JPS63302439A - Manufacture of stamper - Google Patents
Manufacture of stamperInfo
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は例えばコンパクトディスク、ビデオディスク、
光ディスク等の製造に使用するスタンパの作製方法に関
するものである。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention is applicable to compact discs, video discs,
The present invention relates to a method for manufacturing a stamper used for manufacturing optical discs and the like.
〈従来技術〉
従来よりコンパクトディスク、ビデオディスク等のスタ
ンパは第５図（ａ）、伽ン、（Ｃ）、（ロ）、（ｅ）、
（ｆ）、（ｇ）に示す如（のメッキ工程によりおこなわ
れていた。<Prior art> Conventionally, stampers for compact discs, video discs, etc. are as shown in Figs.
The plating process was performed as shown in (f) and (g).
即ち同図ａにおいて１はガラス原盤であり、２はポジ型
レジストである。レーザーカンティングによってｂに示
す如くポジ型レジスト２上に信号記録を行ったのち、現
像を行い、信号記録原Ｑｃを得る。該信号記録原盤上に
銀等を、蒸着あるいはスパッタリング、無電解メッキ等
の手法により被覆し、電解ニッケルメッキにより、いわ
ゆるｄにしめずニッケルメッキ３が施されたファーザー
を作製し、さらにｅにしめすマザーを同様にして作製し
た後、該マザーより同様にしてスタンパ−ｆを作製する
。こうしてｇにしめずスタンパ−が得られる。That is, in FIG. 1A, 1 is a glass master disk, and 2 is a positive resist. After signal recording is performed on the positive resist 2 by laser canting as shown in b, development is performed to obtain a signal recording original Qc. The signal recording master is coated with silver or the like by vapor deposition, sputtering, electroless plating, etc., and by electrolytic nickel plating, a father with so-called Shimezu nickel plating 3 is produced at d, and further shown at e. After producing a mother in the same manner, a stamper f is produced from the mother in the same manner. In this way, a Shimezu stamper is obtained.
信号記録原盤Ｃはファーザーを剥離するとき、破壊され
てしまうため、ディスクを大量に複製しようとする場合
、通常マザーを数枚複製し、さらにスタンパ−を大量に
複製して用いる。また、複製するディスクの数が少量の
場合には、ファーザーをそのままスタンパ−として直接
ディスクを作製する場合もある。Since the signal recording master disk C is destroyed when the father is peeled off, when a large number of disks are to be copied, normally several copies of the mother and a large number of copies of the stamper are used. Furthermore, when the number of disks to be duplicated is small, disks may be directly produced using the father as a stamper.
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記のような方法では、信号記録原盤上
に銀等を蒸着等で被膜形成を行い、その後、電解ニッケ
ルメッキを行い、さらに繰り返して２回にわたり電解ニ
ッケルメッキを行い原盤上の信号を反転転写するため、
ディフェクトエラーが増加し、また、信号そのものの形
状が劣化し、ｍ柊的に製品として製作されたディスクの
品質・性能を低下させるという欠点があり、かつ、多工
程を経るため、製作費、時間が比較的多く必要であった
。<Problems to be solved by the invention> However, in the above method, a film such as silver is formed by vapor deposition on the signal recording master, then electrolytic nickel plating is performed, and then electrolytic plating is repeated twice. In order to reversely transfer the signal on the master by nickel plating,
This has the disadvantage of increasing defect errors, deteriorating the shape of the signal itself, and lowering the quality and performance of discs manufactured as products.In addition, the process requires multiple steps, which increases production costs and time. A relatively large amount was required.
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記のような方法では、信号記録原盤上
に銀等を蒸着等で被膜形成を行い、その後、電解ニッケ
ルメッキを行い、さらに繰り返して２回にわたり電解ニ
ッケルメッキを行い原盤上の信号を反転転写するため、
ディフェクトエラーが増加し、また、信号そのものの形
状が劣化し、最終的に製品として製作されたディスクの
品質・性能を低下させるという欠点があり、かつ、多工
程を経るため、製作費、時間が比較的、多く必要であっ
た。<Problems to be solved by the invention> However, in the above method, a film such as silver is formed by vapor deposition on the signal recording master, then electrolytic nickel plating is performed, and then electrolytic plating is repeated twice. In order to reversely transfer the signal on the master by nickel plating,
This has the disadvantage of increasing defect errors, deteriorating the shape of the signal itself, and lowering the quality and performance of the final disc manufactured as a product.In addition, it requires multiple steps, which increases production costs and time. A relatively large amount was required.
〈問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するため、金属層上に直接レジストを
設けた後、レーザー等により露光を行い。<Means for solving the problem> In order to solve the above problem, a resist is provided directly on the metal layer and then exposed to light using a laser or the like.
