JPS6388385A - ソレノイドバルブ - Google Patents
ソレノイドバルブInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0603—Multiple-way valves
- F16K31/0624—Lift valves
- F16K31/0627—Lift valves with movable valve member positioned between seats
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
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- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/16—Rectilinearly-movable armatures
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[発明の青票]
本発明はソレノイドバルブに関する。特に、流体供給通
路と、負荷通路(負荷に通ずる)とを内部に有したマニ
ホールド・ブロックを一方に備え、他方該マニホールド
・ブロック上に駆動装置を設置するよう構成されたソレ
ノイドバルブに関する。
路と、負荷通路(負荷に通ずる)とを内部に有したマニ
ホールド・ブロックを一方に備え、他方該マニホールド
・ブロック上に駆動装置を設置するよう構成されたソレ
ノイドバルブに関する。
該駆動装置は、マニホールド・ブロック方向とその反対
方向の2つのスイッチ位置間を移動するバルブ・プラン
ジャを備えており、該プランジャのマニホールド・ブロ
ックに近接する側の端部は、給気通路に通ずる給気口に
対向しており、マニホールド・ブロックから離隔して位
置するプランジャの反対側の端部は、排出通路の排出口
に隣接している。該バルブ・プランジャは、一方のスイ
ッチ位置において、排出口を閉鎖する様に配置されてお
り、それと同時に、給気通路を負荷通路と連通ずる給気
口を間口する様に構成されている。また、他方のスイッ
チ位置においては、給気口を閉じ、排出口を開いて、排
出通路が負荷通路と連通ずるように構成されている。
方向の2つのスイッチ位置間を移動するバルブ・プラン
ジャを備えており、該プランジャのマニホールド・ブロ
ックに近接する側の端部は、給気通路に通ずる給気口に
対向しており、マニホールド・ブロックから離隔して位
置するプランジャの反対側の端部は、排出通路の排出口
に隣接している。該バルブ・プランジャは、一方のスイ
ッチ位置において、排出口を閉鎖する様に配置されてお
り、それと同時に、給気通路を負荷通路と連通ずる給気
口を間口する様に構成されている。また、他方のスイッ
チ位置においては、給気口を閉じ、排出口を開いて、排
出通路が負荷通路と連通ずるように構成されている。
このような3/2ウエイ・ソレノイドバルブ(3通路2
方切換弁)は、圧縮空気あるいは、真空で作動する空気
圧系統に広く利用されている。
方切換弁)は、圧縮空気あるいは、真空で作動する空気
圧系統に広く利用されている。
この場合、圧力流体の供給源や真空ポンプに通ずる給気
通路と、ピストンやシリンダ部といった負荷に通ずる負
荷通路は、適切な接続部品によってマニホールド・ブロ
ックに連結されている。(特に、ねじによって連結され
る。)この様にして、給気通路は圧縮流体通路と連通し
、負荷通路は制御負荷通路と連通ずる様になっている。
通路と、ピストンやシリンダ部といった負荷に通ずる負
荷通路は、適切な接続部品によってマニホールド・ブロ
ックに連結されている。(特に、ねじによって連結され
る。)この様にして、給気通路は圧縮流体通路と連通し
、負荷通路は制御負荷通路と連通ずる様になっている。
バルブ・プランジャは、電気的に駆動される電磁コイル
によって作動する。このバルブ・プランジャの作動によ
って、一方のスイッチ位置において、給気通路と負荷通
路の連通が可能となり、その結果、圧縮流体、或いは真
空によって負荷が供給され、また、他方のスイッチ位置
において給気通路は閉じられ、同時に負荷通路と排出通
路が連通されて、負荷と負荷通路が解放されるようにな
っている。
によって作動する。このバルブ・プランジャの作動によ
って、一方のスイッチ位置において、給気通路と負荷通
路の連通が可能となり、その結果、圧縮流体、或いは真
空によって負荷が供給され、また、他方のスイッチ位置
において給気通路は閉じられ、同時に負荷通路と排出通
路が連通されて、負荷と負荷通路が解放されるようにな
っている。
以上述べた様なソレノイドバルブには、以下の様な欠点
がある。すなわち、駆動装置の側面に、排出通路が開口
しているため、ソレノイドバルブのすぐ外側で排出が行
われ、そのために、いわゆるクリーン・ルームでのソレ
ノイドバルブの使用が不可能になっている。例えば、コ
ンピュータ・チップが生産されていて、はこりを巻きお
こすいかなる原因も除去する努力が払われている研究所
や構内における使用を不可能にしている。バルブを通じ
て排出される圧縮空気は、常に、油分子や他の汚染物質
を含むために、この様な排気の存在は空気を汚染し、し
ばしば環境を汚染させる原因となる。
がある。すなわち、駆動装置の側面に、排出通路が開口
しているため、ソレノイドバルブのすぐ外側で排出が行
われ、そのために、いわゆるクリーン・ルームでのソレ
ノイドバルブの使用が不可能になっている。例えば、コ
ンピュータ・チップが生産されていて、はこりを巻きお
こすいかなる原因も除去する努力が払われている研究所
や構内における使用を不可能にしている。バルブを通じ
て排出される圧縮空気は、常に、油分子や他の汚染物質
を含むために、この様な排気の存在は空気を汚染し、し
