JPS63228031A - 液化ガス検量装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造に使用する液化ガスボンベにおけ
る残量チェックに極めて有効な液化ガス検量装置に関す
る。

従来の技術 従来はボンベの総重量を重量計で測定してその全重量か
ら、液化ガス残量を算定していたが、この場合、ボンベ
自体の重量も正確に測定する必要があり、極めて困難な
管理方法であった。近年Ｘ線による残量計も発売されて
いるが、放射線等の問題があった。

発明が解決しようとする問題点 液化ガスの場合、ボンベ内の圧力が低く、高圧ガスのよ
うには管理ができなかった。そのため、ボンベを重量計
の上に乗せ、日々重量計により、その残量をチェックし
ていた。しかし、ガスの重量よりもボンベ自体の重量が
大きく、正確には計れなかった。また放射線による計量
の場合、微量ではあるが放射線漏れがあり、その管理、
使用方法が面倒である。

問題点を解決するための手段 本発明は、液化ガス収納容器の外に超音波の発生器およ
びセンサを配設した構成である。

作用 本発明の検量装置によると、液化ガスの有無により、超
音波の反射ないしは透過特性が変化し、これにより、容
器内の液化ガス残量レベルが検出できる。

実施例 第１図は本発明の実施例装置とその使用形態を概略的に
示す断面図である。

２つの超音波振動子１，１゛の対および駆動電源２をボ
ンベ３の外壁に密着させ、片方の超音波振動子１にパル
スを与え、振動させる。その反射を超音波振動子１′で
受ける構成である。液化ガスの有無によりその反射波形
は異なり、液化ガスの有無がわかる。これにより、残量
を管理するには、たとえば、ボンベの下部の方に振動子
１，１゛を設けることにより、残量が時定レベルに達し
た時点で警報を発するようにすることにより、交換の時
期を知ることができる。

第２図は透過形のもので振動子対１，１′およびその駆
動電源２をボンベ３の対向部にベルト５で習動可能に設
置したものである。構造は、第１図のものにくらべると
少し複雑であるが、ボンベ３内の液化ガス残量のレベル
判断は確実である。

発明の効果 本発明により、極めて簡単な構造設備で液化ガスの残量
検知ができ、高価なガスを効率よく使用できるメリット
が発生する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の各実施例装置をその使用形態
で示す各概略断面図である。 １．１′・・・・・・振動子対、２・・・・・・振動子
駆動電源、３・・・・・・ボンベ、４・・・・・・液化
ガス、５・・・・・・ベルト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 液化ガス収納容器に接して、超音波の発生器およびセン
   サを配設し、前記収納容器中の残量レベルを検出するこ
   とを特徴とする液化ガス検量装置。