JPS6389109U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の質量流量コントロール装置の
断面図であり、第２図は従来の質量流量センサー
の概略図、第３図は従来の質量流量コントロール
装置の断面図である。 符号の説明、１……流体導管、１ａ……縮径膨
出部、１ｂ……インレツト側端面、１ｃ……イン
レツト側流通孔、１ｄ……アウトレツト側流通孔
、２……バイパス、２ａ……バイパスケーシング
、３……毛細管、４……自己発熱抵抗体、５……
フイルター、６……ベースブロツク、６ａ……嵌
着孔、６ｂ……流通孔、６ｃ……センサー室、６
ｄ……バルブ室、７……質量流量コントロール・
ユニツト、８……ハウジング、８ａ……縮径部、
８ｂ……インレツトポート、８ｃ……アウトレツ
トポート、８ｄ……拡径部、９……電磁コイル、
１０……質量流量センサー、１１……質量調整バ
ルブ、１１ａ……バルブケーシング、１１ｂ……
連通孔、１１ｃ……シール材、１１ｄ……アマチ
ユア、１１ｅ……オリフイス、１２……Ｏ―リン
グ、１３，１５……ガス流通路、１４……上蓋、
１６……信号検出端子、１７ａ，１７ｂ……スプ
リング、１８……メタルシール、１９……スペー
サリング、２０……接続端子、２１……プリント
基板、２２……コネクタ、Ａ……流量検出アンプ
、Ｂ……直線化回路、Ｃ……終段アンプ、Ｄ……
サーボ・アンプ、Ｅ……バルブ・ドライバ、Ｆ…
…流量設定装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 流体導管の中途に質量流量コントロール・ユニ
   ツトが接続され、前記質量流量コントロール・ユ
   ニツトが上流側にバイパスと質量流量センサーを
   有すると共に下流側に流量調整バルブを有し、さ
   らに前記質量流量センサーと流量調整バルブが自
   動制御回路を介して連係されている質量流量コン
   トロール装置において、 前記質量流量コントロール・ユニツトのバイパ
   ス、質量流量センサー及び流量調整バルブが直列
   に配設され、質量流量コントロール・ユニツトが
   流体導管の中途に直列に接続介装されていること
   を特徴とする質量流量コントロール装置。