JPS6360263U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6360263U JPS6360263U JP15509686U JP15509686U JPS6360263U JP S6360263 U JPS6360263 U JP S6360263U JP 15509686 U JP15509686 U JP 15509686U JP 15509686 U JP15509686 U JP 15509686U JP S6360263 U JPS6360263 U JP S6360263U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- detector
- container
- exhaust pipe
- protective container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
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- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第1図は本考案をウインドー型に適用した場合
の一実施例の構成略図、第2図は本考案をウイン
ドーレス型に適用した場合の一実施例の構成略図
、第3図及び第4図は従来装置を説明するための
図である。 1:冷却槽、2:液体窒素、3:熱伝導棒、4
:X線検出器、5:保護容器、6:真空容器、7
:試料、8:吸着材、9:ウインドー、10:出
力端子、11:排気口、12:栓、13:電子線
、14:特性X線、15:ゲートバルブ、16:
排気管、17:真空バルブ、18:真空ポンプ、
19:真空計、20:電子銃。
の一実施例の構成略図、第2図は本考案をウイン
ドーレス型に適用した場合の一実施例の構成略図
、第3図及び第4図は従来装置を説明するための
図である。 1:冷却槽、2:液体窒素、3:熱伝導棒、4
:X線検出器、5:保護容器、6:真空容器、7
:試料、8:吸着材、9:ウインドー、10:出
力端子、11:排気口、12:栓、13:電子線
、14:特性X線、15:ゲートバルブ、16:
排気管、17:真空バルブ、18:真空ポンプ、
19:真空計、20:電子銃。
Claims (1)
- 真空筐体内に配置された試料と、該試料よりの
X線を検出するためのX線検出器と、該X線検出
器を冷却するための冷媒を収容する冷却槽と、該
冷却槽と前記検出器を接続するための熱伝導棒と
、該冷却槽、熱伝導棒及びX線検出器を収容し少
なくとも前記検出器の使用中は内部が真空に保持
される保護容器とを備え、該保護容器の一端は管
状をしており、該管状部分が前記X線検出器を前
記真空筐体内の試料近傍に配置するため前記真空
容器内に挿入されている装置において、前記保護
容器内に溜つたガスを前記真空筐体に接続された
真空ポンプにより排気するため前記保護容器と前
記真空筐体とを接続する排気管が設けられており
、該排気管の前記保護容器への接続位置は該排気
管を介して前記真空筐体側へ流出するガスが前記
検出器近傍を通過しないよう該検出器位置から離
されており、前記排気管にガスの通過を制御する
弁が備えられていることを特徴とするエネルギー
分散型X線分折装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15509686U JPH0451416Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15509686U JPH0451416Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6360263U true JPS6360263U (ja) | 1988-04-21 |
JPH0451416Y2 JPH0451416Y2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=31075491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15509686U Expired JPH0451416Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0451416Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008128635A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Shimadzu Corp | 電子冷却型半導体x線検出器 |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP15509686U patent/JPH0451416Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008128635A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Shimadzu Corp | 電子冷却型半導体x線検出器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0451416Y2 (ja) | 1992-12-03 |
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