JPS6388299A - Turbo molecular pump - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To maintain the operating efficiency of a pump by forming each rotor vane from metal sheet plastically deformed, nipping the vane with ring spacers, and pressing the root of the blade part of the rotor vane with a detent boss of the ring spacer. CONSTITUTION:A rotor vane 4 is nipped by ring spacers 3, and a stator vane 10 is arranged between them. A detent boss 31 is furnished at the periphery of each ring spacer 3, and its end face 32 is formed in an angle corresponding to the slope at the root of the blade part of rotor vane. Thereby the centrifugal force applied to the rotor vane 4 can be retained even by the ring spacer, which ensures maintaining high speed rotation.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はターボ分子ポンプに関し、超高真空を得るのに
用いて有効である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a turbomolecular pump, which is effectively used to obtain an ultra-high vacuum.

〔従来技術およびその問題点〕[Prior art and its problems]

従来、高真空を得るためのターボ分子ポンプとして、ケ
ーシング内を回転するロータを複数のリングスペーサよ
り形成することは知られていた。Conventionally, it has been known that a rotor rotating within a casing is formed from a plurality of ring spacers as a turbomolecular pump for obtaining high vacuum.

そしてこのリングスペーサ間に金属性板部材より塑性変
形により形成した動翼を挟持することも知られていた（
例えば特開昭６０−１０１２９９号公報）。It was also known to sandwich rotor blades formed by plastic deformation from a metal plate member between these ring spacers (
For example, Japanese Patent Application Laid-open No. 101299/1983).

このように動翼を金属材料性板部材より塑性変形により
形成することは、その製作コストを安価なものとするこ
とができ、実用上望ましいものである。しかしながら、
ターボ分子ポンプは、高真空を得るため動翼が極めて高
い回転数でケーシング内を回転しなければならない。Forming the rotor blade by plastic deformation from a metal plate member in this way can reduce the manufacturing cost and is practically desirable. however,
In a turbomolecular pump, the rotor blades must rotate within the casing at extremely high rotational speeds in order to obtain a high vacuum.

そのため、作動時においては動翼に大きな遠心力が作用
し、この遠心力により動翼のブレード部ひねり角が変形
してしまうという恐れがあった。Therefore, during operation, a large centrifugal force acts on the rotor blade, and there is a fear that the twist angle of the blade portion of the rotor blade may be changed due to this centrifugal force.

このようにひねり角が変形すれば、ターボ分子ポンプと
しての作動効率を低下させることとなり、所定の圧縮比
等が得られないことになる。If the twist angle is deformed in this way, the operating efficiency as a turbo-molecular pump will be reduced, and a predetermined compression ratio etc. will not be obtained.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

本発明は上記点に迄みて案出されたもので、ターボ分子
ポンプの動翼を金属性板部材より塑性変形により形成し
、もってターボ分子ポンプを安価に製作できるように目
的とする。さらに、本発明圧縮機は、上記構成のポンプ
において、ポンプ作動中における動翼の変形を防止し、
ポンプが常に良好な作動効率を維持することができるよ
うにすることを目的とする。The present invention has been devised in view of the above points, and an object of the present invention is to form the rotor blades of a turbo-molecular pump by plastic deformation from a metal plate member, thereby making it possible to manufacture the turbo-molecular pump at low cost. Furthermore, the compressor of the present invention prevents deformation of the rotor blades during pump operation in the pump configured as described above,
The purpose is to enable the pump to always maintain good operating efficiency.

〔構成および作動〕[Configuration and operation]

上記目的を達成するため、本発明のターボ分子ポンプで
は、動翼を金属性の板部材より塑性変形により形成し、
かつこの動翼をリングスペーサにより挟持するという構
成を採用する。さらにリングスペーサには動翼のブレー
ド部傾斜角に対応した角度を有する係止突起を形成する
。この係止突起により動翼のブレード部根元を押さえつ
ける構成とする。In order to achieve the above object, in the turbo molecular pump of the present invention, the rotor blades are formed by plastic deformation from a metal plate member,
In addition, a configuration is adopted in which the rotor blades are sandwiched between ring spacers. Furthermore, a locking protrusion having an angle corresponding to the inclination angle of the blade portion of the rotor blade is formed on the ring spacer. This locking protrusion is configured to press down the root of the blade portion of the rotor blade.

