JPS63263815A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS63263815A JPS63263815A JP9886087A JP9886087A JPS63263815A JP S63263815 A JPS63263815 A JP S63263815A JP 9886087 A JP9886087 A JP 9886087A JP 9886087 A JP9886087 A JP 9886087A JP S63263815 A JPS63263815 A JP S63263815A
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- JP
- Japan
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- type
- surface acoustic
- acoustic wave
- film thickness
- distribution
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明dRAc (リフレクティフ”・アレイ・コンプ
レッサ)型弾性表面波(SAW)分散型遅延線の金属反
射格子の構造に関する。
レッサ)型弾性表面波(SAW)分散型遅延線の金属反
射格子の構造に関する。
従来%RAC型SAW分散型)V延線の反射格子の構造
は、基板上に一定な膜厚の金属膜を形成することによっ
て作られていた。
は、基板上に一定な膜厚の金属膜を形成することによっ
て作られていた。
上述の従来の反射格子構造では、入出カドランスシェー
ブから遠く離れた反射格子で反射される弾性表面波は摂
動を受け、減衰の為に反射係数が落ち、帯域内特性に傾
斜を鳴していた。
ブから遠く離れた反射格子で反射される弾性表面波は摂
動を受け、減衰の為に反射係数が落ち、帯域内特性に傾
斜を鳴していた。
本発明の弾性表面波装置は、金属BAC型分数分散型遅
延線成す・る反射格子のアルミニウム膜厚奮入出カドラ
ンスジューサから離れるにしたがって厚くした構造を有
している。
延線成す・る反射格子のアルミニウム膜厚奮入出カドラ
ンスジューサから離れるにしたがって厚くした構造を有
している。
次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例を示し、(a)は平面図。
[blri断面図である。図において、基板であるBi
t鵞Gem、、結晶15の左側に人出カドランスシュー
ブ11.13が設けられ、膜ル傾斜分布16を有する所
定の間隔で配置された反射格子12.14が構成されて
金属RAC型SAW分散型遅延紛を成している。この遅
延線の特性が第2図に示すダウンチャーブ特性である。
t鵞Gem、、結晶15の左側に人出カドランスシュー
ブ11.13が設けられ、膜ル傾斜分布16を有する所
定の間隔で配置された反射格子12.14が構成されて
金属RAC型SAW分散型遅延紛を成している。この遅
延線の特性が第2図に示すダウンチャーブ特性である。
従来の反射格子の膜厚が一定の場合ri第3図の様な傾
斜した帯域内特性となっていた。すなわち、高域の周仮
数は入出カドランスジ=−サ11,13に近い反射格子
で反射でれ、低域0114ri人出力ID′1゛(イン
タデジタル電極)から離れた反射格子で反射されていた
。
斜した帯域内特性となっていた。すなわち、高域の周仮
数は入出カドランスジ=−サ11,13に近い反射格子
で反射でれ、低域0114ri人出力ID′1゛(イン
タデジタル電極)から離れた反射格子で反射されていた
。
しかし、本発明の様な膜厚分布に反射格子を形成するこ
とにより、第2図に示すように帯域内特性が安定化した
。本発明の実施例の素子の製造方法としては、第4図の
様に真空ペルジャー内で電子ビーム42でルツボ43か
らアルミを蒸発(矢印44ri蒸発したアルばを示す)
させる。HGO基板41を蒸着源から第4図のように蒸
発したアルミが多い位置aから少ない位fbO間におく
ことにより、第1図の構造の金Fj!RAc型分散型遅
延線が得られる。
とにより、第2図に示すように帯域内特性が安定化した
。本発明の実施例の素子の製造方法としては、第4図の
様に真空ペルジャー内で電子ビーム42でルツボ43か
らアルミを蒸発(矢印44ri蒸発したアルばを示す)
させる。HGO基板41を蒸着源から第4図のように蒸
発したアルミが多い位置aから少ない位fbO間におく
ことにより、第1図の構造の金Fj!RAc型分散型遅
延線が得られる。
以上説明した様に本発明の弾性表面波装置では比較的簡
単な構成で金酋RAC型分散型遅廷線の特性改善ができ
る。
単な構成で金酋RAC型分散型遅廷線の特性改善ができ
る。
第1図fat 、 fblf1本発明の実施例を示し、
fa)i平面図−(t))d(alのA−A断面図、第
2図ri第1図の素子の揚幅竹性を示す線図、第3図r
t従来のKAC型5Avv分散型遅延紳の振幅特性を示
す線図、第4図は本発明の素子の製造方法を説明するた
めの図である。
fa)i平面図−(t))d(alのA−A断面図、第
2図ri第1図の素子の揚幅竹性を示す線図、第3図r
t従来のKAC型5Avv分散型遅延紳の振幅特性を示
す線図、第4図は本発明の素子の製造方法を説明するた
めの図である。
Claims (1)
- 金属リフレクティブ、アレイ、コンプレッサ(RAC)
型弾性表面波分散型遅延線を構成する反射格子が基板上
に形成された弾性表面波装置において、前記反射格子の
膜厚分布が、入出力交差状電極から離れるにしたがって
、直線的に厚くなる様にしたことを特徴とする弾性表面
波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9886087A JPS63263815A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9886087A JPS63263815A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63263815A true JPS63263815A (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=14230976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9886087A Pending JPS63263815A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63263815A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02186708A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-23 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
WO1999005788A1 (fr) * | 1997-07-28 | 1999-02-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif de traitement d'ondes acoustiques de surface et son procede de fabrication |
-
1987
- 1987-04-21 JP JP9886087A patent/JPS63263815A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02186708A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-23 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
WO1999005788A1 (fr) * | 1997-07-28 | 1999-02-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif de traitement d'ondes acoustiques de surface et son procede de fabrication |
US6377138B1 (en) | 1997-07-28 | 2002-04-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Surface acoustic wave device with a layered conductive film and method of producing the same |
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