JPS6361111A - 面粗さ測定機 - Google Patents

面粗さ測定機

Info

Publication number
JPS6361111A
JPS6361111A JP20639986A JP20639986A JPS6361111A JP S6361111 A JPS6361111 A JP S6361111A JP 20639986 A JP20639986 A JP 20639986A JP 20639986 A JP20639986 A JP 20639986A JP S6361111 A JPS6361111 A JP S6361111A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
lens
screen
measured
surface roughness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20639986A
Other languages
English (en)
Inventor
Takanobu Kanazawa
金沢 孝信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP20639986A priority Critical patent/JPS6361111A/ja
Publication of JPS6361111A publication Critical patent/JPS6361111A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプラスチック成形品のシボ面等の表面粗さの測
定機に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の測定の手段としてはシボ模様の見本板と
照し合わせて比較する等の方法がとられていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、従来の方法では、観察者の主観によシ結論にく
い違いが生じ、良否の判定が非常に困難でありた。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の面粗さ測定機は、光源、レンズ、スリットから
成る発光部と、レンズおよびスクリーン等の投影部から
成る受光部とを有している。
〔実施例〕
次に1本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
図において、光源lを出た光はレンズ2全通シ、極めて
幅の狭いス!J 、y ) 3に通過すると平面波の光
になる。この平面光を被測定物4に照射し、その反射光
をレンズ5でとらえレンズ6で拡大した後、カメラ7や
スクリーン上に投影し観察する。
スクリーン上には第2図に示す様に、レンズ5゜6によ
シ切断されたシボ面の稜線が拡大されて投影される。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、スリットを通した平面光
を被測定物の表面に照射し、その反射光をレンズを通し
拡大してスクリーンやフィルム上に投影することにより
、表面粗さを定量的に非破壊で測定できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図、第2図は本発
明によシ被測定物の表面粗さがスクリーン上に拡大され
た像を示す平面図である。 1・・・・・・光源、2・・・・・・レンズ、3・・・
・・・スリット、4・・・・・・被測定物、5・・・・
・・レンズ、6・・・・・・レンズ、7・・・・・・カ
メラ。 茅 1 図 茅 2I!1

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光源と、前記光源からの光を受光し平面波にして被測定
    物に照射する極めて幅の狭いスリットと、前記被測定物
    からの反射光を拡大してスクリーンやカメラのフィルム
    等に投影するレンズ機構とを有する面粗さ測定機。
JP20639986A 1986-09-01 1986-09-01 面粗さ測定機 Pending JPS6361111A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20639986A JPS6361111A (ja) 1986-09-01 1986-09-01 面粗さ測定機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20639986A JPS6361111A (ja) 1986-09-01 1986-09-01 面粗さ測定機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6361111A true JPS6361111A (ja) 1988-03-17

Family

ID=16522710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20639986A Pending JPS6361111A (ja) 1986-09-01 1986-09-01 面粗さ測定機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6361111A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008145318A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Hiroshima Univ 部材表面検査装置及び部材表面検査方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008145318A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Hiroshima Univ 部材表面検査装置及び部材表面検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03267745A (ja) 表面性状検出方法
KR930010527A (ko) 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치
WO2003052395A1 (en) Apparatus and method for slide illumination
KR101211438B1 (ko) 결함 검사장치
JP2947513B1 (ja) パターン検査装置
US5170063A (en) Inspection device for detecting defects in a periodic pattern on a semiconductor wafer
JPS6361111A (ja) 面粗さ測定機
JPH0835928A (ja) 撮像装置
JP2004144565A (ja) ホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法
JP2001004348A (ja) ガラス容器外周面の凹凸検査方法及び装置
JP3794745B2 (ja) 光学定数測定装置および顕微鏡
JPS6345541A (ja) 検査方法および装置
JPS62119444A (ja) パタ−ン検査装置
JPH05340869A (ja) 薄膜測定器
JPH09218162A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH07209199A (ja) 平面板状被検体の欠陥検出方法とその装置
JPH08313222A (ja) 透明物体の検査方法
JPH0599639A (ja) 平面状物の緩やかな凹凸検査装置
JPS61199661U (ja)
JP2678668B2 (ja) 寸法測定方法
JPH044207Y2 (ja)
JP2588473Y2 (ja) 表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡
JPS61191909A (ja) 被検体の表面撮像装置
JPH04366754A (ja) レジスト・イメージ欠陥検査装置
JPS5924963Y2 (ja) エツジ形状測定装置