このように係止突起によりブレード部の根元部が押さえ
つけられているため、動翼が高速回転したとしても、遠
心力により動翼の傾斜角が変形することはない。Since the root portion of the blade portion is pressed down by the locking protrusion in this manner, even if the rotor blade rotates at high speed, the inclination angle of the rotor blade will not be deformed due to centrifugal force.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明ポンプの一実施例を図に基づいて説明する。 An embodiment of the pump of the present invention will be described below based on the drawings.

第１図中１はケーシングで、高真空に強い材料例えばス
テンレス材料により形成される。このケーシング１の内
部には円筒状の作動室空間１０１が形成されている。こ
の作動１０１の図中上方側には流入孔１８が開口してお
り、また作動室の図中下方側は流出孔１１に連通してい
る。なおケーシング１の下方はハウジング１６に固定さ
れており、流出孔１１はこのハウジング１６に形成され
ている。またハウジング１６の流出孔１１部分には、流
出バイブ１７が圧入されている。ハウジング１６内には
三層交流モータ８が固定されている。Reference numeral 1 in FIG. 1 denotes a casing, which is made of a material that is resistant to high vacuum, such as stainless steel. A cylindrical working chamber space 101 is formed inside this casing 1 . An inflow hole 18 is open on the upper side of the actuating chamber 101 in the drawing, and the lower side of the working chamber in the drawing communicates with the outflow hole 11. Note that the lower part of the casing 1 is fixed to a housing 16, and the outflow hole 11 is formed in this housing 16. Further, an outflow vibrator 17 is press-fitted into the outflow hole 11 portion of the housing 16. A three-layer AC motor 8 is fixed within the housing 16 .

このモータ８はシャフトを高速回転させるものである。This motor 8 rotates the shaft at high speed.

すなわちモータは２００００ｒｐｎ＋から５０００Ｏｒ
ｐｍ程度の高速回転を行う。シャフト６は高速回転を支
持する軸受１４，１５によって回転自在に支持されてい
る。この軸受１４，１５は高真空に耐えるようグリース
潤滑の高速回転用ベアリングとなっている（ドライベア
リングは磁気軸受を用いるときの保護ベアリングとして
用いられる）。In other words, the motor is 20000rpm+ to 5000or
It rotates at a high speed of about pm. The shaft 6 is rotatably supported by bearings 14 and 15 that support high-speed rotation. These bearings 14 and 15 are grease-lubricated high-speed rotation bearings to withstand high vacuum (dry bearings are used as protective bearings when magnetic bearings are used).

なおこのドライベアリング１４．１５にかえて磁気軸受
を使用するようにしてもよい。その場合にはシャフト６
がハウジング１Ｇおよび保持板１３のいずれにも非接触
となり、高速回転がより一層円滑に行われることとなる
。Note that a magnetic bearing may be used instead of the dry bearings 14 and 15. In that case, shaft 6
is not in contact with either the housing 1G or the holding plate 13, and high-speed rotation can be performed even more smoothly.

シャフトにはエンドスペーサ２１がナツト７により固定
されている。またエンドスペーサ２１の下方にはリング
スペーサ３が多数積層されており、これら多数のリング
スペーサ３はスルーボルト５によってエンドスペーサ２
１に一体的に固定されている。なおスルーポルト５の端
部は図中量も下方のリングスペーサ３に形成されたねじ
孔によって固定される。An end spacer 21 is fixed to the shaft by a nut 7. Further, a large number of ring spacers 3 are stacked below the end spacer 21, and these many ring spacers 3 are attached to the end spacer 2 by through bolts 5.
1 is integrally fixed. The end of the through port 5 is fixed by a screw hole formed in the lower ring spacer 3 as shown in the figure.

各リングスペーサ３０間には動翼４が挟持されている。A moving blade 4 is sandwiched between each ring spacer 30.