ばしば環境を汚染させる原因となる。
[発明の構成]
本発明の目的は、作動中に環境汚染をしない、研究室な
どのクリーン・ルームにも適用できるタイプのソレノイ
ドバルブを提供することにある。
どのクリーン・ルームにも適用できるタイプのソレノイ
ドバルブを提供することにある。
この様な目的を達成するために、駆動装置内部に排出通
路が設けられ、その排出通路はプランジャの変位方向に
対して側方に伸びた1多でマニホールド・ブロックに向
って伸びている。排出通路の排出口部から遠隔側の一方
の端部は、マニホールド・ブロック内部に設けた排出通
路の開口部と対向する地点において取付面上で開口して
いる。これにより、排気は、ソレノイドバルブの近傍に
排出されることはなく、ソレノイドバルブの内部に導か
れ、マニホールド・ブロック内に形成された排出通路へ
と送られる。例えば、この排出通路は、圧縮空気の排出
が何ら差しつかえない地点に伸びている排気管に連結さ
れてもよい。従って、該ソレノイドバルブはその近傍に
使用済の空気を全く排出せず、排気管を通じてクリーン
・ルームの外部に導かれるようにできるため、該ソレノ
イドバルブは、特に、クリーン・ルーム内での使用に適
しているのである。この様な、本発明の利点は、言い替
えれば、ソレノイドバルブの作用を必要とする通路部、
つまり、給気通路やバルブにより制御された負荷に導く
通路や、排出通路が、マニホールド・ブロックの中央に
連結され、組立を単純化し、アフタサービスに結びつく
ことでおる。ざらに、もうひとつの利点は、駆動装置の
近接周辺部に導管が必要なことで、つまり、それはいく
つものソレノイドバルブがコンパクトに配列、または積
み重ねられる際にたいへん有利でおる。この場合、複数
のマニホールド・ブロック同士を重ねることによってソ
レノイドバルブを積み壬する様に配列したり、単一のマ
ニホールド・ブロックに複数の駆動装置を一列に並べて
配設することか可能となり、それによって圧縮流体の供
給や、使用済の排出流体の除去を、それぞれ、すべての
駆動装置を介している中央の給気通路や排出通路を通じ
て行うことができる。また、ソレノイドバルブの配設自
体も短時間で可能となり、配設時の失敗も大巾に削減さ
れよう。
路が設けられ、その排出通路はプランジャの変位方向に
対して側方に伸びた1多でマニホールド・ブロックに向
って伸びている。排出通路の排出口部から遠隔側の一方
の端部は、マニホールド・ブロック内部に設けた排出通
路の開口部と対向する地点において取付面上で開口して
いる。これにより、排気は、ソレノイドバルブの近傍に
排出されることはなく、ソレノイドバルブの内部に導か
れ、マニホールド・ブロック内に形成された排出通路へ
と送られる。例えば、この排出通路は、圧縮空気の排出
が何ら差しつかえない地点に伸びている排気管に連結さ
れてもよい。従って、該ソレノイドバルブはその近傍に
使用済の空気を全く排出せず、排気管を通じてクリーン
・ルームの外部に導かれるようにできるため、該ソレノ
イドバルブは、特に、クリーン・ルーム内での使用に適
しているのである。この様な、本発明の利点は、言い替
えれば、ソレノイドバルブの作用を必要とする通路部、
つまり、給気通路やバルブにより制御された負荷に導く
通路や、排出通路が、マニホールド・ブロックの中央に
連結され、組立を単純化し、アフタサービスに結びつく
ことでおる。ざらに、もうひとつの利点は、駆動装置の
近接周辺部に導管が必要なことで、つまり、それはいく
つものソレノイドバルブがコンパクトに配列、または積
み重ねられる際にたいへん有利でおる。この場合、複数
のマニホールド・ブロック同士を重ねることによってソ
レノイドバルブを積み壬する様に配列したり、単一のマ
ニホールド・ブロックに複数の駆動装置を一列に並べて
配設することか可能となり、それによって圧縮流体の供
給や、使用済の排出流体の除去を、それぞれ、すべての
駆動装置を介している中央の給気通路や排出通路を通じ
て行うことができる。また、ソレノイドバルブの配設自
体も短時間で可能となり、配設時の失敗も大巾に削減さ
れよう。
本発明の他の利点は、クレームに記載されている。
他の利点のひとつとして、排出通路は3つの接続する通
路部から成り立っている。1つは、排出口から、プラン
ジャの変位方向と平行に、駆動装置の取付面と反対側に
向って伸び、駆動装置内でその端部が第2の通路部と連
結している。第2通路部は第1通路部から見て横方向に
放射状に伸びてあり、その端部は駆動装置内部で第3通
路部に連結している。第3通路部は、縦軸、つまり、こ
の場合バルブ・プランジャの変位方向に、平行にしかも
間隔をおいた位置に駆動装置内でマニホールド・ブロッ
ク側に伸びており、その一端を取付面で開口している。
路部から成り立っている。1つは、排出口から、プラン
ジャの変位方向と平行に、駆動装置の取付面と反対側に
向って伸び、駆動装置内でその端部が第2の通路部と連
結している。第2通路部は第1通路部から見て横方向に
放射状に伸びてあり、その端部は駆動装置内部で第3通
路部に連結している。第3通路部は、縦軸、つまり、こ
の場合バルブ・プランジャの変位方向に、平行にしかも
間隔をおいた位置に駆動装置内でマニホールド・ブロッ
ク側に伸びており、その一端を取付面で開口している。
また、本発明の別の特徴として、3つの排出通路の第1
通路部が排出口からプランジャの方向と平行に、取付面
から離隔する方向に伸び、また第3通路部がプランジャ
と平行にしかも間隔をおいた位置においてその一端を駆
動装置の取付面で開口し、他端をその取(−1面と反対
面で開口するように、駆動装置の内部で伸び、第2通路
部をバイパス通路として、取付面と反対側の面に設けて
もよい。第2通路部の2つの間口部は、駆動装置の取付
面と反対側の面に近接するバイパス部材側に、間口して
あり、この2つの開口部はそれぞれ第1通路と第3通路
