JPS63257921A - Information recording medium and its production - Google Patents
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- JPS63257921A JPS63257921A JP62090721A JP9072187A JPS63257921A JP S63257921 A JPS63257921 A JP S63257921A JP 62090721 A JP62090721 A JP 62090721A JP 9072187 A JP9072187 A JP 9072187A JP S63257921 A JPS63257921 A JP S63257921A
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Landscapes
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、円盤状基体に情報信号で変調したピットを形
成して成る情報記録媒体とその製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an information recording medium in which pits modulated by an information signal are formed on a disc-shaped substrate, and a method for manufacturing the same.
プラスチック等の円盤状基体にピット形状により情報を
記録した情報記録媒体は、所謂光ディスクとして知られ
ている。An information recording medium in which information is recorded in the form of pits on a disk-shaped substrate made of plastic or the like is known as a so-called optical disk.
この種の光ディスクは、プラスチック等の円盤状基体に
渦巻形又は同心円形（以下、これらを同心円状と称する
）に記録ピット列から成るトラックを形成し、該光ディ
スクの回転中に上記ピットにレーザー光を投射し、その
反射光又は透過光の変化を検出することによって、記録
された情報を読出すものであり、記録密度が極めて太き
（、かつＳ／Ｎが良い等の特性を有することから、オー
ディオ分野、情報処理分野において多用されるようにな
った。This type of optical disk has tracks consisting of a series of recording pits formed in a spiral or concentric circle (hereinafter referred to as concentric circles) on a disk-shaped substrate made of plastic or the like, and a laser beam is applied to the pits while the optical disk is rotating. The recorded information is read out by projecting light and detecting changes in the reflected light or transmitted light. It has come to be widely used in the audio and information processing fields.
、この光ディスクは、ガラス等から成る基体に、例えば
薄いニッケル膜を成膜し、その上にフォトレジスト層を
塗布した後、記録すべき情報信号で変調したレーザー光
により露光・現像して、情報記録ピットに相当するピッ
トを形成し、このピット形成面にニッケル等の原盤材料
をメッキ後、上記フォトレジスト層と共にガラス等の基
体を剥離除去して得た原盤をスタンパ−として用いて、
プラスチック等の円盤状基体に上記ピット形状を転写す
ることによって製造している。This optical disk is made by depositing, for example, a thin nickel film on a substrate made of glass or the like, coating a photoresist layer thereon, and then exposing and developing the information with a laser beam modulated with the information signal to be recorded. After forming pits corresponding to recording pits and plating a master material such as nickel on the pit-forming surface, the master disc obtained by peeling off the substrate such as glass together with the photoresist layer is used as a stamper,
It is manufactured by transferring the pit shape onto a disc-shaped substrate made of plastic or the like.
従来、上記原盤の情報記録ピット（以下、単にピットと
称す）は、成膜したフォトレジスト膜をガラス円盤に達
する深さまで除去する、所謂底切りによって形成してい
る。したがって、形成されたピットの深さ寸法は単一で
あり、記録密度はピットのトラック方向の長さ寸法で制
限されるため、単位トラック当りの記録密度の向上には
限界があった。Conventionally, the information recording pits (hereinafter simply referred to as pits) on the master disc are formed by so-called bottom cutting, in which a deposited photoresist film is removed to a depth that reaches the glass disc. Therefore, the pits formed have a single depth, and the recording density is limited by the length of the pit in the track direction, so there is a limit to the improvement in the recording density per unit track.
なお、ピットの形成時に二種のフォトレジストを用いて
深さの異なる二種のピットを形成するものとして、特開
昭６１−１６０８５０号公報、特開昭５９−１８０８３
９号公報に記載されたものがあるが、前者はスタンパ−
にて複製する際の樹脂の流れを良好にしてピット及びデ
ィスクの形状。In addition, as for forming two types of pits with different depths using two types of photoresists when forming the pits, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-160850 and 59-18083 disclose
There is one described in Publication No. 9, but the former is a stamper.
The shape of pits and disks improves the flow of resin during duplication.
光学的特性を改善するものであり、後者は、アドレス情
報等の固定情報記録領域のピットと、データ記録領域の
ピットの深さを異ならしめる形式の光ディスクにお・い
て、浅い方のピット（データ記録領域ニドラッキング案
内用ａ）がＶ字状となってトラッキングが不良となるの
を防止しようとするものであって、情報記録密度を向上
するという点については配慮されていない。The latter improves the optical characteristics of optical discs in which the pits in the fixed information recording area such as address information are different in depth from the pits in the data recording area. This is intended to prevent tracking guide a) from forming a V-shape in the recording area, resulting in poor tracking, and no consideration is given to improving the information recording density.
上記従来技術においては、トラックに形成されるピット
列は、単一の系列であり、■トラック当りの記録密度の
向上には限界があり、光デイスク１枚に記録される情報
量を格段に向上させることは不可能であった。In the above conventional technology, the pit row formed on the track is a single series, and there is a limit to improving the recording density per track, and the amount of information recorded on one optical disc is significantly improved. It was impossible to do so.
