JPS6387289U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6387289U JPS6387289U JP18296186U JP18296186U JPS6387289U JP S6387289 U JPS6387289 U JP S6387289U JP 18296186 U JP18296186 U JP 18296186U JP 18296186 U JP18296186 U JP 18296186U JP S6387289 U JPS6387289 U JP S6387289U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- gas introduction
- introduction pipe
- inert gas
- exhaust pipe
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示す概略構成図であ
る。 1…真空チヤンバ、2…ガス導入管、4…油回
転真空ポンプ、5…真空排気管、6…排気管、8
…ばね式逆止弁、9…開閉弁、10…導入管。
る。 1…真空チヤンバ、2…ガス導入管、4…油回
転真空ポンプ、5…真空排気管、6…排気管、8
…ばね式逆止弁、9…開閉弁、10…導入管。
Claims (1)
- 真空処理を行なう真空チヤンバに、プロセスガ
スを導入するガス導入管および真空ポンプに接続
される真空排気管をそれぞれ接続し、上記真空排
気管の途中に不活性ガスの導入管を接続するとと
もに、この不活性ガス導入管の途中に一定の圧力
差で開とされる逆止弁と常開式の開閉弁とを直列
に挿入接続したことを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18296186U JPS6387289U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18296186U JPS6387289U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6387289U true JPS6387289U (ja) | 1988-06-07 |
Family
ID=31129250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18296186U Pending JPS6387289U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6387289U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0249978A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Hitachi Ltd | 真空装置 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP18296186U patent/JPS6387289U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0249978A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Hitachi Ltd | 真空装置 |