部の前記反対側の面に開口する端部に対応するものでお
る。
通路部が排出口からプランジャの方向と平行に、取付面
から離隔する方向に伸び、また第3通路部がプランジャ
と平行にしかも間隔をおいた位置においてその一端を駆
動装置の取付面で開口し、他端をその取(−1面と反対
面で開口するように、駆動装置の内部で伸び、第2通路
部をバイパス通路として、取付面と反対側の面に設けて
もよい。第2通路部の2つの間口部は、駆動装置の取付
面と反対側の面に近接するバイパス部材側に、間口して
あり、この2つの開口部はそれぞれ第1通路と第3通路
部の前記反対側の面に開口する端部に対応するものでお
る。
以上のように特徴づけることができるバルブは、単純な
構造で、それぞれの排気通路のデザインをかんがみても
安い価格で生産できるものである。
構造で、それぞれの排気通路のデザインをかんがみても
安い価格で生産できるものである。
本発明の詳細な説明は、実施例によって、図面を参照し
ながら、ざらに述べられよう。
ながら、ざらに述べられよう。
[実施例]
以下は第1図〜第3図に則して実施例を説明する。本発
明によるソレノイドバルブ1は、柱形成いは板状のマニ
ホールド・ブロック2、又はリーブ・プレートと、それ
に取りはずし可能に取り付けられる駆動装置3を有する
。図中では、上方になっているマニホールド・ブロック
の一端4は、取付面5として機能し、この取付面5上に
、やはり柱形のハウジングを有する駆動装置3がその取
付面として機能する面が下方に来る様に取り付けられる
。図1においては、駆動装置3(図示されず)の取付面
7の輪郭線が一点鎖線7′によって示されている。駆動
装置3は、2つの貫通孔9を有しており、それらの貫通
孔は、矢印8方向に見た時、互いに対角線上に位置する
ように配置されている。
明によるソレノイドバルブ1は、柱形成いは板状のマニ
ホールド・ブロック2、又はリーブ・プレートと、それ
に取りはずし可能に取り付けられる駆動装置3を有する
。図中では、上方になっているマニホールド・ブロック
の一端4は、取付面5として機能し、この取付面5上に
、やはり柱形のハウジングを有する駆動装置3がその取
付面として機能する面が下方に来る様に取り付けられる
。図1においては、駆動装置3(図示されず)の取付面
7の輪郭線が一点鎖線7′によって示されている。駆動
装置3は、2つの貫通孔9を有しており、それらの貫通
孔は、矢印8方向に見た時、互いに対角線上に位置する
ように配置されている。
これらの貫通孔9は、ハウジング6の中を矢印8方向に
伸びており、それぞれ組立ねじ11がとりつけられる。
伸びており、それぞれ組立ねじ11がとりつけられる。
これらの組立ねじは、マニホールド・ブロック2のねじ
穴10にねじ込まれることにより、駆動装置3をマニホ
ールド・ブロック2に取り付ける役割をする。
穴10にねじ込まれることにより、駆動装置3をマニホ
ールド・ブロック2に取り付ける役割をする。
マニホールド・ブロック2は、圧縮流体供給通路14、
排出通路15、負荷通路16を有している。これらの通
路部は、取付面5上にその一端を開いており、それぞれ
開口部14’ 、15’ 、16′として示されている
。給気通路14の他端は、圧縮流体供給源に連絡してお
り、負荷通路16は、圧縮空気により駆動される図示し
ない負荷に連絡することが可能である。
排出通路15、負荷通路16を有している。これらの通
路部は、取付面5上にその一端を開いており、それぞれ
開口部14’ 、15’ 、16′として示されている
。給気通路14の他端は、圧縮流体供給源に連絡してお
り、負荷通路16は、圧縮空気により駆動される図示し
ない負荷に連絡することが可能である。
給気通路の開口部14′は、取付面5のほぼ中央もしく
は、中心より少しずれた地点に位置し、一方、他の2つ
の開口部15′ と16′ は、取付面5の2つの角部
に位置している。これらの開口部は、取付面5上の輪郭
線形7′に沿って、並んで配置されている。
は、中心より少しずれた地点に位置し、一方、他の2つ
の開口部15′ と16′ は、取付面5の2つの角部
に位置している。これらの開口部は、取付面5上の輪郭
線形7′に沿って、並んで配置されている。
駆動装置3のハウジング6の内部には、バルブ・プラン
ジャ17が備えつけられており、それは本実施例におい
ては棒状であるが、他の形状も採用されよう。プランジ
ャの長さ方向18は、取付面5に対して直角をなしてい
る。バルブ・プランジャ17は、マニホールド・ブロッ
ク2から離隔して位置する一方の端19に近接する部分
がハウジングの穴20に挿入されるよう配置されるため
、プランジャ17は、長さ方向に2単矢印21で示され
るような前後運動が可能である。プランジャ17の他方
の端22とマニホールド・ブロック2とに近接するプラ
ンジャの部分23は、ハウジング内部の穴20から、取
付部7に近接する部分に設けられたチャンバ24の内に
向けてつき出ている。プランジャの端部22は、半径方
向に外側に向けて突出するリム25を有する。このリム
25にプランジャの他方の端部19方向に伸びている円
錐コイルスプリング29の一端が支持され、同。
ジャ17が備えつけられており、それは本実施例におい
ては棒状であるが、他の形状も採用されよう。プランジ
ャの長さ方向18は、取付面5に対して直角をなしてい
る。バルブ・プランジャ17は、マニホールド・ブロッ
ク2から離隔して位置する一方の端19に近接する部分
がハウジングの穴20に挿入されるよう配置されるため
、プランジャ17は、長さ方向に2単矢印21で示され
るような前後運動が可能である。プランジャ17の他方
の端22とマニホールド・ブロック2とに近接するプラ
ンジャの部分23は、ハウジング内部の穴20から、取
付部7に近接する部分に設けられたチャンバ24の内に
向けてつき出ている。プランジャの端部22は、半径方
