JPS6367495A - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
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- JPS6367495A JPS6367495A JP18056686A JP18056686A JPS6367495A JP S6367495 A JPS6367495 A JP S6367495A JP 18056686 A JP18056686 A JP 18056686A JP 18056686 A JP18056686 A JP 18056686A JP S6367495 A JPS6367495 A JP S6367495A
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- 102100035844 Retrotransposon-derived protein PEG10 Human genes 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、螺旋状の通路に波体を流すことにより、波体
の圧力又は流量を制御できるようにした流体制御装置に
関する。
の圧力又は流量を制御できるようにした流体制御装置に
関する。
「従来の技術J
従来、流体の圧力又は流量を変更させるため、流路途中
にオリフィス、ニードルバルブ、ポール7ヘルプ等を1
段あるいは数段に設けたものがあるしかし、流体を螺旋
状の通路に流すことにより、流体に抵抗を与えて流体圧
又は流量を制御する形式の装置は知られていない。
にオリフィス、ニードルバルブ、ポール7ヘルプ等を1
段あるいは数段に設けたものがあるしかし、流体を螺旋
状の通路に流すことにより、流体に抵抗を与えて流体圧
又は流量を制御する形式の装置は知られていない。
「発明が解決しようとする問題点」
一般に、流体制御に用いられている殆どの装置が、オリ
フィスの大きさ制御方式(ポールバルブ等)又は隙間の
大きさ制御方式(ニードルバルブ等)、あるいはこれら
の組合わせにより構成されている。これら従来の装置で
は、オリフィスを通過した後の流体に急減圧による不安
定な乱流を生じ、制御部材の位置関係と減圧と流量の関
係を定量的に予測するのが難かしく、従って流体を正確
に制御することが困難であった。
フィスの大きさ制御方式(ポールバルブ等)又は隙間の
大きさ制御方式(ニードルバルブ等)、あるいはこれら
の組合わせにより構成されている。これら従来の装置で
は、オリフィスを通過した後の流体に急減圧による不安
定な乱流を生じ、制御部材の位置関係と減圧と流量の関
係を定量的に予測するのが難かしく、従って流体を正確
に制御することが困難であった。
また比較的安定して圧力、流量の関係を制御するため各
種の固定オリフィス構成を設けることが考えられるが、
それは一定使用条件の下で有用であり、使用条件が変更
すれば組替えが必要となるので望ましいものではない、
さらに局部的な高速乱流によりオリフィス周縁が摩耗し
て、圧力または流量制御が不正確になることもあった。
種の固定オリフィス構成を設けることが考えられるが、
それは一定使用条件の下で有用であり、使用条件が変更
すれば組替えが必要となるので望ましいものではない、
さらに局部的な高速乱流によりオリフィス周縁が摩耗し
て、圧力または流量制御が不正確になることもあった。
そこで本発明は、局部的な高速乱流等を生じさせること
なく安定に流体を制御できるようにするとともに、圧力
又は流量変更を所定値に正確かつ容易に制御できるよう
にすることを目的とする。
なく安定に流体を制御できるようにするとともに、圧力
又は流量変更を所定値に正確かつ容易に制御できるよう
にすることを目的とする。
「問題点を解決するだめの手段」
本発明の流体制御装置は、シリンダ内に抵抗調節体が軸
方向位置を変更可部に設けられ、このシリンダ内周と抵
抗yJ筐体外周との間に螺旋通路が設けられる。抵抗調
節体の位置変更範囲内のシリンダの周壁に貫通孔が設け
られ、シリンダの軸方向端部に流通孔が設けられて、貫
通孔と流通孔の一方から流体を流入させ他方から流出さ
せる間に流体が螺旋通路で抵抗を受けるようになってい
るシリンダ内での抵抗調節体の軸方向位置を規制するた
め、位置規制装置が設けられ、この位置規制装置は適宜
