JPS63317711A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
- Publication number
- JPS63317711A JPS63317711A JP63141944A JP14194488A JPS63317711A JP S63317711 A JPS63317711 A JP S63317711A JP 63141944 A JP63141944 A JP 63141944A JP 14194488 A JP14194488 A JP 14194488A JP S63317711 A JPS63317711 A JP S63317711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- spring
- length
- measuring device
- position measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 235000003899 Brassica oleracea var acephala Nutrition 0.000 description 1
- 235000012905 Brassica oleracea var viridis Nutrition 0.000 description 1
- 244000064816 Brassica oleracea var. acephala Species 0.000 description 1
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000586605 Parlatoria proteus Species 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Paper (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は工作機械又は工作物の測定機の2つの機械部分
の形の対象物の相対位置の測定のための位置測定装置に
して、第1の対象物と結合されたスケールの目盛は第2
の対象物と結合された走査ユニットによって走査されそ
してスケールは測定方向においてスケール支持体に僅か
に移動可能に配設されており、スケール支持体は両端で
固定要素と結合しており、固定要素は第1の対象物に剛
固に固定されている、位置測定装置に関する。
の形の対象物の相対位置の測定のための位置測定装置に
して、第1の対象物と結合されたスケールの目盛は第2
の対象物と結合された走査ユニットによって走査されそ
してスケールは測定方向においてスケール支持体に僅か
に移動可能に配設されており、スケール支持体は両端で
固定要素と結合しており、固定要素は第1の対象物に剛
固に固定されている、位置測定装置に関する。
この種の位置測定装置は特に工作機械で加工されるべき
工作物に対する工具の相対位置の測定のために並びに座
標測定装置で被測定物の位置及び又は寸法を検出するた
めに使用される。
工作物に対する工具の相対位置の測定のために並びに座
標測定装置で被測定物の位置及び又は寸法を検出するた
めに使用される。
(従来の技術)
位置測定装置では誤差、特にスケールの目盛誤差、機械
部分の機械誤差及び又は温度に依存する誤差の補償のた
めの装置が既に公知である。
部分の機械誤差及び又は温度に依存する誤差の補償のた
めの装置が既に公知である。
***間特許明細書2712421から密閉形測長機が公
知であり、その際スケールはスケール支持体上に縦移動
可能に配設されており、かつ両端には測定されるべき機
械部分固定要素を介して結合されており、固定要素はス
ケール支持体とは無関係に機械部分に剛固に固定されて
いる。一方目盛誤差及び又は機械誤差の修正のためにス
ケールの一端はばね附勢された伸長装置を介して他の固
定要素と結合している。***間特許公開公報29110
47による測長機は伸長装置の外に追加的な据込み装置
を有する。
知であり、その際スケールはスケール支持体上に縦移動
可能に配設されており、かつ両端には測定されるべき機
械部分固定要素を介して結合されており、固定要素はス
ケール支持体とは無関係に機械部分に剛固に固定されて
いる。一方目盛誤差及び又は機械誤差の修正のためにス
ケールの一端はばね附勢された伸長装置を介して他の固
定要素と結合している。***間特許公開公報29110
47による測長機は伸長装置の外に追加的な据込み装置
を有する。
***間特許明細書2518745は、ハウジングが両端
でそれぞれ1つのアングルを介して機械部分に枢支され
ている密閉形測長機を開示する。スケールはハウジング
内で縦移動可能に配設されており、かつ目盛誤差及び又
は機械誤差の修正のために両端にはそれぞればね附勢さ
れた伸長装置又はばね附勢された据込み装置がアングル
と結合している。
でそれぞれ1つのアングルを介して機械部分に枢支され
ている密閉形測長機を開示する。スケールはハウジング
内で縦移動可能に配設されており、かつ目盛誤差及び又
は機械誤差の修正のために両端にはそれぞればね附勢さ
れた伸長装置又はばね附勢された据込み装置がアングル
と結合している。
***間特許明細書3106701から工作機械のための
測長機における装置が公知であり、その際機械部分の熱
による縦変化の補償のために高い熱膨張率を有する材料
から成る伸長棒が一端で機械部分にかつ他端でスケール
に固定されており、その際伸長棒の熱膨張量は機械部分
の熱膨張量と等しく、その結果機械部分の熱膨張量は測
定装置によって測定される。
測長機における装置が公知であり、その際機械部分の熱
による縦変化の補償のために高い熱膨張率を有する材料
から成る伸長棒が一端で機械部分にかつ他端でスケール
に固定されており、その際伸長棒の熱膨張量は機械部分
の熱膨張量と等しく、その結果機械部分の熱膨張量は測
定装置によって測定される。
***間特許公開公報2853771には測長機が記載さ
れており、そのハウジングはスケール及び走査ユニット
を収容するために両端に固定要素を介して測定されるべ
き機械部分と結合しており、ハウジングの他端と第2の
固定要素との間には温度保証のための縦補償要素が配設
されておりその結果ハウジングのこの端はハウジングの
縦方向において平面運動の自由度をもって支承されてい
る。
れており、そのハウジングはスケール及び走査ユニット
を収容するために両端に固定要素を介して測定されるべ
き機械部分と結合しており、ハウジングの他端と第2の
固定要素との間には温度保証のための縦補償要素が配設
されておりその結果ハウジングのこの端はハウジングの
縦方向において平面運動の自由度をもって支承されてい
る。
***間特許公開公報2243966から測長機が把握さ
れ、その際スケールはその中央において固定の測定基準
点とさもなければ温度変化の際に測定方向において僅か
に運動可能にスケール支持体上に配設されている。スケ
ール支持体は両端でそれぞれ縦補償要素を介して固定要
素と結合しており、固定要素は機械部分に剛固に固定さ
れており、かつ他方その中央において追加的な固定要素
を介して機械部分と剛固に固定されており、その結果ス
ケールは温度変化の際に機械部分に対してその固定の測
定基準点を保持する。
れ、その際スケールはその中央において固定の測定基準
点とさもなければ温度変化の際に測定方向において僅か
に運動可能にスケール支持体上に配設されている。スケ
ール支持体は両端でそれぞれ縦補償要素を介して固定要
素と結合しており、固定要素は機械部分に剛固に固定さ
れており、かつ他方その中央において追加的な固定要素
を介して機械部分と剛固に固定されており、その結果ス
ケールは温度変化の際に機械部分に対してその固定の測
定基準点を保持する。
米国特許明細書3816002は測長機を記載しており
、そのハウジングはスケール及び走査ユニソトの収容の
ために一端は固定されかつ他端は熱による長さ変化の補
償のために機械部分に縦移動可能に結合されている。ス
ケールはハウジングの内方向に一端を固定されかつ他端
をクランプ装置を介してハウジングに固定されている。
、そのハウジングはスケール及び走査ユニソトの収容の
ために一端は固定されかつ他端は熱による長さ変化の補
償のために機械部分に縦移動可能に結合されている。ス
ケールはハウジングの内方向に一端を固定されかつ他端
をクランプ装置を介してハウジングに固定されている。
このばね附勢されたクランプ装置によってスケールはハ
ウジングの熱的長さ変化によって影響を受けない。
ウジングの熱的長さ変化によって影響を受けない。
温度による誤差の補償は必要である、そのわけはこの種
の位置測定装置が使用される工作機械の分野では一般に
一定の温度は存在しないからである。同様に工作物の加
工の間に個々の工作機械の温度は常に変化する。コスト
上の理由から測定されるべき機械部分、スケール並びに
スケール支持体は等しい熱膨張率αを有する材料から成
ることは殆どないので、回避できない温度変化の生じた
場合に機械部分、スケール及びスケール支持体は相異な
る熱的長さ変化を生じ、その結果測定精度は工作物の加
工精度としては今日最早基えられない測定精度が生じ得
る。大抵機械部分としては鋳物α< o >= io
・10−6・K−’)が、スケール支持体としてはアル
ミニウム(α(G )= 23・10−6・K−’)が
、そしてスケールとしてはガラス(α(4)・8 ・1
0−6・K−1)が使用される。
の位置測定装置が使用される工作機械の分野では一般に
一定の温度は存在しないからである。同様に工作物の加
工の間に個々の工作機械の温度は常に変化する。コスト
上の理由から測定されるべき機械部分、スケール並びに
スケール支持体は等しい熱膨張率αを有する材料から成
ることは殆どないので、回避できない温度変化の生じた
場合に機械部分、スケール及びスケール支持体は相異な
る熱的長さ変化を生じ、その結果測定精度は工作物の加
工精度としては今日最早基えられない測定精度が生じ得
る。大抵機械部分としては鋳物α< o >= io
・10−6・K−’)が、スケール支持体としてはアル
ミニウム(α(G )= 23・10−6・K−’)が
、そしてスケールとしてはガラス(α(4)・8 ・1
0−6・K−1)が使用される。
***国特許公開公tla3419527から工作機械の
位置測定装置が公知であり、その際ガラスから成る可(
た性のスケールはスケール支持体としてのハウジング内
に移動可能に配設されている。ハウジングは一端で直接
第1固定要素にそして他端で2つの校正ねじを介して第