向に外側に向けて突出するリム25を有する。このリム
25にプランジャの他方の端部19方向に伸びている円
錐コイルスプリング29の一端が支持され、同。
スプリングの他端は、チャンバ24とハウジング内部の
穴20との間の移行部に設けられた環状ステップ30に
支えられている。バネ29は、プランジャ17をマニホ
ールド・ブロック2の方向に付勢し、図2に見られる第
1のスイッチ位置にて、プランジャの端部22の最端部
をプランジャ方向に延出するニップル31の端面に押し
つける。チャンバ24とマニホールド・ブロック2を分
かつハウジングの壁面32に、ニップル31は、形成さ
れており、通路33を形作っている。この通路33は、
取付面7上でその一端を開いており、(34)、他端は
プランジャに近接する、ニップルの上端部のところで開
口している。開口部34は、給気通路開口部14′のち
ようと反対側にあたり、通路33と給気通路14は必要
て必らば、シーリング・ワッシャを利用して互いに連絡
するようになっている。
穴20との間の移行部に設けられた環状ステップ30に
支えられている。バネ29は、プランジャ17をマニホ
ールド・ブロック2の方向に付勢し、図2に見られる第
1のスイッチ位置にて、プランジャの端部22の最端部
をプランジャ方向に延出するニップル31の端面に押し
つける。チャンバ24とマニホールド・ブロック2を分
かつハウジングの壁面32に、ニップル31は、形成さ
れており、通路33を形作っている。この通路33は、
取付面7上でその一端を開いており、(34)、他端は
プランジャに近接する、ニップルの上端部のところで開
口している。開口部34は、給気通路開口部14′のち
ようと反対側にあたり、通路33と給気通路14は必要
て必らば、シーリング・ワッシャを利用して互いに連絡
するようになっている。
矢印方向に見られるように、さらに通路36がニップル
31に隣接して、チャンバ24内部に開口しており、こ
の通路は、駆動装置のハウジングの壁32を通り扱けて
、取付面5の負荷通路の開口部16′に対向する(図2
での)取付面5の地点で開口している。このように、負
荷通路16と、チャンバ24間は常に連絡される。外部
への漏洩による、流体の流失を防ぐため、2つの面5と
7の間にガスケット・ワッシャを設けることも可能でお
る。
31に隣接して、チャンバ24内部に開口しており、こ
の通路は、駆動装置のハウジングの壁32を通り扱けて
、取付面5の負荷通路の開口部16′に対向する(図2
での)取付面5の地点で開口している。このように、負
荷通路16と、チャンバ24間は常に連絡される。外部
への漏洩による、流体の流失を防ぐため、2つの面5と
7の間にガスケット・ワッシャを設けることも可能でお
る。
第2図に示される様な、第1スイッチ位置において、排
出通路の開口部あるいは排出口37は、プランジャの縦
方向における一端19と対向している。排出口37と給
気口35は同一軸上に位置しており、矢印21に示され
る様な、バルブプランジャ17の往復運動が可能な様に
、両者間の距離は、バルブ・プランジャの長さよりも長
くつくられている。ハウジング内部の穴20に隣接する
部分とチャンバ24との間にバイパスをつけるように、
ハウジング内部の穴20の壁面には、縦溝39がプラン
ジャの長さ方向に、彫りこまれている。バルブ・プラン
ジャの2端部19と22にはターミナル・シール40と
40′が設けられており、それぞれ開口部35.37を
封じる働きをする。
出通路の開口部あるいは排出口37は、プランジャの縦
方向における一端19と対向している。排出口37と給
気口35は同一軸上に位置しており、矢印21に示され
る様な、バルブプランジャ17の往復運動が可能な様に
、両者間の距離は、バルブ・プランジャの長さよりも長
くつくられている。ハウジング内部の穴20に隣接する
部分とチャンバ24との間にバイパスをつけるように、
ハウジング内部の穴20の壁面には、縦溝39がプラン
ジャの長さ方向に、彫りこまれている。バルブ・プラン
ジャの2端部19と22にはターミナル・シール40と
40′が設けられており、それぞれ開口部35.37を
封じる働きをする。
排出通路38は完全に、すなわちその全長に亘り駆動装
置3の内部に位置しており、通気口37に隣接した地点
から外部に向って放射状に伸び、さらにハウジング内部
の穴20の側面から距離をおいてマニホールド・ブロッ
ク方向に、配置されるように伸びている。排出通路38
は、取付面7の地点でその一端が止まり、そこで開口部
41は、排出通路15′に対向している。外部との連絡
路を密封するため、2つの開口部41と15′の周辺部
分は取付面7の隙間に取つけられたガスケット・ワッシ
ャ42に囲まれている。バルブ・プランジャ17の外部
周辺、特に、ハウジング内の穴20に近接した部分に図
において点線のみて示されたソレノイド・ワインディン
グ(電磁コイル)44が設けられている。電磁コイル4
4には、端子45が接続されており、巻線が電気的に励
磁されて電磁場を形成し、バルブ・プランジャ17が二
重矢印21で示されるように、2つのスイッチ位置を往
復運動するようにされている。その第1スイッチ位置は
同時に静止位置でおり、第2図に示されている。
置3の内部に位置しており、通気口37に隣接した地点
から外部に向って放射状に伸び、さらにハウジング内部
の穴20の側面から距離をおいてマニホールド・ブロッ
ク方向に、配置されるように伸びている。排出通路38
は、取付面7の地点でその一端が止まり、そこで開口部
41は、排出通路15′に対向している。外部との連絡
路を密封するため、2つの開口部41と15′の周辺部
分は取付面7の隙間に取つけられたガスケット・ワッシ
ャ42に囲まれている。バルブ・プランジャ17の外部
周辺、特に、ハウジング内の穴20に近接した部分に図
