JPS6324139A - Measuring method for particle size - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、微粒子の粒径を測定する方法に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a method for measuring the particle size of microparticles.
散乱光強度ゆらぎのパワースペクトル密度を利用して粒
径を測定する従来の技術として特開昭６１−２８８６６
号公轢がある。この中で、微粒子に輻射線を投射して得
られる散乱光の強度ゆらぎのパワースペクトル密度の緩
和周波数が微粒子の粒径に反比例する関係を利用し、粒
径が未知の微粒子にっいて求められた緩和周波数から粒
径を測定することが記載されている。A conventional technique for measuring particle size using the power spectrum density of scattered light intensity fluctuation is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-28866.
There is a public issue. In this method, the relaxation frequency of the power spectral density of the intensity fluctuation of scattered light obtained by projecting radiation onto a fine particle is inversely proportional to the particle size, and the relaxation frequency is inversely proportional to the particle size. It has been described that the particle size can be measured from the relaxation frequency.
従来の粒径の測定方法では、パワースペクトル密度の緩
和周波数から粒径を決めていたため、緩和周波数を正確
に求める必要があった。また、広範にわたる周波数域か
ら１点の緩和周波数を正確に決定するのはむずかしかっ
た。In the conventional particle size measurement method, the particle size was determined from the relaxation frequency of the power spectrum density, so it was necessary to accurately determine the relaxation frequency. Furthermore, it is difficult to accurately determine the relaxation frequency at one point from a wide frequency range.
本発明は、このような問題点を解決する新しい粒径の測
定方法を提供する。The present invention provides a new particle size measurement method that solves these problems.
本発明は、微粒子を含むサンプル中に輻射線を投射し、
微粒子による散乱光を検知し、この検知出力のパワース
ペクトル密度のホワイトレベルに基づいて微粒子の粒径
を測定することを特徴とする粒径の測定方法である。The present invention projects radiation into a sample containing particulates,
This method of measuring particle size is characterized by detecting light scattered by particles and measuring the particle size of the particles based on the white level of the power spectrum density of the detection output.
微粒子による散乱光強度のパワースペクトル密度のホワ
イトレベルは、微粒子の粒径に比例する。The white level of the power spectrum density of the intensity of scattered light by the fine particles is proportional to the particle size of the fine particles.
したがって、粒径がわかっていない微粒子による散乱光
強度のパワースペクトル密度のホワイトレベルから微粒
子の粒径がわかる。Therefore, the particle size of the fine particles can be determined from the white level of the power spectrum density of the intensity of scattered light due to the fine particles whose particle size is unknown.
第１図は本発明の方法を実施する粒径測定装置の一実施
例を示す図である。輻射線としては、コヒーレント光ま
たはインコヒーレント光を用いることができ、本実施例
では光源１としてコヒーレント光を放出するＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザー（波長６３２．８ｎｍ）を設ける。光源１
から放射される光束２をハーフミラ−３により光束４と
光束５とに分離する。一方の光束４を集光レンズ６によ
り集光して透明なセルフに投射する。他方の光束５を光
検出器８に入射させ、光源１の出力光強度の変動を表わ
すモニタ信号に変換する。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a particle size measuring apparatus for carrying out the method of the present invention. As the radiation, coherent light or incoherent light can be used. In this example, the light source 1 is He-Ne which emits coherent light.
A gas laser (wavelength: 632.8 nm) is provided. light source 1
A light beam 2 emitted from the light beam 2 is separated into a light beam 4 and a light beam 5 by a half mirror 3. One of the light beams 4 is condensed by a condensing lens 6 and projected onto a transparent self. The other light beam 5 is made incident on a photodetector 8 and converted into a monitor signal representing fluctuations in the output light intensity of the light source 1.
セルフの中に微粒子を含むサンプルを収容する。A sample containing fine particles is contained within the cell.