2固定要素と結合している。
位置測定装置が公知であり、その際ガラスから成る可(
た性のスケールはスケール支持体としてのハウジング内
に移動可能に配設されている。ハウジングは一端で直接
第1固定要素にそして他端で2つの校正ねじを介して第
2固定要素と結合している。
スケールは必要な目標目盛長さよりも大きい目盛長さを
有し、かつその端で再固定要素によってMl勢される。
有し、かつその端で再固定要素によってMl勢される。
両校正ねじによってスケールは標準温度(20°C)で
は再固定要素による据込みにより必要な目標長さに調整
される。測定されるべき機械部分は一般に位置測定装置
の組立の際にこの標・準温度を有するので、両校正ねじ
は機械部分の温度にスケールの目盛長さの調整を可能に
する温度スケールを有する。機械部分への再固定要素の
glJ固な固定の後、両校正ねじは弛められる。その据
。
は再固定要素による据込みにより必要な目標長さに調整
される。測定されるべき機械部分は一般に位置測定装置
の組立の際にこの標・準温度を有するので、両校正ねじ
は機械部分の温度にスケールの目盛長さの調整を可能に
する温度スケールを有する。機械部分への再固定要素の
glJ固な固定の後、両校正ねじは弛められる。その据
。
込みに基づいてスケール及び機械部分は温度変化の際に
等しい熱的長さ変化を受ける。この位置測定装置は比較
的コスト高でありかつ機械部分及び加工されるべき工作
物が等しい熱膨張率αを備えた材料から成らない場合に
熱的に制約さた加工精度不良が除去できない。
等しい熱的長さ変化を受ける。この位置測定装置は比較
的コスト高でありかつ機械部分及び加工されるべき工作
物が等しい熱膨張率αを備えた材料から成らない場合に
熱的に制約さた加工精度不良が除去できない。
(発明の課題)
本発明は機械部分に温度状態を考慮することなく組立ら
れることかできかつスケールと工作物との熱膨張率が相
違する場合熱的に制約された加工精度が加工されるべき
工作物で排除されるような上記分野の位置測定装置を創
造することを課題とする。
れることかできかつスケールと工作物との熱膨張率が相
違する場合熱的に制約された加工精度が加工されるべき
工作物で排除されるような上記分野の位置測定装置を創
造することを課題とする。
(課題の解決のための手段)
本発明の課題はスケール、スケール支持体及び工作物の
熱膨張率が相異なる場合、スケール支持体は少なくとも
一端で測定方向に平面運動可能な自由度をもって 固定
要素と結合しており、そしてスケールは少なくとも一端
でばね要素によって附勢されており、ばね要素はスケー
ル支持体の平面運動可能な端と結合しており、そしてそ
のばね定数は温度変化があった際にスケールの相対的な
長さ変化が工作物の相対的な長さ変化と等しいことを特
徴とする前記位置測定装置によって解決される。
熱膨張率が相異なる場合、スケール支持体は少なくとも
一端で測定方向に平面運動可能な自由度をもって 固定
要素と結合しており、そしてスケールは少なくとも一端
でばね要素によって附勢されており、ばね要素はスケー
ル支持体の平面運動可能な端と結合しており、そしてそ
のばね定数は温度変化があった際にスケールの相対的な
長さ変化が工作物の相対的な長さ変化と等しいことを特
徴とする前記位置測定装置によって解決される。
(発明の効果)
本発明により得られる利点は提案された位置測定装置が
任意の温度で機械部分に固定さることができることにあ
る。機械部分の熱膨張率とは無関係に加工されるべき工
作物の温度経過にスケールの温度経過が調整されること
ができ、その結果スケール及び加工されるべき工作物は
温度変化の際の相異なる熱膨張率にも係わらず、等しい
相対的な長さ変化を受ける。提案された位置測定装置は
熱的に制約された加工精度を排除し、その結果不良品は
著しく減少されることができる。
任意の温度で機械部分に固定さることができることにあ
る。機械部分の熱膨張率とは無関係に加工されるべき工
作物の温度経過にスケールの温度経過が調整されること
ができ、その結果スケール及び加工されるべき工作物は
温度変化の際の相異なる熱膨張率にも係わらず、等しい
相対的な長さ変化を受ける。提案された位置測定装置は
熱的に制約された加工精度を排除し、その結果不良品は
著しく減少されることができる。
(実施例)
第1図には密閉形測長機が縦断面図で表されている。例
えばガラスから成る0T撓性のスケール旧は例えばアル
ミニウムから成るハウジングの形のスケール支持体G1
の内方ウェブSTI 、hに、接着層KSIによって測
定方向Xに僅かに移動可能に配設されている。スケール
支持体G1は第1端Glaで直接第1の固定要素BE1
aとそして第2端Glbで測定方向Xにおける平面運動
の自由度をもって長さ補償要素LIEIを介して第2の
固定要素BE1bと結合しており、両固定要素BE1a
、固定要素BE1bはねじ5R1a、 5R1bによっ
て第1の対称物01aに剛固に固定されている。
えばガラスから成る0T撓性のスケール旧は例えばアル
ミニウムから成るハウジングの形のスケール支持体G1
の内方ウェブSTI 、hに、接着層KSIによって測
定方向Xに僅かに移動可能に配設されている。スケール
支持体G1は第1端Glaで直接第1の固定要素BE1
aとそして第2端Glbで測定方向Xにおける平面運動
の自由度をもって長さ補償要素LIEIを介して第2の
固定要素BE1bと結合しており、両固定要素BE1a
、固定要素BE1bはねじ5R1a、 5R1bによっ
て第1の対称物01aに剛固に固定されている。
スケールM1の目盛TMIは公知の方法でハウジングG
1の内方ウェブBTIの走査ユニットAEIによって走
査され、走査ユニットは連結体MNIを介してねじ5R
1cによって第2の対象物01bと結合している。連結
体MNIは図示しないシールリップによって密閉された
ハウジングGlの縦スリットLSIを通っている。第1
の対象物01aは図示しない工作機械の例えば鋼から成
る往復台から、第2の対象物01bは図示しない工作機
械の例えば鋳物から成るベッドからそれぞれ成り、測長
機は両対象物01a、01bの相対位置又は往復台01
a上にクランプされた工作物と工作機械のベッド上の図
示しない工具との相対位置の測定のために役立つ。
1の内方ウェブBTIの走査ユニットAEIによって走
査され、走査ユニットは連結体MNIを介してねじ5R
1cによって第2の対象物01bと結合している。連結
体MNIは図示しないシールリップによって密閉された
ハウジングGlの縦スリットLSIを通っている。第1
の対象物01aは図示しない工作機械の例えば鋼から成
る往復台から、第2の対象物01bは図示しない工作機
械の例えば鋳物から成るベッドからそれぞれ成り、測長
機は両対象物01a、01bの相対位置又は往復台01
a上にクランプされた工作物と工作機械のベッド上の図
示しない工具との相対位置の測定のために役立つ。
第2の固定要素BElbには測定方向Xに対して垂直な
2つの反対方向を向いたスリットを備えたジグザグ状の
範囲によって組み込まれた形の長さ補償要素LEIが形
成されており、スリットはねし5R1bとスケール肘及
び走査ユニットAEIのためのハウジングの形のスケー
ル支持体G1の第2端Glbとの間にある。両固定要素
BE1a、 BElbは同時にハウジングGlの両端G
la 、 Glbの端面接続面AF1a、 AFlbを
形成し、接続面はこれらのハウジングG1の両端Gla
、 Glbと図示しない方法で固定される。
2つの反対方向を向いたスリットを備えたジグザグ状の
範囲によって組み込まれた形の長さ補償要素LEIが形
成されており、スリットはねし5R1bとスケール肘及
び走査ユニットAEIのためのハウジングの形のスケー
ル支持体G1の第2端Glbとの間にある。両固定要素
BE1a、 BElbは同時にハウジングGlの両端G
la 、 Glbの端面接続面AF1a、 AFlbを
形成し、接続面はこれらのハウジングG1の両端Gla
、 Glbと図示しない方法で固定される。
スケールM1のインクリメンタル目盛TMI は公知の
方法で格子定数P(目盛ピッチ)を有する罫線から成り
、目盛は標準温度To (20°C)で正確である。
方法で格子定数P(目盛ピッチ)を有する罫線から成り
、目盛は標準温度To (20°C)で正確である。
例えば鋼から成る工作物旧の加工が専らこの標準温度T
Oで行われると、ガラスから成るスケールMlと鋼から
成る工作物Wlの相異なる熱膨張率α(41)、α(W
1)にもかかわらず加工中測定精度不良、従って工作物
旧の熱による加工精度不良は生じない。
Oで行われると、ガラスから成るスケールMlと鋼から
成る工作物Wlの相異なる熱膨張率α(41)、α(W
1)にもかかわらず加工中測定精度不良、従って工作物
旧の熱による加工精度不良は生じない。
しかし一般に工作物−1の加工時間の間に工作機械での
温度が常に標準温度に対して変化し、その結果標準温度
TOに対する温度上昇ΔTの際に標準温度TOでの長さ
L(Wl)の工作物−1は相対的長さ変化ΔLOII)
/L(W1)、そして標準温度Toでの等しい長さL
(旧)のスケール旧は相対的長さ変化ΔL(Ml)ル(
Ml)を生ずる。ガラスから成るスケール旧の熱膨張率
α(Ml)= 8・10−6・K−’)に比して鋼から
成る工作物旧の大きな熱膨張率α(W1)・11・10
−6・K−’)のための温度上昇ΔTの際におけるスケ
ール[の相対的長さ変化ΔL(Ml)ル(Ml)よりも
工作物−1の相対的長さ変化ΔL(Wl) /L(Wl
)が太き(、その結果測定精度従って熱に起因する加工
精度不良が工作物Wlに生じ得、このような精度不良は
今日では耐えられないものである。
温度が常に標準温度に対して変化し、その結果標準温度
TOに対する温度上昇ΔTの際に標準温度TOでの長さ
L(Wl)の工作物−1は相対的長さ変化ΔLOII)
/L(W1)、そして標準温度Toでの等しい長さL
(旧)のスケール旧は相対的長さ変化ΔL(Ml)ル(
Ml)を生ずる。ガラスから成るスケール旧の熱膨張率
α(Ml)= 8・10−6・K−’)に比して鋼から
成る工作物旧の大きな熱膨張率α(W1)・11・10
−6・K−’)のための温度上昇ΔTの際におけるスケ
ール[の相対的長さ変化ΔL(Ml)ル(Ml)よりも
工作物−1の相対的長さ変化ΔL(Wl) /L(Wl
)が太き(、その結果測定精度従って熱に起因する加工
精度不良が工作物Wlに生じ得、このような精度不良は
今日では耐えられないものである。
従って、標準温度TOでのスケールMlの正確な目標長
さ1、(Ml)が製造の際に相対的長さ変化ΔIh1)
ル(Ml)だけ大きくされることが提案され、その結果