において点線のみて示されたソレノイド・ワインディン
グ(電磁コイル)44が設けられている。電磁コイル4
4には、端子45が接続されており、巻線が電気的に励
磁されて電磁場を形成し、バルブ・プランジャ17が二
重矢印21で示されるように、2つのスイッチ位置を往
復運動するようにされている。その第1スイッチ位置は
同時に静止位置でおり、第2図に示されている。
電磁コイル44の励磁によってソレノイドバルブが作用
している場合、バルブ・プランジャ17は、給気口35
を開口しながら、円錐コイルばね29の力に対して運動
することになり従って、給気通路14からの圧縮空気か
通路33、給気口35、チャンバ24、通路36、流皇
制御通路16を経てソレノイドバルブによって制御され
る負荷体に、到達する。この場合バルブ・プランジャ1
7は、上部シール40が通気口37を閉じ空気が流出で
きないように、上方に持ち上げられる。
している場合、バルブ・プランジャ17は、給気口35
を開口しながら、円錐コイルばね29の力に対して運動
することになり従って、給気通路14からの圧縮空気か
通路33、給気口35、チャンバ24、通路36、流皇
制御通路16を経てソレノイドバルブによって制御され
る負荷体に、到達する。この場合バルブ・プランジャ1
7は、上部シール40が通気口37を閉じ空気が流出で
きないように、上方に持ち上げられる。
電磁コイルでの電圧が下がるとすぐに、バルブ・プラン
ジャ17は、円錐コイルばね29の動きにより、第1ス
イッチ位置に戻る。この位置において、プランジャの下
部シール部40′が密閉作用で給気口を閉じる。同時に
、排出口37が開口し、負荷通路16が負荷通路36、
チャンバ24、縦溝39、排出口37を介して、排出通
路15に連通される。つまり、負荷通路、負荷パイプ、
それに関係する負荷そのものが、排出され、排気全体の
流れは、排出通路、排出口15′を介して排出通路15
に導かれる。この時、排気は、バルブの周囲へは全く流
出しない。この通路15から排出される空気は、図示さ
れないパイプを介して、任意の地点に運ばれよう。この
様に、排気流はバルブの近傍に直接排出されず、実際に
漏洩なしに、クリーン・ルームの外の任意の地点に導け
るために、確実に汚染されてはならないクリーン・ルー
ム内での使用に際してこのソレノイドバルブは大きな利
点がある。
ジャ17は、円錐コイルばね29の動きにより、第1ス
イッチ位置に戻る。この位置において、プランジャの下
部シール部40′が密閉作用で給気口を閉じる。同時に
、排出口37が開口し、負荷通路16が負荷通路36、
チャンバ24、縦溝39、排出口37を介して、排出通
路15に連通される。つまり、負荷通路、負荷パイプ、
それに関係する負荷そのものが、排出され、排気全体の
流れは、排出通路、排出口15′を介して排出通路15
に導かれる。この時、排気は、バルブの周囲へは全く流
出しない。この通路15から排出される空気は、図示さ
れないパイプを介して、任意の地点に運ばれよう。この
様に、排気流はバルブの近傍に直接排出されず、実際に
漏洩なしに、クリーン・ルームの外の任意の地点に導け
るために、確実に汚染されてはならないクリーン・ルー
ム内での使用に際してこのソレノイドバルブは大きな利
点がある。
第2.3図は、本発明の実施例を示しており、特に排出
通路にその利用が見られるものでおる。
通路にその利用が見られるものでおる。
この実施例では、従来に比べ、駆動装置の小型化を可能
にしている。この構成においては、排出口37に接続す
る第1通路部が設けられ、縦軸18を中心線として、取
付面7より遠隔したハウジング6の上側面47に向けて
伸びている。この通路は、上面47では開口しておらず
、その少し手前で止まり、第2通路部を形成する横断通
路48へと開いている。この第2通路部は中心@111
8について放射状に外側にハウジングの一角に向って伸
びており、矢印8の方向から見た場合、はぼ対角線上に
伸びている。この通路部48もまた、駆動装置内で終了
し、直接第3通路部49に開いたいる。この第3通路部
49はこの色地点から、ハウジング内部の穴20と平行
に、しかも間隔をおいて、開口部41までまっすぐ伸び
ている。
にしている。この構成においては、排出口37に接続す
る第1通路部が設けられ、縦軸18を中心線として、取
付面7より遠隔したハウジング6の上側面47に向けて
伸びている。この通路は、上面47では開口しておらず
、その少し手前で止まり、第2通路部を形成する横断通
路48へと開いている。この第2通路部は中心@111
8について放射状に外側にハウジングの一角に向って伸
びており、矢印8の方向から見た場合、はぼ対角線上に
伸びている。この通路部48もまた、駆動装置内で終了
し、直接第3通路部49に開いたいる。この第3通路部
49はこの色地点から、ハウジング内部の穴20と平行
に、しかも間隔をおいて、開口部41までまっすぐ伸び
ている。
本発明の当実施例においては、これらの通路部は、別個
にドリルで開けられており、それらの端部は、プラグ5
0で閉鎖されている。
にドリルで開けられており、それらの端部は、プラグ5
0で閉鎖されている。
この構成は以下の様に変更されてもよい。すなわら、互
いに、平行に走る2つの通路部46と49は、それぞれ
の開口部37と41と反対側の端部を前記上面47で開
口させている。(第3図参照)そして第3図において、
破線で示される通り、上面47に2つの開口部52と5
2′ と連絡する様なコの字型通路を備えた、角部材5
0を設けてもよい。当実施例においては、横断通路48
を実際にコの字型通路51で代用させることにより、省
略可能なため駆動装置は、より迅速に工場生産できよう
。
いに、平行に走る2つの通路部46と49は、それぞれ
の開口部37と41と反対側の端部を前記上面47で開
口させている。(第3図参照)そして第3図において、