また、光ディスクの製造においても、前記公報に記載さ
れたものは、ピット形状のコントロールに、悪魔の異な
る二種のフォトレジストを用いて、結果として深さの異
なる二つのピットを得るものであり、このような二種の
フォトレジストの多層膜の被着プロセスは非常に複雑で
、そのピット加工精度をディスク全域に亘って維持する
ことは困難である。Furthermore, in the production of optical discs, what is described in the above publication uses two different types of photoresists to control the pit shape, resulting in two pits with different depths. The process of depositing such a multilayer film of two types of photoresists is very complicated, and it is difficult to maintain pit processing accuracy over the entire disk.
本発明は、上記従来技術の問題を解決し、単位トラック
当りの記録密度を格段に向上させた所謂光ディスク等の
情報記録媒体とその製造方法を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art described above and to provide an information recording medium such as a so-called optical disk, which has a significantly improved recording density per unit track, and a method for manufacturing the same.
上記目的は、光ディスクのトラック上に深さの異なる複
数系列のピット列を形成することにより、また、その製
造においては、フォトレジストに対して、露光強度の異
なる複数のレーザー光を用いて深さの異なる複数系列の
ピット列を形成することにより、該複数系列のピット列
のそれぞれに異なる情報を持たせた高密度、多重記録を
行うことによって達成される。The above purpose is achieved by forming multiple series of pit rows with different depths on the track of an optical disk. This is achieved by forming a plurality of pit rows with different values and performing high-density multiplex recording in which each of the plurality of pit rows has different information.
同一トラック上に複数系列のピット列が、その深さを異
ならしめて配列されるので、読出し時のレーザー光の反
射強度に対する検出レベル、あるいはレーザー光の波長
を選定することにより、特定系列のピット列からの反射
光のみを検出でき、同一トラック上に複数種類の異種情
報あるいは同種情報を多重的に記録することができるの
で高密度の記録媒体を・得ることが可能となる。Multiple series of pit arrays are arranged on the same track with different depths, so by selecting the detection level for the reflected intensity of the laser beam during readout or the wavelength of the laser beam, it is possible to detect a specific series of pit arrays. Since it is possible to detect only the reflected light from the track and multiple types of different types of information or the same type of information can be recorded on the same track, it is possible to obtain a high-density recording medium.
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
なお、以下の実施例では情報記録媒体を「光ディスク」
として説明する。In the following examples, the information recording medium is an "optical disk".
It will be explained as follows.
第１図は本発明による光ディスクの第一実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列のピット列を構成
する第一系列ピット、２は第二系列のピット列を構成す
る第二系列ピット、３は光デイスク基板である。また、
Ａ−Ａはトラック中心線を示す。FIG. 1 is a top view of pits showing a first embodiment of the optical disc according to the present invention, in which 1 indicates a first series of pits constituting a first series of pit rows, and 2 indicates a second series of pit rows. The second series of pits, 3, is an optical disk substrate. Also,
A-A indicates the track center line.
第２図は第１図のＢ−Ｂに沿った断面図であって第１図
と同一符号は同一部分に対応する。FIG. 2 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1, and the same reference numerals as in FIG. 1 correspond to the same parts.
、第１図、第２図において、第一系列ピット１の部分は
深さがＤＩ％第二系列ピット２は深さがり。In FIGS. 1 and 2, the depth of the first series pit 1 is DI%, and the depth of the second series pit 2 is reduced.
で、第二系列ピット２は第一系列ピット１の中に位置し
ており、結果的に両者は分割独立したものとして形成さ
れる。第一系列ピット１と第二系列ピット２はトラック
中心線Ａ−Ａに対して互いに反対の一側と他側に位置さ
れる。深さり、、ＤＩは読出しレーザー光の波長をλと
した場合、それぞれλ／８．λ／４に設定すれば、反射
光の強度レベルを選定することにより、いづれのピット
からの反射光であるかを識別できる。また、読出しレー
ザー光の波長を第一系列の読出しと第二系列の読出しで
変えることによって両者を識別するようにしてもよい。The second series of pits 2 is located within the first series of pits 1, and as a result, both are formed as separate and independent pits. The first series of pits 1 and the second series of pits 2 are located on one side and the other opposite to each other with respect to the track center line AA. Depth, DI are λ/8. When set to λ/4, it is possible to identify which pit the reflected light comes from by selecting the intensity level of the reflected light. Furthermore, by changing the wavelength of the readout laser beam between the first series of readout and the second series of readout, the two may be discriminated.
さらに、第３図に示すように読出し光学系の受光素子を
２分割とすることによって、両者の識別を行うようにし
てもよい。Furthermore, as shown in FIG. 3, the light-receiving element of the reading optical system may be divided into two parts, so that the two can be identified.
第３図は第１図に示したピットを形成した光ディスクの
読出し光学系に用いる２分割受光素子の一例をピットと
共に示す概念図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピット、４は２分割受光素子、４−１．４−２は
それぞれ第一系列ピット用の分割受光素子、第二系列ピ
ット用分割受光素子である。FIG. 3 is a conceptual diagram showing, together with pits, an example of a two-part light-receiving element used in the readout optical system of the optical disc having the pits shown in FIG. , 4 is a two-split light receiving element, and 4-1, 4-2 are a split light receiving element for the first series of pits and a split light receiving element for the second series of pits, respectively.