セルフ中の微粒子９によって散乱された散乱光を、一対
のピンホールを存するコリメータ１０を経て光電子増倍
管より成る光検出器１１に入射させる。光検出器８の出
力モニタ信号は低雑音増幅器１３を経てデータ処理装置
１４に供給する。また、光検出器１】の出力信号を低雑
音増幅器１５および低域通過フィルタ１６を経てデータ
処理装置１４に供給する。データ処理装置１４にはＡ／
Ｄ変換部１７、高速フーリエ変換部１８および演算処理
部１９を設け、後述するような信号処理を行ない、粒径
の測定結果を出力する。この測定結果は表示装置２０に
供給して表示する。Scattered light scattered by the fine particles 9 in the self is made to enter a photodetector 11 consisting of a photomultiplier tube through a collimator 10 having a pair of pinholes. The output monitor signal of the photodetector 8 is supplied to a data processing device 14 via a low noise amplifier 13. Furthermore, the output signal of the photodetector 1 is supplied to a data processing device 14 via a low-noise amplifier 15 and a low-pass filter 16. The data processing device 14 includes A/
A D conversion section 17, a fast Fourier transform section 18, and an arithmetic processing section 19 are provided to perform signal processing as described later and output measurement results of particle diameters. This measurement result is supplied to the display device 20 and displayed.
セルフからの散乱光強度は、光検出器８からの光源強度
モニタ信号の短時間平均値出力によって規格化され、光
源から放射される光強度の変動を除去した後、散乱光の
強度ゆらぎのパワースペクトル密度を求め、これに基い
てセルフ中の微粒子９の粒径の測定を行なう。The intensity of the scattered light from the self is normalized by the short-time average output of the light source intensity monitor signal from the photodetector 8, and after removing fluctuations in the light intensity emitted from the light source, the power of the intensity fluctuation of the scattered light is The spectral density is determined, and based on this, the particle size of the fine particles 9 in the self is measured.
第２図は第１図に示したコリメータ１０の詳細な構成を
示す図である。本例のコリメータ１０は空洞構造となっ
ており、空ｍＬＯａは外光の影響を除くために暗箱構造
となっており、その内面は反射防止構造となっている。FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of the collimator 10 shown in FIG. 1. The collimator 10 of this example has a hollow structure, and the hollow mLOa has a dark box structure to eliminate the influence of external light, and its inner surface has an antireflection structure.
空胴１０ａの前後にはピンホール１０ｂおよび１０ｃを
形成する。今、これらピンホール１０ｂおよび１０ｃの
半径をそれぞれａｌおよびａｚ、 ピンホール間の距離
をり、空１１１０ａの内部媒体の屈折率をｎ、波長をλ
とするとき、次式（１）を満足するように構成する。Pinholes 10b and 10c are formed before and after the cavity 10a. Now, let the radius of these pinholes 10b and 10c be al and az, respectively, the distance between the pinholes be n, the refractive index of the internal medium of the sky 1110a be n, and the wavelength be λ.
When, the following formula (1) is satisfied.
λ
本発明では、上述したように散乱光の強度ゆらぎのパワ
ースペクトル密度を検出するが、このパワースペクトル
密度は、微粒子が波長程度の距離を拡散してゆくことに
よる干渉成分のゆらぎによる項と、散乱体積への微粒子
の出入りによって生する粒子数のゆらぎによる項とから
成っている。λ In the present invention, as described above, the power spectral density of the intensity fluctuation of the scattered light is detected, but this power spectral density includes a term due to the fluctuation of the interference component due to the diffusion of the fine particles over a distance of about the wavelength, It consists of a term due to fluctuations in the number of particles caused by the movement of particles into and out of the scattering volume.