破線で示される通り、上面47に2つの開口部52と5
2′ と連絡する様なコの字型通路を備えた、角部材5
0を設けてもよい。当実施例においては、横断通路48
を実際にコの字型通路51で代用させることにより、省
略可能なため駆動装置は、より迅速に工場生産できよう
。
より単純な構成にするため、当実施例では、ハウジング
6を縦軸18に沿ってつみ重ねるよう構成された、とり
はずし可能な2つの接続部材6′と6″で構成してもよ
い。第1のハウジング部材6′は、取付面7を有し、平
行六面体をしている。
6を縦軸18に沿ってつみ重ねるよう構成された、とり
はずし可能な2つの接続部材6′と6″で構成してもよ
い。第1のハウジング部材6′は、取付面7を有し、平
行六面体をしている。
一般にこの部材6′の高さは、ハウジング6の全長高の
1/3に等しい。部材6′は取付面7より離隔した面5
3において、チャンバ24を形成する筒形穴を有してい
る。第2のハウジング部材6″は面53上に配置され、
その管状突起56がチャンバ24、おるいは凹部にぴっ
たり挿入され、54で部材6′にロックされる。2つの
部材が連絡される通路部49の部分に隣接して、通路部
を取り囲んで外部から閉鎖するように、ガスケット・ワ
ッシャ55が配置されている。管状突起56が挿入され
る部分に隣接して、チャンバ24、あるいは凹部の周面
に対して、密閉作用をなすガスケット・ワッシャがとり
つけられる。
1/3に等しい。部材6′は取付面7より離隔した面5
3において、チャンバ24を形成する筒形穴を有してい
る。第2のハウジング部材6″は面53上に配置され、
その管状突起56がチャンバ24、おるいは凹部にぴっ
たり挿入され、54で部材6′にロックされる。2つの
部材が連絡される通路部49の部分に隣接して、通路部
を取り囲んで外部から閉鎖するように、ガスケット・ワ
ッシャ55が配置されている。管状突起56が挿入され
る部分に隣接して、チャンバ24、あるいは凹部の周面
に対して、密閉作用をなすガスケット・ワッシャがとり
つけられる。
第1〜3図に見られる本発明の実施例において、排出通
路38はドリルによって開けられた孔であり、鋳造によ
って形成されてもよい。必要であれば、特に、第3の排
出通路49を電磁コイルを通り(友けて延長してもよい
。これは、特にコイルがプランジャの外側面の全体にわ
たって配設される際、採用されよう。第4図に示される
実施例においては、排出通路38は、ハウジング壁面5
8の内部に設けられた、排出管57内に、特に鋳型成形
によって設けられてもよい。
路38はドリルによって開けられた孔であり、鋳造によ
って形成されてもよい。必要であれば、特に、第3の排
出通路49を電磁コイルを通り(友けて延長してもよい
。これは、特にコイルがプランジャの外側面の全体にわ
たって配設される際、採用されよう。第4図に示される
実施例においては、排出通路38は、ハウジング壁面5
8の内部に設けられた、排出管57内に、特に鋳型成形
によって設けられてもよい。
以下に、マニホールド・ブロック2内の通路の形態がさ
らに詳細に説明される。すなわち、他のソレノイドバル
ブのマニホールド・ブロック同士が積み重ねて配設され
たり、複数の圧縮流体通路や、排出通路を連絡するため
の異った部材が取り付けられたりする例である。ここで
、排出通路15は、2つの通路部62と62′を有して
おり、62は、取付面5での開口部15′から、マニホ
ールド・ブロック2内部へ伸びており、この通路・部の
一端、つまり、一般にマニホールド・ブロックの中間部
において、第2の通路部62′ に連通している。第2
の通路部62′は、取付面5に平行に、かつ、縦軸18
に対して直角に、マニホールド・ブロック2の内部をま
っすぐ通り後けて、マニホールド・ブロックの2側面6
3.63’で、それぞれ開口部64.64’ として開
口している。
らに詳細に説明される。すなわち、他のソレノイドバル
ブのマニホールド・ブロック同士が積み重ねて配設され
たり、複数の圧縮流体通路や、排出通路を連絡するため
の異った部材が取り付けられたりする例である。ここで
、排出通路15は、2つの通路部62と62′を有して
おり、62は、取付面5での開口部15′から、マニホ
ールド・ブロック2内部へ伸びており、この通路・部の
一端、つまり、一般にマニホールド・ブロックの中間部
において、第2の通路部62′ に連通している。第2
の通路部62′は、取付面5に平行に、かつ、縦軸18
に対して直角に、マニホールド・ブロック2の内部をま
っすぐ通り後けて、マニホールド・ブロックの2側面6
3.63’で、それぞれ開口部64.64’ として開
口している。
取付面5の角部に開口する開口部15′から、通路部6
2は縦軸18に対して斜めに伸びており、他の通路部6
2′の中央に近接して開口するように、伸びている。開
口部64′にプラグがねじ込まれても、2つの通路部6
2と62′ は固く連絡されることができる。本実施例
において、2つの開口部を持つ、通路部62′は、必要
ならば、−方の端だけを開口してもよく、この場合、一
方は、閉鎖されよう。
2は縦軸18に対して斜めに伸びており、他の通路部6
2′の中央に近接して開口するように、伸びている。開
口部64′にプラグがねじ込まれても、2つの通路部6
2と62′ は固く連絡されることができる。本実施例
において、2つの開口部を持つ、通路部62′は、必要
ならば、−方の端だけを開口してもよく、この場合、一
方は、閉鎖されよう。
実施例において、第2通路部14は2つの通路部65と
65′で作られており、通路部65′はマニホールド・
ブロック2の内部を、他の通路部65に開口する部分ま
で伸びている。通路部65はマニホールド・ブロック2
の内部に同内部を完壁に通り央ける形で排出通路部62
′ と平行に配設されており、排出通路部62′のよう
