JPS63234203A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はアクティブマトリックス型やマルチプレック
ス型のカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの製造方法に関する。

（従来の技術） 近年、液晶を用いた表示装置はカラー化の要求が強くな
り、Ｔ　Ｎ　（Ｔｗｉｓｔｅｄ　Ｎａｍａｔｉｃ）型で
カラーフィルターを配設するものが主流になっている。

第３図は薄膜トランジスタ（ＴＰＴ）を備えたアクティ
ブマトリックス型で、この種の表示装置の一例を示す断
面図である。同図において、ガラス基板■の一生面上に
はゲート電極■、ゲート絶縁膜■、半導体層（へ）、ソ
ース市−〇及びドレイン電極（ｅから構成されるＴＰＴ
と、一端がソース電極■に接続されている表示電極■が
形成され、更にこれらを覆うように配向膜（８）が形成
されており、アレイ基板０が得られる。一方、ガラス基
板（１（１）上にはカラーフィルター（１１）、保護膜
（１２）　、共通電極（１３）及び配向膜（１４）が順
次形成されて対向基板（１５）が得られる。そしてアレ
イ基板０と対向基板（１５）とは、周囲のシール剤（図
示せず）により対向配置され、その間隙には液晶層（１
６）が挟持されている。

そしてカラーフィルター（１１）の形成方法としては、
基板上に有機高分子物質膜を塗布した後、所定部をレジ
ストで覆うことにより選択的に染色を行う方法（例えば
特公昭５２−４６７７６号公報記載）１着色剤等を配合
してなるインキによる層を印刷により形成する方法及び
電着方式等が今までに知られている。

（発明が解決しようとする問題点） ところがこれらの方式は、いずれも次に述べるような欠
点を有している。即ち、まず染色方式や電着方式におい
ては、各色のフィルターを形成するごとに所定部を例え
ばレジストで被覆する必要があるので、工程が長くかか
る。また印刷方法では、印刷を繰り返すごとに凹凸が生
じ、メツシュの基板への接触が悪くなるために誤差が考
慮される結果、微細パターンの作成には不向きである。

この発明は、工程が従来に比べ少なく微細パターンの形
成が可能なカラーフィルターのＦ！造六方法提供を目的
とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は基板上に有機光導電膜を形成した後、例えば
赤色、緑色及び青色の各顔料ごとに有機光導電膜を所定
の極性に帯電させる工程と、有機光導＠膜の一部を露光
して帯電を除く工程と、顔料を有機光導ｍ膜上に静電気
的に被着する工程とを順次繰り返すことを特徴としてい
る。

（作　　用） この発明は、複写機等で知られている電子写真技術をカ
ラーフィルターの形成に活用したものであり、例えば各
色のフィルターを形成する際に所定のレジストパターン
を形成する手間が省け、簡単な工程で微細なパターンの
形成が可能である。

（実　施　例） 以下、この発明の詳細を図面を参照して説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す図であり、これにつ
いて製造工程に従って述べる。

まず、１０ｃｍ角のガラスからなる基板（２（１）の−
主面上に、例えばＩ　Ｔ　Ｏ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｌｎ　
０ｘｉｄｅ）からなる導電体（２１）をスパッタリング
法により約０．３μｓの厚さに形成する。次に有機光Ｒ
電［（２２）として、例えばポリビニルカルバゾールを
有機溶剤に溶解した溶液を導電体（２１）上に、スピン
ナーにより約０　、５４の厚さに塗布し、６０℃の温度
で乾燥する。

そして有機光導電膜（２２）の表面にコロナ放電により
正の電荷を帯電させた後、マスクを用いて赤色のフィル
ターの形成予定部具外を高圧水銀灯光で露光する。この
光照射により、赤色のフィルターの形成予定部具外での
有機光導電膜（２２）には光キャリアが発生し、帯電し
た正の電荷を中和する。

次に赤色の顔料（２３）として、負に帯電させた平均粒
径０．１−のＦａ、Ｏａの微粉末とパラフィン等の接着
剤の混合体を塗布した後、７０℃で１０分間加熱して接
着力を強化し、赤色のフィルターを形成する。

