JPS6388385A - ソレノイドバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の青票］ 本発明はソレノイドバルブに関する。特に、流体供給通
路と、負荷通路（負荷に通ずる）とを内部に有したマニ
ホールド・ブロックを一方に備え、他方該マニホールド
・ブロック上に駆動装置を設置するよう構成されたソレ
ノイドバルブに関する。

該駆動装置は、マニホールド・ブロック方向とその反対
方向の２つのスイッチ位置間を移動するバルブ・プラン
ジャを備えており、該プランジャのマニホールド・ブロ
ックに近接する側の端部は、給気通路に通ずる給気口に
対向しており、マニホールド・ブロックから離隔して位
置するプランジャの反対側の端部は、排出通路の排出口
に隣接している。該バルブ・プランジャは、一方のスイ
ッチ位置において、排出口を閉鎖する様に配置されてお
り、それと同時に、給気通路を負荷通路と連通ずる給気
口を間口する様に構成されている。また、他方のスイッ
チ位置においては、給気口を閉じ、排出口を開いて、排
出通路が負荷通路と連通ずるように構成されている。

このような３／２ウエイ・ソレノイドバルブ（３通路２
方切換弁）は、圧縮空気あるいは、真空で作動する空気
圧系統に広く利用されている。

この場合、圧力流体の供給源や真空ポンプに通ずる給気
通路と、ピストンやシリンダ部といった負荷に通ずる負
荷通路は、適切な接続部品によってマニホールド・ブロ
ックに連結されている。（特に、ねじによって連結され
る。）この様にして、給気通路は圧縮流体通路と連通し
、負荷通路は制御負荷通路と連通ずる様になっている。

バルブ・プランジャは、電気的に駆動される電磁コイル
によって作動する。このバルブ・プランジャの作動によ
って、一方のスイッチ位置において、給気通路と負荷通
路の連通が可能となり、その結果、圧縮流体、或いは真
空によって負荷が供給され、また、他方のスイッチ位置
において給気通路は閉じられ、同時に負荷通路と排出通
路が連通されて、負荷と負荷通路が解放されるようにな
っている。

以上述べた様なソレノイドバルブには、以下の様な欠点
がある。すなわち、駆動装置の側面に、排出通路が開口
しているため、ソレノイドバルブのすぐ外側で排出が行
われ、そのために、いわゆるクリーン・ルームでのソレ
ノイドバルブの使用が不可能になっている。例えば、コ
ンピュータ・チップが生産されていて、はこりを巻きお
こすいかなる原因も除去する努力が払われている研究所
や構内における使用を不可能にしている。バルブを通じ
て排出される圧縮空気は、常に、油分子や他の汚染物質
を含むために、この様な排気の存在は空気を汚染し、し
ばしば環境を汚染させる原因となる。

［発明の構成］ 本発明の目的は、作動中に環境汚染をしない、研究室な
どのクリーン・ルームにも適用できるタイプのソレノイ
ドバルブを提供することにある。

この様な目的を達成するために、駆動装置内部に排出通
路が設けられ、その排出通路はプランジャの変位方向に
対して側方に伸びた１多でマニホールド・ブロックに向
って伸びている。排出通路の排出口部から遠隔側の一方
の端部は、マニホールド・ブロック内部に設けた排出通
路の開口部と対向する地点において取付面上で開口して
いる。これにより、排気は、ソレノイドバルブの近傍に
排出されることはなく、ソレノイドバルブの内部に導か
れ、マニホールド・ブロック内に形成された排出通路へ
と送られる。例えば、この排出通路は、圧縮空気の排出
が何ら差しつかえない地点に伸びている排気管に連結さ
れてもよい。従って、該ソレノイドバルブはその近傍に
使用済の空気を全く排出せず、排気管を通じてクリーン
・ルームの外部に導かれるようにできるため、該ソレノ
イドバルブは、特に、クリーン・ルーム内での使用に適
しているのである。この様な、本発明の利点は、言い替
えれば、ソレノイドバルブの作用を必要とする通路部、
つまり、給気通路やバルブにより制御された負荷に導く
通路や、排出通路が、マニホールド・ブロックの中央に
連結され、組立を単純化し、アフタサービスに結びつく
ことでおる。ざらに、もうひとつの利点は、駆動装置の
近接周辺部に導管が必要なことで、つまり、それはいく
つものソレノイドバルブがコンパクトに配列、または積
み重ねられる際にたいへん有利でおる。この場合、複数
のマニホールド・ブロック同士を重ねることによってソ
レノイドバルブを積み壬する様に配列したり、単一のマ
ニホールド・ブロックに複数の駆動装置を一列に並べて
配設することか可能となり、それによって圧縮流体の供
給や、使用済の排出流体の除去を、それぞれ、すべての
駆動装置を介している中央の給気通路や排出通路を通じ
て行うことができる。また、ソレノイドバルブの配設自
体も短時間で可能となり、配設時の失敗も大巾に削減さ
れよう。

