JPS6347615A - 光学式変位検出器 - Google Patents
光学式変位検出器Info
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- JPS6347615A JPS6347615A JP19153286A JP19153286A JPS6347615A JP S6347615 A JPS6347615 A JP S6347615A JP 19153286 A JP19153286 A JP 19153286A JP 19153286 A JP19153286 A JP 19153286A JP S6347615 A JPS6347615 A JP S6347615A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野1
本発明は、光学式変位検出器に係り、特に、2つの部材
の相対変位を、光学的な格子の形成されたメインスケー
ルと対応する光学的な格子を形成したインデックススケ
ールとの相対変位によって生ずる光電変換信号の変化か
ら検出7Jる光学式変位検出器の改良に関するものであ
る。 【従来の技術】 工作機械の工具の送り母等を測定するために、相対移動
する部材の一方に苑1の格子を設けたメインスケールを
固定し、他方の部材に、第2の格子を設けたインデック
ススケール、照明手段及び光電変換素子を有゛丈るスラ
イダを固定して、第1と第2の格子との相対移動によっ
て生ずる光分変化を光電変換し、得られた検出信号を付
汎する計数回路で補間及びパルス化して計数することに
より変位聞を測定する光学式変位測定装置が普及してい
る。 このような測定装置においては、加工技術の高度化と共
に、測定分解能をより細分化することが要求されている
が、計数回路での検出信号の補間の数には限界があり、
更に補間による誤差が生ずる恐れもあるため、検出信号
自体のピッチをより細かくすることが望まれている。 このような場合に有効な検出器として、メインスケール
上の第1格子のピッチP1に対して、得られる検出信号
のピッチがPlを細分化したちのである、いわゆる光学
的分割を行う検出器が知られている。 例えば英国特許出願第2024416A号(以下、公知
文献と称する)においては、第5図に承り如く、メイン
スケール10上の第1格子12の透過部12Aと遮光部
12Bとの比を1 : (2n−1)に設定することに
より、第2格子16が形成されたインデックススケール
14を介してフォトダイオード18で得られる検出信号
のピッチP3が第1棒子12のピッチP1の1/nであ
るような検出器が提案されている。 第5図に示す検出器においては、第1格子12の透過部
12Aと格子ピッチP1との比は1:4、第2格子16
のピッチP2はP1/2に設定してあり、フォトダイオ
ード18の(3号をプリアンプ20で増幅して得られた
検出信号のピッチP3はP 2 、即ち第1格子のピッ
チP1の1/2となっている。 r発明が解決しようとする問題点] 第5図に示される検出器によれば、確かに第1格子12
のピッチP1を分割したピッチP3の検出信号が得られ
るが、第1格子12の透過部12Aの長さを分割数に比
例して小さくする必要があるため、実質的に格子ピッチ
を細分化するのと等しく、特に測定範囲の長いメインス
ケール10上の第1格子12の製造が加工技術的に困難
になるという問題点を有していた。 一方、前記公知文献には、更に、第1格子12の透過部
12Aと遮光部12Bとの良さの比が1:1の場合でも
光学的分割ができる例が記載されている。しかしながら
、この場合には、光学系の有効波長をλ、第1格子12
のピッチをPlとすると、格子間隔2が次式の関係を満
足する必要があり、格子間隔Zを一定に保持する機構部
が複雑になるという問題点を有していた。 Z<(P+’/λ)/2 ・・・・・・・・・(1)
の相対変位を、光学的な格子の形成されたメインスケー
ルと対応する光学的な格子を形成したインデックススケ
ールとの相対変位によって生ずる光電変換信号の変化か
ら検出7Jる光学式変位検出器の改良に関するものであ
る。 【従来の技術】 工作機械の工具の送り母等を測定するために、相対移動
する部材の一方に苑1の格子を設けたメインスケールを
固定し、他方の部材に、第2の格子を設けたインデック
ススケール、照明手段及び光電変換素子を有゛丈るスラ
イダを固定して、第1と第2の格子との相対移動によっ
て生ずる光分変化を光電変換し、得られた検出信号を付
汎する計数回路で補間及びパルス化して計数することに
より変位聞を測定する光学式変位測定装置が普及してい
る。 このような測定装置においては、加工技術の高度化と共
に、測定分解能をより細分化することが要求されている
が、計数回路での検出信号の補間の数には限界があり、
更に補間による誤差が生ずる恐れもあるため、検出信号