この動翼４は高速回転時の遠心力に十分耐え得るだけの
強度を有し、かつ塑性加工が比較的容易に行われる金属
、例えばアルミニウム合金やチタン合金等により形成さ
れている。またこの動翼４は上述のリングスペーサ４に
よって挟持されているため、互いに隣接する動翼４の間
の間隔は、リングスペーサ３によって常に一定値に保持
される。The rotor blade 4 is made of a metal that has sufficient strength to withstand centrifugal force during high-speed rotation and is relatively easily plastically worked, such as an aluminum alloy or a titanium alloy. Furthermore, since the rotor blades 4 are sandwiched between the ring spacers 4 described above, the distance between adjacent rotor blades 4 is always maintained at a constant value by the ring spacers 3.

動翼４の間隔を埋めるように静翼ＩＯが配設されている
。静翼１０も同じく塑性加工が比較的容易に行なえる金
属、例えばアルミニウム合金やチタン合金により形成さ
れている。また圧縮比を高めることかできるよう、静Ｒ
ＩＯと動翼４との間の間隔は微小間隙に保たれている。Stator blades IO are arranged so as to fill the gap between the rotor blades 4. The stationary blade 10 is also made of a metal that can be relatively easily plastically worked, such as an aluminum alloy or a titanium alloy. Also, in order to increase the compression ratio, static R
The distance between the IO and the rotor blade 4 is maintained at a minute gap.

さらに静Ｒ１０も静止スペーサ９によって挟持されてお
り、かつ静止スペーサ９はケーシング１の作動室部分に
固定されている。Further, the static R10 is also held between the static spacers 9, and the static spacers 9 are fixed to the working chamber portion of the casing 1.

上述の動翼の形状を第２図および第３図に基づいて説明
する。動翼４は所定厚ｔ、の円盤状板部材よりその上面
を基準面としてきりおこし成形される。動翼４の傾斜角
αはそのブレード部４１全′長にわたってほぼ一定とな
っている。ただこの傾斜角αは各動翼４内毎に相違して
いる。すなわち流入孔１８に近い側の動翼４の傾斜角α
は大きくなっており、流出孔１１に近い側の動翼４の傾
斜角αは小さなものとなっている。動翼４の傾斜角αは
、従って、流入孔１８側より流出孔１１側に向は漸次減
少する。或いは、傾斜角αを２〜３種類とし、流入孔１
８に近い側の数段に大きな一定の傾斜角αとし、流出孔
１１に近づくにつれ、数段ごとに小さな一定の傾斜角α
を有するようにする。The shape of the above-described rotor blade will be explained based on FIGS. 2 and 3. The rotor blade 4 is formed by cutting out a disc-shaped plate member having a predetermined thickness t, with its upper surface serving as a reference surface. The inclination angle α of the rotor blade 4 is substantially constant over the entire length of the blade portion 41 thereof. However, this inclination angle α differs within each rotor blade 4. That is, the inclination angle α of the rotor blade 4 on the side closer to the inflow hole 18
is large, and the inclination angle α of the rotor blade 4 on the side closer to the outflow hole 11 is small. Therefore, the inclination angle α of the rotor blade 4 gradually decreases from the inlet hole 18 side toward the outlet hole 11 side. Alternatively, the inclination angle α may be set to 2 to 3 types, and the inflow hole 1
A large constant inclination angle α is set at several steps near the outlet hole 11, and a small constant inclination angle α is set at every several steps as it approaches the outflow hole 11.
to have.

ここで、動翼４が高速回転した場合には、動翼根元部４
２に Ｆヰｍｒω２ で計算される遠心力Ｆが加わることとなる。Here, when the rotor blade 4 rotates at high speed, the rotor blade root 4
The centrifugal force F calculated as F ω 2 is added to ω 2.