本発明の他の利点は、クレームに記載されている。

他の利点のひとつとして、排出通路は３つの接続する通
路部から成り立っている。１つは、排出口から、プラン
ジャの変位方向と平行に、駆動装置の取付面と反対側に
向って伸び、駆動装置内でその端部が第２の通路部と連
結している。第２通路部は第１通路部から見て横方向に
放射状に伸びてあり、その端部は駆動装置内部で第３通
路部に連結している。第３通路部は、縦軸、つまり、こ
の場合バルブ・プランジャの変位方向に、平行にしかも
間隔をおいた位置に駆動装置内でマニホールド・ブロッ
ク側に伸びており、その一端を取付面で開口している。

また、本発明の別の特徴として、３つの排出通路の第１
通路部が排出口からプランジャの方向と平行に、取付面
から離隔する方向に伸び、また第３通路部がプランジャ
と平行にしかも間隔をおいた位置においてその一端を駆
動装置の取付面で開口し、他端をその取（−１面と反対
面で開口するように、駆動装置の内部で伸び、第２通路
部をバイパス通路として、取付面と反対側の面に設けて
もよい。第２通路部の２つの間口部は、駆動装置の取付
面と反対側の面に近接するバイパス部材側に、間口して
あり、この２つの開口部はそれぞれ第１通路と第３通路
部の前記反対側の面に開口する端部に対応するものでお
る。

以上のように特徴づけることができるバルブは、単純な
構造で、それぞれの排気通路のデザインをかんがみても
安い価格で生産できるものである。

本発明の詳細な説明は、実施例によって、図面を参照し
ながら、ざらに述べられよう。

［実施例］ 以下は第１図〜第３図に則して実施例を説明する。本発
明によるソレノイドバルブ１は、柱形成いは板状のマニ
ホールド・ブロック２、又はリーブ・プレートと、それ
に取りはずし可能に取り付けられる駆動装置３を有する
。図中では、上方になっているマニホールド・ブロック
の一端４は、取付面５として機能し、この取付面５上に
、やはり柱形のハウジングを有する駆動装置３がその取
付面として機能する面が下方に来る様に取り付けられる
。図１においては、駆動装置３（図示されず）の取付面
７の輪郭線が一点鎖線７′によって示されている。駆動
装置３は、２つの貫通孔９を有しており、それらの貫通
孔は、矢印８方向に見た時、互いに対角線上に位置する
ように配置されている。

これらの貫通孔９は、ハウジング６の中を矢印８方向に
伸びており、それぞれ組立ねじ１１がとりつけられる。

これらの組立ねじは、マニホールド・ブロック２のねじ
穴１０にねじ込まれることにより、駆動装置３をマニホ
ールド・ブロック２に取り付ける役割をする。

マニホールド・ブロック２は、圧縮流体供給通路１４、
排出通路１５、負荷通路１６を有している。これらの通
路部は、取付面５上にその一端を開いており、それぞれ
開口部１４’　、１５’　、１６′として示されている
。給気通路１４の他端は、圧縮流体供給源に連絡してお
り、負荷通路１６は、圧縮空気により駆動される図示し
ない負荷に連絡することが可能である。

給気通路の開口部１４′は、取付面５のほぼ中央もしく
は、中心より少しずれた地点に位置し、一方、他の２つ
の開口部１５′　と１６′　は、取付面５の２つの角部
に位置している。これらの開口部は、取付面５上の輪郭
線形７′に沿って、並んで配置されている。

駆動装置３のハウジング６の内部には、バルブ・プラン
ジャ１７が備えつけられており、それは本実施例におい
ては棒状であるが、他の形状も採用されよう。プランジ
ャの長さ方向１８は、取付面５に対して直角をなしてい
る。バルブ・プランジャ１７は、マニホールド・ブロッ
ク２から離隔して位置する一方の端１９に近接する部分
がハウジングの穴２０に挿入されるよう配置されるため
、プランジャ１７は、長さ方向に２単矢印２１で示され
るような前後運動が可能である。プランジャ１７の他方
の端２２とマニホールド・ブロック２とに近接するプラ
ンジャの部分２３は、ハウジング内部の穴２０から、取
付部７に近接する部分に設けられたチャンバ２４の内に
向けてつき出ている。プランジャの端部２２は、半径方
向に外側に向けて突出するリム２５を有する。このリム
２５にプランジャの他方の端部１９方向に伸びている円
錐コイルスプリング２９の一端が支持され、同。