自体のピッチをより細かくすることが望まれている。 このような場合に有効な検出器として、メインスケール
上の第1格子のピッチP1に対して、得られる検出信号
のピッチがPlを細分化したちのである、いわゆる光学
的分割を行う検出器が知られている。 例えば英国特許出願第2024416A号(以下、公知
文献と称する)においては、第5図に承り如く、メイン
スケール10上の第1格子12の透過部12Aと遮光部
12Bとの比を1 : (2n−1)に設定することに
より、第2格子16が形成されたインデックススケール
14を介してフォトダイオード18で得られる検出信号
のピッチP3が第1棒子12のピッチP1の1/nであ
るような検出器が提案されている。 第5図に示す検出器においては、第1格子12の透過部
12Aと格子ピッチP1との比は1:4、第2格子16
のピッチP2はP1/2に設定してあり、フォトダイオ
ード18の(3号をプリアンプ20で増幅して得られた
検出信号のピッチP3はP 2 、即ち第1格子のピッ
チP1の1/2となっている。 r発明が解決しようとする問題点] 第5図に示される検出器によれば、確かに第1格子12
のピッチP1を分割したピッチP3の検出信号が得られ
るが、第1格子12の透過部12Aの長さを分割数に比
例して小さくする必要があるため、実質的に格子ピッチ
を細分化するのと等しく、特に測定範囲の長いメインス
ケール10上の第1格子12の製造が加工技術的に困難
になるという問題点を有していた。 一方、前記公知文献には、更に、第1格子12の透過部
12Aと遮光部12Bとの良さの比が1:1の場合でも
光学的分割ができる例が記載されている。しかしながら
、この場合には、光学系の有効波長をλ、第1格子12
のピッチをPlとすると、格子間隔2が次式の関係を満
足する必要があり、格子間隔Zを一定に保持する機構部
が複雑になるという問題点を有していた。 Z<(P+’/λ)/2 ・・・・・・・・・(1)
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、メインスケール上の第1格子の透過部と遮光部と
の比が1=1であっても光学的分割が可能であり、しか
も、メインスケールとインデックススケールとに形成さ
れた格子の間隔が一定の値以上であっても比較的良好な
検出信号が得られる光学式変位検出器を提供することを
目的とする。
ので、メインスケール上の第1格子の透過部と遮光部と
の比が1=1であっても光学的分割が可能であり、しか
も、メインスケールとインデックススケールとに形成さ
れた格子の間隔が一定の値以上であっても比較的良好な
検出信号が得られる光学式変位検出器を提供することを
目的とする。
本発明は、光学式変位検出器において、コヒーレントな
光源を含む照明手段と、格子ピッチP1の第1格子が形
成されたメインスケールと、格子ピッチP2=P1/n
(nは2以上の整数)の第2格子が形成されたインデッ
クススケールと、前記第1格子及び第2格子を経た照明
光を光電変換する受光素子とを含み、前記メインスケー
ルとインデックススケールとの相対変位に応じてピッチ
P + / nの検出信号を生成することにより、前記
目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記第1格子と第2格子との
間隔を、受光素子も考慮した光学系の有効スペクトルの
中心波長をλとして、略111P22/λ(Illは1
以上の整数)としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記第2格子のピッチP
2− P 1/ 2とし、且つ、前記第1格子と第2
格子との間隔を、受光素子も考慮した光学系の有効スペ
クトルの中心波長をλとして、略2P22/λ以上とし
たものである。 又、本発明の実M態様は、前記光源をレーザダイオード
としたものである。 又、本発明の実施態様は、前記第1格子の透過又は反則
部と遮光又は吸収部の比を略1:1としたものである。 又、本発明の実施態様は、前記第2格子の透過部と遮光
部の比を略1:1としたものである。
光源を含む照明手段と、格子ピッチP1の第1格子が形
成されたメインスケールと、格子ピッチP2=P1/n
(nは2以上の整数)の第2格子が形成されたインデッ
クススケールと、前記第1格子及び第2格子を経た照明
光を光電変換する受光素子とを含み、前記メインスケー
ルとインデックススケールとの相対変位に応じてピッチ
P + / nの検出信号を生成することにより、前記
目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記第1格子と第2格子との
間隔を、受光素子も考慮した光学系の有効スペクトルの
中心波長をλとして、略111P22/λ(Illは1