規制位tをFA整整位能形成される。
方向位置を変更可部に設けられ、このシリンダ内周と抵
抗yJ筐体外周との間に螺旋通路が設けられる。抵抗調
節体の位置変更範囲内のシリンダの周壁に貫通孔が設け
られ、シリンダの軸方向端部に流通孔が設けられて、貫
通孔と流通孔の一方から流体を流入させ他方から流出さ
せる間に流体が螺旋通路で抵抗を受けるようになってい
るシリンダ内での抵抗調節体の軸方向位置を規制するた
め、位置規制装置が設けられ、この位置規制装置は適宜
規制位tをFA整整位能形成される。
螺旋通路は、シリンダ内周又は抵抗調節体の外周の一方
に螺旋溝を形成することにより構成される。またシリン
ダ内周に螺旋溝を設けるとともに、その螺旋溝に螺合す
る螺旋突条を抵抗調節体の外周に設け、この螺旋溝底部
と螺旋突条頂部との間の螺旋状間隔によっても前記螺旋
通路が構成される。
に螺旋溝を形成することにより構成される。またシリン
ダ内周に螺旋溝を設けるとともに、その螺旋溝に螺合す
る螺旋突条を抵抗調節体の外周に設け、この螺旋溝底部
と螺旋突条頂部との間の螺旋状間隔によっても前記螺旋
通路が構成される。
さらに螺旋通路はその断面積が漸次変化するようにして
もよく、またシリンダと抵抗調節体とからなる絞り構造
を複数個連結させてもよい。
もよく、またシリンダと抵抗調節体とからなる絞り構造
を複数個連結させてもよい。
「作用」
抵抗yJJm体のシリンダ内での長さを位置規制装置又
は調節装置で2g1ffjした後、シリンダに設けた貫
通孔と流通孔の一方から他方に向って流体を流すと、流
体はその途中で螺旋通路を流れる。なおシリンダ内周と
抵抗調節体との一方にのみ螺旋溝を形成して螺旋通路を
形成したときは、抵抗FA調節体最外局面とシリンダ内
周面との間の隙間をも流体は軸方向に流れる。そして螺
旋通路と隙間とを流れる流体は、抵抗調節体の端部から
貫通孔位置までの長さに応じて抵抗を受け、圧力は低下
する。
は調節装置で2g1ffjした後、シリンダに設けた貫
通孔と流通孔の一方から他方に向って流体を流すと、流
体はその途中で螺旋通路を流れる。なおシリンダ内周と
抵抗調節体との一方にのみ螺旋溝を形成して螺旋通路を
形成したときは、抵抗FA調節体最外局面とシリンダ内
周面との間の隙間をも流体は軸方向に流れる。そして螺
旋通路と隙間とを流れる流体は、抵抗調節体の端部から
貫通孔位置までの長さに応じて抵抗を受け、圧力は低下
する。
今、隙間漏れのない独ケした螺旋溝を流れる流体の圧力
損失ΔPは、螺旋溝の巾、高さ、ピッチ、シリンダ小径
部の直径、波体の粘性、比重により定まる係数をkn、
α、βn、γnとし、有効ラビリンス長さく貫通孔から
抵抗yJJfIJ体の端部までの間の螺旋溝の軸方向長
さ)をRとし、流量をQとすると一般的には、 ΔP’ =klR’lQマl+に2Rβ2Qマ2+・・
−・−” ” ” + knR”Q ” −−−−(
1)で表わされる。しかしある限られた圧力損失ΔPと
流量Qと有効ラビリンス長さRで使用する場合には殆ど
の場合1次の3式のいずれかで実験値と極めて精度よく
合致する近似式を定めることができる(本願と同一発明
者の2つの特許出願、特願昭60−248747号、昭
和61年7月30日付出願参照)ΔF’=kR’Qマ+
c −−−−(2) [cは定数]A P = k
R’ Qv−−−−(3)ΔP= kRQマ −−
−−(4)本発明の法体制gi装置を流れる流体の圧力
損失ΔPと、流量Qとの間に基本的に(1)式の関係が
成立し、実用上は近似式(2) 、 (3) 、 (4
)のいずれかを利用し、有効ラビリンス長さRを変更す
ることによりRの乗数βの大小にかかわらず流体を任意
に減圧し、又t&量も変更できる。
損失ΔPは、螺旋溝の巾、高さ、ピッチ、シリンダ小径
部の直径、波体の粘性、比重により定まる係数をkn、
α、βn、γnとし、有効ラビリンス長さく貫通孔から
抵抗yJJfIJ体の端部までの間の螺旋溝の軸方向長
さ)をRとし、流量をQとすると一般的には、 ΔP’ =klR’lQマl+に2Rβ2Qマ2+・・
−・−” ” ” + knR”Q ” −−−−(
1)で表わされる。しかしある限られた圧力損失ΔPと
流量Qと有効ラビリンス長さRで使用する場合には殆ど
の場合1次の3式のいずれかで実験値と極めて精度よく
合致する近似式を定めることができる(本願と同一発明