スプリングの他端は、チャンバ２４とハウジング内部の
穴２０との間の移行部に設けられた環状ステップ３０に
支えられている。バネ２９は、プランジャ１７をマニホ
ールド・ブロック２の方向に付勢し、図２に見られる第
１のスイッチ位置にて、プランジャの端部２２の最端部
をプランジャ方向に延出するニップル３１の端面に押し
つける。チャンバ２４とマニホールド・ブロック２を分
かつハウジングの壁面３２に、ニップル３１は、形成さ
れており、通路３３を形作っている。この通路３３は、
取付面７上でその一端を開いており、（３４）、他端は
プランジャに近接する、ニップルの上端部のところで開
口している。開口部３４は、給気通路開口部１４′のち
ようと反対側にあたり、通路３３と給気通路１４は必要
て必らば、シーリング・ワッシャを利用して互いに連絡
するようになっている。

矢印方向に見られるように、さらに通路３６がニップル
３１に隣接して、チャンバ２４内部に開口しており、こ
の通路は、駆動装置のハウジングの壁３２を通り扱けて
、取付面５の負荷通路の開口部１６′に対向する（図２
での）取付面５の地点で開口している。このように、負
荷通路１６と、チャンバ２４間は常に連絡される。外部
への漏洩による、流体の流失を防ぐため、２つの面５と
７の間にガスケット・ワッシャを設けることも可能でお
る。

第２図に示される様な、第１スイッチ位置において、排
出通路の開口部あるいは排出口３７は、プランジャの縦
方向における一端１９と対向している。排出口３７と給
気口３５は同一軸上に位置しており、矢印２１に示され
る様な、バルブプランジャ１７の往復運動が可能な様に
、両者間の距離は、バルブ・プランジャの長さよりも長
くつくられている。ハウジング内部の穴２０に隣接する
部分とチャンバ２４との間にバイパスをつけるように、
ハウジング内部の穴２０の壁面には、縦溝３９がプラン
ジャの長さ方向に、彫りこまれている。バルブ・プラン
ジャの２端部１９と２２にはターミナル・シール４０と
４０′が設けられており、それぞれ開口部３５．３７を
封じる働きをする。

排出通路３８は完全に、すなわちその全長に亘り駆動装
置３の内部に位置しており、通気口３７に隣接した地点
から外部に向って放射状に伸び、さらにハウジング内部
の穴２０の側面から距離をおいてマニホールド・ブロッ
ク方向に、配置されるように伸びている。排出通路３８
は、取付面７の地点でその一端が止まり、そこで開口部
４１は、排出通路１５′に対向している。外部との連絡
路を密封するため、２つの開口部４１と１５′の周辺部
分は取付面７の隙間に取つけられたガスケット・ワッシ
ャ４２に囲まれている。バルブ・プランジャ１７の外部
周辺、特に、ハウジング内の穴２０に近接した部分に図
において点線のみて示されたソレノイド・ワインディン
グ（電磁コイル）４４が設けられている。電磁コイル４
４には、端子４５が接続されており、巻線が電気的に励
磁されて電磁場を形成し、バルブ・プランジャ１７が二
重矢印２１で示されるように、２つのスイッチ位置を往
復運動するようにされている。その第１スイッチ位置は
同時に静止位置でおり、第２図に示されている。

電磁コイル４４の励磁によってソレノイドバルブが作用
している場合、バルブ・プランジャ１７は、給気口３５
を開口しながら、円錐コイルばね２９の力に対して運動
することになり従って、給気通路１４からの圧縮空気か
通路３３、給気口３５、チャンバ２４、通路３６、流皇
制御通路１６を経てソレノイドバルブによって制御され
る負荷体に、到達する。この場合バルブ・プランジャ１
７は、上部シール４０が通気口３７を閉じ空気が流出で
きないように、上方に持ち上げられる。

