自
動制御回路を介して連係されている質量流量コン
トロール装置において、 前記質量流量コントロール・ユニツトのバイパ
ス、質量流量センサー及び流量調整バルブが直列
に配設され、質量流量コントロール・ユニツトが
流体導管の中途に直列に接続介装されていること
を特徴とする質量流量コントロール装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18389686U JPS6389109U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | |
US07/068,186 US4794947A (en) | 1986-11-29 | 1987-06-30 | Mass flow controller |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18389686U JPS6389109U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6389109U true JPS6389109U (ja) | 1988-06-10 |
Family
ID=31131052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18389686U Pending JPS6389109U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6389109U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016013172A1 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
-
1986
- 1986-11-29 JP JP18389686U patent/JPS6389109U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016013172A1 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
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