にマニホールド・ブロック2の中を通り措けており、マ
ニホールド・ブロック2の側面63と63′のところで
開口している。すなわち排出通路15の開口部64.6
4’ と同様に配設されている。
65′で作られており、通路部65′はマニホールド・
ブロック2の内部を、他の通路部65に開口する部分ま
で伸びている。通路部65はマニホールド・ブロック2
の内部に同内部を完壁に通り央ける形で排出通路部62
′ と平行に配設されており、排出通路部62′のよう
にマニホールド・ブロック2の中を通り措けており、マ
ニホールド・ブロック2の側面63と63′のところで
開口している。すなわち排出通路15の開口部64.6
4’ と同様に配設されている。
負荷用空気を供給するための負荷通路16は、L字形を
しており、一方の端は、取イ4面5において開口部16
′を開いており、他方の端は、マニホールド・ブロック
2の側面63.側面63′間に位置する側面66側に、
上面4に近接して開口している。この開口部67は、第
3図に見られる様に、負荷供給通路またはホースに接続
するための接続ニップル68を備えている。排出通路部
62′は、マニホールド・ブロック2の下方側近傍に伸
びており、マニホールド・ブロック内部の負荷通路16
の開口部67へと連通ずる部材69より少し上の部分で
、部材69を横断しでいる。部材69は、2つの通路部
14と15の間の位置で一つの通路部69′と連通して
いる通路部69′は上方の開口部16′に連通している
。上方部4から見られる様に、開口部16′は一般に2
つの通路部62′ と65の間に位置している。
しており、一方の端は、取イ4面5において開口部16
′を開いており、他方の端は、マニホールド・ブロック
2の側面63.側面63′間に位置する側面66側に、
上面4に近接して開口している。この開口部67は、第
3図に見られる様に、負荷供給通路またはホースに接続
するための接続ニップル68を備えている。排出通路部
62′は、マニホールド・ブロック2の下方側近傍に伸
びており、マニホールド・ブロック内部の負荷通路16
の開口部67へと連通ずる部材69より少し上の部分で
、部材69を横断しでいる。部材69は、2つの通路部
14と15の間の位置で一つの通路部69′と連通して
いる通路部69′は上方の開口部16′に連通している
。上方部4から見られる様に、開口部16′は一般に2
つの通路部62′ と65の間に位置している。
第3図に見られる様に、通路部65と62′の開口部の
位置は、環形の溝70によって囲まれており、その中に
は、ガスケット・ワッシャが嵌められていて、複数のマ
ニホールド・ブロックが空気の流失なしに、−列に接続
される。以上の様に、複数のマニホールド・ブロックを
一列に接続するために、通路部62′ と65に平行し
て走る連絡を固くするための1通孔71が設けられてい
る。
位置は、環形の溝70によって囲まれており、その中に
は、ガスケット・ワッシャが嵌められていて、複数のマ
ニホールド・ブロックが空気の流失なしに、−列に接続
される。以上の様に、複数のマニホールド・ブロックを
一列に接続するために、通路部62′ と65に平行し
て走る連絡を固くするための1通孔71が設けられてい
る。
さらに、開口部に隣接するそれぞれの部分には、雌ねじ
72が設けられ、パイプやプラグをねじ込むこともでき
る。
72が設けられ、パイプやプラグをねじ込むこともでき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のソレノイドバルブの第1実施例による
マニホールド・ブロックの斜視図(図を簡便にするため
、駆動装置は省略されている〉、第2図は、第1図で示
されるマニホールド・ブロックと共に用いられる駆動装
置の縦断面図(ここで、マニホールド・ブロックは、一
部だ(プ示されている)、第3図は、第1図と第2図を
合わせたソレノイドバルブの簡略な側面図、第4図は、
第3図のIV −IV線断面図を示し、本発明の第2実
施例の一部分図でおる。 1・・・ソレノイドバルブ 2・・・マニホールド・ブロック 3・・・駆動装置 5.7・・・取付面 6・・・ハウジング 14・・・給気通路 16・・・負荷通路 17・・・バルブ・プランジャ
マニホールド・ブロックの斜視図(図を簡便にするため
、駆動装置は省略されている〉、第2図は、第1図で示
されるマニホールド・ブロックと共に用いられる駆動装
置の縦断面図(ここで、マニホールド・ブロックは、一
部だ(プ示されている)、第3図は、第1図と第2図を
合わせたソレノイドバルブの簡略な側面図、第4図は、
第3図のIV −IV線断面図を示し、本発明の第2実
施例の一部分図でおる。 1・・・ソレノイドバルブ 2・・・マニホールド・ブロック 3・・・駆動装置 5.7・・・取付面 6・・・ハウジング 14・・・給気通路 16・・・負荷通路 17・・・バルブ・プランジャ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 流体供給通路と負荷通路を備えたマニホールド・ブ
ロックと、電磁コイルと電磁駆動のプランジャとを備え
た駆動装置とからなるソレノイドバルブにおいて、 該駆動装置は、その取付面がマニホールド・ブロックの
支持面にあたるような形で、マニホールド・ブロツク上
に設置され、前記プランジャはマニホールド・ブロック
側とその反対側の2つのスイッチ位置間を移動し、マニ
ホールド・ブロックに近接したプランジャの一端は、供
給通路に連通する給気口に対向しており、プランジャの
マニホールド・ブロックから離隔側の他端は、排出通路
の排出口に隣接しており、一方のスイツチ位置において
、バルブ・プランジャは排出口を閉ざし、同時に供給通
路を負荷通路に連通する給気口を開口するように構成さ
れ、また、他方のスイッチ位置においてバルブ・プラン