者の2つの特許出願、特願昭60−248747号、昭
和61年7月30日付出願参照)ΔF’=kR’Qマ+
c −−−−(2) [cは定数]A P = k
R’ Qv−−−−(3)ΔP= kRQマ −−
−−(4)本発明の法体制gi装置を流れる流体の圧力
損失ΔPと、流量Qとの間に基本的に(1)式の関係が
成立し、実用上は近似式(2) 、 (3) 、 (4
)のいずれかを利用し、有効ラビリンス長さRを変更す
ることによりRの乗数βの大小にかかわらず流体を任意
に減圧し、又t&量も変更できる。
尚、減圧量ΔPと流量Qの関係式(1)〜(4)から解
るようにΔPを一定にすればRを変化させQを制御でき
、Qを一定にすればRを変化させΔPを制御できる。つ
まりΔPとQの関係をHにより制御出来る。また圧力が
制御出来るということはどんな場合でもFttが制御出
来るということになり、目的によりどちらでも使用でき
る。このことは、バルブでも同じことである。
るようにΔPを一定にすればRを変化させQを制御でき
、Qを一定にすればRを変化させΔPを制御できる。つ
まりΔPとQの関係をHにより制御出来る。また圧力が
制御出来るということはどんな場合でもFttが制御出
来るということになり、目的によりどちらでも使用でき
る。このことは、バルブでも同じことである。
「実施例」
本発明の第1実施例を第1図により説明する。
本発明の流体制御装置は、シリンダl内に抵抗調節体2
が軸方向に移動可源に設けられ、この抵抗調節体のシリ
ンダ内での位置が位置規制装N3で調節されるようにな
っている。
が軸方向に移動可源に設けられ、この抵抗調節体のシリ
ンダ内での位置が位置規制装N3で調節されるようにな
っている。
抵抗31筒体2の外周に、螺旋溝4が謄けられ、この螺
旋溝がシリンダlと抵抗調節体2との間の螺旋通路5を
構成する。
旋溝がシリンダlと抵抗調節体2との間の螺旋通路5を
構成する。
抵抗7A節体2の移動範囲内でのシリンダ周壁に貫通孔
6が設けられ、シリンダlの端壁に流通孔7が設けられ
て、貫通孔6と流通孔7どの一方から流体が流入され他
方から流出されるようになっている。第1図では、貫通
孔6を流入側として矢印を示した。そして流体が抵抗を
受けるのは、抵抗調節体2の端部から貫通孔6の位置ま
での範囲内の螺旋溝(有効ラビリンス)であり、その抵
抗を受けることにより波体は前記式(+)〜 (0の関
係となる。なお、貫通孔6の奥側のシリンダ内周面に環
状補助溝8が設けられ、抵抗調節体2の螺旋突条頂面が
貫通孔6を塞さぐ位4にあっても貫通孔から環状補助溝
8を介して螺旋通路5内に波体が魔れるようになってい
る、 位置規制装置3はネジ1JJW1によりシリンダの軸線
方向に伸縮調整回走となっており、抵抗調節体2の端部
と貫通孔6との間の長さの規制を調節できるようになっ
ている。
6が設けられ、シリンダlの端壁に流通孔7が設けられ
て、貫通孔6と流通孔7どの一方から流体が流入され他
方から流出されるようになっている。第1図では、貫通
孔6を流入側として矢印を示した。そして流体が抵抗を
受けるのは、抵抗調節体2の端部から貫通孔6の位置ま
での範囲内の螺旋溝(有効ラビリンス)であり、その抵
抗を受けることにより波体は前記式(+)〜 (0の関
係となる。なお、貫通孔6の奥側のシリンダ内周面に環
状補助溝8が設けられ、抵抗調節体2の螺旋突条頂面が
貫通孔6を塞さぐ位4にあっても貫通孔から環状補助溝
8を介して螺旋通路5内に波体が魔れるようになってい
る、 位置規制装置3はネジ1JJW1によりシリンダの軸線
方向に伸縮調整回走となっており、抵抗調節体2の端部
と貫通孔6との間の長さの規制を調節できるようになっ
ている。
上記実施例では螺旋IL% 4が1条に形成されたが、
複数条でもよく、また螺旋溝4の断面形状も長方形に限
らず7字状あるいは半円状等その他のいかなる形状でも
よく、さらに螺旋溝の断面積が螺旋溝に沿って漸次変化
するようにしてもよい、この場合それぞれの断面形状に
応じて前記式(1)のα、 kl〜kn、βl〜βn、
γ1〜γn及び前記式(2)〜(4)のK、β、γ、C
の値が変る。なお、螺旋溝に沿って螺旋溝の巾あるいは
高さが変化することなく一定の場合は(4)式の関係と
なり、螺旋溝の断面積が螺旋溝に沿って漸次変化すると
きあるいは流体が気体のときは(3)式の関係となる。
