JPS6371824A - 高屈折率光学ガラスを用いるパルスレ−ザ−光のパルス遅延機構を有するパルス幅拡大装置 - Google Patents
高屈折率光学ガラスを用いるパルスレ−ザ−光のパルス遅延機構を有するパルス幅拡大装置Info
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- JPS6371824A JPS6371824A JP21770586A JP21770586A JPS6371824A JP S6371824 A JPS6371824 A JP S6371824A JP 21770586 A JP21770586 A JP 21770586A JP 21770586 A JP21770586 A JP 21770586A JP S6371824 A JPS6371824 A JP S6371824A
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- Japan
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- pulse
- pulse width
- optical glass
- high refraction
- refraction factor
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- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 10
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 239000005308 flint glass Substances 0.000 claims 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 6
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、屈折率が高(、比重の小さい光学ガラスを使
用した、小型、軽量なパルス遅延8!構を有するパルス
幅拡大装置に関するものである。
用した、小型、軽量なパルス遅延8!構を有するパルス
幅拡大装置に関するものである。
(発明が解決しようとする問題点)
これまでパルスレーザ−のパルス幅を広げるためには、
複数のビームスプリッタ−と複数の再結合ミラーより構
成されるいわゆる多重ビームスプリッタ−が使用されて
きた。この方法は、本発明と同様に分割したパルスを光
路長を利用して遅延させこれを再度結合するとによりパ
ルス幅を広げることを目的としたものである。しかしこ
れまでの方法は、空気中でパルスの遅延を行うため元の
パルス幅より広いパルスを作るためには、非常に艮い光
路長を使用するか、あるいは複数回パルスを分割して再
度結合することが必要となる。この結果、遅延8!構そ
のものが大型化するとともに、多数回のビームの結合に
より最終的なパルス強度が大幅に低下する。
複数のビームスプリッタ−と複数の再結合ミラーより構
成されるいわゆる多重ビームスプリッタ−が使用されて
きた。この方法は、本発明と同様に分割したパルスを光
路長を利用して遅延させこれを再度結合するとによりパ
ルス幅を広げることを目的としたものである。しかしこ
れまでの方法は、空気中でパルスの遅延を行うため元の
パルス幅より広いパルスを作るためには、非常に艮い光
路長を使用するか、あるいは複数回パルスを分割して再
度結合することが必要となる。この結果、遅延8!構そ
のものが大型化するとともに、多数回のビームの結合に
より最終的なパルス強度が大幅に低下する。
(問題点を解決するための手段)
詳細に述べると、本発明はビームスプリッタ−で分割し
たパルスレーザ−尤の一方の光を屈折率が高く光吸収率
の低い光学ガラス中で多重反射させることにより、他方
に比べて時間的な差をつけ、これを再度結合することに
よりパルス幅の広いパルスレーザ−光を作ることを目的
としたものである。ビームスプリッタ−の分割比を調整
し、複数のパルス遅延機構を使用することにより、より
パルス幅の広いレーザーパルスを作ることが可能である
。
たパルスレーザ−尤の一方の光を屈折率が高く光吸収率
の低い光学ガラス中で多重反射させることにより、他方
に比べて時間的な差をつけ、これを再度結合することに
よりパルス幅の広いパルスレーザ−光を作ることを目的
としたものである。ビームスプリッタ−の分割比を調整
し、複数のパルス遅延機構を使用することにより、より
パルス幅の広いレーザーパルスを作ることが可能である
。
(発明の効果)
本発明では、高い屈折率の光学がラスをパルスの伝播媒
質として使用するため、実行光路長は最大空気の約2倍
となり、装置の小型化が計られる。
質として使用するため、実行光路長は最大空気の約2倍
となり、装置の小型化が計られる。
また光学ガラスの中で多重反射を行うために遅延8!構
は極めて小型化される。さらに、比重の小さい光学ガラ
スを使用するために遅延機構の軽量化が什われる。
は極めて小型化される。さらに、比重の小さい光学ガラ
スを使用するために遅延機構の軽量化が什われる。
(実施例)
本発明の一つの実施例を図に示す。m1図は本発明を実
施する遅延8!構の一例を示す概念図である0図で、(
1)はビーム分割用ミラー、(2)は高屈tl?率ガツ
ガラス用する光学的遅延機構、(3)は再結合用ミラー
である。
施する遅延8!構の一例を示す概念図である0図で、(
1)はビーム分割用ミラー、(2)は高屈tl?率ガツ
ガラス用する光学的遅延機構、(3)は再結合用ミラー
である。
(1)によって分割されたレーザーパルスの一方は、そ
のまま直進し再結合ミラーに達する。分割されたもう一
方のレーザーパルスは、遅延を行うための高屈折率プラ
スに比べて再結合ミラーに達する時間が遅れる。この2
つのパルスは(3)によって1個のパルスとなるが、そ
のパルス幅は遅延時にの応じて元のパルス幅より広くな
り、最大元のパルス幅の2ぽいのレーザーパルスが得ら
れる。
のまま直進し再結合ミラーに達する。分割されたもう一
