JPS6328145U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6328145U JPS6328145U JP12056886U JP12056886U JPS6328145U JP S6328145 U JPS6328145 U JP S6328145U JP 12056886 U JP12056886 U JP 12056886U JP 12056886 U JP12056886 U JP 12056886U JP S6328145 U JPS6328145 U JP S6328145U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- cvd
- nozzle
- nozzle hole
- burning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Manufacturing Of Tubular Articles Or Embedded Moulded Articles (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案のCVDセラミツクス製ノズル
の一実施例を示す断面図、第2図a〜cはCVD
セラミツクス製ノズル孔部材の製造方法を説明す
る断面図である。 1……CVDセラミツクス製ノズル、2……C
VDセラミツクス製ノズル孔部材、3……ノズル
本体。
の一実施例を示す断面図、第2図a〜cはCVD
セラミツクス製ノズル孔部材の製造方法を説明す
る断面図である。 1……CVDセラミツクス製ノズル、2……C
VDセラミツクス製ノズル孔部材、3……ノズル
本体。
Claims (1)
- CVD法により製造されたセラミツクス製ノズ
ル孔部材をノズル本体内に嵌合してなるCVDセ
ラミツクス製ノズルであつて、該セラミツクス製
ノズル孔部材は、燃焼除去又は溶解除去可能な材
質よりなるノズル孔形状基体の平滑側周面に、C
VD法によりセラミツクス被膜を形成した後、該
基体を燃焼又は溶解して除去して得られたもので
あることを特徴とするCVDセラミツクス製ノズ
ル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12056886U JPS6328145U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12056886U JPS6328145U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6328145U true JPS6328145U (ja) | 1988-02-24 |
Family
ID=31009002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12056886U Pending JPS6328145U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6328145U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03146413A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-21 | Showa Denko Kk | 炭化珪素チューブ及びその製造法 |
JP2009284768A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Kanariya:Kk | ノズル装置、噴霧装置及び畜舎の温度及び湿度制御システム |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP12056886U patent/JPS6328145U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03146413A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-21 | Showa Denko Kk | 炭化珪素チューブ及びその製造法 |
JP2009284768A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Kanariya:Kk | ノズル装置、噴霧装置及び畜舎の温度及び湿度制御システム |