エツチング処理をして金属製の凹凸パターンを得。Etching treatment to obtain a metal uneven pattern.
所望のメッキ処理工程を経て、被成形物を大量複製する
ためのスタンパ−を得るようにすることで。By passing through a desired plating process, a stamper for mass duplicating the molded object is obtained.
ディフェクトエラーが少なく、信号の劣化程度の低いス
タンパ−を作製し、品質・性能・コスト等の優れたディ
スクを能率よく作製しようとするスタンパ−の作製方法
を提供するものである。The present invention provides a stamper manufacturing method for manufacturing a stamper with few defect errors and a low degree of signal deterioration, and efficiently manufacturing a disk with excellent quality, performance, cost, etc.
〈実施例〉
以下本発明について実施例により図面を参照しながら説
明する。<Example> The present invention will be described below by way of an example with reference to the drawings.
第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明のビデオディスクを得る
一実施例のスタンパ作製方法であり、１は金属盤であり
エンケル。クロム等の金属が用いられる。FIGS. 1(a) to 1(g) show an example of a stamper manufacturing method for obtaining a video disc of the present invention, and 1 is a metal disc made of Enkel. Metals such as chromium are used.
２はポジ型レジストである。2 is a positive resist.
同図において金属盤１はニッケルの金属層表面を精密研
磨ないしは、電鋳等の技術により鏡面を作製したもので
ある。In the figure, a metal plate 1 has a mirror surface formed on the surface of a nickel metal layer by precision polishing or electroforming.
次に該金属盤の鏡面上にポジ型レジスト２をスピンコー
ター等により塗布、乾燥することでａに示す被露光原版
が出来あがる。Next, a positive resist 2 is applied onto the mirror surface of the metal disk using a spin coater or the like and dried, thereby completing the exposed master plate shown in a.
次にｂの如くレーザーカッティングにより、所定の信号
記録を行ない、現像することによりＣに示すような金属
盤１上のレジストに信号形成された状態が得られる。そ
の後Ａｒ等の不活性ガス、もしくは、ＣＣｉ！、、、Ｃ
ＨＦ、等の反応性ガスを用いたスパッタエツチング法ま
たは硝酸セリウムアンモニウム等を主成分とする湿式１
・ンチング法等により、金属盤１そのものエツチングを
行いｄのごとく該金属盤１に信号を転記する。この場合
、レジスト膜厚は充分に厚くする必要があるが、必要に
より、Ｓｉ等を含有する耐エツチング性のレジスト等を
併用して２層レジストとして用いも差支えない、エツチ
ング速度および時間の調節により所定深さ、即ち一般に
９００人〜１２００人の深さの信号を均一に形成するこ
とが重要である。Next, as shown in b, a predetermined signal is recorded by laser cutting, and by development, a state in which signals are formed on the resist on the metal disk 1 as shown in c is obtained. After that, inert gas such as Ar or CCi! ,,,C
Sputter etching method using reactive gas such as HF or wet method 1 whose main component is cerium ammonium nitrate etc.
- Etch the metal disk 1 itself by etching method or the like and transfer the signal to the metal disk 1 as shown in d. In this case, the resist film needs to be sufficiently thick, but if necessary, an etching-resistant resist containing Si or the like may also be used as a two-layer resist, or by adjusting the etching rate and time. It is important to uniformly form the signal to a given depth, typically 900 to 1200 people.
次に該レジスト２を除去しｅに示すニッケルによる盤が
得られるわけであるが、レジスト除去には酸素プラズマ
によるアッシング、硫酸等を用いた湿式処理等が用いら
れる。Next, the resist 2 is removed to obtain the nickel disk shown in e. Ashing using oxygen plasma, wet treatment using sulfuric acid, etc. are used to remove the resist.
このようにして、信号が記録された盤は、このままでは
信号の凸凹が逆転しているため、いわゆるマザー盤とし
て用い、さらに一度ｆに示すＮ【電鋳等を行なうことに
より、ｇに示すスタンパ−を作製する。該マザー盤は、
金属製であるため強度が強く、数回の電鋳作業を行なっ
ても破壊される可能性は低い。The disc on which the signals have been recorded in this way is used as a so-called mother disc, as the unevenness of the signal is reversed. - to create. The mother board is
Since it is made of metal, it is strong and is unlikely to break even after several electroforming operations.