電磁コイルでの電圧が下がるとすぐに、バルブ・プラン
ジャ１７は、円錐コイルばね２９の動きにより、第１ス
イッチ位置に戻る。この位置において、プランジャの下
部シール部４０′が密閉作用で給気口を閉じる。同時に
、排出口３７が開口し、負荷通路１６が負荷通路３６、
チャンバ２４、縦溝３９、排出口３７を介して、排出通
路１５に連通される。つまり、負荷通路、負荷パイプ、
それに関係する負荷そのものが、排出され、排気全体の
流れは、排出通路、排出口１５′を介して排出通路１５
に導かれる。この時、排気は、バルブの周囲へは全く流
出しない。この通路１５から排出される空気は、図示さ
れないパイプを介して、任意の地点に運ばれよう。この
様に、排気流はバルブの近傍に直接排出されず、実際に
漏洩なしに、クリーン・ルームの外の任意の地点に導け
るために、確実に汚染されてはならないクリーン・ルー
ム内での使用に際してこのソレノイドバルブは大きな利
点がある。

第２．３図は、本発明の実施例を示しており、特に排出
通路にその利用が見られるものでおる。

この実施例では、従来に比べ、駆動装置の小型化を可能
にしている。この構成においては、排出口３７に接続す
る第１通路部が設けられ、縦軸１８を中心線として、取
付面７より遠隔したハウジング６の上側面４７に向けて
伸びている。この通路は、上面４７では開口しておらず
、その少し手前で止まり、第２通路部を形成する横断通
路４８へと開いている。この第２通路部は中心＠１１１
８について放射状に外側にハウジングの一角に向って伸
びており、矢印８の方向から見た場合、はぼ対角線上に
伸びている。この通路部４８もまた、駆動装置内で終了
し、直接第３通路部４９に開いたいる。この第３通路部
４９はこの色地点から、ハウジング内部の穴２０と平行
に、しかも間隔をおいて、開口部４１までまっすぐ伸び
ている。

本発明の当実施例においては、これらの通路部は、別個
にドリルで開けられており、それらの端部は、プラグ５
０で閉鎖されている。

この構成は以下の様に変更されてもよい。すなわら、互
いに、平行に走る２つの通路部４６と４９は、それぞれ
の開口部３７と４１と反対側の端部を前記上面４７で開
口させている。（第３図参照）そして第３図において、
破線で示される通り、上面４７に２つの開口部５２と５
２′　と連絡する様なコの字型通路を備えた、角部材５
０を設けてもよい。当実施例においては、横断通路４８
を実際にコの字型通路５１で代用させることにより、省
略可能なため駆動装置は、より迅速に工場生産できよう
。

より単純な構成にするため、当実施例では、ハウジング
６を縦軸１８に沿ってつみ重ねるよう構成された、とり
はずし可能な２つの接続部材６′と６″で構成してもよ
い。第１のハウジング部材６′は、取付面７を有し、平
行六面体をしている。

一般にこの部材６′の高さは、ハウジング６の全長高の
１／３に等しい。部材６′は取付面７より離隔した面５
３において、チャンバ２４を形成する筒形穴を有してい
る。第２のハウジング部材６″は面５３上に配置され、
その管状突起５６がチャンバ２４、おるいは凹部にぴっ
たり挿入され、５４で部材６′にロックされる。２つの
部材が連絡される通路部４９の部分に隣接して、通路部
を取り囲んで外部から閉鎖するように、ガスケット・ワ
ッシャ５５が配置されている。管状突起５６が挿入され
る部分に隣接して、チャンバ２４、あるいは凹部の周面
に対して、密閉作用をなすガスケット・ワッシャがとり
つけられる。

第１〜３図に見られる本発明の実施例において、排出通
路３８はドリルによって開けられた孔であり、鋳造によ
って形成されてもよい。必要であれば、特に、第３の排
出通路４９を電磁コイルを通り（友けて延長してもよい
。これは、特にコイルがプランジャの外側面の全体にわ
たって配設される際、採用されよう。第４図に示される
実施例においては、排出通路３８は、ハウジング壁面５
８の内部に設けられた、排出管５７内に、特に鋳型成形
によって設けられてもよい。

以下に、マニホールド・ブロック２内の通路の形態がさ
らに詳細に説明される。すなわち、他のソレノイドバル
ブのマニホールド・ブロック同士が積み重ねて配設され
たり、複数の圧縮流体通路や、排出通路を連絡するため
の異った部材が取り付けられたりする例である。ここで
、排出通路１５は、２つの通路部６２と６２′を有して
おり、６２は、取付面５での開口部１５′から、マニホ
ールド・ブロック２内部へ伸びており、この通路・部の
一端、つまり、一般にマニホールド・ブロックの中間部
において、第２の通路部６２′　に連通している。第２
の通路部６２′は、取付面５に平行に、かつ、縦軸１８
に対して直角に、マニホールド・ブロック２の内部をま
っすぐ通り後けて、マニホールド・ブロックの２側面６
３．６３’で、それぞれ開口部６４．６４’　として開
口している。