なお、ｍ・・・１枚の動翼ブレード部４１質量、ｒ・・
・動翼４有効半径、ω・・・回転角速度従って、排気速
度約３００１７．、、のターボ分子ポンプを得るために
、動翼先端部直径ｒ＋＝１２５龍、動翼根元部直径ｒｇ
＝８５ｍ■、動翼ブレード板厚Ｔ＋　”　０．８　ｍｍ
、動翼ブレード幅Ｗ１　＝４鰭、塑性加工によるひねり
角β＝３０’、ブレード枚数３６枚とし、このターボ分
子ポンプを５００００、、、で回転させると、動翼４の
根元部４２にはＦ　”　４５　ｋｇの遠心力が加わるこ
ととなる。In addition, m...the mass of one rotor blade part 41, r...
・Effective radius of rotor blade 4, ω...Rotational angular velocity, therefore, exhaust speed approximately 30017. To obtain a turbomolecular pump of , , the rotor blade tip diameter r+=125 and the rotor blade root diameter rg
=85m■, rotor blade plate thickness T+" 0.8mm
, the rotor blade blade width W1 = 4 fins, the twist angle β by plastic working = 30', the number of blades is 36, and when this turbo molecular pump is rotated at 50,000 rpm, the root portion 42 of the rotor blade 4 has F. ” A centrifugal force of 45 kg will be applied.

第４図に示すようにこの遠心力Ｆが根元部４２に加われ
ば、根元部４２の屈曲点４３においてはｍ＝４４ｋｉｒ
・１ｍの曲げモーメントが発生することになる。さらに
この曲げモーメントｍにより、ブレード根元部４２には
Σ−・５９ｋｇ／ｃ＋＋Ｉの曲げ応力が加わることにな
る。なお、以上の計算は第５図から第８図に示すように
、塑性加工部の中心点に遠心力Ｆが働くものと仮定して
概略計算したものである。As shown in FIG. 4, if this centrifugal force F is applied to the root portion 42, m = 44 kir at the bending point 43 of the root portion 42.
・A bending moment of 1 m will be generated. Further, due to this bending moment m, a bending stress of Σ-59 kg/c++I is applied to the blade root portion 42. The above calculations were roughly performed assuming that the centrifugal force F acts on the center point of the plastically worked portion, as shown in FIGS. 5 to 8.

ここで、動翼４をアルミニウム合金により形成した場合
、アルミニウム合金の許容応力は約２２ｋｇ　／　ａｎ
！であるため、動翼４が５００００回転まで高速回転す
れば、遠心力Ｆの方が許容応力より大きくなってしまう
。換言すれば一定の傾斜角αを保った状態で動翼が回転
できる限度は約３００００ｒ□となる。Here, when the moving blade 4 is formed of an aluminum alloy, the allowable stress of the aluminum alloy is approximately 22 kg/an
! Therefore, if the rotor blade 4 rotates at high speed up to 50,000 rotations, the centrifugal force F becomes larger than the allowable stress. In other words, the limit to which the rotor blade can rotate while maintaining a constant inclination angle α is about 30,000 r□.

そこで、本例では第９．１０図に示すようにリングスペ
ーサ３の外周部に係止突起３１を突出形成させる。この
係止突起３１の端面３２は、動翼ブレード部４１の根元
部４２における傾斜角αと対応する角度に形成されてい
る。従って、このリングスペーサ３が動翼４に組合わさ
った状態は、第１１図、第１２図に示すような形となる
。すなわち、係止突起３１の先端部３２がブレード根元
部４２に密接し、係止突起先端部３１の前面によりプレ
ート根元部３２を保持することとなる。Therefore, in this example, a locking protrusion 31 is formed protruding from the outer peripheral portion of the ring spacer 3 as shown in FIG. 9.10. The end surface 32 of the locking protrusion 31 is formed at an angle corresponding to the inclination angle α of the root portion 42 of the rotor blade portion 41. Therefore, the state in which the ring spacer 3 is combined with the rotor blade 4 is as shown in FIGS. 11 and 12. That is, the tip 32 of the locking projection 31 comes into close contact with the blade root 42, and the front surface of the locking projection 31 holds the plate root 32.

なおこのリングスペーサの係止突起３１には係止突起３
１自身の遠心力による曲げ応力と、動翼４の遠心力によ
る曲げ応力の和が材料の耐力以内になるような断面形状
としている。本例について示せば、第９図、第１０図に
示す寸法において、係止部３１２幅Ｗｚ　＝　６．５　
ｔｍ、肉厚ｔｚ＝２ｍｍ。Note that the locking protrusion 31 of this ring spacer has a locking protrusion 3.
The cross-sectional shape is such that the sum of the bending stress due to the centrifugal force of the blade 1 itself and the bending stress due to the centrifugal force of the moving blade 4 is within the yield strength of the material. Regarding this example, in the dimensions shown in FIGS. 9 and 10, the width Wz of the locking portion 312 is 6.5.
tm, wall thickness tz=2mm.

