JPS63309795A - スクリュ−真空ポンプ - Google Patents
スクリュ−真空ポンプInfo
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- JPS63309795A JPS63309795A JP62145274A JP14527487A JPS63309795A JP S63309795 A JPS63309795 A JP S63309795A JP 62145274 A JP62145274 A JP 62145274A JP 14527487 A JP14527487 A JP 14527487A JP S63309795 A JPS63309795 A JP S63309795A
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- Japan
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- seal
- shaft
- vacuum pump
- rotor
- bearing
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- Pending
Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、スクリュー真空ポンプに係り、特に大気圧か
ら1O−5Torrレベルの真空領域に好適な、作動室
に油の混入しないスクリュー真空ポンプに関するもので
ある。
ら1O−5Torrレベルの真空領域に好適な、作動室
に油の混入しないスクリュー真空ポンプに関するもので
ある。
[従来の技術]
半導体を製造するには、真空状態にした容器内にウェハ
ーを収納して行なわれるが、容器内を真空状態にするに
は、容器内に窒素ガス等の不活性ガスを供給しつつ真空
ポンプで吸引し容器内の不純物(02,H2O等)を除
去し、数Torrがら10−’Torrレベルの真空状
態とするようになっている。
ーを収納して行なわれるが、容器内を真空状態にするに
は、容器内に窒素ガス等の不活性ガスを供給しつつ真空
ポンプで吸引し容器内の不純物(02,H2O等)を除
去し、数Torrがら10−’Torrレベルの真空状
態とするようになっている。
従来、こういった半導体製造工程において使用される真
空ポンプは、油回転ポンプ、ルーツ式のメカニカルブー
スタポンプなどが用いられていた。
空ポンプは、油回転ポンプ、ルーツ式のメカニカルブー
スタポンプなどが用いられていた。
しかし、油回転ポンプでは、使用している潤滑油が、半
導体製造過程で用いる各種ガス(例えば、ヒ素、ガリウ
ム、塩等、Po1y−8i等)と接触して、潤滑油とし
ての寿命が非常に短くなるという欠点があった。また、
油分子が半導体製造容器内に逆拡散して半導体製造工程
上好ましくない問題があった。
導体製造過程で用いる各種ガス(例えば、ヒ素、ガリウ
ム、塩等、Po1y−8i等)と接触して、潤滑油とし
ての寿命が非常に短くなるという欠点があった。また、
油分子が半導体製造容器内に逆拡散して半導体製造工程
上好ましくない問題があった。
さらに、これらのポンプでは、適正排気速度を得るため
の使用圧力範囲が狭いため、所定圧に到達するまでに数
種の真空ポンプを切換えて使用しなければならないとい
う欠点があった。
の使用圧力範囲が狭いため、所定圧に到達するまでに数
種の真空ポンプを切換えて使用しなければならないとい
う欠点があった。
そこで、大気圧から1.0−4T o r r程度のレ
ベルの中真空を、1段でしがも無潤滑のポンプで達成で
きる真空ポンプとして、例えば、特開昭61−1529
90号公報記載の真空ポンプが開発された。
ベルの中真空を、1段でしがも無潤滑のポンプで達成で
きる真空ポンプとして、例えば、特開昭61−1529
90号公報記載の真空ポンプが開発された。
[発明が解決しようとする問題点]
従来のスクリュー真空ポンプは、吸気口および排気口が
形成されているポンプケーシング内に、互いに噛み合う
一対のスクリューロータが配設されて作動室を形成し、
各スクリューロータの両端部は軸支され、軸支部には、
カーボンリング、ねじシール、ラビリンス等からなる軸
封手段を備えるとともに、スクリューロータは、タイミ
ングギヤによって同期して回転するように構成されたも
のである。
形成されているポンプケーシング内に、互いに噛み合う
一対のスクリューロータが配設されて作動室を形成し、
各スクリューロータの両端部は軸支され、軸支部には、