スケールM1は標準温度TOでは伸長された長さL’
(Ml) = L(ML) + Vl ・L(Ml
)を有する。スケール旧のこの相対的変化v1はインク
リメンタル目盛T’MIの正確な格子定数Pの相応した
増大によって得られ、その結果正確な目標長さL(Ml
)での元のインクリメンタルスケール旧は正確な格子定
数Pを有する特定数のインクリメンタル(目盛罫線)を
、そして伸長された長さL”における伸長されたインク
リメンタルスケール旧は伸長された格子定数P°を有す
る同数のインクリメンタル(目盛罫線)を有する。
さ1、(Ml)が製造の際に相対的長さ変化ΔIh1)
ル(Ml)だけ大きくされることが提案され、その結果
スケールM1は標準温度TOでは伸長された長さL’
(Ml) = L(ML) + Vl ・L(Ml
)を有する。スケール旧のこの相対的変化v1はインク
リメンタル目盛T’MIの正確な格子定数Pの相応した
増大によって得られ、その結果正確な目標長さL(Ml
)での元のインクリメンタルスケール旧は正確な格子定
数Pを有する特定数のインクリメンタル(目盛罫線)を
、そして伸長された長さL”における伸長されたインク
リメンタルスケール旧は伸長された格子定数P°を有す
る同数のインクリメンタル(目盛罫線)を有する。
スケールM1は例えば標準温度TOでは相対長さ変化v
1・30 m /mを有する。ガラスから成るスケ−ノ
リ1の熱膨張率α(Ml)・ 8・10−6・K−1と
、鋼から成る工作物−1の熱膨張率α(旧)・11・1
0−6・K−1とに ではガラスから成る伸長したスケール旧は銅から成る伸
長されないスケール又は鋼から成る工作物u1と同様な
長さを有する。これに対してこの温度TG・306Cで
は熱膨張率α(G1)・23・10−6・K−重を有す
るアルミニウムから成りかつ標準温度TOで等シい長さ
しくGl)であるスケール支持体G1はガラスから成る
スケール旧の目標値L(Ml)よりも長い・工作物−1
の加工中の温度は下限温度としての20’Cと上限温度
としての30°Cの間にあるとされる。。
1・30 m /mを有する。ガラスから成るスケ−ノ
リ1の熱膨張率α(Ml)・ 8・10−6・K−1と
、鋼から成る工作物−1の熱膨張率α(旧)・11・1
0−6・K−1とに ではガラスから成る伸長したスケール旧は銅から成る伸
長されないスケール又は鋼から成る工作物u1と同様な
長さを有する。これに対してこの温度TG・306Cで
は熱膨張率α(G1)・23・10−6・K−重を有す
るアルミニウムから成りかつ標準温度TOで等シい長さ
しくGl)であるスケール支持体G1はガラスから成る
スケール旧の目標値L(Ml)よりも長い・工作物−1
の加工中の温度は下限温度としての20’Cと上限温度
としての30°Cの間にあるとされる。。
スケールM1はその第1端面Mlaの第1端面をハウジ
ングGlの第1端Glaの第1接続面AF1aに当接し
、そしてスケールM1の第1端Mlaを把持する第1の
ホルダー)Ilaによって第1の接続面AF1a上側方
移動を阻止されている。スケーノI/M1の第2の端M
lbの第2端面ばスケール支持体G1の第2端cibと
結合されたコイルばねの形のばね要素FEIの第1端F
B1aによって附勢される。このばね要素FBIの第2
端FE1bによって調整ねじESIに支持され、調整ね
しはスケール支持体G1の第2の端Glbの第2の接続
面AF1bU FAのねし孔GBI中に配設されており
、そして調整ねじESIに固定された第2のホルダー旧
すによって把持されかつ側方移動を阻止されている。ば
ね要素FEIの第2端FB1bはスケール支持体G1の
第2端Glbと結合しており、スケール支持体G1は測
定方向Xにおいて平面運動の自由度を有する。
ングGlの第1端Glaの第1接続面AF1aに当接し
、そしてスケールM1の第1端Mlaを把持する第1の
ホルダー)Ilaによって第1の接続面AF1a上側方
移動を阻止されている。スケーノI/M1の第2の端M
lbの第2端面ばスケール支持体G1の第2端cibと
結合されたコイルばねの形のばね要素FEIの第1端F
B1aによって附勢される。このばね要素FBIの第2
端FE1bによって調整ねじESIに支持され、調整ね
しはスケール支持体G1の第2の端Glbの第2の接続
面AF1bU FAのねし孔GBI中に配設されており
、そして調整ねじESIに固定された第2のホルダー旧
すによって把持されかつ側方移動を阻止されている。ば
ね要素FEIの第2端FB1bはスケール支持体G1の
第2端Glbと結合しており、スケール支持体G1は測
定方向Xにおいて平面運動の自由度を有する。
このばね要素FEIのばね定数C1はばね要素FEIが
スケールM1の第2端Mlbの第2の端面上にばね力F
1を以て押圧されるようにされており、このばね力は上
限温度TO=20”Cでは長さLoの伸長されたスケー
ル旧を相対的長さvlだけ据込むための値を有し、その
結果据込まれたスケールM1は標準温度TOでは正確な
目標値L(Ml)を有する。
スケールM1の第2端Mlbの第2の端面上にばね力F
1を以て押圧されるようにされており、このばね力は上
限温度TO=20”Cでは長さLoの伸長されたスケー
ル旧を相対的長さvlだけ据込むための値を有し、その
結果据込まれたスケールM1は標準温度TOでは正確な
目標値L(Ml)を有する。
ばね要素FEIのばね定数C1は
PL・〔α(G1)−α(Wl)) ・ΔT −L
(Ml) ・C1との両式によって得られる。
(Ml) ・C1との両式によって得られる。
F1= Vl・Q(Ml) 4(Ml)ここにσ(M
l)はフック領域におけるスケール旧の標準応力とする
。
l)はフック領域におけるスケール旧の標準応力とする
。
E(Ml)はスケールM1の弾性率
Q(Ml)はスケール旧の横断面積である。
Vl−Q(Ml) ・E(Ml) = (α(Gl
)−α(Wl)) ・ΔT −L(Ml) ・C
1 及びv1=〔α(訂)−α(Ml) ) ・ΔTによ
って得られる。
)−α(Wl)) ・ΔT −L(Ml) ・C
1 及びv1=〔α(訂)−α(Ml) ) ・ΔTによ
って得られる。
であり、上記値の例として
α(Ml)・8 ・to−6・K−1
α(W1)・11・10−6・K−1
α(G1)・23・10−6・K−1
0(Ml)= 3 ・20 =60mm2E(旧)
= 80 ・10’N/ mm2mm2L(□300
0mm であり、C1=40ON /mmが得られる。
= 80 ・10’N/ mm2mm2L(□300
0mm であり、C1=40ON /mmが得られる。
スケールM1はその第1端Mlaでスケール支持体G1
の第1端Glaの第1の接続面AF1aの第1端面の個
所に第1の対象物01aに対する固定の測定基準点を有
する。調整ねじESIは標準温度TOでの据込まれたス
ケールM1の正確な目標値L011)の基本調整のため
に役立ちかつ第2固定要素BElbにおける孔B1を通
って挿入されることができる。
の第1端Glaの第1の接続面AF1aの第1端面の個
所に第1の対象物01aに対する固定の測定基準点を有
する。調整ねじESIは標準温度TOでの据込まれたス
ケールM1の正確な目標値L011)の基本調整のため
に役立ちかつ第2固定要素BElbにおける孔B1を通
って挿入されることができる。
第2図には第2の密閉形測長機の縦断面図が示されてい
る。例えばガラスから成る可撓性のスケールl’12は
例えばアルミニウムから成るハウジングの形のスケール
支持体G2の内方ウェブM2上に接着剤によって測定方
向Xに移動可能に配設されている。スケール支持体G2
はその中央G2mにおいて直接中央の固定要素BE2m
と、その第1端G2aで測定方向Xにおいて直接平面運
動可能な自由度をもって第1の長さ補償要素LE2aを
介してその第1固定要素BE2aと、そして第2端G2
bで測定方向Xにおいて平面運動の自由度をもって第2
固定要素BE2bと結合台されており、中央の固定要素
BE2b、第1の固定要素BE2a及び第2の固定要素
BE2bはねじSR2m、、5R2a、 5R2bによ
って第1の対象物02aと剛固に固定されている。
る。例えばガラスから成る可撓性のスケールl’12は
例えばアルミニウムから成るハウジングの形のスケール
支持体G2の内方ウェブM2上に接着剤によって測定方
向Xに移動可能に配設されている。スケール支持体G2
はその中央G2mにおいて直接中央の固定要素BE2m
と、その第1端G2aで測定方向Xにおいて直接平面運
動可能な自由度をもって第1の長さ補償要素LE2aを
介してその第1固定要素BE2aと、そして第2端G2
bで測定方向Xにおいて平面運動の自由度をもって第2
固定要素BE2bと結合台されており、中央の固定要素
BE2b、第1の固定要素BE2a及び第2の固定要素
BE2bはねじSR2m、、5R2a、 5R2bによ
って第1の対象物02aと剛固に固定されている。
スケールM2の目盛TM2は公知の方法でハウジングG
2中の走査ユニッ) AE2によって走査され、走査ユ
ニットは連結対象物MN2を介してねじ5R2cによっ
て第2の対象物02bと結合している。連結対象物MN
2は図示しないシールリップによって密閉されたハウジ
ングG2の縦スリットLS2を通っている。第1の対象
物02aは図示しない工作機械の例えば鋼から成る往復
台、第2の対象物02bは工作機械の例えば鋳物から成
るベッドから成ることができる。測長機は両対象物02
a 、02bの相対位置の測定のために又は往復台02
a上にクランプされた工作物−2と工作N+aのベッド
02b上の図示しない工具との相対位置の測定のために
役立つ。
2中の走査ユニッ) AE2によって走査され、走査ユ
ニットは連結対象物MN2を介してねじ5R2cによっ
て第2の対象物02bと結合している。連結対象物MN
2は図示しないシールリップによって密閉されたハウジ
ングG2の縦スリットLS2を通っている。第1の対象
物02aは図示しない工作機械の例えば鋼から成る往復
台、第2の対象物02bは工作機械の例えば鋳物から成
るベッドから成ることができる。測長機は両対象物02
a 、02bの相対位置の測定のために又は往復台02
a上にクランプされた工作物−2と工作N+aのベッド
02b上の図示しない工具との相対位置の測定のために
役立つ。
両固定要素BE2a、 BE2bには組み込み形の両長
さ補償要素LE2a、 LH2bが測定方向Xに対して
垂直な2つのスリットを備えたジグザグ状の範囲によっ
て形成されており、スリットはねし5R2a、 5R2
b及びスケールM2及び走査ユニットAE2のためのハ
ウジングの形のスケール支持体G2の両QG2a、 G