係止突起３１の突出高さＨ＝　ｌ　ａｍおよび傾斜角α
＝１５’として計算すれば、係止突起３１自身の遠心力
による曲げモーメントＭｍ　＝　７．５８　ｋｇ／　＊
箇となり、また動翼４の遠心力による曲げモーメントＭ
ｄ＝８５．７　ｋｇ　／　ａｍとなる。そのため、係止
突起３１の根元部にかかる曲げ応力Σｂ＝２５ｋｇ／ｄ
となる。リングスペーサ３としてアルミニウム合金を用
いた場合には、この値はアルミニウム合金の許容応力Σ
＝２２ｋｇ／ｃｔＡより小さくなり、十分耐久性を有す
ることとなる。なおこのリングスペーサ３に加わる遠心
力は第１３図中矢印Ｆ、で示す。Projection height H=lam and inclination angle α of the locking protrusion 31
= 15', the bending moment Mm due to the centrifugal force of the locking protrusion 31 itself = 7.58 kg/ *
In addition, the bending moment M due to the centrifugal force of the rotor blade 4
d=85.7 kg/am. Therefore, the bending stress Σb applied to the root of the locking protrusion 31 is 25 kg/d.
becomes. When an aluminum alloy is used as the ring spacer 3, this value is the allowable stress Σ of the aluminum alloy.
= 22 kg/ctA, and has sufficient durability. The centrifugal force applied to the ring spacer 3 is indicated by arrow F in FIG.

このように、本例の動翼４はリングスペーサに形成され
た係止突起３１により保持されるため、５ｏｏｏｏ回転
程度の高速回転を行っても遠心力により傾斜角αおよび
ひねり角βのいずれもが変更することはない。このよう
に、動翼４を高速回転させるようにした結果、流入孔１
８よりケーシング１内に飛び込んできた分子を動翼４の
下面で捕らえることができる。動Ｈ４の下面に補足され
た分子は、流出孔１１側に向かって飛び出すこととなる
。傾斜角αは流入孔工８側から流出孔１１側に向かって
漸次減少する構成となっているため、分子は圧縮されて
流出孔ｌｌ側に流れる。その結果、流入孔１８が開口す
る空間を超高真空とすることができる。As described above, since the rotor blade 4 of this example is held by the locking protrusion 31 formed on the ring spacer, even if it rotates at a high speed of about 500 rotations, neither the tilt angle α nor the twist angle β will change due to centrifugal force. will not change. As a result of rotating the rotor blades 4 at high speed in this way, the inflow hole 1
Molecules flying into the casing 1 from 8 can be caught on the lower surface of the rotor blade 4. The molecules captured on the lower surface of the dynamic H4 fly out toward the outflow hole 11 side. Since the inclination angle α is configured to gradually decrease from the inflow hole 8 side to the outflow hole 11 side, the molecules are compressed and flow toward the outflow hole 11 side. As a result, the space in which the inflow hole 18 opens can be made into an ultra-high vacuum.

なお上述の例では第１３図に示すように、スペーサリン
グ３より係止突起３１を直角に突出形成したが、この係
止突起３１を他の形状としてもよいことはもちろんであ
る。第１４図は係止突起３１の他の形状を示す。この例
では係止突起を断面三角形状とし、動翼４の傾斜角αの
みならずひねり角βにも対応する形状としている。すな
わち、この第１４図図示例においては係止突起３１の先
端部３２が動翼のひねり部４４と面接触を行う形状とな
っている。このような構成としたことにより、動翼４に
加わる応力を低減させることも可能となる。その結果動
翼４をさらに高速回転させることも可能である。In the above example, as shown in FIG. 13, the locking protrusion 31 was formed to protrude from the spacer ring 3 at a right angle, but it goes without saying that the locking protrusion 31 may have another shape. FIG. 14 shows another shape of the locking projection 31. In this example, the locking protrusion has a triangular cross section, and has a shape that corresponds not only to the inclination angle α of the rotor blade 4 but also to the twist angle β. That is, in the example shown in FIG. 14, the tip end 32 of the locking protrusion 31 has a shape that makes surface contact with the twisted part 44 of the rotor blade. With such a configuration, it is also possible to reduce the stress applied to the rotor blades 4. As a result, it is also possible to rotate the rotor blades 4 at an even higher speed.