第３図において、２分割受光素子４はトラック上に正し
くトラッキングされている状態で、それぞれのピットか
らの反射光を区別して読出すことができる。また・、こ
の２分割受光素子を用いてトラッキングと同時に制御す
ることも可能である。In FIG. 3, the two-split light receiving element 4 is correctly tracked on the track, and the reflected light from each pit can be read out separately. Furthermore, it is also possible to perform tracking and control simultaneously using this two-split light receiving element.
第４図は本発明による光ディスクの第二実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピ ′ット、
２は第二系列ピットである。FIG. 4 is a top view of pits showing a second embodiment of the optical disc according to the present invention, in which 1 indicates a first series of pits;
2 is a second series pit.
同図において、第一系列ピット１と第二系列ピット２と
はトラック中心線Ａ−Ａの一側と他側に独立して位置さ
れており、そのＢ−Ｂ断面は前記第２図に示したものと
同様のものとなる。In the figure, the first series of pits 1 and the second series of pits 2 are located independently on one side and the other side of the track center line A-A, and their B-B cross section is shown in FIG. It will be similar to the one you used.
第５図は本発明による光ディスクの第三実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。FIG. 5 is a top view of pits showing a third embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 is a first series of pits and 2 is a second series of pits.
第５図に示した実施例は、第一系列ピット１と第二系列
ピット２とが、トラック方向に対して独立の位置に形成
されたものであり、第一系列ピット列と第二系列ピット
列とがそれぞれ独立にトラック方向に長さ寸法が変化す
るような記録を行ったものを示している。In the embodiment shown in FIG. 5, the first series of pits 1 and the second series of pits 2 are formed at independent positions with respect to the track direction. In this example, recording is performed such that the length of each column changes independently in the track direction.
第６図は本発明による光ディスクの第四実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。FIG. 6 is a top view of pits showing a fourth embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 is a first series of pits and 2 is a second series of pits.
第７図は第６図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一系列
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板であ
る。FIG. 7 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 6, where 1 is a first series of pits, 2 is a second series of pits, and 3 is an optical disk substrate.
第６図、第７図において、第二系列ピット２は第一系列
ピットのトラック方向１端中に位置され、トラック方向
の長さにおいて深さり、の部分を第一系列ピット１、深
さＤ２の部分を第２系列ピット２として示している。In FIG. 6 and FIG. 7, the second series pit 2 is located in one end of the first series pit in the track direction, and has a depth in the track direction. This portion is shown as the second series pit 2.
各ピットの深さり、、Ｄ２は、前記第１図に示した実施
例と同様に、読出し用レーザー光の波長をλとした場合
、それぞれλ／８．λ／４とすることにより、反射光の
強度にレベルを設定することで両者の情報を識別して読
出すことができる。As in the embodiment shown in FIG. 1, the depth of each pit, D2, is λ/8. By setting a value of λ/4, by setting a level for the intensity of the reflected light, it is possible to distinguish and read out both information.
また、読出し用レーザー光の波長を各ピットに対応させ
て選定することにより、両系列の情報を選択して読出す
ことができるようにすることも前記第１図に示した実施
例の場合と同様である。Furthermore, by selecting the wavelength of the reading laser beam corresponding to each pit, it is also possible to selectively read out both series of information, as in the case of the embodiment shown in FIG. The same is true.
第８図は本発明による光ディスクの第五実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
・系列ピット、Ａ−Ａはトラック中心方向を示す。FIG. 8 is a top view of pits showing a fifth embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 indicates the first series of pits, 2 indicates the second series of pits, and AA indicates the track center direction.
同図において、第一系列ピット１に対して第二系列ピッ
ト２がその端部をオーバーラツプして形成されている。In the figure, a second series of pits 2 is formed with the ends of the first series of pits 1 overlapping each other.
第９図は第８図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一系列
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板を示
す。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 8, in which 1 indicates the first series of pits, 2 indicates the second series of pits, and 3 indicates the optical disk substrate.
第８図、第９図において、第一系列ピット１の深さＤｌ
は例えば読出し用レーザー光の波長（λ）に対してλ／
８、第二系列ピット２の深さＤ２はλ／４に設定される
。このような光ディスクの記録情報の読出しも、前記各
実施例と同様に、続出し用光レーザーの反射光レベルの
設定、あるいは該レーザー光の波長を第一系列ピットと
第二系列ピットに対応して選択することにより両者を識
別することができる。In FIGS. 8 and 9, the depth Dl of the first series pit 1
For example, λ/ with respect to the wavelength (λ) of the reading laser beam
8. The depth D2 of the second series of pits 2 is set to λ/4. Reading information recorded on such an optical disc is also performed by setting the reflected light level of the continuous output optical laser or by adjusting the wavelength of the laser light to correspond to the first series of pits and the second series of pits, as in each of the above embodiments. You can distinguish between the two by selecting them.
第１０図は本発明による光ディスクの第六実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットを示す。FIG. 10 is a top view of pits showing a sixth embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 indicates a first series of pits and 2 indicates a second series of pits.
第１１図は第１０図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピットである。FIG. 11 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 10, where 1 is a first series of pits and 2 is a second series of pits.
第１０図、第１１図において、第２系列ピット２は第一
系列ピット１の中に形成され、第一系列ピット１の幅Ｗ
ｌと第二系列ピット２の幅Ｗ２とはＷ。10 and 11, the second series of pits 2 are formed within the first series of pits 1, and the width W of the first series of pits 1
l and the width W2 of the second series pit 2 are W.
