JPS63217634A - ウエフア上電子回路検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウェファ上に形成されている半導体集
積回路などのウェファ上電子回路を、それに探針を接触
ざＵて検査するウェファ上電子回路検査５Ａ置に関する
。

従来の技術 従来、第３図を伴って次に述べるウェファ上電子回路検
査装置が提案されている。

すなわち、蓋（図示ゼず）を有する電子遮蔽用箱体１内
に、基台２が配され、その基台２上に、水平面内におい
て縦方向及び横方向に移動する水平移動機構３及び垂直
方向に移動する垂直移動機構４を介して、電子回路を形
成しているウェファ５を固定して載置するウェファ載置
台６が設けられている。

また、基台２上に、支持用杆７を用いて、探針装架体保
持台８が、ウェファ載置台５に上方から対向するように
設けられている。この場合、探針装架体保持台８は、ウ
ェファ載置台６上に固定して載置されるウェファ５を上
昇力に臨ませる窓９を有する。

さらに、探針装架体保持台８上に、探針１０を有する探
針装架体１１が、探針１０を探針装架体保持台８の窓９
を通じてウェファ載置台６側に延長させて、保持されて
いる。この場合、探＆１装架休１１は、探針１０の位置
をウェファ載置台６に対して移動させるマニュピレータ
機構を有し、一方、探針１０は、リード線（図示せず）
を用いて、電子遮蔽用箱体１外の検査装置本体（図示せ
ず）に接続される構成を有する。

以上が、従来提案されているウェファ上電子回路検査装
置の構成である。

このような構成を有するウェファ上電子回路検査装置に
よれば、電子遮蔽用箱体１の蓋を開け、ウェファ載置台
６上にウェファ５を固定載置し、次で、水平移動機構３
及び垂直径ａｉＭＩＪ４の位置を移動調整し、また、探
針装架体１１の探針１０のウェファ５に対する位置を移
動調整することによって、探針装架体１１の探針１０を
、ウェファ５上に形成されている電子回路上の所定の位
置に接触させることができる。

このため、ウェファ５上に形成されている電子回路と電
子遮蔽用箱体１外の検査装置本体との間で、探針装架体
１１の探針１０及びそれに接続するリード線（図示せず
）を介して、検査用信号の授受を行なわせることによっ
て、ウェファ５上に形成されている電子回路の検査を行
うことができる。

また、第３図に示ずウェファ上電子回路検査装置の場合
、ウェファ５が、探針装架体１１の探針１０とともに、
電子遮蔽用箱体１によって、外部から電磁遮蔽されてい
るので、上述したウェファ５上に形成されている電子回
路の検査を、外部からの雑音にほとんど影響されること
なしに、安定に行うことができる。

が解゛しようとする問題点 しかしながら、第３図に示す従来のウェファ上電子回路
検査装置の場合、ウェファ５を、探針装架体１１の探針
１０とともに、外部から電磁遮蔽するのに、基台２、水
平移動機構３、垂直移動機構４、ウェファ載置台６、探
針装架体保持体８などを取囲んでいる電子遮蔽用箱体１
を用いているので、その電子遮蔽用箱体１の大きさと重
量のために、ウェファ上電子回路検査装置が、全体とし
て、大型化し且つ重量化する、という欠点を有していた
。

また、第３図に示す従来のウェファ上電子回路検査装置
の場合、電子遮蔽用箱体１は、電子遮蔽用箱体１外で発
生する雑音を、ウェファ５及び探針装架体１１の探針１
０に対してＭ１１ａ蔽しているとしても、電子遮蔽用箱
体１内の例えば水平移動機構３、垂直移ｆｌＩ機構４な
どから発生するＩｇを、ウェファ５及び探針装架体１１
の探針１０に対して電磁遮蔽していないため、上述した
ウェファ５に形成されている電子回路の検査が、後者の
雑音によって影響される、というおそれを有していた。

ざらに、第３図に示す従来のウェファ上電子回路検査装
置の場合、電子遮蔽用箱体１によってウェファ５を取囲
んでいる空間が大きいので、上述したウェファ５上に形
成されている電子回路の検査を、ウェファ５から発生す
る熱を外部に放熱させながら行なったり、また、逆にウ
ェファ５を外部から加熱しながら行なったりしようとし
て、ウェファ５に対する外部からの温度制御を行なわん
としても、それに困難を伴う、という欠点を有していた
。