また上述の例では、係止突起３１をリングスペーサ３と
一体に形成したが、この係止突起３１はリングスペーサ
３と別体形成してもよい。第１５図は、係止突起３１の
みリングスペーサ３とは別体に形成した例を示す。ここ
で、係止突起３１は比較的軽量で、かつ曲げ合成の高い
材料、例えばステンレス等により形成されている。この
係止突起３１をリングスペーサ３の下面に圧入し、この
係止突起３１により動翼４のひねり角部４４を支持する
ようにしている。なお第１５図において係止突起３１は
リングスペーサ３に接着等により固定するようにしても
よいし、また単に動翼４とリングスペーサ３との間に挿
入するだけとしてもよい。後者の場合にはスルーボルト
５により押圧挟持されることとなる。Further, in the above example, the locking protrusion 31 is formed integrally with the ring spacer 3, but the locking protrusion 31 may be formed separately from the ring spacer 3. FIG. 15 shows an example in which only the locking protrusion 31 is formed separately from the ring spacer 3. Here, the locking protrusion 31 is made of a material that is relatively lightweight and has high bendability, such as stainless steel. This locking projection 31 is press-fitted into the lower surface of the ring spacer 3, and the twist corner portion 44 of the rotor blade 4 is supported by this locking projection 31. In FIG. 15, the locking protrusion 31 may be fixed to the ring spacer 3 by adhesive or the like, or may be simply inserted between the rotor blade 4 and the ring spacer 3. In the latter case, it will be pressed and held by the through bolt 5.

さらに、上述の例では複数のリングスペーサ３をスルー
ボルト５により連結するようにしたが、第１６図に示す
ように、各リングスペーサ３の内面にねじ部を形成し、
このねじ部をロータに外周部のねじ部と結合させるよう
にしてもよい。この第１６図図示の例によれば、ロータ
２部分の重量を軽減することが可能である。Furthermore, in the above example, a plurality of ring spacers 3 are connected by through bolts 5, but as shown in FIG. 16, a threaded portion is formed on the inner surface of each ring spacer 3,
This threaded portion may be coupled to a threaded portion on the outer periphery of the rotor. According to the example shown in FIG. 16, it is possible to reduce the weight of the rotor 2 portion.