以上の整数)としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記第2格子のピッチP
2− P 1/ 2とし、且つ、前記第1格子と第2
格子との間隔を、受光素子も考慮した光学系の有効スペ
クトルの中心波長をλとして、略2P22/λ以上とし
たものである。 又、本発明の実M態様は、前記光源をレーザダイオード
としたものである。 又、本発明の実施態様は、前記第1格子の透過又は反則
部と遮光又は吸収部の比を略1:1としたものである。 又、本発明の実施態様は、前記第2格子の透過部と遮光
部の比を略1:1としたものである。
光学式2位検出器においては、第1格子による照明光の
透過率又は反射率の分布が単純な正弦関数では表わセな
い一般的な場合について、第1格子を経由した照明光の
変化を正確に解析するのは困難であるので、本願の発明
者は様々な場合について検出器を構成して検出信号の状
態を観測した。 本発明は、このようなりA測結果に基づいてなされたも
ので、第1格子の格子ピッチをP+、i>12格子の格
子ピッチP2をP+/n(nは2以上の整数)とし、こ
の第1格子及び第2格子をコヒーレントな光源で照明し
て、メインスケールとインデックススケールとの相対変
位に応じてピッチPt/nの検出信号を生成するように
している。従って、メインスケール上の第1格子の透過
又は反射部と遮光又は吸収部との比が1:1の場合でも
光学的分割が可能となる。又、メインスケールとインデ
ックススケールとに形成された格子の間隔が一定の値以
上でも比較的良好な検出1g号を得ることができる。
透過率又は反射率の分布が単純な正弦関数では表わセな
い一般的な場合について、第1格子を経由した照明光の
変化を正確に解析するのは困難であるので、本願の発明
者は様々な場合について検出器を構成して検出信号の状
態を観測した。 本発明は、このようなりA測結果に基づいてなされたも
ので、第1格子の格子ピッチをP+、i>12格子の格
子ピッチP2をP+/n(nは2以上の整数)とし、こ
の第1格子及び第2格子をコヒーレントな光源で照明し
て、メインスケールとインデックススケールとの相対変
位に応じてピッチPt/nの検出信号を生成するように
している。従って、メインスケール上の第1格子の透過
又は反射部と遮光又は吸収部との比が1:1の場合でも
光学的分割が可能となる。又、メインスケールとインデ
ックススケールとに形成された格子の間隔が一定の値以
上でも比較的良好な検出1g号を得ることができる。
以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。 本発明の第1実施例は、第1図に示ず如く、コヒーレン
トな光源としてのレーザダイオード30及びコリメータ
レンズ32から構成される、略平行光束の照明手段と、
透過部12Aと遮光部12Bとの比が@1:1で格子ピ
ッチがPlの第1格子12が形成されたメインスケール
10と、透過部と遮光部との比が略1:1で格子ピッチ
がP2の第2格子16が90”位相を変えて2個形成さ
れたインデックススケール14と、前記第1格子12及
び第2格子16を透過した照明光を充電変換するための
、前記第2格子16の区分に対応して2個設けられたフ
ォトダイオード18と、該フォトダイオード18の出力
をそれぞれ増幅して、ピッチP3で位相が90”ずれた
検出信号A、Bを出力する2個のプリアンプ20とから
構成されている。 ;)a記し−ザダイオード30の波長λは約0.8μm
とされていや。なお、λはここではレーザダイオード3
00波長であるが、一般には受光素子(フォトダイオー
ド18)も考慮した光学系の有効スペクトルの中心波長
とザることができる。 前記レーザダイオード30を遠方に設置する場合には、
コリメータレンズ32を省略することができる。 前記第1格子12のピッチP1としては、例えば8μm
、16μre s 20μm140μ%の何れかとする
ことができる。 又、前記第2格子16のピッチP2としては、例えば8
μm、4μmの何れかとすることができる。 前記第1実施例を用いて、本発明の評価を行った。評価
に使用した第1格子12のピッチP1と第2格子16の
ピッチP2との組合わせを下記第1表に示ず。第1表中
のP3の値は、第1及び第2の格子の間隔ZをP12/
λより大ぎくした場合に得られた検出信号のピッチであ
る。 第 1 表 第1表から明らかな如く、第1格子12のピッチP1に
対して、検出信号のピッチP3が細分化され、光学的多
分割が行dれていることがわかる。 第1表におけるnの値は、P1/P3、即ら光学的分割
の数を示したものである。 ここで光学的多分割がされても、第2格子16のピッチ
P2は検出信号のピッチP3と同じで製造の困難さが考
えられるが、メインスケール10上の第1格子12のよ