カーボンリング、ねじシール、ラビリンス等からなる軸
封手段を備えるとともに、スクリューロータは、タイミ
ングギヤによって同期して回転するように構成されたも
のである。
上記の軸封手段は、主として油の混入を防止するシール
構成のものであり、半導体製造過程において用いる各種
ガスがら発生し析出する生成物の、軸受部、軸封部への
混入防止については配慮されていなか、った。
構成のものであり、半導体製造過程において用いる各種
ガスがら発生し析出する生成物の、軸受部、軸封部への
混入防止については配慮されていなか、った。
現実には、例えば塩化アンモニウム等の粉末固形状の生
成物が、排気側(大気側)のスクリューロータの噛み合
う終端部から排気口にかけて析出しやすく、これらダス
トが軸受部へ混入することを防止しなければならないと
いう問題があった。
成物が、排気側(大気側)のスクリューロータの噛み合
う終端部から排気口にかけて析出しやすく、これらダス
トが軸受部へ混入することを防止しなければならないと
いう問題があった。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになさ
れたもので、生成物等のダストが軸受部へ混入すること
を防止し、軸封の信頼性を向上するとともに、被真空部
(吸気側)の到達圧力を改善しう、るスクリュー真空ポ
ンプの提供を、その目的とするものである。
れたもので、生成物等のダストが軸受部へ混入すること
を防止し、軸封の信頼性を向上するとともに、被真空部
(吸気側)の到達圧力を改善しう、るスクリュー真空ポ
ンプの提供を、その目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明に係るスクリュー真
空ポンプの構成は、吸気口および排気口が形成されてい
るポンプケーシングと1両端部が軸支され同期して回転
するように前記ポンプケーシング内に配設された互いに
噛み合う一対のスクリューロータと、それぞれのロータ
軸支部に設けられた軸封部とを備えたオイルフリー真空
ポンプにおいて、前記軸封部における各シール部材に加
えて、前記一対のスクリューロータの噛み合う作動室側
にフェルトシールを装着したものである。
空ポンプの構成は、吸気口および排気口が形成されてい
るポンプケーシングと1両端部が軸支され同期して回転
するように前記ポンプケーシング内に配設された互いに
噛み合う一対のスクリューロータと、それぞれのロータ
軸支部に設けられた軸封部とを備えたオイルフリー真空
ポンプにおいて、前記軸封部における各シール部材に加
えて、前記一対のスクリューロータの噛み合う作動室側
にフェルトシールを装着したものである。
なお付記すると、本発明は1作動室と軸封部との間に接
触形のシールであるフェルトを装着することにより、ダ
ストが軸受部へ混入することを防止するとともに、到達
圧力の改善を図ることができるものである。
触形のシールであるフェルトを装着することにより、ダ
ストが軸受部へ混入することを防止するとともに、到達
圧力の改善を図ることができるものである。
[作用コ
フェルトは、材質を適当に選択すわば、高速で回転して
いるロータに接触させてもロータを傷っけたり、フェル
ト自身を傷つけることなく、ダストが作動室から軸受部
へ混入するのを防止できる。
いるロータに接触させてもロータを傷っけたり、フェル
ト自身を傷つけることなく、ダストが作動室から軸受部
へ混入するのを防止できる。
また、フェルトは、基本的に繊維であるため、材料の密
度が薄く、作動部と軸受部との間に、ガスをある程度流
入、流出させて、例えばギヤ室における圧力バランス機
構の機能を妨げることがない。
度が薄く、作動部と軸受部との間に、ガスをある程度流
入、流出させて、例えばギヤ室における圧力バランス機
構の機能を妨げることがない。
さらに、真空ポンプの到達圧力の改善に寄与するシール
能力も保有している。
能力も保有している。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図ないし第4図を参照し
て説明する。
て説明する。
第1図は、本発明の一実施例に係るスクリュー真空ポン
プ本体部の縦断面図、第2図は、その軸封部の詳細断面
図、第3図は、増速部の縦断面図、第4図は、第1図の
本体部を組込んだスクリュー真空ポンプ全体の外観を示
す図で、(a)は正面図、(b)は側面図である。
プ本体部の縦断面図、第2図は、その軸封部の詳細断面
図、第3図は、増速部の縦断面図、第4図は、第1図の
本体部を組込んだスクリュー真空ポンプ全体の外観を示
す図で、(a)は正面図、(b)は側面図である。