2bとの間に位置する。第1の固定要素BE2b及び第
2の固定要素BE2bは同時にハウジングG2の両端G
2a、G2bの端面接続面AP2a、八F2bを形成し
、接続面は図示しない方法でハウジングG2の両端G2
a 、 G2bと固定されている。
さ補償要素LE2a、 LH2bが測定方向Xに対して
垂直な2つのスリットを備えたジグザグ状の範囲によっ
て形成されており、スリットはねし5R2a、 5R2
b及びスケールM2及び走査ユニットAE2のためのハ
ウジングの形のスケール支持体G2の両QG2a、 G
2bとの間に位置する。第1の固定要素BE2b及び第
2の固定要素BE2bは同時にハウジングG2の両端G
2a、G2bの端面接続面AP2a、八F2bを形成し
、接続面は図示しない方法でハウジングG2の両端G2
a 、 G2bと固定されている。
標準温度TOでのスケールM2の正確な目標長さしく4
2)は製造の際に相対的長さ変化ΔL(M2) /L(
M2)だけ伸長され、その結果スケール間は標準温度T
Oテは伸長された長さL’(M2)= L(M2) +
V2 4(M2)を有する。スケール間の第1端M2a
における第1の端面ばスケール支持体G2の第1の端G
2aと結合したU形の板ばねの形の第1のばね要素FE
2゛の第1の端FE2a ’によって附勢される。この
第1ばね要素FE2’ は第2端FE2b′でスケー
ル支持体G2の第1の端G’laの第1の接続面AP2
aに固定されている。スケールM2の第2端M2bの第
2の端面ばスケール支持体G2の第2端G2bと結合し
たU形の仮ばねの形の第2ばね要素FE2”の第1端F
E2a”によって附勢される。この第2のばね要素FE
2”はその第2端FE2bによってスケール支持体G2
の両端G2a 、 G2bと結合しており、第2端G2
bの第2の接続面AP2bに固定されている。両ばね要
素FE2’ 、FE2 ”はスケール支持体G2の両端
G2a 、 G2bと結合しており、両端はそれぞれ測
定方向Xにおいて平面運動の自由度を有する。
2)は製造の際に相対的長さ変化ΔL(M2) /L(
M2)だけ伸長され、その結果スケール間は標準温度T
Oテは伸長された長さL’(M2)= L(M2) +
V2 4(M2)を有する。スケール間の第1端M2a
における第1の端面ばスケール支持体G2の第1の端G
2aと結合したU形の板ばねの形の第1のばね要素FE
2゛の第1の端FE2a ’によって附勢される。この
第1ばね要素FE2’ は第2端FE2b′でスケー
ル支持体G2の第1の端G’laの第1の接続面AP2
aに固定されている。スケールM2の第2端M2bの第
2の端面ばスケール支持体G2の第2端G2bと結合し
たU形の仮ばねの形の第2ばね要素FE2”の第1端F
E2a”によって附勢される。この第2のばね要素FE
2”はその第2端FE2bによってスケール支持体G2
の両端G2a 、 G2bと結合しており、第2端G2
bの第2の接続面AP2bに固定されている。両ばね要
素FE2’ 、FE2 ”はスケール支持体G2の両端
G2a 、 G2bと結合しており、両端はそれぞれ測
定方向Xにおいて平面運動の自由度を有する。
同種の両ばね要素FE2 ’ 、FE2″のばね定数C
2はばね要素FE2 ’ 、FE2”がそれぞれスケー
ル間の両端M2a 、 M2bにおける両端面上にばね
力F2をもって押圧され、そのばね力は上限温度TGで
値ゼロを、そして標準温度TO= 20°Cで相対的変
化v2だけ長さL’(M2)の伸長されたスケールM2
を据込むための値を有し、その結果標準温度TOでは据
込まれたスケール12は再び正確な目標長さL(M2)
を有する。
2はばね要素FE2 ’ 、FE2”がそれぞれスケー
ル間の両端M2a 、 M2bにおける両端面上にばね
力F2をもって押圧され、そのばね力は上限温度TGで
値ゼロを、そして標準温度TO= 20°Cで相対的変
化v2だけ長さL’(M2)の伸長されたスケールM2
を据込むための値を有し、その結果標準温度TOでは据
込まれたスケール12は再び正確な目標長さL(M2)
を有する。
スケーノ囲2は均一の厚さの接着層KS2によってスケ
ール支持体G2と結合しているので、スケール12は温
度上昇の際に無負荷状態においてその中心に対して対称
的に両側に向かって伸ばされる、そのわけは弾性接着層
KS2は測定方向XにおけるスケールM2の僅かな移動
を可能にするからである。
ール支持体G2と結合しているので、スケール12は温
度上昇の際に無負荷状態においてその中心に対して対称
的に両側に向かって伸ばされる、そのわけは弾性接着層
KS2は測定方向XにおけるスケールM2の僅かな移動
を可能にするからである。
スケール間は中央においてスケール支持体G2に対して
固定の測定基準点を有しかつその中央におけるスケール
支持体G2の剛固な固定のために第1の対象物02aの
中央の固定要素RE2mによって第1の対象物02aに
対する同様な固定の測定基準点を有する。
固定の測定基準点を有しかつその中央におけるスケール
支持体G2の剛固な固定のために第1の対象物02aの
中央の固定要素RE2mによって第1の対象物02aに
対する同様な固定の測定基準点を有する。
上記の理論によってばね定数02が得られる。
られる。
ばね定数02の等式において、L(門)はL(M2)
/2によって置き換えられる、そのわけは各ばね要素F
E2”、FE2” はそれぞれスケールM2の目標長さ
の半分になっているからである。
/2によって置き換えられる、そのわけは各ばね要素F
E2”、FE2” はそれぞれスケールM2の目標長さ
の半分になっているからである。
第2ばね要素FEは調整ねじES2によって附勢され、
調整ねしは第2定要素BE2bのねじ孔GB2内方に付
設され、かつ孔B2を通って挿入される。調整ねじES
2は標準温度TOでの据込まれたスケール間の正確な目
標長さL (?I2)の基本調整のために役立つ。
調整ねしは第2定要素BE2bのねじ孔GB2内方に付
設され、かつ孔B2を通って挿入される。調整ねじES
2は標準温度TOでの据込まれたスケール間の正確な目
標長さL (?I2)の基本調整のために役立つ。
第1図によればばね要素FE 1のばね定数CIはスケ
ーノL/M1の目標長さL(ML)に依存し、かつ第2
図によれば両ばね要素FE2’ 、FE2”のばね定
数02はそれぞれスケール間の目標長さの半分L(M2
) /2に依存し、01〜1/ L(M1)、02〜2
/ L(M2)である。
ーノL/M1の目標長さL(ML)に依存し、かつ第2
図によれば両ばね要素FE2’ 、FE2”のばね定
数02はそれぞれスケール間の目標長さの半分L(M2
) /2に依存し、01〜1/ L(M1)、02〜2
/ L(M2)である。
しかし工作機械使用される測長機のスケール1は使用目
的に従ってそれぞれ相異なる目標長さL (M)を有し
、その結果多数の相異なるばね要素FEを備えたばね定
数Cが必要である。
的に従ってそれぞれ相異なる目標長さL (M)を有し
、その結果多数の相異なるばね要素FEを備えたばね定
数Cが必要である。
従って第3図によれば、第3の測長機の縦断面図が示さ
れている。例えばガラスから成る可撓性のスケール1′
13は例えばアルミニウムから成るハウジングの形のス
ケール支持体G3の内方ウェブST3上に接着層KG3
によって測定方向に僅かに移動可能に配設されている。
れている。例えばガラスから成る可撓性のスケール1′
13は例えばアルミニウムから成るハウジングの形のス
ケール支持体G3の内方ウェブST3上に接着層KG3
によって測定方向に僅かに移動可能に配設されている。
スケール支持体G3はその中央G3mで直接中央の固定
要素BE3mとその第1端G3aで測定方向Xに平面運
動の自由度をもって第1の長さ補償要素LE3aを介し
て第1の固定要素BE2aとそしてその第2の端G3b
によって測定方向Xにおける平面運動の自由度をもって
第2長さ補償要素LE3bを介して第2固定要素BE3
bと結合している。中央固定要素BE3m、第1の固定
要素BE3a及び第2の固定要素BE3bはねじSR3
m、 5R3a、 5R3bによって第1対象物03a
と剛固に固定されている。
要素BE3mとその第1端G3aで測定方向Xに平面運
動の自由度をもって第1の長さ補償要素LE3aを介し
て第1の固定要素BE2aとそしてその第2の端G3b
によって測定方向Xにおける平面運動の自由度をもって
第2長さ補償要素LE3bを介して第2固定要素BE3
bと結合している。中央固定要素BE3m、第1の固定
要素BE3a及び第2の固定要素BE3bはねじSR3
m、 5R3a、 5R3bによって第1対象物03a
と剛固に固定されている。
スケール間の目盛TM3は公知の方法でハウジングG3
内の走査ユニットAE3によって走査され、走査ユニッ
トは連結体MN3を介してねし5R3cによって第2対
象物03bと結合している。連結体F′IN3は図示し
ないシールリップによってハウジングG3の密閉された
縦スリットLS3を通っている。第1対象物03aは工
作機械の例えば鋼から成る往復台、第2対象物03bは
工作機械の例えば鋳物から成るベッドから成る。測長機
は両対数物03a 、03bの測定のために、又は往復
台03上にクランプされた工作物H3及び図示しない工
具の工作機械のベット03a上にクランプされた工作物
及び図示しない工作機械のベッド03b上の工具との相
対位置の6111定のために役立つ。
内の走査ユニットAE3によって走査され、走査ユニッ
トは連結体MN3を介してねし5R3cによって第2対
象物03bと結合している。連結体F′IN3は図示し
ないシールリップによってハウジングG3の密閉された
縦スリットLS3を通っている。第1対象物03aは工
作機械の例えば鋼から成る往復台、第2対象物03bは
工作機械の例えば鋳物から成るベッドから成る。測長機
は両対数物03a 、03bの測定のために、又は往復
台03上にクランプされた工作物H3及び図示しない工
具の工作機械のベット03a上にクランプされた工作物
及び図示しない工作機械のベッド03b上の工具との相
対位置の6111定のために役立つ。
両固定要素Bε3a、 BE3b内には組み込み形の両
長さ補償要素LE3aSLE3bがそれぞれ測定方向X
に対して垂直な2つの対抗するスリットを備えたジグザ
グ状の範囲によって形成されており、スリットはねじ5
R3a、、5R3b及びスケール間及び走査ユニット^
E3のためのハウジングの形のスケール支持体G3の両
端G3a 、 G3bとの間にある。第1固定要素BE
3a及び第2固定要素BE3bは同時にハウジングG3
の両端G3a 、 G3bの接続面^F3a、 AF3