また上述の例では、動翼４は第３図に示すようにその上
面を基準面として所定の傾斜角α曲げ形成したが、第１
７図に示すように、動翼部４の中心面を基準としプレー
ト部４１を曲げ形成するようにしてもよい。さらには、
第１８図に示すように動翼４の下面を基準面としてブレ
ード部４１を曲げ形成してもよい。Further, in the above example, the rotor blade 4 was bent at a predetermined inclination angle α using its upper surface as a reference plane as shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the plate portion 41 may be bent with respect to the center plane of the rotor blade portion 4. Furthermore,
As shown in FIG. 18, the blade portion 41 may be formed by bending the lower surface of the rotor blade 4 as a reference plane.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明ポンプでは、リングスペーサ
により動Ｍ４のブレード部を支持する構成としたため、
動翼４に加わる遠心力をリングスペーサによっても保持
することができる。その結果、動翼４を高速回転するこ
とができるという優れた効果を有する。As explained above, in the pump of the present invention, since the blade part of the dynamic M4 is supported by the ring spacer,
The centrifugal force applied to the rotor blades 4 can also be held by the ring spacer. As a result, the rotor blade 4 can be rotated at high speed, which is an excellent effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明ポンプの一実施例を示す断面図、第２図
は第１図図示動翼４の平面図、第３図は第２図図示動翼
の側面図、第４図は第１図図示動翼に加わる遠心力を説
明する説明図、第５図乃至第８図はそれぞれ動翼に加わ
る遠心力を説明する説明図、第９図は第１図図示リング
スペーサを示す平面図、第１０図は第９図図示リングス
ペーサの側面図、第１１図は第１図図示リングスペーサ
及び動翼を示す平面図、第１２図は第１図図示リングス
ペーサ及び動翼の側面断面図、第１３図は第１図図示リ
ングスペーサ及び動翼の組合せ状態を示す断面図、第１
４図は本発明の他の例に係るリングスペーサ及び動翼の
組合せ状態を示す断面図、第１５図は本発明のさらに他
の例に係るリングスペーサ及び動翼の組合せ状態を示す
断面図、第１６図は本発明ポンプの他の例を示す断面図
、第１７図及び第１８図はそれぞれ本発明の他の例の動
翼を示す側面図である。 １・・・ケーシング、２・・・ロータ、３・・・リング
スペーサ、４・・・動翼、６・・・シャフト、８・・・
モータ、９・・・静止スペーサ、１０・・・静翼、４１
・・・ブレード部。 ４２・・・根元部、α・・・傾斜角。 代理人弁理士　　岡　部　　隆　　。 第１図 第２図 〃。 第３図 第４図 第５図 ３°１〉り゛スヘ゛−寸 ｌ 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 第１５図 第１６図FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the pump of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the rotor blade 4 shown in FIG. 1, FIG. 3 is a side view of the rotor blade 4 shown in FIG. 2, and FIG. Figure 1 is an explanatory diagram illustrating the centrifugal force applied to the rotor blade shown in the figure, Figures 5 to 8 are explanatory diagrams each illustrating the centrifugal force applied to the rotor blade, and Figure 9 is a plan view showing the ring spacer illustrated in Figure 1. , FIG. 10 is a side view of the ring spacer shown in FIG. 9, FIG. 11 is a plan view showing the ring spacer and moving blade shown in FIG. 1, and FIG. 12 is a side sectional view of the ring spacer and moving blade shown in FIG. 1. , FIG. 13 is a sectional view showing a combined state of the ring spacer and moving blade shown in FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a combined state of a ring spacer and moving blade according to another example of the present invention, FIG. 15 is a cross-sectional view showing a combined state of a ring spacer and moving blade according to still another example of the present invention, FIG. 16 is a sectional view showing another example of the pump of the present invention, and FIGS. 17 and 18 are side views showing rotor blades of other examples of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Casing, 2... Rotor, 3... Ring spacer, 4... Moving blade, 6... Shaft, 8...
Motor, 9... Stationary spacer, 10... Stationary blade, 41
...Blade part. 42... Root part, α... Slope angle. Representative patent attorney Takashi Okabe. Figure 1 Figure 2. Fig. 3 Fig. 4 Fig. 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 内部に円筒状の作動室空間、この作動室空間と連通する
流入孔および前記作動室空間と連通する流出孔を有する
ケーシングと、このケーシング内の前記作動室空間内に
回転自在に配設されたシャフトと、このシャフトを高速
回転させるモータと、前記シャフトに固定されシャフト
と一体回転する多数のリングスペーサと、このリングス
ペーサ間に挟持されリングスペーサと一体回転する多数
の動翼とを備え、前記動翼を金属性板材より塑性変形に
より形成するとともに、前記リングスペーサに前記動翼
のブレード部ひねり角に相当する係止突起部を設け、こ
の係止突起部が前記動翼のブレード部根元部に密接する
構造としたことを特徴とするターボ分子ポンプ。a casing having a cylindrical working chamber space inside, an inflow hole communicating with the working chamber space, and an outflow hole communicating with the working chamber space; A shaft, a motor for rotating the shaft at high speed, a large number of ring spacers fixed to the shaft and rotating integrally with the shaft, and a large number of rotor blades sandwiched between the ring spacers and rotating integrally with the ring spacer, The rotor blade is formed by plastic deformation from a metal plate material, and the ring spacer is provided with a locking protrusion corresponding to the twist angle of the blade of the rotor blade, and this locking protrusion is attached to the root of the blade of the rotor blade. A turbo-molecular pump characterized by having a structure that is in close contact with the