この内、干渉による散乱光のゆらぎはスペックルパター
ンの空間的なゆらぎとして観測されるが、これをそのま
ま広い受光面を持った光検出器１１に入射させると、受
光面の面積に亘って空間的な平滑化が行なわれるので、
検出されるゆらぎは小さくなってしまう。そこで上述し
たようなピンホールを有するコリメーター０を用いて光
検出器１１の視野を限定することにより、ゆらぎを高感
度で検出することができるようになる。本実施例では上
式（１）を満足させるには、空胴１０ａ内の媒体は屈折
率ｎ＝１の空気で十分実用的である。すなわち、直径０
，３１のピンホール１０ｂ、１０ｃを３０ｃ＋＋＋Ｊｔ
ｔｆしたコリメータ１０を用いれば上式（１）は満足さ
れることになる。Of these, fluctuations in scattered light due to interference are observed as spatial fluctuations in the speckle pattern, but if this is directly incident on the photodetector 11, which has a wide light-receiving surface, the light will be scattered spatially over the area of the light-receiving surface. Since smoothing is performed,
The detected fluctuation becomes small. Therefore, by limiting the field of view of the photodetector 11 using the collimator 0 having a pinhole as described above, fluctuations can be detected with high sensitivity. In this embodiment, in order to satisfy the above formula (1), it is practical enough to use air with a refractive index n=1 as the medium in the cavity 10a. That is, diameter 0
, 31 pinholes 10b and 10c are 30c+++Jt
If the collimator 10 with tf is used, the above formula (1) will be satisfied.
上述した実施例においては、セルフに入射する光束４の
方向と、コリメータ１０の光軸方向とを９０６とし、入
射光束は直接光検出器１１に入射しないホモダイン法を
採用したが、入射光束の一部を光検出器１１に入射させ
るヘテロゲイン法を採用することもできる。すなわち、
第３図に示すようにセルフへの入射光束４とコリメータ
１０の光軸との成す角度θは任意にとることができる。In the embodiment described above, the direction of the light beam 4 incident on the self and the optical axis direction of the collimator 10 are set to 906, and the homodyne method is adopted in which the incident light beam does not directly enter the photodetector 11. It is also possible to adopt a heterogain method in which the light beam is incident on the photodetector 11. That is,
As shown in FIG. 3, the angle θ formed between the light beam 4 incident on the self and the optical axis of the collimator 10 can be set arbitrarily.
ここでホモダイン的に散乱光を検出する場合には、光電
子増倍管より成る光検出器１１の出力信号は、散乱光の
電界強度をＥｓとすると、その自乗の平均値■７に比例
したものとなり、散乱光と入射光とを併わせで検出する
ヘテロダイン的検出の場合には、直接の入射光の電界強
度を百７とすると、光検出器１１の出力信号は、
］］１四−＋＝旧−ｓ ） ２ ＝百７＋２百ｅ
、Ｅｓ−十百７となる。ここでＩ「はゆらぎがな（（
もしあったとＬ７でも散乱光のゆらぎに比べて緩っくす
している）、残りの２つの項はゆらぐ。また、散乱光強
度は入射光に比べてきわめて弱し゛ので、２Ｅｅ ・
Ｅｓ ＞＞Ｅｓ”となるので散乱光の電界の振幅百７に
ほぼ比例した出力信号が得られることになる。When detecting the scattered light in a homodyne manner, the output signal of the photodetector 11 consisting of a photomultiplier tube is proportional to the average value of the square of the electric field strength of the scattered light (Es). In the case of heterodyne detection in which scattered light and incident light are detected together, assuming that the electric field strength of the directly incident light is 107, the output signal of the photodetector 11 is: ]]14−+ = old - s ) 2 = 1007 + 200e
, Es-107. Here I ``ha yuragi gana ((
If there were, the remaining two terms would fluctuate even at L7 (it would be slower than the fluctuation of the scattered light). Also, since the intensity of the scattered light is extremely weak compared to the incident light, 2Ee ・
Since "Es >>Es", an output signal approximately proportional to the amplitude of the electric field of the scattered light can be obtained.
また、コリメータ１０も上述した構成に限定されるもの
ではなく、光検出器１１の視野を１スペツクルパターン
以下に制限できるものであれば任意の構成とすることが
できる。Further, the collimator 10 is not limited to the above-mentioned configuration, but may have any configuration as long as it can limit the field of view of the photodetector 11 to one speckle pattern or less.