方のレーザーパルスは、遅延を行うための高屈折率プラ
スに比べて再結合ミラーに達する時間が遅れる。この2
つのパルスは(3)によって1個のパルスとなるが、そ
のパルス幅は遅延時にの応じて元のパルス幅より広くな
り、最大元のパルス幅の2ぽいのレーザーパルスが得ら
れる。
第2図に遅延時間とパルス幅の関係を示した。
元のパルス幅の2倍以上のパルス幅が必要な場合には、
ビーム分割用ミラー、遅延機構及び再結合ミラーを付加
することにより達成が可能である。
ビーム分割用ミラー、遅延機構及び再結合ミラーを付加
することにより達成が可能である。
第2図に4個の遅延g構によって作られるパルス幅とレ
ーザー強度の関係を示した。
ーザー強度の関係を示した。
第1図はパルス幅拡大装置の概念図である。
(1)はビーム分割用ミラー、(2)は高屈折率ガラス
を使用する光学的遅lc代構、(3)は再結合用ミラー
である。 第2図は4個の遅ff1fi構によって作られるパルス
幅とレーザー光強度の関係を示したものである。 (外5名) L/凹 λ2図 ム
を使用する光学的遅lc代構、(3)は再結合用ミラー
である。 第2図は4個の遅ff1fi構によって作られるパルス
幅とレーザー光強度の関係を示したものである。 (外5名) L/凹 λ2図 ム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、屈折率が高い光学ガラスを使用するパルス遅延機構
を有することを特徴とするパルス幅拡大装置。 2、実行光路長を高屈折率ガラスを使用して幾何学長よ
り延ばすことを利用するパルス遅延機構を有することを
特徴とする特許請求の範囲1項記載の装置。 3、光学ガラス内部での多重反射を利用して光路長を延
ばすことを利用することを特徴とするパルス遅延機構を
有する特許請求の範囲第1項記載の装置。 4、光学ガラスに比重の小さい重フリントガラスを使用
することを特徴とするパルス遅延機構を有する特許請求
の範囲第1項、第2項または第3項記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21770586A JPS6371824A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 高屈折率光学ガラスを用いるパルスレ−ザ−光のパルス遅延機構を有するパルス幅拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21770586A JPS6371824A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 高屈折率光学ガラスを用いるパルスレ−ザ−光のパルス遅延機構を有するパルス幅拡大装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6371824A true JPS6371824A (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=16708443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21770586A Pending JPS6371824A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 高屈折率光学ガラスを用いるパルスレ−ザ−光のパルス遅延機構を有するパルス幅拡大装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6371824A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01234819A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-20 | Fujitsu Ltd | 光遅延発生器 |
JPH0651238A (ja) * | 1991-09-30 | 1994-02-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー装置 |
JP2005148550A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Gigaphoton Inc | 光学的パルス伸長器および露光用放電励起ガスレーザ装置 |
CN106936062A (zh) * | 2015-12-30 | 2017-07-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种脉冲展宽装置、脉冲展宽激光退火装置及退火方法 |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP21770586A patent/JPS6371824A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01234819A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-20 | Fujitsu Ltd | 光遅延発生器 |
JPH0651238A (ja) * | 1991-09-30 | 1994-02-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー装置 |
JP2005148550A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Gigaphoton Inc | 光学的パルス伸長器および露光用放電励起ガスレーザ装置 |
CN106936062A (zh) * | 2015-12-30 | 2017-07-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种脉冲展宽装置、脉冲展宽激光退火装置及退火方法 |
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