うに測定節回全長の長さが一ム描画装置で直接パターン
を形成することもでき、嘲i社メインスケール上の第1
格子の場合に比較して、製造は容易である。 次に、格子間隔Zと検出信号の状態の変化について評価
した。第2図に、プリアンプ20から得られる検出信号
の一例を示す。検出信号の良さは、直流成分DCと交流
成分PPを用いて、次式で定義される信号コントラスト
で評価できる。 信号コントラスト−PP/DC・・・・・・(2)即ち
、一般に直流成分DCは変位検出に寄与しないため小さ
い方がよく、従って、信号コントラストは大きいほど安
定な測定が行える。信号コントラストが最も良いのは、
第2図中の破線で示した場合で、信号コントラストの定
義より、そのときの信号コントラストの値は2であるこ
とがわかる。 格子間隔Zを変えていった場合、信号コントラストが変
化するが、第3図にその評価結果を示す。 評価の結果、光学的分割の数、即ちnが2の場合と2以
外の場合とでは異なる傾向が観測されたので、第3図<
A>にロー2の場合、第3図(B)にn−1の場合の傾
向を示す。 n−2の場合、第3図(A)から明らかなように、格子
間隔2がP22/λの偶数倍のところで信号コントラス
トのピークがあるが、何処でも零にはならないため、格
子間隔2が2P22/λ2以上であれば変位検出が可能
である。更に特徴的なことは、格子間隔Zが100P2
2/λ程度以上になると信号コントラストがほぼ一定値
0.5になっている。従って、格子間隔Zの変動に対し
て検出信号の変化がほとんどなく、極めて安定な検出器
が構成できることがわかる。 これに対して、例えば第1格子12の格子ピッチP+が
40μmに対して第2格子の格子ピッチP2が8μm(
n−5)である組合わせ等、nが2でない場合には、第
3図(B)に示す如く、格子間隔2がP22/λの整数
倍の近傍に信号フン1−ラストのピークがあり、それら
の中間では信号コントラストがほぼ零になっている。従
って、格子間隔2をおよそIP 2 ’ /λ(II+
は正の整a)に設定して、閑の値を大きくすることによ
り、格子間隔2がある一定の値より大きな場合でも、検
出信号のコントラストが良好な検出器が構成できること
がわかる。 なお、この第1実施例に係る検出器を用いて本発明を評
価した際には分割数nが2〜5とされていたが、それ以
−ヒの多分割の場合でも同じように適用できるものと予
想される。 前記第1実施例は、本発明を透過型の直線変位検出器に
適用したものであるが、本発明の適用範囲はこれに限定
されず、第4図に示す第2実施例の如く、反射型の直線
変位検出器にも同様に適用することができる。この場合
、メインスケール10としては、ガラススケールの他に
ステンレスのテープ等を使用することができる。又、直
線変位検出器ではなく回転変位検出器(ロータリエンコ
ーダ)にも同様に適用することができる。 なお、前記実施例においては、コヒーレントな光源とし
てレーザダイオード30を用いていたが、光源の種類は
これに限定されず、レーザダイオード以外にも、例えば
発光スペクトルの幅が20ni+程度以下である発光ダ
イオードを使用づ”ることができる。又、発光スペクト
ルの幅が広い発光素子であっても、干渉フィルタ等を併
用して波長を選択することによりコヒーレントな光源と
して使用することができる。 【発明の効果1 以上説明した通り、本発明によれば、メインスケール上
の第1格子の透過又は反射部と遮光又は吸収部との比が
略1:1であっても光学的分割が可能となるため、メイ
ンスケールの製造が容易となる。又、メインスケールと
インデックススケールとに形成される格子の間隔がある
値以上であれば良好な検出信号が得られるので、格子間
隔を広く設定することができ、機構部の構成が容易にな
る笠の優れた効果を有する。
。 本発明の第1実施例は、第1図に示ず如く、コヒーレン
トな光源としてのレーザダイオード30及びコリメータ
レンズ32から構成される、略平行光束の照明手段と、
透過部12Aと遮光部12Bとの比が@1:1で格子ピ
ッチがPlの第1格子12が形成されたメインスケール
10と、透過部と遮光部との比が略1:1で格子ピッチ
がP2の第2格子16が90”位相を変えて2個形成さ
れたインデックススケール14と、前記第1格子12及
び第2格子16を透過した照明光を充電変換するための
、前記第2格子16の区分に対応して2個設けられたフ
ォトダイオード18と、該フォトダイオード18の出力
をそれぞれ増幅して、ピッチP3で位相が90”ずれた
検出信号A、Bを出力する2個のプリアンプ20とから
構成されている。 ;)a記し−ザダイオード30の波長λは約0.8μm
とされていや。なお、λはここではレーザダイオード3
00波長であるが、一般には受光素子(フォトダイオー
ド18)も考慮した光学系の有効スペクトルの中心波長