ジャは給気口を閉じ、排出口を開口して排出通路を負荷
通路に連通するように構成され、排出通路は駆動装置の
内部を、プランジャの変位方向に関してプランジヤの横
側に延出して、マニホールド・ブロックの方向に連通し
ており、該排出通路の排出口と離隔した端部はマニホー
ルド・ブロックの内部に配設された排出口と対向して取
付面上の一点で開口するような構成であることを特徴と
するソレノイドバルブ。 2 排出通路は3つの接続された通路部からなり、その
うち、第1通路部は排出口から、プランジャの変位方向
と平行に取付面と反対側の駆動装置の面に向つて伸び、
該第1通路部の一端は、第1通路部に対して直角に、放
射状に外側に伸びている第2通路部の一端に通じ、該第
2通路部の他端は、駆動装置内で第3通路部の一端に通
じ、該第3通路部の一部はプランジャの変位方向つまり
縦軸と平行に間隔をおいて配設されており、駆動装置内
をマニホールド・ブロック方向に伸びて取付面で開口す
る構成であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載のソレノイドバルブ。 3 排出通路は3つの通路部からなり、そのうち第1通
路部は排出口から、マニホールド・ブロックから離隔す
る方向に、プランジャの移動方向と平行に伸びて駆動装
置の取付面側と反対側の面でその一端を開口し、一方第
3通路部はプランジャの変位方向に平行にかつ間隔をお
いて駆動装置内部を完全に貫通して駆動装置の取付面と
反対側の面で開口しており、第2通路部は取付面と反対
側の面に隣接して設けられるバイパス部材として構成さ
れ、該第2通路部の両端開口部は、取付面と反対側の面
で開口する第1、第3通路部のそれぞれの開口部に接続
されるような構成であることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載のソレノイドバルブ。 4 排出通路の一部が前記ソレノイドのコイル内を通る
よう構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載のソレノイドバルブ。 5 前記駆動装置が前記ソレノイドコイルと前記プラン
ジャとを含むハウジングを有し、前記排出通路の少なく
とも一部分がハウジング内部で排出管として構成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のソレ
ノイドバルブ。 6 前記排出管が前記ハウジングの壁と一体的に構成さ
れる特許請求の範囲第5項記載のソレノイドバルブ。 7 前記排出通路がその一端を前記取付面で開口し、さ
らに該マニホールド・ブロック内部で伸びてその他端を
マニホールド・ブロックの側面で接続口として開口する
よう構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載のソレノイドバルブ。 8 前記マニガールドブロックが平行六面体の形をとる
よう構成された、特許請求の範囲第7項記載のソレノイ
ドバルブ。 9 前記排出通路は第1、第2の通路部を有し、そのう
ち第1通路部は取付面からマニホールド・ブロツク内部
に少し伸びており、そこで、マニホールド・ブロック内
部を貫通してその2側面に開口している第2通路部に一
端を開口するよう構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のソレノイドバルブ。 10 前記第2通路部はマニホールド・ブロツク内部を
一直線に貫通するよう構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第9項記載のソレノイドバルブ。 11 排気通路の前記第2通路部が、排気通路のうち縦
軸方向に走り取付面で開口する通路部に対して横方向に
配設されるよう構成されていることを特徴とする特許請
求の範囲第9項記載のソレノイドバルブ。 12 排出通路の第1通路部は、排出通路の取付部に開
口する通路部の長さ方向に対して斜めに、また、前記プ
ランジャの長さ方向に対して斜めに伸びるよう構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第11項記載の
ソレノイドバルブ。 13 給気通路が、排気通路の第2通路部に対して平行
にマニホールド・ブロック内部を通る第1給気通路部と
、この第1給気通路に開口し、この間口部から遠隔した
他端が給気口と連絡するか、または給気口として形成さ
れているような第2給気通路部とから構成されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のソレノイド
バルブ。 14 前記負荷通路が一端を取付面において開口してお
り、一方給気通路や排出通路の開口部を有するマニホー
ルド・ブロックの一側面に隣接する、マニホール・ブロ
ックの側面のうちの一つにおいて、その他端を開口する
よう構成された特許請求の範囲第1項に記載されるソレ
ノイドバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE8625407U DE8625407U1 (de) | 1986-09-23 | 1986-09-23 | Magnetventil |
DE8625407.3 | 1986-09-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6388385A true JPS6388385A (ja) | 1988-04-19 |
Family
ID=6798544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Patent Citations (1)
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