また、第３図に示す従来のウェファ上電子回路検査装置
の場合、探針装架体１１の探針１０をリード線を用いて
、電子遮蔽用箱体１外の検査装置本体まで長く延長する
必要パあるため、上述したウェファ５上に形成されてい
る電子回路の検査に用いる検査用信号の周波数を、高（
するのに一定の限度を有し、従って、高周波の検査用信
号による、ウェファ上に形成されている電子回路の検査
が困難である、という欠点を有していた。

問題点を解決するための手段 よって、本発明は、上述した欠点のない、新規なウェフ
ァ上電子回路検査装置を提案せんとするものである。

本発明によるウェファ上電子回路検査装置は、第３図で
上述した従来のウェファ上電子回路検査装置の場合と同
様に、電子回路を形成しているウェファを載置するウェ
ファ４１載置台と、ウェファＩＩ＆置台に上方から対向
し且つウェファを上外方に臨ませる窓を有する探針装架
体保持台と、探２１を有し且つ探針装架体保持台上に探
針を探針装架体保持台の窓を通じてウェファ載置台側に
延長させて保持される探針装架体とを有する。

しかしながら、本発明によるウェファ上電子回路検査装
置は、このような構成を有するウェファ上電子回路検査
装置において、ウェファ載置台及び探針装架体保持台が
電磁遮蔽用材でなり、また、ウェファが、ウェファ載置
台及び探針装架体保持台間に設けられた第１の電１１遮
蔽体によって側方から取囲まれ、さらに、探針装架体が
、探針装架体保持台上に設けられた第２の電磁遮蔽体に
よって覆われている、という構成を有する。

作用・効宋 このような構成を有する本発明によるウェファ上電子回
路検査装置によれば、第３図で上述した従来のウェファ
上電子回路検査装置の場合と同様に、ウェファ載置台上
に電子回路を形成しているウェファを載置し、そのウェ
ファ上に形成れている電子回路上の所定の位置に、探針
装架体の探針を接触させ、そして、ウェファ上に形成さ
れている電子回路と外部の検査装置本体との間で、探針
装架体の探針及びそれに接続するリード線を介して、検
査用信号の授受を行なわせることによって、ウェファ上
に形成されている電子回路の検査を行うことができる。

また、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の場合
、ウェファ載置台及び探針装架体保持台が、電磁遮蔽用
材でなるので、電！１遮蔽体として機能し、そして、そ
れらウェファ載置台及び探針装架体保持台と、第１及び
第２の電磁遮蔽体とによって、ウェファが、探針装架体
の深針とともに取囲まれているので、ウェス？が、探１
］装架体の探針とともに、外部から電磁遮蔽されている
。

このため、上述したウェファ上に形成されている電子回
路の検査を、第３図で上述した従来のウェファ上電子回
路検査装置の場合と同様に、外部からの雑音にほとんど
影響されることなしに、安定に行うことができる。

しかしながら、本発明によるウェファ上電子回路検査装
置の場合、ウェファを探針装架体の探針とともに外部か
ら電磁遮蔽するのに、ウェファ載置台と、探針装架体保
持台と、それらウェファ載置台及び探針装架体保持台間
に設けられた第１の電磁遮蔽体と、探針装架体保持台上
に設けられた第２の電磁遮蔽体とを用いているので、そ
れらのために、ウェファ上電子回路検査装置が、全体と
して、はとｌυど、大型化したり、重量化したりするこ
とがない。

また、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の場合
、ｒウェファ載置台が、第３図で上述した従来のウェフ
ァ上電子回路検査装置の場合と同様に、基台上に、水平
移動機構及び垂直移動機構を介して設けられ、そして、
それら水平移動機構及び垂直移動機構から、ウェファ及
び探針装架体の探針に対する雑音が発生するとしても、
その雑音が、ウェファ載置台と、探針装架体保持台と、
第１及び第２の電ｖＡ遮蔽体とによって、確実に、電磁
遮蔽される。このため、上述したウェファ上に形成され
ている電子回路の検査が、雑音によって影響される、と
いうおそれをほとんど有しない。

さらに、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の場
合、ウェファが、ウェファ載置台及び探針装架体保持台
と、第１及び第２の電磁遮蔽体とによって、取囲まれて
いるとしても、その空間が、第３図で上述した従来のウ
ェファ上電子回路検査装置におけるウェファを取囲／υ
でいる電子遮蔽用箱体の空間に比し、格段的に狭いので
、上述したウェファ上に形成されている電子回路の検査
を、ウェファから発生ザる熱を外部に放熱させながら行
なったり、また、逆にウェファを外部から加熱しながら
行なったりしようとして、ウェファに対する外部からの
温度制御を行う場合、それを、第３図で上述した従来の
ウェファ上電子回路検査装置の場合に比し、簡易に行う
ことができる。