〉Ｗ２の関係に形成されている。また、第一系列ピット
の深さＤｌ と第二系列ピットの深さＤ２とは、前記実
施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（λ）に対し
てそれぞれλ／８．λ／４として形成されている。この
各系列のピットの読出しも前記実施例と同様にして行う
ことができる。>W2. Further, the depth Dl of the first series of pits and the depth D2 of the second series of pits are respectively λ/8. It is formed as λ/4. The reading of each series of pits can also be performed in the same manner as in the previous embodiment.
第１２図は本発明による光ディスクの第七実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。FIG. 12 is a top view of pits showing a seventh embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 is a first series of pits and 2 is a second series of pits.
第１３図は第１２図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。FIG. 13 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 12, where 1 is a first series of pits, 2 is a second series of pits, and 3 is an optical disk substrate.
第１２図、第１３図において、第一系列ピット１と第二
系列ピット２とはトラック方向（Ａ−Ａ）に対して全く
独立に形成されており、各々のピットの深さＤＩ、・Ｄ
２は前記実施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（
λ）に対して、それぞれλ／８．λ／４に設定されてい
る。In FIGS. 12 and 13, the first series of pits 1 and the second series of pits 2 are formed completely independently in the track direction (A-A), and the depths of each pit DI, ・D
2 is the wavelength of the reading laser beam (
λ), respectively λ/8. It is set to λ/4.
第１４図は本発明による光ディスクの第八実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。FIG. 14 is a top view of pits showing an eighth embodiment of the optical disc according to the present invention, where 1 is a first series of pits and 2 is a second series of pits.
第１５図は第１４図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。FIG. 15 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 14, where 1 is a first series of pits, 2 is a second series of pits, and 3 is an optical disk substrate.
第１４図、第１５図において、第一系列ピット１と第二
系列ピット２とは、トラック方向（Ａ−Ａ）に関して相
互の位置が無関係に形成されており、第二系列ピット２
は第一系列ピット１の中に位置する場合もあるし、一部
オーバーラップして位置する場合もあり、また完全に独
立して位置する場合もある。この実施例においては、二
つの連続する第二系列ピットは、第一系列ピットの底部
が読出し用レーザー光の反射光が、その読出しを可能と
するレベル以下とはならない様な最小間隔に配置すべき
であることは言うまでもない。14 and 15, the first series of pits 1 and the second series of pits 2 are formed at mutually unrelated positions in the track direction (A-A), and the second series of pits 2
may be located within the first series pit 1, may be located partially overlapping each other, or may be located completely independently. In this embodiment, two consecutive second series pits are arranged at a minimum interval such that the bottom of the first series pit does not cause the reflected light of the reading laser beam to fall below a level that enables reading. It goes without saying that it should be done.
なお、第一系列ピット１と第二系列ピット２の各々の深
さは前記実施例と同様に設定される。Note that the depth of each of the first series of pits 1 and the second series of pits 2 is set in the same manner as in the previous embodiment.
以上説明した各実施例において、各系列のピットの深さ
を読出し波長に対して規定しているが、本発明はこれに
限るものではなく、例えば、各系列のピットの底部を構
成する材料を異ならせて、反射光の偏光面の回転量の差
を検出する形式の光ディスクに適用することによって、
両系列の情報を識別して読出すようにすることもできる
。In each of the embodiments described above, the depth of the pits in each series is defined with respect to the readout wavelength, but the present invention is not limited to this. For example, the material forming the bottom of the pits in each series is defined. By applying this method to optical discs that detect differences in the amount of rotation of the plane of polarization of reflected light,
It is also possible to identify and read out both series of information.
次に、本発明による光ディスクの製造方法について説明
する。Next, a method for manufacturing an optical disc according to the present invention will be explained.
第１６図は本発明による情報記録媒体の製造方法の一実
施例を説明する工程図であって、前記第１図に示した形
状のピットを備えた光ディスクの製造に適した製造方法
例であり、１０はガラス板、２０はフォトレジスト、３
０は第一系列ピット部、４０１第二系列ピット部、５０
は第一系列ピット部形成用レーザー光、６０は第二系列
ピット部形成用レーザー光、７０はニッケル蒸着膜、８
０はニッケルメッキ層、９０は光デイスク基板、１００
は第一系列ピッ・ト、１１０は第二系列ピットである。FIG. 16 is a process diagram illustrating an embodiment of a method for manufacturing an information recording medium according to the present invention, and is an example of a manufacturing method suitable for manufacturing an optical disk having pits having the shape shown in FIG. 1. , 10 is a glass plate, 20 is a photoresist, 3
0 is the first series pit section, 401 is the second series pit section, 50
8 is a laser beam for forming a first series of pits, 60 is a laser beam for forming a second series of pits, 70 is a nickel vapor deposited film,
0 is a nickel plating layer, 90 is an optical disk substrate, 100
110 is a first series pit, and 110 is a second series pit.