各回において同一部分は同一符号をもって示す。
第1図において、1,2は、ケーシング11内に配設さ
れ互いに噛み合う一対の雄、雌スクリユーロータ(以下
単に雄、雌ロータという)であり、これら雄、雌ロータ
1,2のロータ軸1a、lbはラジアル軸受3.スラス
ト軸受4で支承されている。
れ互いに噛み合う一対の雄、雌スクリユーロータ(以下
単に雄、雌ロータという)であり、これら雄、雌ロータ
1,2のロータ軸1a、lbはラジアル軸受3.スラス
ト軸受4で支承されている。
雄、雌ロータ1,2のロータ軸1a、lbの軸端には同
期歯車に係るタイミングギヤ7.8が嵌着されていて、
雄、雌ロータ1,2が同期して回転するようになってい
る。
期歯車に係るタイミングギヤ7.8が嵌着されていて、
雄、雌ロータ1,2が同期して回転するようになってい
る。
ケーシング11には、吸気口13、排気口14(第4図
参照)が形成されており、吸気口13から吸入されたガ
スは前記雄、雌ロータ1,2が噛み合う作動室を経て排
気口14に吐出され、吸気側にある例えば半導体製造装
置の容器(図示せず)を真空にするように作動するもの
である。
参照)が形成されており、吸気口13から吸入されたガ
スは前記雄、雌ロータ1,2が噛み合う作動室を経て排
気口14に吐出され、吸気側にある例えば半導体製造装
置の容器(図示せず)を真空にするように作動するもの
である。
ラジアル軸受3は、軸受ボックス5を介してロータ軸1
a、lbを支承しており、軸受ボックス5は、ツクピン
17を介してケーシング11に固定されている。また、
スラスト軸受4は、ケーシング11に軸受押え12を介
して取付けられている。
a、lbを支承しており、軸受ボックス5は、ツクピン
17を介してケーシング11に固定されている。また、
スラスト軸受4は、ケーシング11に軸受押え12を介
して取付けられている。
第1図において、10は、ラジアル軸受3を固定するベ
アリングナツト、llaはウォータジャケット、llb
はジャケットカバ、18は、ケーシングの接合面に設け
たシール用の○リング、19は、カバである。
アリングナツト、llaはウォータジャケット、llb
はジャケットカバ、18は、ケーシングの接合面に設け
たシール用の○リング、19は、カバである。
ラジアル軸受3は、スリンガ9によって油のはねかけ給
油がなされている。また、スラスト軸受4、およびタイ
ミングギヤ7.8は、第4図に示すオイルポンプ45か
ら、オイルクーラ46、給油配管47を経て給油される
ようになっている。
油がなされている。また、スラスト軸受4、およびタイ
ミングギヤ7.8は、第4図に示すオイルポンプ45か
ら、オイルクーラ46、給油配管47を経て給油される
ようになっている。
これらの潤滑油が、雄、雌ロータ1,2の収納されてい
るケーシング11内すなわち作動室内に侵入しないよう
に、ロータの軸支部には、第1図に略示した軸封部6が
設けられている。
るケーシング11内すなわち作動室内に侵入しないよう
に、ロータの軸支部には、第1図に略示した軸封部6が
設けられている。
その軸封部の詳細を第2図に示す。
ラジアル軸受3あるいはスラスト軸受4側の潤滑油侵入
を防止する軸封部6には、シールリング20、スペーサ
21およびカーボンリング22、ねじシール23(雄ロ
ータの吸気側、雌ロータの排気側)、あるいはねじシー
ル24(雄ロータの排気側、雌ロータの吸気側)、シー
ル押え25、および油切りとして作用するラビリンス2
6が装着されており、シュパンリング27.なみばね2
8は、前記の各シール部材を挟持するように、軸封部を
軸方向に固定する役割を果たしている。
を防止する軸封部6には、シールリング20、スペーサ
21およびカーボンリング22、ねじシール23(雄ロ
ータの吸気側、雌ロータの排気側)、あるいはねじシー
ル24(雄ロータの排気側、雌ロータの吸気側)、シー
ル押え25、および油切りとして作用するラビリンス2
6が装着されており、シュパンリング27.なみばね2
8は、前記の各シール部材を挟持するように、軸封部を
軸方向に固定する役割を果たしている。
本実施例では、第1,2図に示すように軸封部6におけ
る前記各シール部材に加えて、雄、雌口=7− −タ1,2の噛み合う作動室側にフェルトシール30を
装着している。このフェルトシール30は、ケーシング
11に取付は用の溝を形設して装着したもので、フェル
トシール30は、ロータ軸1a。
る前記各シール部材に加えて、雄、雌口=7− −タ1,2の噛み合う作動室側にフェルトシール30を
装着している。このフェルトシール30は、ケーシング