取付面５の角部に開口する開口部１５′から、通路部６
２は縦軸１８に対して斜めに伸びており、他の通路部６
２′の中央に近接して開口するように、伸びている。開
口部６４′にプラグがねじ込まれても、２つの通路部６
２と６２′　は固く連絡されることができる。本実施例
において、２つの開口部を持つ、通路部６２′は、必要
ならば、−方の端だけを開口してもよく、この場合、一
方は、閉鎖されよう。

実施例において、第２通路部１４は２つの通路部６５と
６５′で作られており、通路部６５′はマニホールド・
ブロック２の内部を、他の通路部６５に開口する部分ま
で伸びている。通路部６５はマニホールド・ブロック２
の内部に同内部を完壁に通り央ける形で排出通路部６２
′　と平行に配設されており、排出通路部６２′のよう
にマニホールド・ブロック２の中を通り措けており、マ
ニホールド・ブロック２の側面６３と６３′のところで
開口している。すなわち排出通路１５の開口部６４．６
４’　と同様に配設されている。

負荷用空気を供給するための負荷通路１６は、Ｌ字形を
しており、一方の端は、取イ４面５において開口部１６
′を開いており、他方の端は、マニホールド・ブロック
２の側面６３．側面６３′間に位置する側面６６側に、
上面４に近接して開口している。この開口部６７は、第
３図に見られる様に、負荷供給通路またはホースに接続
するための接続ニップル６８を備えている。排出通路部
６２′は、マニホールド・ブロック２の下方側近傍に伸
びており、マニホールド・ブロック内部の負荷通路１６
の開口部６７へと連通ずる部材６９より少し上の部分で
、部材６９を横断しでいる。部材６９は、２つの通路部
１４と１５の間の位置で一つの通路部６９′と連通して
いる通路部６９′は上方の開口部１６′に連通している
。上方部４から見られる様に、開口部１６′は一般に２
つの通路部６２′　と６５の間に位置している。

第３図に見られる様に、通路部６５と６２′の開口部の
位置は、環形の溝７０によって囲まれており、その中に
は、ガスケット・ワッシャが嵌められていて、複数のマ
ニホールド・ブロックが空気の流失なしに、−列に接続
される。以上の様に、複数のマニホールド・ブロックを
一列に接続するために、通路部６２′　と６５に平行し
て走る連絡を固くするための１通孔７１が設けられてい
る。