とザることができる。 前記レーザダイオード30を遠方に設置する場合には、
コリメータレンズ32を省略することができる。 前記第1格子12のピッチP1としては、例えば8μm
、16μre s 20μm140μ%の何れかとする
ことができる。 又、前記第2格子16のピッチP2としては、例えば8
μm、4μmの何れかとすることができる。 前記第1実施例を用いて、本発明の評価を行った。評価
に使用した第1格子12のピッチP1と第2格子16の
ピッチP2との組合わせを下記第1表に示ず。第1表中
のP3の値は、第1及び第2の格子の間隔ZをP12/
λより大ぎくした場合に得られた検出信号のピッチであ
る。 第 1 表 第1表から明らかな如く、第1格子12のピッチP1に
対して、検出信号のピッチP3が細分化され、光学的多
分割が行dれていることがわかる。 第1表におけるnの値は、P1/P3、即ら光学的分割
の数を示したものである。 ここで光学的多分割がされても、第2格子16のピッチ
P2は検出信号のピッチP3と同じで製造の困難さが考
えられるが、メインスケール10上の第1格子12のよ
うに測定節回全長の長さが一ム描画装置で直接パターン
を形成することもでき、嘲i社メインスケール上の第1
格子の場合に比較して、製造は容易である。 次に、格子間隔Zと検出信号の状態の変化について評価
した。第2図に、プリアンプ20から得られる検出信号
の一例を示す。検出信号の良さは、直流成分DCと交流
成分PPを用いて、次式で定義される信号コントラスト
で評価できる。 信号コントラスト−PP/DC・・・・・・(2)即ち
、一般に直流成分DCは変位検出に寄与しないため小さ
い方がよく、従って、信号コントラストは大きいほど安
定な測定が行える。信号コントラストが最も良いのは、
第2図中の破線で示した場合で、信号コントラストの定
義より、そのときの信号コントラストの値は2であるこ
とがわかる。 格子間隔Zを変えていった場合、信号コントラストが変
化するが、第3図にその評価結果を示す。 評価の結果、光学的分割の数、即ちnが2の場合と2以
外の場合とでは異なる傾向が観測されたので、第3図<
A>にロー2の場合、第3図(B)にn−1の場合の傾
向を示す。 n−2の場合、第3図(A)から明らかなように、格子
間隔2がP22/λの偶数倍のところで信号コントラス
トのピークがあるが、何処でも零にはならないため、格
子間隔2が2P22/λ2以上であれば変位検出が可能
である。更に特徴的なことは、格子間隔Zが100P2
2/λ程度以上になると信号コントラストがほぼ一定値
0.5になっている。従って、格子間隔Zの変動に対し
て検出信号の変化がほとんどなく、極めて安定な検出器
が構成できることがわかる。 これに対して、例えば第1格子12の格子ピッチP+が
40μmに対して第2格子の格子ピッチP2が8μm(
n−5)である組合わせ等、nが2でない場合には、第
3図(B)に示す如く、格子間隔2がP22/λの整数
倍の近傍に信号フン1−ラストのピークがあり、それら
の中間では信号コントラストがほぼ零になっている。従
って、格子間隔2をおよそIP 2 ’ /λ(II+
は正の整a)に設定して、閑の値を大きくすることによ
り、格子間隔2がある一定の値より大きな場合でも、検
出信号のコントラストが良好な検出器が構成できること
がわかる。 なお、この第1実施例に係る検出器を用いて本発明を評
価した際には分割数nが2〜5とされていたが、それ以
−ヒの多分割の場合でも同じように適用できるものと予
想される。 前記第1実施例は、本発明を透過型の直線変位検出器に
適用したものであるが、本発明の適用範囲はこれに限定
されず、第4図に示す第2実施例の如く、反射型の直線
変位検出器にも同様に適用することができる。この場合
、メインスケール10としては、ガラススケールの他に
ステンレスのテープ等を使用することができる。又、直
線変位検出器ではなく回転変位検出器(ロータリエンコ
ーダ)にも同様に適用することができる。 なお、前記実施例においては、コヒーレントな光源とし
てレーザダイオード30を用いていたが、光源の種類は
これに限定されず、レーザダイオード以外にも、例えば
発光スペクトルの幅が20ni+程度以下である発光ダ
イオードを使用づ”ることができる。又、発光スペクト
ルの幅が広い発光素子であっても、干渉フィルタ等を併
用して波長を選択することによりコヒーレントな光源と
して使用することができる。 【発明の効果1 以上説明した通り、本発明によれば、メインスケール上
の第1格子の透過又は反射部と遮光又は吸収部との比が
略1:1であっても光学的分割が可能となるため、メイ
ンスケールの製造が容易となる。又、メインスケールと
インデックススケールとに形成される格子の間隔がある
値以上であれば良好な検出信号が得られるので、格子間
隔を広く設定することができ、機構部の構成が容易にな