上述した装置を用い、光検出器１１の出力信号を低域通
過フィルタ１６を経てデータ処理装置１４へ供給し、光
検出器８からのモニタ信号と共に処理をして散乱光の強
度ゆらぎのパワースペクトル密度を求めた結果を次に説
明する。ここで定常確率過程ｘ（ｔ）のパワースペクト
ル密度Ｓ （ｆ）は、次のように表わすことができる。Using the above-mentioned device, the output signal of the photodetector 11 is supplied to the data processing device 14 through the low-pass filter 16, and processed together with the monitor signal from the photodetector 8 to obtain the power spectrum of the intensity fluctuation of the scattered light. The results of determining the density will be explained next. Here, the power spectral density S (f) of the stationary stochastic process x(t) can be expressed as follows.
この（２）式をもとに高度フーリエ変換を用いてパワー
スペクトル密度の計算を行なう。すなわち、光検出器１
１からの出力信号を低雑音増幅器１５により、データ処
理装置１４におけるＡ／Ｄ変換の量子化レベルを信号の
値域ができるだけ広くおおうように増幅し、この量子化
したデータをマイクロプロセッサによって演算処理して
パワースペクトル密度を求めた。Based on this equation (2), the power spectral density is calculated using advanced Fourier transform. That is, photodetector 1
The output signal from 1 is amplified by a low noise amplifier 15 so that the quantization level of A/D conversion in the data processing device 14 is covered as wide as possible, and this quantized data is processed by a microprocessor. The power spectral density was determined.
第４図は、直径０．２１２μｍの球状ラテックス粒子に
よる散乱光の強度ゆらぎのパワースペクトル密度である
。ラテックス濃度は０．２３ｗｔ％である。FIG. 4 shows the power spectrum density of intensity fluctuations of scattered light by spherical latex particles with a diameter of 0.212 μm. The latex concentration is 0.23 wt%.
パワースペクトル密度は低い周波数領域ではホワイトと
なり、高い周波数領域では周波数の増加に伴って低下し
ていく傾向が見られる。The power spectral density becomes white in the low frequency range, and tends to decrease as the frequency increases in the high frequency range.
ホワイトレベルの
次に、このようにして求められたパワースペクトル密度
のホワイトレベルを求める方法について説明する。Next to the white level, a method for determining the white level of the power spectral density thus determined will be explained.
第１の方法は、先ず所定間隔△離れた周波数ｆａｎｆ、
、ｆ、、・・・・・・＋Ｌ・・・・・・、 （ｆ、−
ｆ、％−１−△）に対応するパワースペクトル密度５（
ｆｏ）、 ５（ｆｌ）、 ５（ｆｔ）。The first method is to first set the frequency fanf at a predetermined interval Δ,
,f,,...+L..., (f,-
The power spectral density 5(
fo), 5(fl), 5(ft).
５（ｒ３）、・・・、 Ｓ（ｆ、）、・・・を順次に
比較し、数個または士数個の所定数のデータが連続して
減少したとき最初に低下し始めたデータの１つ前のデー
タを以って屈曲点の周波数ｆｐとする１次に平均値丁と
する。5(r3), ..., S(f,), ... are compared sequentially, and when a predetermined number of data decreases continuously, the data that first starts to decrease is calculated. The previous data is used as the first-order average value, which is the frequency fp of the bending point.
第５図は第２の方法によりホワイトレベルを求める順次
の工程を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing the sequential steps of determining the white level by the second method.
第２の方法は、測定データをＡ／Ｄ変換した後、高速フ
ーリエ変換部に供給してパワースペクトル密度Ｓ （ｆ
）を求める。これは、第６図Ａに示すように小さな変動
分を多く含んでいる。次にこれをフーリエ変換し第６図
Ｂに示すような信号を得る。The second method is to A/D convert the measurement data and then supply it to the fast Fourier transform section to power spectral density S (f
). This includes many small fluctuations as shown in FIG. 6A. Next, this is Fourier-transformed to obtain a signal as shown in FIG. 6B.