同図において、ガラス板１０上に約２０００犬の膜厚で
フォトレジスト層２０をスピンコード法等で被着する（
ａ）、フォトレジスト層２０に対して波長４８８ｎｍの
Ａ、レーザー光を用い、該レーザー光を二種の情報に対
応する二基列の強度で変調しながら露光して第一系列ピ
ット部３０と第二系列ピット部４０に対する潜像３０’
、 ４０°を形成する（ｂ）、レーザー光の変調は音
響・光学変調器（Ａ・０変調器）を用いて強度変調を行
う。In the figure, a photoresist layer 20 is deposited on a glass plate 10 to a thickness of approximately 2000 mm using a spin-coating method or the like (
a) A laser beam having a wavelength of 488 nm is used to expose the photoresist layer 20 while modulating the intensity of two base lines corresponding to two types of information to form the first series of pit portions 30. Latent image 30' for second series pit portion 40
, 40° (b) The laser beam is modulated by intensity modulation using an acousto-optic modulator (A/0 modulator).
第一系列ピット部に対する変調強度はフォトレジスト２
を再生レーザー光の波長（λ）が８３０ｎｍに対してそ
のλ／８の深さで露光されるように、また第二系列ピッ
ト部に対してはλ／４の深さで露光され、λ／４の深さ
が上記フォトレジスト２をガラス板１に達する迄完全に
露光する（底切り）関係となるようにする。The modulation intensity for the first series of pits is photoresist 2.
The reproduction laser beam wavelength (λ) is 830 nm, so that it is exposed to a depth of λ/8, and the second series pit part is exposed to a depth of λ/4, and the second series pit part is exposed to a depth of λ/4. The depth of 4 is such that the photoresist 2 is completely exposed (bottom cut) until it reaches the glass plate 1.
露光した後、アルカリ現像液を用い、現像後の第一系列
ピット部３０と第二系列ピット部４０が上記の深さとな
るよう、例えば現像液濃度５０％、現像時間約３０秒で
処理し、第一系列ピット部３０、第二系列ピット部４０
を得る（Ｃ）。After exposure, processing is performed using an alkaline developer, for example, at a developer concentration of 50% and a development time of about 30 seconds so that the first series pit portion 30 and the second series pit portion 40 after development have the above-mentioned depth, First series pit section 30, second series pit section 40
Obtain (C).
上記各ピット部の形成後、ニッケル（Ｎｉ）膜７０をフ
ォトレジスト全面に蒸着しくｄ）、さらにニラ−ケル層
６をメッキして（ｅ）、ガラス板１０とフォトレジスト
２０を除去することにより、各系列のピット対応凸部３
０”、４０”を有する光デイスク原盤を得る（ｆ）。最
後に、この光デイスク原盤をスタンパ−としてプラスチ
ック等の光デイスク基板９０に各ピット対応凸部を凹部
として転写し、第一系列ピッ）１００と第二系列ピット
１１０を有する光ディスクを得る（ｇ）。After the formation of each of the pits, a nickel (Ni) film 70 is deposited on the entire surface of the photoresist (d), a Nichel layer 6 is further plated (e), and the glass plate 10 and the photoresist 20 are removed. , pit corresponding convex portion 3 of each series
Obtain an optical disk master having 0" and 40" (f). Finally, using this optical disk master as a stamper, the convex portions corresponding to the pits are transferred as concave portions onto an optical disk substrate 90 made of plastic or the like to obtain an optical disk having the first series of pits 100 and the second series of pits 110 (g). .
このようにして形成した光ディスクの第一系列ピット１
００と第二系列ピット１１０の深さを干渉計により測定
した結果、第一系列ピット１００は１０００±５０Ａ、
第二系列ピット１１０は２０００±５０ズとなっており
、これらの寸法は、再生レーザー光の波長λ＝８３０ｎ
ｍに対して、それぞれλ／８．λ／４となっており、深
さがλ／８の第一系列ピット列・とλ／４の第二系列ピ
ット列とが同一トラック上に多重形成された光ディスク
が得られた。First series of pits 1 of the optical disc thus formed
As a result of measuring the depth of 00 and the second series pit 110 with an interferometer, the first series pit 100 is 1000±50A,
The second series pit 110 is 2000 ± 50 zu, and these dimensions are based on the wavelength λ of the reproduction laser beam = 830n.
m, respectively λ/8. λ/4, and an optical disc was obtained in which a first series of pit rows with a depth of λ/8 and a second series of pit rows with a depth of λ/4 were multiplexed on the same track.
第１７図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の一例
を示す構成図であって、１２０はレーザー、１３０．１
８０はハーフミラ−１１４０、１５０゜１６０．１９０
はミラー、２００は第１変調器、２１０は第２変調器、
２２０は集光レンズ、２３０はフォトレジストを被着し
たガラス板である。FIG. 17 is a configuration diagram showing an example of an exposure optical system used in the manufacturing method of the present invention, in which 120 is a laser, 130.1
80 is half mirror 1140, 150°160.190
is a mirror, 200 is a first modulator, 210 is a second modulator,
220 is a condensing lens, and 230 is a glass plate coated with photoresist.
