JPS63253258A - 液体の微小流量を検出する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はオイル、薬液などの液体の微小流れ、たとえば
ｌｃｃ／分の流量の流れの有無を検出する微小流量検出
装置に関する。

［従来技術とその問題点］ 従来、機械的な微小流量検出装置は知られている。この
機械的な構造では、液体の流路に開口した精密加工の孔
にシャフトな摺動自在に装着し、このシャフトをばねに
よって内方に押圧している。液体の圧力がシャフトの内
端にかかったときに、このシャフトがばねの押圧力に抗
して外方へ移動させられ、そして、液体の圧力がなくな
ると、シャフトがばねの作用の下に内方へ戻る。このと
き、シャフトの移動をリミットスイッチやセンサによっ
て検出して微小な液体の流れがあったことを知るように
なっている。

このような機械的な構成では、可動部を有するため加工
精度が非常に重要であり、また、シール部の摩擦、ごみ
などを原因とする動作不良が生じやすい。また、シャフ
トを孔内に摺動自在に装着するためにはそれらの間に間
隙が必要であり、液体がこの間隙を通り、シャフトの円
周に沿って漏洩するのを防ぐことはできず、厳密な判定
が困難である。さらには、液体の流れの有無判定の基準
（たとえば、リミットスイッチの作動点）の調整または
変更が困難であり、使用上不都合が多い。

［発明の目的］ 本発明の目的は、まったく可動部を持たないため故障し
にくく、流れを妨げることがないため圧力損失が少なく
、構造が極めて簡単であり、小型、計量化できるため配
管の途中に容易に設置でき、流れの判定基準の設定を容
易に行なえる新規な微小流量検出装置を提供することに
ある。

［構成］ この目的を達成すべく、本発明の微小流量検出装置は液
体管路の内部における流れの本流とその近くのよどみ点
に設置した２つのサーミスタと、これらのサーミスタの
間の電気的バランスをとる第１の電気回路と、或る設楚
値に対してこの電気的バランスが崩れたときにそれを判
定して電気的出力信号を出す第２の電気回路とを包含す
ることを特徴とする。

［作用］ 以上の構成において、２つのサーミスタは通電中に発熱
しており、流れの本流とよどみ点では液体の流れによる
液体への熱の移動に差が生じるので、この差を検出する
ことにより液体の流れの有無を判定できる。

［効果］ よって、本発明によれば、まったく可動部を持たないた
め故障しにくく、流れを妨げることがないため圧力損失
か少なく、構造が極めて簡単であり、小型、計量化でき
るため配管の途中に容易に設置でき、流れの判定基準の
設定を容易に行なえる。

［実施例］ 以下、添付図面を参照しながら本発明の一実施例を説明
する。

第１図を参照して、ここには本発明による微小流量検出
装置の一実施例が示しである。

この実施例において、微小流量検出装置は本体ｌＯを包
含し、この本体の対向した両端にはそれぞれ同心にねし
孔１２が設けてあり、これらのねじ孔１２に液体の微小
流れを検出しようとしている管路が螺合するようになっ
ている。

各ねじ孔１２は直径の小さいメツシュ設置孔１４と連絡
しており、このメツシュ設置孔１４の内端にメツシュ１
６が置かれ、これをリング状のメツシュ押え１８で固定
している。メツシュ設置孔１４の内端はさらに直径の小
さな中間孔２０に連絡している。これら中間孔２０は互
いに連絡孔２２によって連絡している。なお、流れは第
１図に矢印で示すように右から左に流れる。

本体ｌＯの中間にはくぼみ２４が設けてあり、このくぼ
みは２つの横方向孔２６が設けてあり、これらの横方向
孔２６はそれぞれ連絡孔２２と出口側の中間孔２０に通
じている。

これらの横方向孔２６を通じて連絡孔２２と中間孔２０
内にそれぞれサーミスタ３０．３２が設置しである。こ
れらのサーミスタ３０．３２はリード線３４を通じて適
当な電気的検出回路に接続しである。横方向孔２６およ
びくぼみ２４には絶縁材３６が満たしてあり、リード線
３４がこの絶縁材３６に囲まれている。

図示実施例は、第３図に示すような流体の原理に依存し
ている。小径管路４０から大径管路４２に流れがあると
き、小径管路４０から出たところでよどみＡが生じるこ
とは周知のことである。よって１本流の１点Ｂとよどみ
Ａにサーミスタを設定すれば、静止した液体内では２つ
のサーミスタの熱の流れへの移動量に差がないか、少し
でも流れがあれば熱の移動量に差が生じるから、これを
検出すれば流れの有無がわかる。

なお、サーミスタは小型で熱容量のできるだけ小さいも
のを使用すると好ましい。

第１図に示す構成において、サーミスタ３ｏ、３２に或
る一定の電流を流すと、その抵抗値によりこれらのサー
ミスタ３０．３２は発熱し、周囲の液体よりも少し高い
温度になる。液体が静止しているときに、サーミスタ３
０．３２の電流または判定基準を調整し、零バランスを
とっておく。

液体が流れると、流れの本流とよどみ点では流量が大き
く異なるから、サーミスタ３ｏ、３２から流体への熱の
移動に大きな差が発生し、サーミスタ３０．３２の温度
が変化し、サーミスタ３ｏ、３２間のバランスが崩れ、
これを電気的に検出することにより流れの有無を判定で
きる。

サーミスタ３０．３２間の電気的バランスをとる第１の
電気回路とバランスの崩れを判定して検出信号を出力す
る第２の電気回路の例が第２図に示しである。

なお１図示実施例では小径管路から大径管路への流れの
変化に依存して微小流れを検出する原理を説明したが、
流れの態様はこれに限らず、本流とよどみ点が存在する
態様であれば本発明を応用できることは了解されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による微小流量検出装置の実施例を示す
縦断面図である。 第２図は本発明の詳細な説明する図である。 第３図は本発明による微小流量検出装置で用いる電気回
路の一例を示す回路図である。 図面において、Ｉ　Ｏ−・・本体、１２・・・ねじ孔、
１４・・・メツシュ設置孔、１６・・・メツシュ、ｌ　
８−・・メツシュ押え、２０−・・中間孔、２２−・・
連絡孔。 ２４・・・くぼみ、２６−・・横方向孔、３０．３２−
・・サーミスタ、３４−・・リード線、３６・・・絶縁
材代理人　弁理士　　河　野　　昭 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 液体管路の内部における流れの本流とその近くのよどみ
   点に設置した２つのサーミスタと、これらのサーミスタ
   の間の電気的バランスをとる第１の電気回路と、或る設
   定値に対してこの電気的バランスが崩れたときにそれを
   判定して電気的出力信号を出す第２の電気回路とを包含
   することを特徴とする微小流量検出装置。