さらに、これを周波数ｆｃ以下の信号を通すディジタル
フィルタより成るローパスフィルタに通した後、逆フー
リエ変換を施すと第６図Ｃに示すように滑らかなパワー
スペクトル密度が得られる。Furthermore, when this is passed through a low-pass filter consisting of a digital filter that passes signals below frequency fc, and then subjected to inverse Fourier transform, a smooth power spectrum density is obtained as shown in FIG. 6C.
このような前処理を行なった後、上述した第１の方法の
場合と同様に屈曲点の周波数ｆｐを求め、子弟７図は粒
径が既知の球状ラテックス粒子を０゜４ｗｔ％で水性液
体媒体中に懸濁させた標準サンプルのパワースペクトル
密度Ｓ （ｆ）のホワイトレベル丁と粒径との関係を示
すグラフである。パワースペクトル密度のホワイトレベ
ルＴは粒径に比例して変化している。このことは粒径が
未知の微粒子の粒径をパワースペクトル密度のホワイト
レベルから測定できることを示している。After performing such pre-treatment, the frequency fp of the bending point is determined in the same manner as in the first method described above. 2 is a graph showing the relationship between the white level of the power spectral density S (f) of a standard sample suspended in the sample and the particle size. The white level T of the power spectral density changes in proportion to the particle size. This shows that the particle size of fine particles whose particle size is unknown can be measured from the white level of the power spectrum density.
較」９０仁Ｚ９」１戎
サンプル中に含まれている微粒子の粒径を測定するため
にホワイトレベルから粒径を求める較正ラインを作成す
る。第８図に較正ライン作成のフローチャートを示す。1. To measure the particle size of fine particles contained in the sample, a calibration line is created to determine the particle size from the white level. FIG. 8 shows a flowchart for creating a calibration line.
まず、重量濃度一定で調整された粒径の異なる標準サン
プルを複数用意する。次に、粒径の異なる標準サンプル
の各々について、散乱光強度を測定し測定データを得る
。測定データをＡ／Ｄ変換した後に、ＦＦＴにかけパワ
ースペクトル密度を求め上述した第１または第２の方法
によりホワイトレベルを算出する。次に、得られた複数
のホワイトレベルから粒径−ホワイトレベルの関係、φ
（ｘ、 ｓ ） ＝ ａ ｓ ＋ ｂ ・−・−
−−−・（３１を求める。ここで、φ （ｘ、ｓ）は、
ある重量濃度ｘ ｗ ｔ％での粒径の大きさ、丁はホワ
イトレベル、ａは傾き、ｂは初期値である。First, a plurality of standard samples with different particle sizes adjusted to a constant weight concentration are prepared. Next, the scattered light intensity is measured for each of the standard samples having different particle sizes to obtain measurement data. After the measurement data is A/D converted, it is subjected to FFT to obtain the power spectrum density and the white level is calculated using the first or second method described above. Next, from the obtained multiple white levels, the relationship between particle size and white level, φ
(x, s) = a s + b ・−・−
−−・(31 is determined. Here, φ (x, s) is
The size of the particle size at a certain weight concentration x w t %, where is the white level, a is the slope, and b is the initial value.
この（３）式はサンプルの測定を容易に行なう上から複
数の重量濃度についてあらかじめ作成しておく。This equation (3) is prepared in advance for a plurality of weight concentrations in order to facilitate sample measurement.
粒径の測定 粒径測定のフローチャートを第９図に示す。Measurement of particle size A flowchart of particle size measurement is shown in FIG.
最初にサンプル中に含まれる微粒子の重量濃度を測定し
、較正ラインが作成されている重量濃度に一致するよう
に懸濁媒体で希釈等を行ない重量濃度を調整する。所定
の重量濃度に調整したサンプルをセルフに収容し、第１
図に示す装置にセットし、サンプル中の微粒子の散乱光
強度を測定し、パワースペクトル密度のホワイトレベル
容を算出し、（３）式からサンプル中の微粒子の粒径を
求め、表示装置２０に表示する。First, the weight concentration of fine particles contained in the sample is measured, and the weight concentration is adjusted by diluting with a suspending medium so that it matches the weight concentration for which a calibration line has been created. The sample adjusted to a predetermined weight concentration is stored in a self-contained cell, and the first
It is set in the device shown in the figure, measures the scattered light intensity of the particles in the sample, calculates the white level capacity of the power spectrum density, calculates the particle size of the particles in the sample from equation (3), and displays it on the display device 20. indicate.