同図において、レーザー１２０からのレーザー光はハー
フミラ−１３０で２分割され、透過した一方はミラー１
４０．１５０を通して他方に対して減衰されて第１変調
器２００に入射する。第１変調器２００は入射したレー
ザー光を第一系列の情報で変調してミラー１６０．ハー
フミラ−１８０゜ミラー１９０を介して集光レンズ２２
０に与え、ガラス板２３０上のフォトレジストを露光す
る。In the same figure, the laser beam from the laser 120 is split into two by a half mirror 130, and the one that passes through the mirror 1
40.150 and enters the first modulator 200 after being attenuated relative to the other. The first modulator 200 modulates the incident laser beam with the first series of information and modulates the incident laser beam to the mirror 160. Condenser lens 22 via half mirror 180° mirror 190
0 and expose the photoresist on the glass plate 230.
またハーフミラ−１３０で反射した他方のレーザー光は
第２変調器２１０に入射し、第二系列の情報で変調し、
ミラー１７０からハーフミラ−１８０に入射し、ここで
前記第１変調器２００からのレーザー光と合流し、ミラ
ー１９０を介して集光レンズ２２０において集光されて
フォトレジストを露光する。The other laser beam reflected by the half mirror 130 enters the second modulator 210 and is modulated with the second series of information.
The light enters the half mirror 180 from the mirror 170, where it joins with the laser light from the first modulator 200, and is condensed by the condenser lens 220 via the mirror 190 to expose the photoresist.
第１８図は第１７図における露光用レーザー光のフォト
レジストに対するスポット形状とその強度を第１６図の
工程図に関して説明する説明図であって、３０は第一系
列ピット部、４０は第二系列ピット部、Ｓｌは第一系列
ピット部露光用レーザー光スポット、Ｓ２は第二系列ピ
ット部露光用レーザー光スポットである。FIG. 18 is an explanatory diagram illustrating the spot shape and intensity of the exposure laser beam on the photoresist in FIG. 17 with reference to the process diagram of FIG. In the pit portion, S1 is a laser beam spot for exposing the first series pit portion, and S2 is a laser beam spot for exposing the second series pit portion.
レーザー光スポットＳ１は、その強度がガラス板上のフ
ォトレジスト２０ （第１６図）を露光用レーザー光の
波長（λ）に対してλ／８の深さに潜像を形成する強度
Ｅ１に選定され、レーザー光スポットＳ２は同じくλ／
４の深さを形成する強度（ここではフォトレジスト膜を
λ／４の厚さに塗布しているので、該フォトレジスト膜
を底切りできる程度の強度）Ｅ２に選定される。なお、
図示の例では、第一系列ピットの中に第二系列ピットが
位置してい・る構成であるから、レーザー光スポットＳ
２はレーザー光スポットＳ１の強度との合成強度がフォ
トレジスト膜の底切りができる強度となるようにすれば
よい。The laser beam spot S1 is selected to have an intensity E1 that forms a latent image on the photoresist 20 (FIG. 16) on the glass plate at a depth of λ/8 relative to the wavelength (λ) of the exposure laser beam. The laser beam spot S2 is also λ/
The strength to form a depth of 4 (here, the photoresist film is applied to a thickness of λ/4, so the strength is enough to cut the bottom of the photoresist film) is selected as E2. In addition,
In the illustrated example, the second series of pits is located within the first series of pits, so the laser beam spot S
2, the combined intensity with the intensity of the laser beam spot S1 should be such that the bottom cut of the photoresist film can be made.
第１９図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の他側
を示す構成図であって、１２０″は他のレーザーで、第
１７図と同一符号は同一部分に対応する。FIG. 19 is a configuration diagram showing the other side of the exposure optical system used in the manufacturing method of the present invention, in which 120'' is another laser, and the same reference numerals as in FIG. 17 correspond to the same parts.
同図の露光光学系は第１７図における強度減衰用のミラ
ー１３０ 、１５０に替えて、レーザー１２０よりも弱
い強度のレーザー、すなわちフォトレジスト膜をλ／８
だけ露光できる強度のレーザー光を発振する他のレーザ
ー１２０°を設けたものである。The exposure optical system in the same figure uses a laser with a weaker intensity than the laser 120, that is, a photoresist film of λ/8, in place of the intensity attenuation mirrors 130 and 150 in FIG.
Another laser 120° is provided which oscillates a laser beam with an intensity sufficient to expose the subject.
第１９図に示した光学系は、前記第４図、第５図に示し
たような各独立形状のピットを形成するのに好適であり
、場合によっては、フォトレジスト膜を２層とし、各フ
ォトレジスト膜の感度に対応した波長のレーザーをレー
ザー１２０，１２０’として設けるようにしてもよい。The optical system shown in FIG. 19 is suitable for forming pits with independent shapes as shown in FIGS. 4 and 5. Lasers 120 and 120' may be provided with a wavelength corresponding to the sensitivity of the photoresist film.
なお、レーザー光の各スポット形状と相互の位置は第１
７図、第１９図における光学系の調整によって任意に設
定可能であり、第６図、第８図。Note that the shape and mutual position of each spot of the laser beam are determined by the first
It can be set arbitrarily by adjusting the optical system in FIGS. 7 and 19, and FIGS. 6 and 8.
第１０図、第１２図、第１４図に示した各ピット形状及
び配置に応じて、それぞれのスポット位置と大きさ、並
びに強度を設定することによって、所望の多重ピットを
形成できる。Desired multiple pits can be formed by setting the respective spot positions, sizes, and intensities according to the pit shapes and arrangements shown in FIGS. 10, 12, and 14.
