JPS6350084A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6350084A JPS6350084A JP19294986A JP19294986A JPS6350084A JP S6350084 A JPS6350084 A JP S6350084A JP 19294986 A JP19294986 A JP 19294986A JP 19294986 A JP19294986 A JP 19294986A JP S6350084 A JPS6350084 A JP S6350084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- laser
- oxidation
- barrier layer
- conductive oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 10
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 7
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ光を発生させるための放電を維持する
電極を有するレーザ装置に関するものである。
電極を有するレーザ装置に関するものである。
（従来の技術）
以下、図面を参照しながら従来のレーザ装置の電極部分
の一例について説明を行う。
の一例について説明を行う。
第２図は、従来のレーザ装置の電極部分の一例を示した
ものである。第２図において、１は電気絶縁性セラミッ
クスであり、レーザガスの静圧部から放電が発生するこ
とを防止している。２は電極であり、この表面からレー
ザガスを媒体としてレーザ光を発生させるために必要な
放電が起こる。
ものである。第２図において、１は電気絶縁性セラミッ
クスであり、レーザガスの静圧部から放電が発生するこ
とを防止している。２は電極であり、この表面からレー
ザガスを媒体としてレーザ光を発生させるために必要な
放電が起こる。
３は電気絶縁板性セラミックスであり、１と同様の働き
をする。
をする。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、前記のような電極の構成では、放電に伴
って発生する熱によって電極表面が酸化し、その結果レ
ーザ出力が低下するという欠点を有していた。
って発生する熱によって電極表面が酸化し、その結果レ
ーザ出力が低下するという欠点を有していた。
また、放電電流が増加するにつれて、電極の表面近傍で
発生する熱量が増え、酸化の進行が早まり、電極の寿命
が著しく短くなるという欠点もあった・ （問題点を解決するための手段） 本発明は、前記の欠点である電極の酸化を制御するため
に、レーザ光を発生させるための放電を維持する電極の
表面に電気伝導性酸化物の障壁層を設けたものである。
発生する熱量が増え、酸化の進行が早まり、電極の寿命
が著しく短くなるという欠点もあった・ （問題点を解決するための手段） 本発明は、前記の欠点である電極の酸化を制御するため
に、レーザ光を発生させるための放電を維持する電極の
表面に電気伝導性酸化物の障壁層を設けたものである。
（作 用）
前記電極の表面に酸化物障壁層を設けることにより、以
下に述べる作用効果が得られる。
下に述べる作用効果が得られる。
電極の表面に電気伝導性酸化物障壁層が存在することに
よってレーザガスに含有されている酸素濃度と電極表面
に存在する酸素濃度の差が比較的小さくなり、酸素ポテ
ンシャルが接近することから酸化の進行が制御される。
よってレーザガスに含有されている酸素濃度と電極表面
に存在する酸素濃度の差が比較的小さくなり、酸素ポテ
ンシャルが接近することから酸化の進行が制御される。
以上の作用効果により、電極の寿命が著しく延びるだけ
でなく、長期的にレーザ出力が安定して確保することが
できる。
でなく、長期的にレーザ出力が安定して確保することが
できる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明を行う。
明を行う。
第１図は、本発明を実施したレーザ装置の電極部分の一
例を示している。第１図において、２′は電気伝導性酸
化物障壁層を設けた電極（カソード電極）であり、レー
ザ光の発生に必要な放電を維持している。その他の構成
は、第２図の従来例と同じである。
例を示している。第１図において、２′は電気伝導性酸
化物障壁層を設けた電極（カソード電極）であり、レー
ザ光の発生に必要な放電を維持している。その他の構成
は、第２図の従来例と同じである。
前記の構成において、レーザ光を発生させるため、電極
２は放電を維持している。この電極２の表面が酸化して
いない正常時には、放電が拡がり、高出力のレーザ光を
安定して得ることができる。
２は放電を維持している。この電極２の表面が酸化して
いない正常時には、放電が拡がり、高出力のレーザ光を
安定して得ることができる。
ところが、電極表面の酸化が進行すると、電極表面上の
電子放出ポイントが局在化し、結果的に電子放出能が低
下する。また、電極表面上の電子放出ポイントが局在化
したことにより、放電中の電子の空間密度が不均一にな
り、放電が拡がらず、レーザ出力の低下をもたらす。
電子放出ポイントが局在化し、結果的に電子放出能が低
下する。また、電極表面上の電子放出ポイントが局在化
したことにより、放電中の電子の空間密度が不均一にな
り、放電が拡がらず、レーザ出力の低下をもたらす。
このような現象を防止丈ため、電子を放出するカソード
電極２′の表面に電気伝導性酸化物障壁層を設け、酸素
を含有するレーザガスとカソード電極表面の酸化ポテン
シャルを比較的近い値にして、電極表面の酸化の進行を
制御し、長期的にレーザ出力を安定確保している。
電極２′の表面に電気伝導性酸化物障壁層を設け、酸素
を含有するレーザガスとカソード電極表面の酸化ポテン
シャルを比較的近い値にして、電極表面の酸化の進行を
制御し、長期的にレーザ出力を安定確保している。
（発明の効果）
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、電
極表面の酸化の進行を制御することにより、レーザ装置
の寿命は飛躍的に延び、その効果は大である。
極表面の酸化の進行を制御することにより、レーザ装置
の寿命は飛躍的に延び、その効果は大である。
第１図は、本発明の実施例を示す図である。第２図は、
従来のレーザ装置の電極部分の一例を示す図である。 １．３ ・・・電気絶縁性セラミックス、 ２・・・電
極、 ２′・・・表面に電気伝導性酸化物の障壁層を形
成した電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 ２′ 第２図
従来のレーザ装置の電極部分の一例を示す図である。 １．３ ・・・電気絶縁性セラミックス、 ２・・・電
極、 ２′・・・表面に電気伝導性酸化物の障壁層を形
成した電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 ２′ 第２図
Claims (1)
- レーザ光を発生させるための放電を維持する電極を有し
、かつ前記電極の表面に電気伝導性酸化物の障壁層を形
成したことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19294986A JPS6350084A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19294986A JPS6350084A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350084A true JPS6350084A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16299694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19294986A Pending JPS6350084A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350084A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6336349B1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-01-08 | Muhr Und Bender Kg | Method for the flexible rolling of a metallic strip |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP19294986A patent/JPS6350084A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6336349B1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-01-08 | Muhr Und Bender Kg | Method for the flexible rolling of a metallic strip |
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