また別の実施例として第２図（ａ）〜（ｅ）に示す如く
、レジストとしてネガ型レジストを用いてもよく、この
場合鏡面を存する金属板１、ネガ型レジスト２からなる
ａに示す被露光原盤に対して、ｂに示す露光、Ｃに示す
現像、ｄに示すエツチングが行われ、ｅの如くのスタン
パ−が得られるものである。すなわちち被露光原盤の金
属板１そのものがスタンパ−原盤となり、スタンパ−作
製工程の短縮化、材料の省略化が計れるものとなる。な
おディスクの生産数量が多量である場合等、原盤を無傷
で保存したい場合は、一度電鋳等によって該原盤の信号
を転写複製することにより、マザー盤として保存するこ
とができる。このような方法は特に少ロフト生産向けと
して有利である。As another example, a negative resist may be used as the resist, as shown in FIGS. The exposed master is exposed as shown in b, developed as shown in c, and etched as shown in d, to obtain a stamper as shown in e. In other words, the metal plate 1 of the master to be exposed itself becomes the stamper master, and the stamper manufacturing process can be shortened and the materials used can be omitted. Note that if a large number of discs are produced and the master disc is desired to be preserved intact, it is possible to preserve it as a mother disc by once transferring and duplicating the signal of the master disc by electroforming or the like. Such a method is particularly advantageous for small loft production.
また金属盤１とレジスト２よりなる被露光原盤の該金属
盤を第３図（ａ）〜（濁に示す如く２層にしてスタンパ
を作製してもよい。すなわらａに示すように、金属盤１
をニッケル金属層１′とアルミニウムによる金属層１′
°により構成し、該金属層１′°上にポジ型レジスト２
をコーティングすることにより被露光原盤を用意する。Alternatively, a stamper may be produced by making the metal disk of the exposed master disk consisting of the metal disk 1 and the resist 2 into two layers as shown in FIGS. metal disc 1
a nickel metal layer 1' and an aluminum metal layer 1'
A positive resist 2 is formed on the metal layer 1'°.
A master to be exposed is prepared by coating.
金属盤１° してはニッケルが主として用いられ、他の
金属１°゛としてはクロム５アルミニウム等が用いられ
るが、金属層１°および金属層１゛の組み合わせは金属
層１°のエツチング速度よりも金属層１”のエツチング
壊変が速い組合わせが好ましい。つぎはｂに示す露光、
Ｃに示す現像、ｄに示すエツチングが行われｅに示すマ
ザー盤が得られ、さらにｆに示す二・ンケルメソキがな
されてｇのスタンパ−が得られる。このようにアルミニ
ウムムによる金属層１”を用いた場合は、アルカリ水溶
液によるエツチングにより、簡単に処理を行なうことが
できる。この方法の特徴としては性質の異なる２種の金
属を用いることにより所定深さのエツチングが容易に得
られることである。As the metal plate 1°, nickel is mainly used, and as other metals, chromium 5 aluminum etc. are used, but the combination of the metal layer 1° and the metal layer 1° is faster than the etching rate of the metal layer 1°. It is also preferable to use a combination in which the etching decay of the metal layer 1'' is fast.Next, the exposure shown in b.
The development shown in C and the etching shown in d are carried out to obtain the mother board shown in e, and the stamper shown in g is obtained by further engraving shown in f. When a metal layer 1'' made of aluminum is used in this way, it can be easily etched by etching with an alkaline aqueous solution.The feature of this method is that it uses two types of metals with different properties to achieve a predetermined depth. The reason is that it is easy to obtain a thin etching.
ここで第３図に示した実施例において、レジスト２とし
てネガ型レジスト２ を用いた場合は第４図（ａ）〜（
ｅ）の如くの工程となる。この場合鏡面を有する金属盤
１をニッケル金属層１′とアルミニウムによる金属層１
°”により構成し、ネガ型レジストが設けられたａに示
す被露光原盤学に対してｂに示す露光、Ｃに示す現像、
ｄに示すエツチングが行われ、ｅの如くのスタンパ−が
得られるものである。すなわちち被露光原盤のニッケル
金属層１″そのものがスタンパ−原盤となり、スタンパ
−作製工程の短縮化、材料の省略化が計れるものとなる
。原盤（ｅ）は他の金属１′の種類によっては、そのま
まスタンパとして用いられるが、アルミニウム等の比較
的強度の弱い金属を用いた場合は、クロム等の硬い金属
をメッキ等の方法で被覆して用いることにより小ロフト
生産用スタンパとの使用可能でる。In the example shown in FIG. 3, when a negative resist 2 is used as the resist 2, FIGS.
The process is as shown in e). In this case, a metal plate 1 with a mirror surface is formed by a nickel metal layer 1' and an aluminum metal layer 1.
exposure shown in b, development shown in c for the exposed master shown in a, which is composed of "°" and provided with a negative resist;
The etching shown in d is performed to obtain a stamper as shown in e. In other words, the nickel metal layer 1'' of the exposed master becomes the stamper master, which shortens the stamper manufacturing process and omits materials. It can be used as a stamper as is, but if a relatively weak metal such as aluminum is used, it can be used with a stamper for small loft production by covering it with a hard metal such as chrome by plating or other methods. .