また、第１７図、第１９図における変調器２００゜２１
０は、周知の音響・光学変調器を用いることができる。Also, the modulator 200° 21 in FIGS. 17 and 19
0, a well-known acoustic/optical modulator can be used.
以上説明したように、本発明によれば、一つのトラック
上に複数系列のピットを形成して、各々のピット系列を
異種の情報系列で変調して多重記録したものとしたり、
同一情報系列を複数系列ピットにて記録することにより
、高密度の情報記録を行うことができるなど、従来技術
に比較して優れた機能の情報記録媒体を提供することが
できる。As explained above, according to the present invention, a plurality of pit series are formed on one track, and each pit series is modulated with different information series to perform multiple recording.
By recording the same information series using a plurality of series of pits, it is possible to provide an information recording medium with superior functions compared to conventional techniques, such as being able to perform high-density information recording.
第１図は本発明による情報記録媒体としての光ディスク
の第一・実施例を示すピットの上面図、第２図は第１図
のＢ−Ｂ断面図、第３図は第１図に示した光ディスクの
読出しを説明する概念図、第４図は本発明による光ディ
スクの第二実施例を示すピットの上面図、第５図は本発
明の光ディスクの第三実施例を示すピットの上面図、第
６図は本発明の光ディスクの第四実施例を示すピットの
上面図、第７図は第６図のＡ−Ａ断面図、第８図は本発
明による光ディスクの第五実施例を示すピットの上面図
、第９図は第８図のＡ−Ａ断面図、第１０図は本発明に
よる光ディスクの第六実施例を示すピットの上面図、第
１１図は第１０図のＡ−Ａ断面図、第１２図は本発明の
第七実施例を示すピットの上面図、第１３図は第１２図
のＡ−Ａ断面図、第１４図は本発明による光ディスクの
第八実施例を示すピットの上面図、第１５図は第１４図
のＡ−Ａ断面図、第１６図は本発明による情報記録媒体
の製造方法の一実施例を説明する工程図、第１７図は本
発明の製造方法に用いる露光光学系の一例を示す構成図
、第１８図は第１７図における露光用レーザー光のフォ
トレジストに対するスポット形状とその強度の説明図、
第１９図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の他側
を示す構成図である。
１−・・−・・・第一系列ピット、２−・−−−−一第
二系列ピット、３・・・−・・−光デイスク基板、４−
−−−−−−２分割受光素子、１０・−・−ガラス板、
２０・・・−フォトレジスト、３０・・・−・−第一系
列ピット部、４０・−−−−−−・第二系列ピット部、
５０．６０−・・−−−−−−レーザー光、７０−−−
−−・−ニッケル蒸着膜、８０−・−・−・ニッケルメ
ッキ層、９０−・−・・−・−光デイスク基板、１００
−・−−−−−・第一系列ピット、１１〇−−−−−−
一第二系列ピット、１２０ 、１２０”−−−−一−−
・レーザー、１３０ 、１８０−・・・・ハーフミラ−
１１４０、１５０、１６０゜１９０−−−−−・−ミラ
ー、２００ ＝−・−第１変調器、２１０−・−・・−
・第２変調器、２２０−・−・−集光レンズ、２３０−
・・−フォトレジストを被着したガラス板。
１Ｎ１図
「Ｂ
第２図
第３図
第４図
第５図
第６図
第７図
第８図
第９図
第１０図
第１１図
第１２図
第１３図
第１４図
第１５図
！ １７図
第１８図FIG. 1 is a top view of pits showing a first embodiment of an optical disk as an information recording medium according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line B-B in FIG. 1, and FIG. 4 is a top view of pits showing a second embodiment of the optical disc according to the present invention; FIG. 5 is a top view of pits showing a third embodiment of the optical disc of the present invention; FIG. FIG. 6 is a top view of pits showing a fourth embodiment of the optical disc of the present invention, FIG. 7 is a sectional view taken along line AA in FIG. 6, and FIG. 8 is a top view of pits showing a fifth embodiment of the optical disc of the present invention. 9 is a sectional view taken along line AA in FIG. 8, FIG. 10 is a top view of a pit showing the sixth embodiment of the optical disc according to the present invention, and FIG. 11 is a sectional view taken along line AA in FIG. 10. , FIG. 12 is a top view of a pit showing a seventh embodiment of the present invention, FIG. 13 is a sectional view taken along line AA in FIG. 12, and FIG. 14 is a top view of a pit showing an eighth embodiment of an optical disc according to the present invention. A top view, FIG. 15 is a sectional view taken along the line A-A in FIG. 14, FIG. 16 is a process diagram illustrating an embodiment of the method for manufacturing an information recording medium according to the present invention, and FIG. A configuration diagram showing an example of the exposure optical system used, FIG. 18 is an explanatory diagram of the spot shape and intensity of the exposure laser beam on the photoresist in FIG. 17,
FIG. 19 is a configuration diagram showing the other side of the exposure optical system used in the manufacturing method of the present invention. 1-----first series of pits, 2------1 second series of pits, 3...--optical disk substrate, 4-
--------Two-split light receiving element, 10...-Glass plate,
20...-photoresist, 30...--first series pit section, 40...-second series pit section,
50.60------ Laser light, 70---
----Nickel vapor deposited film, 80----Nickel plating layer, 90----Optical disk substrate, 100
-・------・First series pit, 110------
1. 2nd series pit, 120, 120"----1---
・Laser, 130, 180---half mirror
1140, 150, 160° 190---------Mirror, 200 =----First modulator, 210------
-Second modulator, 220-...-Condensing lens, 230-
...-Glass plate coated with photoresist. 1N1 Figure "B Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8 Figure 9 Figure 10 Figure 11 Figure 12 Figure 13 Figure 14 Figure 15! Figure 17 Figure 18
Claims (5)
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体において、前記情報記録ピット列は前記トラックの
中心線の一側に形成された第１の深さのピットから成る
第一系列ピット列と、上記中心線の他側に形成された第
２の深さのピットから成る第二系列ピット列とから構成
され、上記第一系列ピット列と第二系列ピット列とに互
いに異なる情報を記録したことを特徴とする情報記録媒
体。(1) Tracks are formed on a disc-shaped substrate made of plastic or the like by concentric rows of information recording pits, and a laser beam is projected onto the rows of information recording pits in a rotating state,
In an information recording medium in which recorded information is read by detecting changes in the reflected light, the information recording pit row is a first series of pits formed on one side of the center line of the track and having a first depth. and a second pit row consisting of pits of a second depth formed on the other side of the center line, and different information is provided to the first pit row and the second pit row. An information recording medium characterized by recording.