複数条でもよく、また螺旋溝4の断面形状も長方形に限
らず7字状あるいは半円状等その他のいかなる形状でも
よく、さらに螺旋溝の断面積が螺旋溝に沿って漸次変化
するようにしてもよい、この場合それぞれの断面形状に
応じて前記式(1)のα、 kl〜kn、βl〜βn、
γ1〜γn及び前記式(2)〜(4)のK、β、γ、C
の値が変る。なお、螺旋溝に沿って螺旋溝の巾あるいは
高さが変化することなく一定の場合は(4)式の関係と
なり、螺旋溝の断面積が螺旋溝に沿って漸次変化すると
きあるいは流体が気体のときは(3)式の関係となる。
さらに螺旋溝4を抵抗調節体2に設ける代りに、シリン
ダ1の内周面に設けてもよく(この場合貫通孔6を螺旋
溝4の底部に開口させれば前記の環状補助溝8は不要で
ある。)、あるいは螺旋溝4を設ける代りに抵抗調節体
2とシリンダ1との間にコイルスプリングを介在させて
コイルとコイルの間に形成される螺旋隙間を螺旋溝の代
りとすることができる。
ダ1の内周面に設けてもよく(この場合貫通孔6を螺旋
溝4の底部に開口させれば前記の環状補助溝8は不要で
ある。)、あるいは螺旋溝4を設ける代りに抵抗調節体
2とシリンダ1との間にコイルスプリングを介在させて
コイルとコイルの間に形成される螺旋隙間を螺旋溝の代
りとすることができる。
また前記のシリンダと抵抗Jffi体とからなって流体
に絞り抵抗を与える構造を軸方向に数個連続させたり、
同心状に多重に連続させて、流体に複数段の抵抗を与え
るようにしてもよい。
に絞り抵抗を与える構造を軸方向に数個連続させたり、
同心状に多重に連続させて、流体に複数段の抵抗を与え
るようにしてもよい。
次に第2実施例を第2,3図により説明する。
この実施例は、シリンダl内周に螺旋溝11を設け、こ
の螺旋溝11に螺合する螺旋突条12を抵抗調節体2の
外周に設けて、螺旋溝11の底部と螺旋突条12の頂部
との間の螺旋状の間隔で螺旋通路5を構成するものであ
る。
の螺旋溝11に螺合する螺旋突条12を抵抗調節体2の
外周に設けて、螺旋溝11の底部と螺旋突条12の頂部
との間の螺旋状の間隔で螺旋通路5を構成するものであ
る。
抵抗調節体2は、シリンダlの螺旋溝11にかみ合って
旋回させられることにより軸方向に移動可能であり、そ
の移動範囲内のシリンダ周壁に11通孔6を設ける。な
おこの貫通孔6は、シリンダの螺旋溝11の底部に開口
し、第1実施例のように貫通孔の奥側のシリンダ内周に
環状補助溝を設けなくとも貫通孔11が塞がれることは
ない。
旋回させられることにより軸方向に移動可能であり、そ
の移動範囲内のシリンダ周壁に11通孔6を設ける。な
おこの貫通孔6は、シリンダの螺旋溝11の底部に開口
し、第1実施例のように貫通孔の奥側のシリンダ内周に
環状補助溝を設けなくとも貫通孔11が塞がれることは
ない。
シリンダ1の端壁に流通孔7が設けられ、木実流側の場
合、貫通孔6から流入した波体は、螺旋通路5で抵抗を
受け、流通孔7から流出するようになっている。そして
螺旋通路5の断面形状、貢通孔6から抵抗21!I節体
2の端部までの螺旋溝の軸方向長さく有効ラビリンス)
を適当に設定することにより前記近似式(2)〜(4)
のいずれかの関係が得られる。
合、貫通孔6から流入した波体は、螺旋通路5で抵抗を
受け、流通孔7から流出するようになっている。そして
螺旋通路5の断面形状、貢通孔6から抵抗21!I節体
2の端部までの螺旋溝の軸方向長さく有効ラビリンス)
を適当に設定することにより前記近似式(2)〜(4)
のいずれかの関係が得られる。
なお、螺旋ytllの底部と、螺旋突条12の頂部との
間の間隔は一定となるように、両者の内。
間の間隔は一定となるように、両者の内。
外径を一定に形成すると近似式(4)の関係となり、前
記間隔が漸次変化するように、螺旋溝底部の内径又は螺
旋突条頂部の外径を漸次変化とせると近似式(3)の関
係となる。
記間隔が漸次変化するように、螺旋溝底部の内径又は螺
旋突条頂部の外径を漸次変化とせると近似式(3)の関
係となる。
また前記実施例と同様シリンダと抵抗調節体とからなっ
て流体に絞り抵抗を与える構成を軸方向に数個組合わせ
たり、同心状に多重に形成すれば、流体に複数段に抵抗
を与えることができる。
て流体に絞り抵抗を与える構成を軸方向に数個組合わせ
たり、同心状に多重に形成すれば、流体に複数段に抵抗
を与えることができる。
