JPS6354010A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、特に弾性表面波共振子に適用するのに最適な
弾性表面波装置に関する。

（従来の技術） 一般に弾性表面波共振子としての弾性表面波装置は、第
３図に示すような構造とされている。

同図において、符号１は圧電基板であり、この圧電基板
１上に電極パターンが形成されている。すなわち、圧電
基板１上のほぼ中央に一対のＦＢ歯電ｑ１２ａ、２ａを
交差してなる励振電極２が形成され、この励振電極２を
挟むように反則電極３．３が形成されている。また、こ
れら電極パターンは周知の技術であるフォトエツチング
により形成されているため、圧電基板１上に電極パター
ンで囲まれる部分がある場合、上記したフォトエツチン
グの際エツチング液が溜り、電極パターンに悪影響を及
ぼすことがある。このため、従来から上記した各反射電
極３．３は一方側に向けてショートブスバー３ａから電
極指３ｂ・・・が突出するＭ歯構造とされ、エツチング
液の流路が確保されている。

ところでこのように構成された弾性表面波共］辰子にお
いて、たとえば共振周波数が６０Ｈ１ｌｚ以下のものを
１００Ｈｆ（ｚ以上のものと同程度の無負荷Ｑを１ｑよ
うとした場合、電極パターンの膜厚を厚くする方法、反
則電極の電極指の本数を増やす方法等が考えられる。

しかしながら電極パターンの膜厚を厚くする方法におい
ては、上記した周知のフオエッチングよる技術では、膜
厚を極端に厚くすることは困難を極める。したがって従
来から低い共振周波数で充分な無負荷Ｑを１ｑようとし
た場合、フォトエツチングで可能な限り電極パターンの
膜厚を厚くしつつ反射電極３ａの電極指３ｂの本数を増
やしている。

（発明が解決しようとする問題点） ところで前記した圧電基板１としてｐｏｗｅｒｆｌｏｗ
　ＡｎｇｌｅがＯ’Ｃでないような基板、たとえばＸｃ
Ｌｌｔ−１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａ０３単結晶基板を用
いた場合、第４図に示すように、励振電極２から励振さ
れた弾性表面波は、励振電極２および反射電極３の中心
軸であるＸ軸に対して所定の角度θの差位を生じて圧電
基板１上を伝搬する。そして、このようにＸ軸に対して
所定の角度θの差異を生じて圧電基板１上を伝搬する弾
性表面波においては、たとえば第５図に示すように、一
方の反則電極３側に伝搬するものはショートブスバー３
８で反射するものがあり、他方の反射電極３側に伝「ａ
するものは電極指３ｂの先端面で反射するものがある。

すなわち左右の反射電極３側でのそれぞれの弾性表面波
の反射は非対称となり、受信される弾性表面波に位相の
差位が生じる。このため上記したように低い共（辰周波
数で充分な無負荷Ｑを得るため反射電極３の電極指３ｂ
の本数を増やした場合、すなわち弾性表面波の伝搬路が
長くなった場合、一方の反射電極３側に伝搬し反射して
くる弾性表面波と他方の反射電極３側に伝搬し反射して
くるものとでは位相の差位が大きいものとなり、無負荷
Ｑが低下し、充分な無負荷Ｑは１ｑられないことになる
。たとえば共振周波数が１００聞２の弾性表面波共振子
においては無負荷Ｑが１５０００以上のものが実現可能
であるが、共振周波数が６０Ｍ　８２以下の弾性表面共
振子においてはこのような値の無負荷Ｑが得られない。

本発明は上−記した事情に対処してなされたもので、各
反射電極側から反射されてくる弾性表面波に位相の差位
が生じることのない弾性表面波装置を提供することを目
的としている。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の弾性表面波装置は、弾性表面波を伝搬
する基板と、この基板の一主面上に形成された一対の櫛
歯電極を交差してなる励振電極と、この励振電極を挟み
かつ各電極の電極指を平行させて配置されたＦＢ歯電極
からなる２組の反射電極とを備えた弾性表面波装置にお
いて、前記２組の反射電極の電極指が、互いに逆方向に
向けて突出している。

（作　用） 本発明の弾性表面波装置において、２相の反射電極の電
極指が、互いに逆方向に向けて突出しているので、各反
則電極側から反射されてくる弾性表面波に位相の差位が
生じることはなくなる。

