JPS6327033U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6327033U JPS6327033U JP11925186U JP11925186U JPS6327033U JP S6327033 U JPS6327033 U JP S6327033U JP 11925186 U JP11925186 U JP 11925186U JP 11925186 U JP11925186 U JP 11925186U JP S6327033 U JPS6327033 U JP S6327033U
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- JP
- Japan
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- holder
- melt
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- aligned
- reservoirs
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案の実施例を示し、第
１図、第４図は側面断面図、第２図、第３図は第
１図の―′線断面図、第５図は従来例を示す
側面断面図、第６図はエツジ・グロース現象を説
明するための断面図である。 ２４……メルトホルダ、２５〜２８……メルト
溜、２９……基板ホルダ、３２……基板保持部、
３３……基板。
１図、第４図は側面断面図、第２図、第３図は第
１図の―′線断面図、第５図は従来例を示す
側面断面図、第６図はエツジ・グロース現象を説
明するための断面図である。 ２４……メルトホルダ、２５〜２８……メルト
溜、２９……基板ホルダ、３２……基板保持部、
３３……基板。
Claims (1)
- 少なくとも下方が開口した複数のメルト溜が、
整列配置されたメルトホルダ、該ホルダの下部に
接するように配され上記メルト溜の整列方向に摺
動可能でかつ上記ホルダの下部に接しながら回動
可能な円柱状の基板ホルダを備えたことを特徴と
する液相エピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11925186U JPS6327033U (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11925186U JPS6327033U (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6327033U true JPS6327033U (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=31006445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11925186U Pending JPS6327033U (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6327033U (ja) |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP11925186U patent/JPS6327033U/ja active Pending