抵抗調節体2のシリンダ1内での軸方向位置を変更させ
るため、抵抗ttm体2の軸方向一端に回転714節装
置13が設けられる。この回転調節装置13は、第3図
に示すように抵抗調節体2の端面に突出棒14を設け、
この突出棒外端面から軸方向穴をあけて内周にネジをき
りスタッド15を螺合し、ナツト16で固定するととも
に、スタッド15端部にハンドル17を設けてナツトで
固定することにより形成される。またスタッドに位置決
めナラ)18.18’を互いに逆向きに締め付けて固定
し、ナラ)1Bとシリンダlの端壁との間にスペースリ
ング19を設け、抵抗調節体2に流体圧が作用しても下
流側に移動しないようになっている。そして調整の際は
1位置決めナツト18.18′を緩め、ハンドル17を
回転すればスタッド15と突出棒14を介して抵抗調節
体2が回転して、抵抗調節体2の端部と貫通孔6との間
の螺旋溝長さが調節される。調整完了後、再び位置決め
ナツト18をスペースリング19との間にわずかな隙間
を設けて1位置決めナツト18゛と締め合わせれば抵抗
調節体2の位こを固定できる。
るため、抵抗ttm体2の軸方向一端に回転714節装
置13が設けられる。この回転調節装置13は、第3図
に示すように抵抗調節体2の端面に突出棒14を設け、
この突出棒外端面から軸方向穴をあけて内周にネジをき
りスタッド15を螺合し、ナツト16で固定するととも
に、スタッド15端部にハンドル17を設けてナツトで
固定することにより形成される。またスタッドに位置決
めナラ)18.18’を互いに逆向きに締め付けて固定
し、ナラ)1Bとシリンダlの端壁との間にスペースリ
ング19を設け、抵抗調節体2に流体圧が作用しても下
流側に移動しないようになっている。そして調整の際は
1位置決めナツト18.18′を緩め、ハンドル17を
回転すればスタッド15と突出棒14を介して抵抗調節
体2が回転して、抵抗調節体2の端部と貫通孔6との間
の螺旋溝長さが調節される。調整完了後、再び位置決め
ナツト18をスペースリング19との間にわずかな隙間
を設けて1位置決めナツト18゛と締め合わせれば抵抗
調節体2の位こを固定できる。
なお1回転調節装713は上記に限定されるものではな
く、その他の公知の調節装置を適用してもよい。
く、その他の公知の調節装置を適用してもよい。
「発明の効果」
本発明の流体制御gt2は、シリンダ内周と抵抗調節体
との間に形成される螺旋通路に流体を流して、流体がΔ
P=kR#Qマの関係で抵抗を受けるようにしているの
で、流体の通る有効螺旋通路長さく有効ラビリンス)を
所定値に設定、あるいは回転調節装6により調節するこ
とにより圧力又は流量を正確に制御することができる。
との間に形成される螺旋通路に流体を流して、流体がΔ
P=kR#Qマの関係で抵抗を受けるようにしているの
で、流体の通る有効螺旋通路長さく有効ラビリンス)を
所定値に設定、あるいは回転調節装6により調節するこ
とにより圧力又は流量を正確に制御することができる。
さらに流体は長い螺旋状の間隔を流れることにより抵抗
を受けるようにしているので、上流側に急激な圧力変動
が生じても長い波路で吸収され、制御される流体に脈流
を生じさせることがない。
を受けるようにしているので、上流側に急激な圧力変動
が生じても長い波路で吸収され、制御される流体に脈流
を生じさせることがない。
また必要な圧力損失と流1℃の制御範囲及び使用条件に
よっては、螺旋通路を同−掻上で多条にしたり、大小数
種の異径上に噛み合わされたラビリンス(螺旋溝)構造
を多毛に玉ね合わせれば、本装置の長さを短くすること
も可能である。さらに螺旋通路の断面を台形ネジのよう
にし、シリンダと抵抗gm体の中心がずれないように工
夫すれば、螺旋溝の底部並びに外端部の両方に隙間を設
け、単−掻上でも溝を2gCに切ることなく、2木の個
別のラビリンスを得る構造も肩山である。
よっては、螺旋通路を同−掻上で多条にしたり、大小数
種の異径上に噛み合わされたラビリンス(螺旋溝)構造
を多毛に玉ね合わせれば、本装置の長さを短くすること
も可能である。さらに螺旋通路の断面を台形ネジのよう
にし、シリンダと抵抗gm体の中心がずれないように工
夫すれば、螺旋溝の底部並びに外端部の両方に隙間を設
け、単−掻上でも溝を2gCに切ることなく、2木の個
別のラビリンスを得る構造も肩山である。