bを形成し、接続面はハウジングG3のこれらの両端G
3a 、 G3bと図示しない方法で固定されている。
長さ補償要素LE3aSLE3bがそれぞれ測定方向X
に対して垂直な2つの対抗するスリットを備えたジグザ
グ状の範囲によって形成されており、スリットはねじ5
R3a、、5R3b及びスケール間及び走査ユニット^
E3のためのハウジングの形のスケール支持体G3の両
端G3a 、 G3bとの間にある。第1固定要素BE
3a及び第2固定要素BE3bは同時にハウジングG3
の両端G3a 、 G3bの接続面^F3a、 AF3
bを形成し、接続面はハウジングG3のこれらの両端G
3a 、 G3bと図示しない方法で固定されている。
更に標準温度TOでのスケ−JL/M3の正確な目標長
さ直M3)は製造の際に相対的長さ変化ΔL (M3)
ル(M3)だけ伸長されその結果標準温度Toでのスケ
ールM3は伸長された長さL’(M3)= L(M3)
+V3 ・L(M3)を有する。ハウジングG内に
はその第1端G3aに第1の可撓的なレバ要素11Ea
が、そしてその第2端G3bには第1の可撓的なレバ要
素+1Ebが測定方向Xに対して垂直に配設されている
。第1のレバ要素t(Eaは一端で第1接続面AF3a
から突出する第1のピンZaに回転可能に支承されてい
る。同様に第2のレバ要素HEbは一端で第2の接続面
AF3bから突出する第2のピンzbに回転可能に支承
されている。両レバ要素HEa 、 HEbの両自由端
には両ばね要素FB3の両端、FEa 、 FEbがね
し5R3dによって固定されており、ねじはハウジング
G3の両端G3a 、 G3bの2つの開口OFa 、
OFbを通って挿入され、開口は2つの閉鎖1VDa
、 VDbによって閉鎖されている。第1のレバ要素H
Ea内にはその両端の間に第1の押圧部材DSaが枢支
されており、押圧部材は端面でスケールM3の第1端M
3aに附勢されている。スケール間の第2端M3bの第
2端面は押圧部材DSbによって附勢されており、押圧
部材は調整ねじES3に枢支されており、調整ねしはM
3aを附勢している。スケールM3の第2端M3bの第
2端面ば第2の押圧部材DSbによって世!勢されてお
り、押圧部材はその両端の間で第2のレバ要素11Eb
のねじ孔GBa内に配設されており、かつ第2固定要素
BEab内の孔B3を通って挿入可能である。
さ直M3)は製造の際に相対的長さ変化ΔL (M3)
ル(M3)だけ伸長されその結果標準温度Toでのスケ
ールM3は伸長された長さL’(M3)= L(M3)
+V3 ・L(M3)を有する。ハウジングG内に
はその第1端G3aに第1の可撓的なレバ要素11Ea
が、そしてその第2端G3bには第1の可撓的なレバ要
素+1Ebが測定方向Xに対して垂直に配設されている
。第1のレバ要素t(Eaは一端で第1接続面AF3a
から突出する第1のピンZaに回転可能に支承されてい
る。同様に第2のレバ要素HEbは一端で第2の接続面
AF3bから突出する第2のピンzbに回転可能に支承
されている。両レバ要素HEa 、 HEbの両自由端
には両ばね要素FB3の両端、FEa 、 FEbがね
し5R3dによって固定されており、ねじはハウジング
G3の両端G3a 、 G3bの2つの開口OFa 、
OFbを通って挿入され、開口は2つの閉鎖1VDa
、 VDbによって閉鎖されている。第1のレバ要素H
Ea内にはその両端の間に第1の押圧部材DSaが枢支
されており、押圧部材は端面でスケールM3の第1端M
3aに附勢されている。スケール間の第2端M3bの第
2端面は押圧部材DSbによって附勢されており、押圧
部材は調整ねじES3に枢支されており、調整ねしはM
3aを附勢している。スケールM3の第2端M3bの第
2端面ば第2の押圧部材DSbによって世!勢されてお
り、押圧部材はその両端の間で第2のレバ要素11Eb
のねじ孔GBa内に配設されており、かつ第2固定要素
BEab内の孔B3を通って挿入可能である。
ばね要素FE3の両端FE3a、 FE3bはそれによ
って両レバ要素tlEa 、 HEbを介してスケール
支持体G3の両端G3a 、 G3bと結合しており、
レバ要素はそれぞれ測定方向Xにおいて平面運動の自由
度を有する。
って両レバ要素tlEa 、 HEbを介してスケール
支持体G3の両端G3a 、 G3bと結合しており、
レバ要素はそれぞれ測定方向Xにおいて平面運動の自由
度を有する。
ばね要素FE3は金属バンド又は金属型材の形の引張ば
ねとして形成されており、ばね要素FE3の長さはスケ
ールM3の目標長さL (M3)に略一致し、そしてば
ね要素FE3のばね定数C3は同様にスケール間の目標
長さL (M3)に依存する。 即ちC3〜1/L (
M3)である。ばね要素FE3のばね定数C3は、ばね
要素FE3が両レバ要素11Ea 、 HEb及び両押
圧部材DSa 、 DSbを介してばね力F3をもって
スケールM3の両端M3a −、M3bの端面に押圧さ
れ、ばね力は上限温度TGではゼロにそして標準温度T
O・208Cでは長さL’(M3)の伸長されたスケー
ルM3を増分v3だけ据込むための値を有し、その結果
据込まれたスケール間は標準温度Toでは再び正確な目
標長さL (M3)を有する。
ねとして形成されており、ばね要素FE3の長さはスケ
ールM3の目標長さL (M3)に略一致し、そしてば
ね要素FE3のばね定数C3は同様にスケール間の目標
長さL (M3)に依存する。 即ちC3〜1/L (
M3)である。ばね要素FE3のばね定数C3は、ばね
要素FE3が両レバ要素11Ea 、 HEb及び両押
圧部材DSa 、 DSbを介してばね力F3をもって
スケールM3の両端M3a −、M3bの端面に押圧さ
れ、ばね力は上限温度TGではゼロにそして標準温度T
O・208Cでは長さL’(M3)の伸長されたスケー
ルM3を増分v3だけ据込むための値を有し、その結果
据込まれたスケール間は標準温度Toでは再び正確な目
標長さL (M3)を有する。
スケ−JL/M3は均一な厚さの接着層KS3によって
スケール支持体G3と結合しているので、スケールM3
は無負荷状態では温度上昇の際その中央に対して両側に
向かって伸長する、そのわけは弾性的接着層KS3は測
定方向XにおいてスケールM3の僅かな移動を可能にす
るからである。スケール間はその中央において第1の対
象物03aの中央の固定要素BE3n+によって第1の
対象物03aに対して同一の固定点を有する。直接ねじ
ES3は標準温度Toで据込るれたスケールM3の正確
な目標長さL (M3)の基本直接のために役立つ。
スケール支持体G3と結合しているので、スケールM3
は無負荷状態では温度上昇の際その中央に対して両側に
向かって伸長する、そのわけは弾性的接着層KS3は測
定方向XにおいてスケールM3の僅かな移動を可能にす
るからである。スケール間はその中央において第1の対
象物03aの中央の固定要素BE3n+によって第1の
対象物03aに対して同一の固定点を有する。直接ねじ
ES3は標準温度Toで据込るれたスケールM3の正確
な目標長さL (M3)の基本直接のために役立つ。
上記理論によればばね定数C3については次の値が生ず
る。
る。
α(G3)−α(W3) L(M3)及び同様な上
記数値はG3・80ON/ mmである。
記数値はG3・80ON/ mmである。
スケール支持体G3の両端G3a 、 G3bの回転点
とスケールM3における作用点との間の両レバ要素11
Ea 、 tlEbの第ルバアームは第1レバアーム長
さ1をそしてスケール間の作用点とばね要素FE3の作
用点との間の両レバ要素HEa 、 IIEbの第2の
レバアームは第2レバアーム長さi ・1を有し、その
際iはレバ比を意味する。
とスケールM3における作用点との間の両レバ要素11
Ea 、 tlEbの第ルバアームは第1レバアーム長
さ1をそしてスケール間の作用点とばね要素FE3の作
用点との間の両レバ要素HEa 、 IIEbの第2の
レバアームは第2レバアーム長さi ・1を有し、その
際iはレバ比を意味する。
両レバ要素HEa 5)lEbのレバ比11ばね要素F
B3の弾性率E (FE3)、スケーノL、M3の弾性
率E (M3)、スケール支持体G3の弾性率E(G3
) 、ばね要素FE3の横断面積Q (FE3)、スケ
ールM3の横断面積Q(M3)及びスケール支持体G3
の横断面積Q (G3)はガラスから成るスケールM3
の熱膨張率α(M3)が鋼から成る工作物W3の熱膨張
率α(W3)に関して所定の量Δα(M3)だけ増大さ
れるように決定される。
B3の弾性率E (FE3)、スケーノL、M3の弾性
率E (M3)、スケール支持体G3の弾性率E(G3
) 、ばね要素FE3の横断面積Q (FE3)、スケ
ールM3の横断面積Q(M3)及びスケール支持体G3
の横断面積Q (G3)はガラスから成るスケールM3
の熱膨張率α(M3)が鋼から成る工作物W3の熱膨張
率α(W3)に関して所定の量Δα(M3)だけ増大さ
れるように決定される。
α(M3) + Δα(M3) = α(會3)ス
ケールi3の熱膨張率α013)の増分は次のようにし
て得られる。
ケールi3の熱膨張率α013)の増分は次のようにし
て得られる。
スケール支持体G3は一般にスケールM3よりも非常に
剛固に形成されているので、この等式は次のように簡単
化される。
剛固に形成されているので、この等式は次のように簡単
化される。
12 ロ(FE3)E(FE3)
数値の例としては次のようである。
α(FE3) = 11・to−6・K伺α(M3)・
8 ・10−6・K−ゝ α(G3)・23・10−6・K−1 Q(M3)/ Q(FE3)・6 E(FE3) /E(M3)・3 1・1.5が得られる。
8 ・10−6・K−ゝ α(G3)・23・10−6・K−1 Q(M3)/ Q(FE3)・6 E(FE3) /E(M3)・3 1・1.5が得られる。
Δα(M)・3.4・lo−6・に−1α(M3)+Δ
α(M3)・11.4・10−6・K−1・ α(に3
)=11・10−6・K−1第4図には第4の密閉形測
長機の縦断面図が示されている。例えばガラスから成る
可撓性スケール間は例えばアルミニウムから成るハウジ
ングの形のスケール支持体G4の内ウェブST4上に接
着JW KS4によって測定方向Xに僅かに移動可能に
配設されている。スケール支持体G4は第1端G4aで
直接第1の固定要素BE4aとそして第2端G4bで測
定方向Xにおける平面運動の自由度をもって長さ補償要
素LE4を介して第2固定要素11E4bと結合してい
る。再固定要素BE4a、 BE4bはねじ5R4a、
5R4bによって第1の対象物04aと剛固に固定さ
れている。