さらに、開口部に隣接するそれぞれの部分には、雌ねじ
７２が設けられ、パイプやプラグをねじ込むこともでき
る。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明のソレノイドバルブの第１実施例による
マニホールド・ブロックの斜視図（図を簡便にするため
、駆動装置は省略されている〉、第２図は、第１図で示
されるマニホールド・ブロックと共に用いられる駆動装
置の縦断面図（ここで、マニホールド・ブロックは、一
部だ（プ示されている）、第３図は、第１図と第２図を
合わせたソレノイドバルブの簡略な側面図、第４図は、
第３図のＩＶ　−ＩＶ線断面図を示し、本発明の第２実
施例の一部分図でおる。 １・・・ソレノイドバルブ ２・・・マニホールド・ブロック ３・・・駆動装置 ５．７・・・取付面 ６・・・ハウジング １４・・・給気通路 １６・・・負荷通路 １７・・・バルブ・プランジャ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　流体供給通路と負荷通路を備えたマニホールド・ブ
   ロックと、電磁コイルと電磁駆動のプランジャとを備え
   た駆動装置とからなるソレノイドバルブにおいて、 該駆動装置は、その取付面がマニホールド・ブロックの
   支持面にあたるような形で、マニホールド・ブロツク上
   に設置され、前記プランジャはマニホールド・ブロック
   側とその反対側の２つのスイッチ位置間を移動し、マニ
   ホールド・ブロックに近接したプランジャの一端は、供
   給通路に連通する給気口に対向しており、プランジャの
   マニホールド・ブロックから離隔側の他端は、排出通路
   の排出口に隣接しており、一方のスイツチ位置において
   、バルブ・プランジャは排出口を閉ざし、同時に供給通
   路を負荷通路に連通する給気口を開口するように構成さ
   れ、また、他方のスイッチ位置においてバルブ・プラン
   ジャは給気口を閉じ、排出口を開口して排出通路を負荷
   通路に連通するように構成され、排出通路は駆動装置の
   内部を、プランジャの変位方向に関してプランジヤの横
   側に延出して、マニホールド・ブロックの方向に連通し
   ており、該排出通路の排出口と離隔した端部はマニホー
   ルド・ブロックの内部に配設された排出口と対向して取
   付面上の一点で開口するような構成であることを特徴と
   するソレノイドバルブ。 ２　排出通路は３つの接続された通路部からなり、その
   うち、第１通路部は排出口から、プランジャの変位方向
   と平行に取付面と反対側の駆動装置の面に向つて伸び、
   該第１通路部の一端は、第１通路部に対して直角に、放
   射状に外側に伸びている第２通路部の一端に通じ、該第
   ２通路部の他端は、駆動装置内で第３通路部の一端に通
   じ、該第３通路部の一部はプランジャの変位方向つまり
   縦軸と平行に間隔をおいて配設されており、駆動装置内
   をマニホールド・ブロック方向に伸びて取付面で開口す
   る構成であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のソレノイドバルブ。 ３　排出通路は３つの通路部からなり、そのうち第１通
   路部は排出口から、マニホールド・ブロックから離隔す
   る方向に、プランジャの移動方向と平行に伸びて駆動装
   置の取付面側と反対側の面でその一端を開口し、一方第
   ３通路部はプランジャの変位方向に平行にかつ間隔をお
   いて駆動装置内部を完全に貫通して駆動装置の取付面と
   反対側の面で開口しており、第２通路部は取付面と反対
   側の面に隣接して設けられるバイパス部材として構成さ
   れ、該第２通路部の両端開口部は、取付面と反対側の面
   で開口する第１、第３通路部のそれぞれの開口部に接続
   されるような構成であることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のソレノイドバルブ。 ４　排出通路の一部が前記ソレノイドのコイル内を通る
   よう構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のソレノイドバルブ。 ５　前記駆動装置が前記ソレノイドコイルと前記プラン
   ジャとを含むハウジングを有し、前記排出通路の少なく
   とも一部分がハウジング内部で排出管として構成されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のソレ
   ノイドバルブ。 ６　前記排出管が前記ハウジングの壁と一体的に構成さ
   れる特許請求の範囲第５項記載のソレノイドバルブ。 ７　前記排出通路がその一端を前記取付面で開口し、さ
   らに該マニホールド・ブロック内部で伸びてその他端を
   マニホールド・ブロックの側面で接続口として開口する
   よう構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のソレノイドバルブ。 ８　前記マニガールドブロックが平行六面体の形をとる
   よう構成された、特許請求の範囲第７項記載のソレノイ
   ドバルブ。 ９　前記排出通路は第１、第２の通路部を有し、そのう
   ち第１通路部は取付面からマニホールド・ブロツク内部
   に少し伸びており、そこで、マニホールド・ブロック内
   部を貫通してその２側面に開口している第２通路部に一
   端を開口するよう構成されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のソレノイドバルブ。 １０　前記第２通路部はマニホールド・ブロツク内部を
   一直線に貫通するよう構成されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第９項記載のソレノイドバルブ。 １１　排気通路の前記第２通路部が、排気通路のうち縦
   軸方向に走り取付面で開口する通路部に対して横方向に
   配設されるよう構成されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第９項記載のソレノイドバルブ。 １２　排出通路の第１通路部は、排出通路の取付部に開
   口する通路部の長さ方向に対して斜めに、また、前記プ
   ランジャの長さ方向に対して斜めに伸びるよう構成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１１項記載の
   ソレノイドバルブ。 １３　給気通路が、排気通路の第２通路部に対して平行
   にマニホールド・ブロック内部を通る第１給気通路部と
   、この第１給気通路に開口し、この間口部から遠隔した
   他端が給気口と連絡するか、または給気口として形成さ
   れているような第２給気通路部とから構成されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のソレノイド
   バルブ。 １４　前記負荷通路が一端を取付面において開口してお
   り、一方給気通路や排出通路の開口部を有するマニホー
   ルド・ブロックの一側面に隣接する、マニホール・ブロ
   ックの側面のうちの一つにおいて、その他端を開口する
   よう構成された特許請求の範囲第１項に記載されるソレ
   ノイドバルブ。