る笠の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る光学式変位検出器の第1実施例
の構成を示す斜視図、第2図は、検出信号の信号コント
ラストを説明するための線図、第3図(A)、(B)は
、前記第1実施例を用いて本発明を評価した結果を承り
線図、第4図は、本発明の第2実施例の構成を示す断面
図、第5図は、従来の光学式変位検出器の一例の構成を
示す断面図である。 10・・・メインスケール、 12・・・第1格子、 12A・・・透過部、 12B・・・遮光部、 14・・・インデックススケール、 16・・・第2格子、 18・・・フォトダイオード、 P + 、P 2 、P 3・・・ピッチ、30・・・
レーザダイオード。
の構成を示す斜視図、第2図は、検出信号の信号コント
ラストを説明するための線図、第3図(A)、(B)は
、前記第1実施例を用いて本発明を評価した結果を承り
線図、第4図は、本発明の第2実施例の構成を示す断面
図、第5図は、従来の光学式変位検出器の一例の構成を
示す断面図である。 10・・・メインスケール、 12・・・第1格子、 12A・・・透過部、 12B・・・遮光部、 14・・・インデックススケール、 16・・・第2格子、 18・・・フォトダイオード、 P + 、P 2 、P 3・・・ピッチ、30・・・
レーザダイオード。
Claims (6)
- (1)コヒーレントな光源を含む照明手段と、格子ピッ
チP_1の第1格子が形成されたメインスケールと、 格子ピッチP_2=P_1/n(nは2以上の整数)の
第2格子が形成されたインデックススケールと、前記第
1格子及び第2格子を経た照明光を光電変換する受光素
子とを含み、 前記メインスケールとインデックススケールとの相対変
位に応じてピッチP_1/nの検出信号を生成すること
を特徴とする光学式変位検出器。 - (2)前記第1格子と第2格子との間隔が、受光素子も
考慮した光学系の有効スペクトルの中心波長をλとして
、略mP_2^2/λ(mは1以上の整数)とされてい
る特許請求の範囲第1項記載の光学式変位検出器。 - (3)前記第2格子のピッチP_2=P_1/2とされ
、且つ、前記第1格子と第2格子との間隔が、受光素子
も考慮した光学系の有効スペクトルの中心波長をλとし
て、略2P_2^2/λ以上とされている特許請求の範
囲第1項記載の光学式変位検出器。 - (4)前記光源がレーザダイオードとされている特許請
求の範囲第1項記載の光学式変位検出器。 - (5)前記第1格子の透過又は反射部と遮光又は吸収部
の比が略1:1とされている特許請求の範囲第1項記載
の光学式変位検出器。 - (6)前記第2格子の透過部と遮光部の比が略1:1と
されている特許請求の範囲第1項記載の光学式変位検出
器。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19153286A JPS6347615A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 光学式変位検出器 |
US07/082,593 US4912322A (en) | 1986-08-15 | 1987-08-07 | Optical type displacement detecting device |
IN615/CAL/87A IN168444B (ja) | 1986-08-15 | 1987-08-07 | |
DE3727188A DE3727188C2 (de) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | Optische Verschiebungserfassungseinrichtung |
GB8719257A GB2194044B (en) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | Optical type displacement detecting device |
CN87106274.7A CN1013705B (zh) | 1986-08-15 | 1987-08-15 | 光学式位移检测装置 |
GB9004757A GB2228320B (en) | 1986-08-15 | 1990-03-02 | Optical type displacement detecting device |
GB9004758A GB2228321B (en) | 1986-08-15 | 1990-03-02 | Optical type replacement detecting device |
IN236/CAL/90A IN169779B (ja) | 1986-08-15 | 1990-03-21 | |