α(M3)・11.4・10−6・K−1・ α(に3
)=11・10−6・K−1第4図には第4の密閉形測
長機の縦断面図が示されている。例えばガラスから成る
可撓性スケール間は例えばアルミニウムから成るハウジ
ングの形のスケール支持体G4の内ウェブST4上に接
着JW KS4によって測定方向Xに僅かに移動可能に
配設されている。スケール支持体G4は第1端G4aで
直接第1の固定要素BE4aとそして第2端G4bで測
定方向Xにおける平面運動の自由度をもって長さ補償要
素LE4を介して第2固定要素11E4bと結合してい
る。再固定要素BE4a、 BE4bはねじ5R4a、
5R4bによって第1の対象物04aと剛固に固定さ
れている。
スケール間の目盛TM4は公知の方法でハウジングG4
内の走査ユニットAE4によって走査され、走査ユニッ
トは連結体MN4を介してねし5R4cによって第2対
象物04bと結合している。第1の対象物04aは図示
しない工作機械の鋼から成る往復台及び第2の対象物0
4bは図示しない工作機械の例えば鋳物から成るベッド
から成ることができる。測長機は両対数物04a 、0
4bの相互の相対位置又は工作機械のベッド上の往復台
04a上にクランプされた工作物−4と図示しない工具
との間の相対位置の測定のために役立つ。
内の走査ユニットAE4によって走査され、走査ユニッ
トは連結体MN4を介してねし5R4cによって第2対
象物04bと結合している。第1の対象物04aは図示
しない工作機械の鋼から成る往復台及び第2の対象物0
4bは図示しない工作機械の例えば鋳物から成るベッド
から成ることができる。測長機は両対数物04a 、0
4bの相互の相対位置又は工作機械のベッド上の往復台
04a上にクランプされた工作物−4と図示しない工具
との間の相対位置の測定のために役立つ。
第2の固定要素BE4bには組み込み形の長さ補償要素
LE4が測定方向Xに対して垂直な対抗する2つのスリ
ットを備えたジグザグ状の範囲によって形成されており
、この範囲はねじ5R4bとスケールM4及び走査ユニ
ットAU4のためのハウジングの形のスケール支持体G
4の第2端G4bとの間に位置する。両固定要素BE4
a、、BE4bは同時にハウジングG4の両端G4a
、 G4bの接続面AF4a、 AP4bを形成し、接
続面はハウジングG4 のこれらの両端G4a 、
G4bと図示しない方法で結合している。
LE4が測定方向Xに対して垂直な対抗する2つのスリ
ットを備えたジグザグ状の範囲によって形成されており
、この範囲はねじ5R4bとスケールM4及び走査ユニ
ットAU4のためのハウジングの形のスケール支持体G
4の第2端G4bとの間に位置する。両固定要素BE4
a、、BE4bは同時にハウジングG4の両端G4a
、 G4bの接続面AF4a、 AP4bを形成し、接
続面はハウジングG4 のこれらの両端G4a 、
G4bと図示しない方法で結合している。
スケールM4のインクリメンタル目dTM4は公知の方
法で格子定数Pを備えた罫線から成り、格子定数は標準
温度TO(20”C)で正確である。例えば鋼から成る
工具−4の加工が専ら標準温度Toで行われる場合ガラ
スから成るスケール旧と鋼から成゛る工作物W4の相異
なる熱膨張率α(M4)、α(W4)にも係わらず加工
中に測定精度従って工作物−4における熱的に制約され
た・加工精度不良は生じない。
法で格子定数Pを備えた罫線から成り、格子定数は標準
温度TO(20”C)で正確である。例えば鋼から成る
工具−4の加工が専ら標準温度Toで行われる場合ガラ
スから成るスケール旧と鋼から成゛る工作物W4の相異
なる熱膨張率α(M4)、α(W4)にも係わらず加工
中に測定精度従って工作物−4における熱的に制約され
た・加工精度不良は生じない。
しかし一般に工作物−4の加工時間の間に工作機械で温
度は常に標準温度TOに対して変化し、その結果標準温
度Toに対する温度増分ΔTでは長さしく−4)の工作
物−4は相対的長さ変化ΔL(W4)ル(W4)そして
標準温度TOでの等しい長さL (M4)のスケールM
4は標準温度TOでの相対的長さ変化ΔL(旧)ル(M
4)を受ける。ガラスから成るスケール旧の熱膨張率α
(M4)に対して鋼から成る工作物W4の熱膨張率α(
W4)が大きいために、工作物W4の相対的長さ変化Δ
L(W4)ル(W4)も温度上昇ΔTの際にスケールM
4の相対的長さ変化ΔL(M4) /L(M4)よりも
大きく、その結果測定精度不良従って工作物−4にお・
ける熱的に制約された加工精度不良が生じ得、測定精度
不良は今日の精度要求では耐えられないものとなってい
る。
度は常に標準温度TOに対して変化し、その結果標準温
度Toに対する温度増分ΔTでは長さしく−4)の工作
物−4は相対的長さ変化ΔL(W4)ル(W4)そして
標準温度TOでの等しい長さL (M4)のスケールM
4は標準温度TOでの相対的長さ変化ΔL(旧)ル(M
4)を受ける。ガラスから成るスケール旧の熱膨張率α
(M4)に対して鋼から成る工作物W4の熱膨張率α(
W4)が大きいために、工作物W4の相対的長さ変化Δ
L(W4)ル(W4)も温度上昇ΔTの際にスケールM
4の相対的長さ変化ΔL(M4) /L(M4)よりも
大きく、その結果測定精度不良従って工作物−4にお・
ける熱的に制約された加工精度不良が生じ得、測定精度
不良は今日の精度要求では耐えられないものとなってい
る。
標準温度Toで正確な目標長さL(M4)を有するス。
ケールM4はその第1端M4aで第1の締付要素FKa
によって第1の締付要素KEaによってハウジングG4
の第1の端G4aの接続面AF4aに結合されている。
によって第1の締付要素KEaによってハウジングG4
の第1の端G4aの接続面AF4aに結合されている。
スケール旧の第2端M4bは第2締付要素KEb中に固
定され、締付要素はばね要素FE4を介してスケール支
持体G4の第2端G4bと結合している。ばね要素FE
4の第1E端FB4aは第2の締付要素KEbの第1の
ねしGZa上にそしてばね要素FB4の第2E端FE4
bは第2のねじGZb上にねし止めされ、ねじは第2固
定要素BE4bの第2の接続面AFAb上に形成されて
いる。ばね要素FE4の第2端FE4bはスケール支持
体G4の第2端G4bと結合しており、第2端は測定方
向Xにおいて平面運動の自由度をもって配設されている
。
定され、締付要素はばね要素FE4を介してスケール支
持体G4の第2端G4bと結合している。ばね要素FE
4の第1E端FB4aは第2の締付要素KEbの第1の
ねしGZa上にそしてばね要素FB4の第2E端FE4
bは第2のねじGZb上にねし止めされ、ねじは第2固
定要素BE4bの第2の接続面AFAb上に形成されて
いる。ばね要素FE4の第2端FE4bはスケール支持
体G4の第2端G4bと結合しており、第2端は測定方
向Xにおいて平面運動の自由度をもって配設されている
。
このばね要素FE4のばね定数C4はスケールM4が標
準温度TOで正確な目標長さ口M4))を有し、そして
温度上昇ΔTの際にスケールM4の相対的長さ変化Δ直
M4)ル(M4)は工作物−4の相対的長さ変化ΔL(
W4)ル(W4)と等しいように設定されている。
準温度TOで正確な目標長さ口M4))を有し、そして
温度上昇ΔTの際にスケールM4の相対的長さ変化Δ直
M4)ル(M4)は工作物−4の相対的長さ変化ΔL(
W4)ル(W4)と等しいように設定されている。
本出願は光電的、磁気的、容量的及び誘導的並びにイン
クリメンタル並びにアブソリュート位置測定装置に使用
されることができる。
クリメンタル並びにアブソリュート位置測定装置に使用
されることができる。
第1図は第1の密閉形測長機、第2図は第2の密閉形測
長機、第3図は第3の密閉形測長機そして第4図は第4
の密閉形測長機を示す。 図中符号 G ・・・・・・スケール支持体 Ga、Gb・・・・第1端、第2端 、BEa 、 B
Eb ・・固定要素の第1端、第2端H・・・・・・
スケールH
長機、第3図は第3の密閉形測長機そして第4図は第4
の密閉形測長機を示す。 図中符号 G ・・・・・・スケール支持体 Ga、Gb・・・・第1端、第2端 、BEa 、 B
Eb ・・固定要素の第1端、第2端H・・・・・・
スケールH
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、工作機械又は工作物の測定機の2つの機械部分の形
の対象物の相対位置の測定のための位置測定装置にして
、第1の対象物と結合されたスケールの目盛は第2の対
象物と結合された走査ユニットによって走査されそして
スケールは測定方向においてスケール支持体に僅かに移
動可能に配設されており、スケール支持体は両端で固定
要素と結合しており、固定要素は第1の対象物に剛固に
固定されている、前記位置測定装置において、 スケール、スケール支持体及び工作物の熱膨張率が相異
なる場合、スケール支持体(G)は少なくとも一端(G
a、Gb)で測定方向Xに平面運動の自由度をもって
固定要素(BEa、BEb)と結合しており、そしてス
ケール(M)は少なくとも一端(Ga、Gb)でばね要
素(FE)によって附勢されており、ばね要素(FE)
はスケール支持体(G)の平面運動可能な端(Ga、G
b)と結合しており、そしてそのばね定数Cは温度変化
があった場合にスケール(M)の相対的な長さ変化ΔL
(M)/L(M)が工作物(W)の相対的な長さ変化Δ
L(W)/L(W)と等しいように設定されていること
を特徴とする前記位置測定装置。 2、スケール(M4)が標準温度T0でその正確な長さ
L(M)を有する請求項1記載の位置測定装置。 3、スケール(M1、M2、M3)が標準温度T0でそ
の正確な目標長さL(M1)、L(M2)、L(M3)
越える相対変位(V1、V3、V3)を有する、請求項
1記載の位置測定装置。 4、ばね要素(FE1)はコイルばねから成り、ばね要
素(FE2)はU形板ばねから成る、請求項1記載の位
置測定装置。 5、ばね要素(FE3)は引張ばねから成り、これはス
ケール(M3)の両端(M3a、M3b)をそれぞれレ
バ要素(HEa、HEb)を介して附勢し、引張ばねは
スケール支持体(G3)の平面運動可能な両端(G3a
、G3b)に回転可能に支承されている、請求項1記載
の位置測定装置。 6、ばね要素(FE3)は金属板材から成る、請求項5
記載の位置測定装置。 7、ばね要素(FE1、FE2、FE3)は調整ねじ(
ES1、ES2、ES3)によって附勢される、請求項
1記載の位置測定装置。 8、スケール支持体(G)は少なくとも一端(Ga、G
b)で測定方向Xに平面運動の自由度をもって長さ補償
要素(LE)を介して固定要素(BE)と結合している