上述した実施例においては、第１図に示す装置を用いて
標準サンプルおよび粒径を測定すべきサンプル中に含ま
れる微粒子のパワースペクトル密度を測定しているが、
本発明では微粒子による散乱光強度からパワースペクト
ル密度を測定することができる装置であればすべて使用
できる。−例を第１０図に示す。In the above embodiment, the power spectrum density of fine particles contained in the standard sample and the sample whose particle size is to be measured is measured using the apparatus shown in FIG.
In the present invention, any device that can measure the power spectrum density from the intensity of light scattered by fine particles can be used. - An example is shown in FIG.
第１Ｏ図は微粒子による多重散乱光のパワースペクトル
密度から粒径を測定する装置を示す。第１図と同一部分
には同一の符号を付し、詳細は省略する。光束４の光路
上に偏光Ｆｉ、２１．２２をセルフを挟むように設置し
ている点が第１図と異なる。偏光板２２は偏光板２１の
偏光方向と９０°の偏光成分のみを通過するように設け
られている。したがって、セルフに入射した直線偏光の
直交偏光（ｃｒｏｓｓ ｐｏｌａｒｔｚａｔｉｏｎ）の
みを光検出器１１が検知する。球状微粒子の１８０°敗
乱光は入射光と同じ偏光成分を持つために偏光板２２で
カットされ、入射光と異なる偏光成分を持つ多重散乱光
のみが偏光板を通過する。したがって微粒子による多重
散乱光からパワースペクトル密度を求め、このパワース
ペクトル密度のホワイトレベルから粒径を測定できる。FIG. 1O shows an apparatus for measuring particle size from the power spectrum density of multiple scattered light by fine particles. The same parts as in FIG. 1 are given the same reference numerals, and details are omitted. The difference from FIG. 1 is that the polarized light Fi, 21, 22 is placed on the optical path of the light beam 4 so as to sandwich the self. The polarizing plate 22 is provided so that only the polarized light component at 90 degrees to the polarization direction of the polarizing plate 21 passes through. Therefore, the photodetector 11 detects only the cross polarization of the linearly polarized light incident on the self. Since the 180° scattered light of the spherical fine particles has the same polarization component as the incident light, it is cut by the polarizing plate 22, and only the multiple scattered light having a different polarization component from the incident light passes through the polarizing plate. Therefore, the power spectral density is determined from the multiple scattered light by the fine particles, and the particle size can be measured from the white level of this power spectral density.
本発明は等方性微粒子はもちろんのこと、異方性微粒子
に適用できる。異方性が高い微粒子でも入射光の波長の
１０分の１以下のオーダーの微粒子であれば等方性微粒
子と同様のふるまいをする。The present invention is applicable not only to isotropic fine particles but also to anisotropic fine particles. Even highly anisotropic particles behave in the same way as isotropic particles if they are on the order of one-tenth or less of the wavelength of incident light.
以上、本発明はラテックス製造過程における粒径の測定
、大気、工場排水中の各種微粒子の粒径測定等に利用可
能である。As described above, the present invention can be used to measure the particle size in the latex manufacturing process, and to measure the particle size of various fine particles in the atmosphere and factory wastewater.
本発明によれば、微粒子による散乱光のパワースペクト
ル密度のホワイトレベルから粒径を測定することができ
る。According to the present invention, the particle size can be measured from the white level of the power spectrum density of light scattered by the particles.