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体において、前記情報記録ピット列は前記トラックの
中心線延長方向に第一の深さと第二の深さを有するピッ
トから成り、上記ピットの第一の深さにより第一系列ピ
ット列を構成し、上記ピットの第二の深さにより第二系
列ピット列を構成し、上記第一系列ピット列と第二系列
ピット列とに互いに異なる情報を記録したことを特徴と
する情報記録媒体。(2) Tracks are formed on a disc-shaped substrate made of plastic or the like by concentric rows of information recording pits, and a laser beam is projected onto the rows of information recording pits in a rotating state;
In an information recording medium in which recorded information is read by detecting changes in the reflected light, the information recording pit row is composed of pits having a first depth and a second depth in the direction of extension of the center line of the track, and The first depth of the pits constitutes a first pit row, the second depth of the pits constitutes a second pit row, and the first pit row and the second pit row are mutually connected. An information recording medium characterized by recording different information.
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体の製造方法において、ガラス板等の基体上にフォト
レジスト層を被着し、該フォトレジスト層を各々異なる
情報信号によつて変調された強度の異なる複数のレーザ
ー光を用いて前記トラックを形成する複数系列の情報記
録ピット列を多重露光し現像して上記複数系列の情報記
録ピット列の各々が互いに深さの異なる複数系列のピッ
ト列のパターンとなるごとく上記レジスト層の露光部分
を除去し、この上にニッケル等の原盤材料をメッキし、
上記レジスト層と共に上記ガラス等の基体を剥離除去し
て原盤を得、この原盤を用いて前記プラスチック等の円
盤状基体に該原盤に形成されたピット形状パターンを転
写することによつて上記深さの異なる複数系列のピット
列から成る情報記録媒体を製造することを特徴とする情
報記録媒体の製造方法。(3) Tracks are formed on a disc-shaped substrate made of plastic or the like by a concentric row of information recording pits, and a laser beam is projected onto the row of information recording pits in a rotating state;
In a method for manufacturing an information recording medium in which recorded information is read by detecting changes in reflected light, a photoresist layer is deposited on a substrate such as a glass plate, and each photoresist layer is modulated by a different information signal. The plurality of information recording pit rows forming the track are exposed and developed using a plurality of laser beams of different intensities, so that each of the plurality of information recording pit rows has a plurality of rows of different depths. The exposed portion of the resist layer is removed to form a pattern of pit rows, and a master material such as nickel is plated on top of this.
A master disc is obtained by peeling and removing the base material such as glass together with the resist layer, and the pit-shaped pattern formed on the master disc is transferred to the disc-shaped base material such as plastic using this master disc, thereby achieving the depth described above. 1. A method for manufacturing an information recording medium, comprising manufacturing an information recording medium comprising a plurality of pit rows with different values.
製造方法において、上記複数系列の情報記録ピット列が
、前記トラックの中心線に対して互いに反対側に位置す
るごとく前記複数のレーザー光を配置したことを特徴と
する情報記録媒体の製造方法。(4) In the method for manufacturing an information recording medium according to claim (3), the plurality of information recording pit rows are arranged such that the plurality of information recording pit rows are located on opposite sides of the center line of the track. A method for manufacturing an information recording medium, characterized in that a laser beam is arranged.
製造方法において、上記複数系列の情報記録ピット列が
、前記トラックの中心線上に位置するごとく前記複数の
レーザー光を配置したことを特徴とする情報記録媒体の
製造方法。(5) In the method for manufacturing an information recording medium according to claim (3), the plurality of laser beams are arranged so that the plurality of information recording pit rows are located on the center line of the track. A method for manufacturing an information recording medium characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62090721A JPS63257921A (en) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | Information recording medium and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62090721A JPS63257921A (en) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | Information recording medium and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63257921A true JPS63257921A (en) | 1988-10-25 |
Family
ID=14006413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62090721A Pending JPS63257921A (en) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | Information recording medium and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63257921A (en) |
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