このため、たとえば弾性表面波共振子においては、低い
共（辰周波数でも高い無負ＲＱを得ることができるよう
になる。

（実施例） 以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する
。

第１図は本発明の一実施例の弾性表面波共振子を示す図
である。図中、符号１１は圧電基板であり、Ｘｃｕｔ−
１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａ０３単結晶基板からなる。そ
して、この圧電基板１１上に電極パターン１２が形成さ
れている。すなわら、この圧電基板１１上のほぼ中央に
一対のお歯電極１３ａ、１３ａを交差してなる励１辰電
極１３が形成され、この励振電極１３を挟むように反射
電極１４．１４が形成されている。これら反射電極１４
はショートブスバー１４ａから多数の電９ｉ指１４ｂが
突出する櫛歯構造とされ、かつこれらは同一なものとさ
れている。また従来例で説明したように、上記したＸｃ
ｕｔ−１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａ０３単結晶基板からな
る圧電基板１１においては弾性表面波は中心軸であるＸ
軸に対し所定の角度θの差位を生じてこの圧電基板１１
上を伝搬するものであるが、この弾性表面波が伝搬する
側に向けて上記各反則電極１４の電極指１４ｂはショー
トブスバー１４８から突出している。このため、これら
反射電価１４の電極指１４ｂの突出方向は互いに逆方向
となっている。換言するならば、これら反射電極１４は
励振電極１３の中心点に対し点対称となっている。

そして、励振電極１３から励振された弾性表面波は圧電
基板１１上を伝搬するが、その際、この圧電基板１１は
Ｘｃｕｔ−１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａ０３単結晶基板か
らなるためＸ軸に対し所定の角度θをもってこの圧電基
板１１上を伝搬する。この後、この弾性表面波は反射電
極１４の電極指１４ｂの側面、反射電極１４の電極指１
４ｂの先端面、ざらには圧電基板１１の端面等で反射す
る。そして、このような反射は左右の反射電極１４が励
振電極１３の中心点に対し点対称とされているので、−
方の反射電極１４側に伝搬する弾性表面波の反射と他方
の反射電極」４側に伝搬する弾性表面波の反射とでは対
称をなすことになる。このため、受信される弾性表面波
の位相の差異はなくなり、無負荷Ｑが低下することなく
なる。また、電極指１４ｂの先端面は電極パターンが解
放されており、弾性表面波はこの位置を伝搬するので、
反射電極１４内と比べた弾性表面波の伝搬速度の差位が
大きく、反射量も大きくなる。このため、高い無負荷Ｑ
を１７ることかできるようになる。

しかして共振周波数の低い弾性表面波共］辰子で高い無
負荷Ｑを得ようとした場合、反射電極の電極指の本数を
増やさなければならなず、すなわち弾性表面波の伝搬路
が長くなるが、上記したように反射されてくる弾性表面
波に位相の差位が生じることのないものを用いれば、無
負荷Ｑが低下することはなく、高い無負荷Ｑを得ること
ができるようになる。たとえば従来例の第３図に示した
弾性表面波共振子の無負荷Ｑに対し本実施例における弾
性表面波共振子の無負荷Ｑは約１．５倍となる。

なお、上記した実施例においては、電極指１４ｂはＸ軸
に対し弾性表面波が伝１ｆｆｆｌする側に突出するもの
でおったが、第２図に示すように、それぞれがこれと反
対側に突出するものでもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置によれば、
各反射電極側から反射されてくる弾性表面波に位相の差
位が生じることはなくなる。このため、たとえば弾性表
面波共振子においては、低い共振周波数でも高い無負荷
Ｑを得ることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の弾性表面波共振子を示す平
面図、第２図は本発明の他の実施例の弾性表面波共振子
を示す平面図、第３図は従来の弾性表面波共振子を示す
平面図、第４図は弾性表面波の伝搬路を説明するための
図、第５図は弾性表面波の反則を説明するための図であ
る。 １１・・・・・・・・・圧電基板 １３・・・・・・・・・励振電極 １４・・・・・・・・・反射電極 １４ａ・・・・・・・・・ショートブスバー１４ｂ・・
・・・・・・・電極指 出願人　　　　　　株式会社　東芝 代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第３図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）弾性表面波を伝搬する基板と、この基板の一主面
   上に形成された一対の櫛歯電極を交差してなる励振電極
   と、この励振電極を挟みかつ各電極の電極指を平行させ
   て配置された櫛歯電極からなる２組の反射電極とを備え
   た弾性表面波装置において、前記２組の反射電極の電極
   指が、互いに逆方向に向けて突出していることを特徴と
   する弾性表面波装置。