11に取付は用の溝を形設して装着したもので、フェル
トシール30は、ロータ軸1a。
1bの外周面に接触しているものである。そして、これ
によって、作動室から排気口部にかけて発生するダスト
、例えば半導体製造過程で用いられる各種ガスから発生
し析出する生成物が、軸封部6からラジアル軸受3.ス
ラスト軸受4へ混入することを防止するとともに、作動
室の負圧部のシール性を向上して、吸気側(真空とすべ
き容器側)の到達圧力を改善することができる。 次に
、第3図を参照して増速部について説明する。第3図に
2点鎖線で示す部分は、第1図に示したスクリュー真空
ポンプ本体部のケーシング11に相当する。
によって、作動室から排気口部にかけて発生するダスト
、例えば半導体製造過程で用いられる各種ガスから発生
し析出する生成物が、軸封部6からラジアル軸受3.ス
ラスト軸受4へ混入することを防止するとともに、作動
室の負圧部のシール性を向上して、吸気側(真空とすべ
き容器側)の到達圧力を改善することができる。 次に
、第3図を参照して増速部について説明する。第3図に
2点鎖線で示す部分は、第1図に示したスクリュー真空
ポンプ本体部のケーシング11に相当する。
31はモータ、32はモータ軸、33はメカシールボッ
クス、34は、モータ軸の軸封部に係るメカシールを略
示したものである。
クス、34は、モータ軸の軸封部に係るメカシールを略
示したものである。
モータ軸32に嵌着されたプルギヤ36は、雄ロータ1
のタイミングギヤ7と噛み合い、ロータを増速させ、雄
、雌ロータ1,2を同期して回転させる。
のタイミングギヤ7と噛み合い、ロータを増速させ、雄
、雌ロータ1,2を同期して回転させる。
35は、モータ31のケーシングと、スクリュー真空ポ
ンプ本体のケーシング11との間に結合されるギヤケー
シング、37は、ギヤケーシング35に設けた給油ノズ
ルを示し、この給油ノズル37は、第4図に示すオイル
ポンプ45から供給されてくる潤滑油をギヤに給油する
ための手段である。
ンプ本体のケーシング11との間に結合されるギヤケー
シング、37は、ギヤケーシング35に設けた給油ノズ
ルを示し、この給油ノズル37は、第4図に示すオイル
ポンプ45から供給されてくる潤滑油をギヤに給油する
ための手段である。
次に第4図は、スクリュー真空ポンプ全体の外観を示し
ている。
ている。
モータ31、ギヤケーシング35、真空ポンプ本体のケ
ーシング11、および制御盤39等の各部は、コモンベ
ース40上にコンパクトに配設されており、コモンベー
ス40にはキャスタ41が取り付けられていて移動可能
の装置となっている。
ーシング11、および制御盤39等の各部は、コモンベ
ース40上にコンパクトに配設されており、コモンベー
ス40にはキャスタ41が取り付けられていて移動可能
の装置となっている。
42は、ギヤケーシング35内を起動時に吸気側に、あ
る時間のみ、バランス配管43、フォアライントラップ
44を介して吸引するための電磁弁であり、これらはギ
ヤ室の圧力バランス機構として機能するものである。
る時間のみ、バランス配管43、フォアライントラップ
44を介して吸引するための電磁弁であり、これらはギ
ヤ室の圧力バランス機構として機能するものである。
真空とすべき容器内のガスは、矢印に示すように吸気口
13から真空ポンプ本体のケーシング11内の作動室を
経て、排気口14、排気管15、サイレンサ16を介し
て矢印に示すように大気側に排出される。
13から真空ポンプ本体のケーシング11内の作動室を
経て、排気口14、排気管15、サイレンサ16を介し
て矢印に示すように大気側に排出される。
潤滑油は、ギヤケーシング35内の底部に貯溜され、オ
イルポンプ45、オイルクーラ46、給油配管47を経
由して各部に供給される。
イルポンプ45、オイルクーラ46、給油配管47を経
由して各部に供給される。
37は、ギヤケーシング35における給油ノズル、38
は、ケーシング11側の給油口栓を示し、48.49は
、それぞれギヤケーシング35.ケーシング11に設け
た油面計である。
は、ケーシング11側の給油口栓を示し、48.49は
、それぞれギヤケーシング35.ケーシング11に設け
た油面計である。
50は、装置全体の水冷のための給水口、51は排水口
であり、ユーザーは、この部分に給、排水管をセットす
ることになる。
であり、ユーザーは、この部分に給、排水管をセットす
ることになる。
本実施例によれば、軸封部における各シール部材に加え
て作動室側にフェルトシールを装着するようにしたもの
で、例えば半導体製造過程で用いられる各種ガスから発