第1図は本発明第1実施例の流体制御装置の断面図、第
2図は第2実施例の流体制御装この一部破断断面図、第
3図は第2実施例の流体制御装置の回転調節装置部分の
断面図である。 1;シリンダ 2;抵抗21I!1筒体3:位置
規制装置 4;螺旋溝 5;螺旋通路 6:貫通孔 7:流通孔 11;螺旋溝 13;回転調節装置
2図は第2実施例の流体制御装この一部破断断面図、第
3図は第2実施例の流体制御装置の回転調節装置部分の
断面図である。 1;シリンダ 2;抵抗21I!1筒体3:位置
規制装置 4;螺旋溝 5;螺旋通路 6:貫通孔 7:流通孔 11;螺旋溝 13;回転調節装置
Claims (6)
- (1)シリンダ内に抵抗調節体を軸方向位置を変更可能
に設け、シリンダ内周と抵抗調節体外周との間に螺旋通
路を設け、抵抗調節体の移動範囲内のシリンダ周壁に貫
通孔を設けるとともに、シリンダ軸方向端部に流通孔を
設け、さらに抵抗調節体の軸方向位置を規制する位置規
制装置を設け、前記貫通孔と流通孔の一方から流入して
他方から流出する間に流体が通る螺旋通路の長さに応じ
て抵抗を受けることを特徴とする流体制御装置。 - (2)シリンダ内周又は抵抗調節体外周の一方に設けた
螺旋溝により螺旋通路を構成する特許請求の範囲第1項
に記載の流体制御装置。 - (3)シリンダ内周に螺旋溝を設け、この螺旋溝に螺合
する螺旋突条を抵抗調節体外周に設け、螺旋溝底部と螺
旋突条頂部との間に間隔を設け、この螺旋状間隔により
螺旋通路を構成する特許請求の範囲第1項に記載の流体
制御装置。 - (4)位置規制装置は、抵抗調節体の軸方向位置を調節
可能にした特許請求の範囲第1項に記載の流体制御装置
。 - (5)螺旋通路の断面積を螺旋通路に沿って漸次変化す
るようにした特許請求の範囲第1項に記載の流体制御装
置。 - (6)シリンダと抵抗調節体とからなり流体に抵抗を与
える構造を複数段に組合わせた特許請求の範囲第1項に
記載の流体制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18056686A JPS6367495A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 流体制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18056686A JPS6367495A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 流体制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6367495A true JPS6367495A (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=16085517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18056686A Pending JPS6367495A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 流体制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6367495A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012163202A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Jinmyung21 Co Ltd | 精密な圧力および流量調節が可能なコーンバルブ |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP18056686A patent/JPS6367495A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012163202A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Jinmyung21 Co Ltd | 精密な圧力および流量調節が可能なコーンバルブ |
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