続いて同じく有機光導電膜（２２）の表面にコロナ放電
により正の電荷を帯電させた後、マスクを用いて緑色の
フィルターの形成予定部具外を高圧水銀灯光で露光する
。この光照射により、緑色のフィルターの形成予定部具
外での有機光導電膜（２２）には光キャリアが発生し、
帯電した正の電荷を中和する６次に緑色の顔料（２４）
として、負に帯電させた平均粒径０．０？、のマラカイ
トグリーン粉末とパラフィン等の接着剤の混合体を塗布
した後、７０℃で１０分間加熱して接着力を強化し、緑
色のフィルターを形成する。続いて同じく有機光導電膜
（２２）の表面にコロナ放電により正の電荷を帯電させ
た後、マスクを用いて青色のフィルターの形成予定部具
外を高圧水銀灯光で露光する。この光照射により、青色
のフィルターの形成予定部具外での有機光導電膜（２２
）には光キャリアが発生し、帯電した正の電荷を中和す
る１次に青色の顔料（２５）として、負に帯電させた平
均粒径０．２μｓのウルトラマリン粉末とパラフィン等
の接着剤の混合体を塗布した後、７０℃で１０分間加熱
して接着力を強化し、青色のフィルターを形成する。こ
うして、有機光導電膜（２２）の露光領域は赤色、緑色
及び青色の顔料（２３）、　（２４）、　（２５）の被
着を予定しない部分であり、Ｓｔ料（２３）、　（２４
）、　（２５）は被着前に所定の極性とは反対の極性で
ある負に帯電させておくことによって、顔料（２３）、
　（２４）、　（２５）を有機光尊重ｇ　（２２）上に
静電気的に被着した後、保護層（２６）としてアクリル
樹脂をスピンナーで約０．３−の厚さに形成することに
より、所望のカラーフィルターが得られる。

第２図はこの発明の他の実施例を示す図であり、第１図
に対応する部分には同一の符号を付しである。これにつ
いて、第１図の場合と同じく製造工程に従って述べる。

まずガラス基板（２（１）の−生卵上に、レジストとし
て感光性牛乳カゼインをスピンナーにより塗布した後、
ブラックマトリックス（３（１）の相当箇所即ちフィル
ターの境界線部分をＰＥ　Ｐ　（Ｐｈｏｔｏ　ｔ！ｎｇ
ｒａｖａｄ　Ｐｒｏｃａｓｓ）工程で除去する。

次に、カーボンブラックを分散させたアクアダグを塗布
・乾燥した後、過酸化水素の水溶液を主体とする処理液
でレジストを分解することにより、不要なアクアダグを
除去してブラックマトリックス（３（１）である黒色パ
ターンを形成する。次に有機光導電膜（２２）として１
例えばポリビニルカルバゾールを有機溶剤に溶解した溶
液をガラス基板（２（１）上でブラックマトリックス（
３（１）を覆うように、スピンナーにより約０．５−の
厚さに塗布し、６０℃の温度で乾燥する。そして以後の
工程は、第１図の場合と同様であるので奢略する。

これらの実施例では、各色のフィルターのパターンに対
応するレジストを形成する必要がないので、４ｊｉ：来
の染色方式や電着方式に比べ、工程が簡素化されている
。また電子写真法を用いているので、従来の印刷方式に
比べ、微細パターンの形成が行える。

なお、今までの実施例と異なり、各色のフィルターごと
に有機光導電膜（２２）を形成してもよく、この場合、
工程が複雑になるが、各色のフィルター間に有機光導電
膜（２２）が介在する構造のため。

フィルターの保護が確実になる。また赤色、緑色及び青
色の顔料（２３）、　（２４）、　（２５）の材料は、
これらの実施例に記載されているものに限られるもので
なく、更にブラックマトリックス（３（１）としては、
例えばクロム（Ｃｒ）のような金属膜を用いてもよいこ
とは言うまでもない。

〔発明の効果〕

この発明は、静電気的手段によりカラーフィルターを形
成してなるので、微細パターンの形成が従来に比べ簡単
な工程で行える。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図はこ
の発明の他の実施例を示す断面図、第３図は従来の液晶
表示装置の一例を示す断面概略図である。 （２（１）・・・基板　　　　　（２２）・・・有機光
導電膜（２３）、　（２４）、　（２５）・・・顔料（
３（１）・・・ブラックマトリッ クス代理人　弁理士　則　近　憲 　佑同　　大胡典夫 又２．基吸 ｓ１図 第　　２　図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に有機光導電膜を形成する工程と、この有
   機光導電膜を所定の極性に帯電させる工程と、前記有機
   光導電膜の一部を露光して前記帯電を除く工程と、顔料
   を前記有機光導電膜上に静電気的に被着する工程とを備
   えたことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
2. （２）前記有機光導電膜の露光領域は前記顔料の被着を
   予定しない部分であり、前記顔料は被着前に前記所定の
   極性とは反対の極性に帯電させておくことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルターの製造方
   法。
3. （３）前記基板にはブラックマトリックスが形成されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のカラ
   ーフィルターの製造方法。