IN234/CAL/90A IN169777B (ja) | 1986-08-15 | 1990-03-21 | |
IN235/CAL/90A IN169778B (ja) | 1986-08-15 | 1990-03-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19153286A JPS6347615A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 光学式変位検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6347615A true JPS6347615A (ja) | 1988-02-29 |
JPH0444211B2 JPH0444211B2 (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=16276233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19153286A Granted JPS6347615A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 光学式変位検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6347615A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01212316A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-25 | Omron Tateisi Electron Co | 光学式エンコーダ |
KR100326170B1 (ko) * | 2000-03-30 | 2002-02-27 | 윤종용 | 광소자의 광도파로열 피치를 측정하는 장치 |
JP2006162498A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ、それに用いるスケール及びその製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5345269B2 (ja) * | 1999-10-26 | 2013-11-20 | シチズンホールディングス株式会社 | 光学式変位測定装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS554592A (en) * | 1978-06-15 | 1980-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | System for measuring length and angle in terms of photoelectric increment |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP19153286A patent/JPS6347615A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS554592A (en) * | 1978-06-15 | 1980-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | System for measuring length and angle in terms of photoelectric increment |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01212316A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-25 | Omron Tateisi Electron Co | 光学式エンコーダ |
KR100326170B1 (ko) * | 2000-03-30 | 2002-02-27 | 윤종용 | 광소자의 광도파로열 피치를 측정하는 장치 |
JP2006162498A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ、それに用いるスケール及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0444211B2 (ja) | 1992-07-21 |
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---|---|---|---|
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