、請求項1記載の位置測定装置。 9、長さ補償要素(LE)が固定要素(BE)中に組み
込まれている、請求項8記載の位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3719409.7 | 1987-06-11 | ||
DE19873719409 DE3719409A1 (de) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63317711A true JPS63317711A (ja) | 1988-12-26 |
JP2515853B2 JP2515853B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=6329444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63141944A Expired - Lifetime JP2515853B2 (ja) | 1987-06-11 | 1988-06-10 | 位置測定装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4912856A (ja) |
EP (1) | EP0294563B1 (ja) |
JP (1) | JP2515853B2 (ja) |
AT (1) | ATE64779T1 (ja) |
DE (2) | DE3719409A1 (ja) |
ES (1) | ES2023461B3 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013042563A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | 東レエンジニアリング株式会社 | スケール装置 |
JP2013231665A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Canon Inc | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
JP2016080689A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | エンコーダ |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3841488A1 (de) * | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium |
AT401819B (de) * | 1990-10-02 | 1996-12-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem |
SE9100393L (sv) * | 1991-02-08 | 1992-02-24 | Johansson Ab C E | Foerfarande och anordning foer bestaemning av termisk laengdutvidgning hos laangstraeckta kroppar |
JPH06285731A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-10-11 | Murata Mach Ltd | 複合加工機 |
DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
GB9215767D0 (en) * | 1992-07-24 | 1992-09-09 | Lk Ltd | Scale assembly |
DE4320728C2 (de) * | 1993-06-23 | 2001-08-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lagemeßeinrichtung |
DE4406799C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE19512892C2 (de) * | 1995-04-06 | 1998-11-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
ES2110902B1 (es) * | 1995-07-18 | 1998-08-01 | Fagor S Coop | Dispositivo de fijacion de la escala en una regla optica. |
EP0841540B1 (de) * | 1996-11-11 | 2001-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
DE19726173A1 (de) * | 1997-06-20 | 1998-12-24 | Voith Sulzer Papiermasch Gmbh | Temperaturkompensierter Eichmaßstab |
DE19751019C2 (de) * | 1997-11-18 | 2002-11-28 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE19857132A1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Anordnung zur Verringerung temperaturbedingter Maßabweichungen bei parallel angeordneten Meßsystemen |
US6772531B1 (en) * | 1999-11-30 | 2004-08-10 | Renishaw Plc | Measurement apparatus including a track for a measurement scale and apparatus for tensioning the scale |
DE10046818B4 (de) * | 2000-09-20 | 2008-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
JP3806328B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2006-08-09 | 株式会社ミツトヨ | ユニット型直線変位測定装置、及び、その端部固定具 |
EP1571421A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-07 | FESTO AG & Co | Linearantriebsvorrichtung |
US6910279B1 (en) | 2004-05-12 | 2005-06-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Holder for a graduated element |
JP2006030086A (ja) | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Mitsutoyo Corp | 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法 |
EP1731877B1 (de) * | 2005-06-08 | 2008-09-10 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Geberelement eines Messsystems |
KR20080006391A (ko) * | 2006-07-12 | 2008-01-16 | 삼성전자주식회사 | 변형제한영역을 갖는 화상형성장치 |
TWI318151B (en) * | 2007-02-09 | 2009-12-11 | Ind Tech Res Inst | Apparatus for detecting manufacturing parameters of a machine tool |
JP4991365B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2012-08-01 | カヤバ工業株式会社 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
US20090121022A1 (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Teng Hong-Chun | Cleaning Structure for an Induction Reader |
US7591041B1 (en) * | 2008-08-08 | 2009-09-22 | Hiwin Mikrosystem Corp. | Pneumatic cleaning module for magnetic ruler of position measurement system |
DE102009044917A1 (de) * | 2009-09-23 | 2011-04-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
JP5910331B2 (ja) * | 2012-06-07 | 2016-04-27 | 株式会社ジェイテクト | 位置決め装置 |
CN103056725B (zh) * | 2013-01-17 | 2015-03-11 | 莱芜钢铁集团有限公司 | 一种位移传感器行走定位装置 |
CN103105149B (zh) * | 2013-01-22 | 2015-09-30 | 北矿磁材科技股份有限公司 | 一种片形粉径厚比的表征方法 |
US9791254B2 (en) * | 2014-12-27 | 2017-10-17 | Mitutoyo Corporation | Scale fixating device |
CN104776805B (zh) * | 2015-04-15 | 2017-12-08 | 安徽机电职业技术学院 | 电缆计米器 |
EP3276310B1 (de) * | 2016-07-27 | 2018-09-19 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