第１図は本発明を実施する粒径測定装置の一実施例を示
す図、
第２図は第１図のコリメータ１０の拡大図、第３図は第
１図の変形例を示す図、
第４図は粒径０．２１２μｍのラテックス粒子による散
乱光のパワースペクトル密度を示すグラフ、
第５図はホワイトレベルを求める工程を示すフローチャ
ート、
第６図Ａ、Ｂ、Ｃはパワースペクトル密度曲線を滑らか
にする方法を説明するためのグラフ、第７図は０．４ｗ
ｔ％のラテックス懸濁液を用いてホワイトレベルと粒径
との関係を示したグラフ、
第８図は較正ラインを作成する工程を示すフローチャー
ト、
第９図はサンプル中に含まれる微粒子の粒径を測定する
工程を示すフローチャート、第１０は第１図に示した粒
径測定装置の変形例を示す図である。
１・・・光源 ２，４．５・・・光束３・・・
ハーフミラ−６・・・集光レンズ７・・・セル
８，１１・・・光）灸出器９・・・微粒子
１０・・・コリメータ１３、１５・・・低雑音増幅
器 １４・・・データ処理装置１６・・・低域通過
フィルタ ２０・・・表示装置２１．２２・・・偏光板1 is a diagram showing an embodiment of a particle size measuring device implementing the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of the collimator 10 in FIG. 1, FIG. 3 is a diagram showing a modification of FIG. 1, Figure 4 is a graph showing the power spectrum density of scattered light by latex particles with a particle size of 0.212 μm. Figure 5 is a flowchart showing the process of determining the white level. Figure 6 A, B, and C are smooth power spectrum density curves. A graph to explain how to
A graph showing the relationship between white level and particle size using a t% latex suspension. Figure 8 is a flowchart showing the process of creating a calibration line. Figure 9 is the particle size of fine particles contained in the sample. FIG. 10 is a flowchart showing the process of measuring the particle size measuring device shown in FIG. 1. FIG. 1... Light source 2, 4.5... Luminous flux 3...
Half mirror 6...Condensing lens 7...Cell
8, 11...light) moxibustion device 9...fine particles
10...Collimator 13, 15...Low noise amplifier 14...Data processing device 16...Low pass filter 20...Display device 21.22...Polarizing plate
Claims (1)
による散乱光を検知し、この検知出力のパワースペクト
ル密度のホワイトレベルに基づいて微粒子の粒径を測定
することを特徴とする粒径の測定方法。Particle size measurement characterized by projecting radiation into a sample containing fine particles, detecting light scattered by the fine particles, and measuring the particle size of the fine particles based on the white level of the power spectrum density of this detection output. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61055852A JPS6324139A (en) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | Measuring method for particle size |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61055852A JPS6324139A (en) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | Measuring method for particle size |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324139A true JPS6324139A (en) | 1988-02-01 |
Family
ID=13010576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61055852A Pending JPS6324139A (en) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | Measuring method for particle size |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324139A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015012004A1 (en) * | 2013-07-23 | 2015-01-29 | ソニー株式会社 | Particle analysis device and particle analysis method |
| CN108426864A (en) * | 2017-11-21 | 2018-08-21 | 苏州赛德福科学仪器有限公司 | A kind of fluorescence excitation device of fluorescence detector |
-
1986
- 1986-03-13 JP JP61055852A patent/JPS6324139A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015012004A1 (en) * | 2013-07-23 | 2015-01-29 | ソニー株式会社 | Particle analysis device and particle analysis method |
| CN105393104A (en) * | 2013-07-23 | 2016-03-09 | 索尼公司 | Particle analysis device and particle analysis method |
| JPWO2015012004A1 (en) * | 2013-07-23 | 2017-03-02 | ソニー株式会社 | Particle analyzer and particle analysis method |
| US10031063B2 (en) | 2013-07-23 | 2018-07-24 | Sony Corporation | Particle analysis apparatus and method for optically detecting particles |
| CN108426864A (en) * | 2017-11-21 | 2018-08-21 | 苏州赛德福科学仪器有限公司 | A kind of fluorescence excitation device of fluorescence detector |
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