生し析出する生成物であるダストが各シールおよび軸受
へ混入することを防止する。かつ、真空ポンプの到達圧
力を改善し、ICl5Torr程度の真空レベルを、本
スクリュー真空のみで達成することができる。
て作動室側にフェルトシールを装着するようにしたもの
で、例えば半導体製造過程で用いられる各種ガスから発
生し析出する生成物であるダストが各シールおよび軸受
へ混入することを防止する。かつ、真空ポンプの到達圧
力を改善し、ICl5Torr程度の真空レベルを、本
スクリュー真空のみで達成することができる。
[発明の効果コ
以上述べたように、本発明によれば、生成物等のダスト
が軸受部へ混入することを防止し、軸封部の信頼性を向
上するとともに、被真空部(吸気側)の到達圧力を改善
しうるスクリュー真空ポンプを提供することができる。
が軸受部へ混入することを防止し、軸封部の信頼性を向
上するとともに、被真空部(吸気側)の到達圧力を改善
しうるスクリュー真空ポンプを提供することができる。
第1図は、本発明の一実施例に係るスクリュー真空ポン
プ本体部の縦断面図、第2図は、その軸封部の詳細断面
図、第3図は、増速部の縦断面図、第4図は、第1図の
本体部を組込んだスクリュー真空ポンプ全体の外観を示
す図で、(a)は正面図、(b)は側面図である。 1・・・雄ロータ、2・・・雌ロータ、3・・・ラジア
ル軸受、4・・スラスト軸受、6・・・軸封部、7,8
・・・タイミングギャ、11・・・ケーシング、13・
・・吸気口、14・・・排気口、22・・・カーボンリ
ング、24・・・ねじシール、26・・・ラビリンス、
30・・・フェルトシール、31・・・モータ、35・
・・ギヤケーシング。
プ本体部の縦断面図、第2図は、その軸封部の詳細断面
図、第3図は、増速部の縦断面図、第4図は、第1図の
本体部を組込んだスクリュー真空ポンプ全体の外観を示
す図で、(a)は正面図、(b)は側面図である。 1・・・雄ロータ、2・・・雌ロータ、3・・・ラジア
ル軸受、4・・スラスト軸受、6・・・軸封部、7,8
・・・タイミングギャ、11・・・ケーシング、13・
・・吸気口、14・・・排気口、22・・・カーボンリ
ング、24・・・ねじシール、26・・・ラビリンス、
30・・・フェルトシール、31・・・モータ、35・
・・ギヤケーシング。
Claims (1)
- 1、吸気口および排気口が形成されているポンプケーシ
ングと、両端部が軸支され同期して回転するように前記
ポンプケーシング内に配設された互いに噛み合う一対の
スクリューロータと、それぞれのロータ軸支部に設けら
れた軸封部とを備えたオイルフリー真空ポンプにおいて
、前記軸封部における各シール部材に加えて、前記一対
のスクリューロータの噛み合う作動室側にフェルトシー
ルを装着した、ことを特徴とするスクリュー真空ポンプ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62145274A JPS63309795A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | スクリュ−真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62145274A JPS63309795A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | スクリュ−真空ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63309795A true JPS63309795A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15381346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62145274A Pending JPS63309795A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | スクリュ−真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63309795A (ja) |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP62145274A patent/JPS63309795A/ja active Pending
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