ES2693900T3 (es) * | 2016-08-02 | 2018-12-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de la longitud |
EP3705850B1 (de) * | 2019-03-06 | 2021-12-29 | Etel S.A. | Anordnung mit einem hauptträger, einem auf dem hauptträger angeordneten zwischenträger und einem auf dem zwischenträger angeordneten massstab |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59109810A (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-25 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ測定装置 |
JPS59210315A (ja) * | 1983-05-03 | 1984-11-29 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3816002A (en) * | 1972-10-10 | 1974-06-11 | H Wieg | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members |
DE2518745C3 (de) * | 1975-04-26 | 1979-06-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fehlerkompensation in Positioniersystemen |
DE2712421C2 (de) * | 1977-03-22 | 1982-06-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Längenmeßeinrichtung |
DE2853771C2 (de) * | 1978-12-13 | 1986-08-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE2911047A1 (de) * | 1979-03-21 | 1980-10-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung mit laengsverschieblichem masstab |
DE3106701C2 (de) * | 1981-02-23 | 1982-12-02 | Maho Werkzeugmaschinenbau Babel & Co, 8962 Pfronten | Meßsystem für Werkzeugmaschinen |
ATE40594T1 (de) * | 1983-02-12 | 1989-02-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Gekapselte messeinrichtung. |
DE3316081A1 (de) * | 1983-05-03 | 1984-11-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
DE3419527A1 (de) * | 1984-05-25 | 1985-11-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
ATE53117T1 (de) * | 1984-07-18 | 1990-06-15 | Rsf Elektronik Gmbh | Lineares messsystem. |
DE3625795A1 (de) * | 1986-07-30 | 1988-02-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung |
-
1987
- 1987-06-11 DE DE19873719409 patent/DE3719409A1/de active Granted
-
1988
- 1988-04-14 DE DE8888105945T patent/DE3863395D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-04-14 EP EP88105945A patent/EP0294563B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-04-14 ES ES88105945T patent/ES2023461B3/es not_active Expired - Lifetime
- 1988-04-14 AT AT88105945T patent/ATE64779T1/de active
- 1988-06-10 JP JP63141944A patent/JP2515853B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-06-10 US US07/205,452 patent/US4912856A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59109810A (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-25 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ測定装置 |
JPS59210315A (ja) * | 1983-05-03 | 1984-11-29 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013042563A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | 東レエンジニアリング株式会社 | スケール装置 |
JP2013231665A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Canon Inc | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
JP2016080689A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | エンコーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE64779T1 (de) | 1991-07-15 |
DE3863395D1 (de) | 1991-08-01 |
EP0294563B1 (de) | 1991-06-26 |
EP0294563A1 (de) | 1988-12-14 |
DE3719409A1 (de) | 1988-12-22 |
US4912856A (en) | 1990-04-03 |
DE3719409C2 (ja) | 1991-02-14 |
JP2515853B2 (ja) | 1996-07-10 |
ES2023461B3 (es) | 1992-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS63317711A (ja) | 位置測定装置 | |
US4554741A (en) | Measuring system | |
US4549354A (en) | Measuring system | |
US4776098A (en) | Length measuring apparatus with temperature compensation | |
US4593471A (en) | Encapsulated measuring system | |
JP3184825B2 (ja) | 光学装置の角度位置を正確に調整するための装置および方法 | |
US4160325A (en) | Extensometer | |
US8156658B2 (en) | Linear encoder | |
US20050097766A1 (en) | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine | |
JPS5813843B2 (ja) | 防護覆蓋測長装置 | |
US5182867A (en) | Position measuring apparatus | |
JPH0332001B2 (ja) | ||
JPS6255081B2 (ja) | ||
JP2675245B2 (ja) | 測長機 | |
US4569137A (en) | Linear scale type displacement measuring device and main scale attaching method thereof | |
CN111664323B (zh) | 带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件 | |
JPH08178694A (ja) | 変位センサ用のスケール | |
US20020019718A1 (en) | Dial indicator calibration apparatus | |
JPH07334245A (ja) | 超精密送り装置およびこれを用いたxyテ−ブル並びにテ−ブル移送装置 | |
JPH0473524B2 (ja) | ||
Chetwynd et al. | X-ray interferometer calibration of microdisplacement transducers | |
JPH045921B2 (ja) | ||
ES2048787T3 (es) | Procedimiento para medir y compensar dilataciones condicionadas termicamente en maquinas, especialmente maquinas herramientas. | |
JP2582210B2 (ja) | 変位測定装置 | |
US4540240A (en) | Optical objective adjusting apparatus |