また原盤（ｅ）は、長期保存が可能であり、該原盤より
、マザー盤をおこし、さらにスタンパ−を作製して生産
に供することも可能である。Further, the master disc (e) can be stored for a long period of time, and it is also possible to generate a mother disc from the master disc and further produce a stamper for use in production.
第１図〜第４図において、必要に応じクロム。In FIGS. 1 to 4, chromium is used as necessary.
ニッケル等を蒸着、スパック等により付着させ、強度を
強くして用いることができる。Nickel or the like can be attached by vapor deposition, spuck, etc. to increase the strength.
〈発明の効果〉
以上のように本発明は凸凹信号を有する原盤を直接金属
を用いて作製する方法であり、そのままスタンパとして
使用するか、一度電鋳等の方法により転写複製して使用
することにより、節単にスタンパを作製でき、かつ、原
盤保存上も極めて有利であり、スタンパ製作工程が簡略
であり、スタンパ製作費、製作時間が少な、く、さらに
はディフェクトエラーの少ない、信号劣化の少ないスタ
ンパを収率よく作製できるものである。<Effects of the Invention> As described above, the present invention is a method of directly producing a master disc having uneven signals using metal, and can be used as a stamper as it is, or once transferred and duplicated by a method such as electroforming. This makes it possible to manufacture a stamper in a cost-effective manner, and is extremely advantageous in terms of preserving the original.The stamper manufacturing process is simple, and the stamper manufacturing cost and manufacturing time are low.Furthermore, there are fewer defect errors and less signal deterioration. The stamper can be produced with good yield.
第１図（ａ） 〜（ｇ：） 、第２図（ａ） 〜（ｅ）
、第３図（ａ） 〜（ｇ）、第４図（ａ）〜（ｅ）は本
発明のスタンパ作製方法を簡略に表わした断面図の説明
図であり、第５図（ａ）〜（ｇ）は従来のスタンパ作製
方法を簡略に示した断面図の説明図である。
１・・・・・・・・・金属盤
１’、１”・・・・・・金属層
２・・・・・・・・・レジスト
特 許 出 願 人
凸版印刷株式会社
代表者 鈴木和夫
（Ｃ） （Ｃ）（ｅ）
（ｅ）ｄシｄＬｓｃｏｍ
ｐｅｒ
第 １図
第３図Figure 1 (a) - (g:), Figure 2 (a) - (e)
, FIGS. 3(a) to (g), and FIGS. 4(a) to (e) are explanatory diagrams of cross-sectional views that simply represent the stamper manufacturing method of the present invention, and FIGS. 5(a) to ( g) is an explanatory diagram of a cross-sectional view simply showing a conventional stamper manufacturing method. 1...Metal plate 1', 1''...Metal layer 2...Resist patent application Person Toppan Printing Co., Ltd. Representative Kazuo Suzuki ( C) (C) (e)
(e) dLscom
per Figure 1 Figure 3
Claims (1)
光を行い、エッチング処理をして凹凸パターンを得、所
望のメッキ処理工程を経て、被成形物を大量複製するた
めのスタンパーを得るスタンパー作製方法に於いて、 該原盤が金属により構成されてあるものを使用すること
ことを特徴とするスタンパ作製方法。 ２）前記金属製原盤は第１、第２の２層の金属により成
ることを特徴とする特許請求の範囲１項記載のスタンパ
作製方法。 ３）前記レジストとしてネガレジストを用い、直接スタ
ンパを作製することを特徴とする特許請求の範囲１項記
載のスタンパ作製方法。[Scope of Claims] 1) After providing a resist on the master disk, exposure is performed using a laser or the like, an etching process is performed to obtain a concave-convex pattern, and a desired plating process is performed to reproduce a molded object in large quantities. A stamper manufacturing method for obtaining a stamper, characterized in that the master disk is made of metal. 2) The method for producing a stamper according to claim 1, wherein the metal master disc is made of two layers of metal, a first layer and a second layer. 3) The stamper manufacturing method according to claim 1, wherein the stamper is directly manufactured using a negative resist as the resist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13738687A JPS63302439A (en) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | Manufacture of stamper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13738687A JPS63302439A (en) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | Manufacture of stamper |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63302439A true JPS63302439A (en) | 1988-12-09 |
Family
ID=15197474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13738687A Pending JPS63302439A (en) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | Manufacture of stamper |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63302439A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001039960A1 (en) * | 1999-12-02 | 2001-06-07 | Yasuo Kurosaki | Plastic molding and stamper used therefor |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP13738687A patent/JPS63302439A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001039960A1 (en) * | 1999-12-02 | 2001-06-07 | Yasuo Kurosaki | Plastic molding and stamper used therefor |
| KR100719399B1 (en) | 1999-12-02 | 2007-05-17 | 야스오 구로사키 | Plastic Molding Method |
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