また、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の場合
、ウェファ上に形成されている電子回路との間で検査用
信号の授受を行なわせるための検査装置本体は、ウェフ
ァＲ置台及び探針装架体保持台と第１及び第２の電磁遮
蔽体とによって取囲まれた空間外に設けられるが、その
空間は、第３図で上述した従来のウェス１上電子回路検
査装置の電子遮蔽用箱体に比し格段的に小さな大きさに
しかならないので、探針装架体の探針をリード線を用い
て検査５Ａ置本体まで良く延長しなくてもすみ、よって
、高周波の検査用信号による、ウェファ上に形成されて
いる電子回路の検査も、容易に行うことができる。

大Ｊ１丸ユ 次に、第１図を伴って本発明によるウェファ上電子回路
検査装置の第１の実施例を述べよう。

第１図において、第３図との対応部分には同一符号を付
し、詳細説明を省略する。

第１図に示す本発明によるウェファ上電子回路検査装置
は、次の事項を除いて、第３図で上述した従来のウェフ
ァ上電子回路検査装置と同様の構成を有する。

すなわら、電子遮蔽用箱体１が省略されている。

しかしながら、ウェファ載置台６及び探針装架体保持台
８が電磁遮蔽用材（導電性材）でなる。

また、ウェファ載置台６及び探針装架体保持台８間に、
ウェファ載置台６上に載置されるウェファ５を取囲んで
いる電磁遮蔽体１２が設けられている。この場合、ウェ
ファ載置台６が、円柱体でなり、そして、その上外周面
上に螺子６ａが付されている。また、電磁遮蔽体１２が
、ウェファ載置台６の螺子６ａに螺合する母螺１２ａを
内周面に形成している円筒体でなる。

さらに、探針装架体保持台８上に、探針１０を有する探
針装架体１１を覆っている電磁遮蔽体１３が設けられて
いる。この場合、電ｌｉｔ！遮蔽体１３は、探針装架体
１０をそれに接触せずに蓋している蓋体でなる。

以上が、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の第
１の実施例の構成である。

このような構成を有する本発明によるウェファ上電子回
路検査装置によれば、電磁遮蔽体１２を下降させている
状態で、ウェファ載置台６上に電子回路を形成している
ウェファ５を載置し、そのウェファ５上に形成されてい
る電子回路上の所定の位置に、第３図で上述した従来の
ウェファ上電子回路検査装置の場合と同様に、探針装架
体１１の探針１０を接触させ、そして、電磁遮蔽体１２
をそれが探針装架体保持台８に当接または近接対向する
まで上昇させた状態で、ウェファ５上に形成されている
電子回路と、ウェファ載置台６及び探針装架体保持台８
と電磁遮蔽体１２及び１３とによって囲まれた空間外の
検査装置本体との間で、探針装架体１１の探針１０及び
それに接続するリード線を介して、検査用信号の授受を
行なわせることによって、ウェファ５上に形成されてい
る電子回路の検査を行うことができる。

また、第１図に示す本発明によるウェス１上電子回路検
査装置の場合、１ク工フア載置台６及び探針装架体保持
台８が、電１ｉｆ１′ｍ蔽用材でなるので、電磁遮蔽体
として機能し、そして、それらウェファ載置台６及び探
針装架体保持台８と、電１１遮蔽体１２及び１３とによ
って、ウェファ５が、探針装架体１１の探針１０ととも
に取囲まれているので、ウェファ５が、探針装架体１１
の探針１０とともに、外部から電磁遮蔽されている。

このため、上述したウェファ上に形成されている電子回
路の検査を、第３図で上述した従来のウェファ上電子回
路検査ＨＥの場合と同様に、外部からの雑音にほとんど
影響されることなしに、安定に行うことができる。

しかしながら、第１図に示す本発明によるウェファ上電
子回路検査装置の場合、ウェファ５を探！ｌ装架体１１
の探釧１０とともに外部から電磁遮蔽するのに、ウェフ
ァ載置台６と、探針装架体保持台８と、それらウェファ
載置台６及び探針装架体保持台８間に設けられた電磁遮
蔽体１２と、探針装架体保持台８上に設けられた電磁遮
蔽体１３とを用いているので、それらのために、ウェフ
ァ上電子回路検査装置が、全体として、はとんど、大型
化したりＩｆｉ化したりすることがない。

また、第１図に示す本発明によるウェファ上電子回路検
査装置の場合、ウェファ載置台６が、第３図で上述した
従来のウェファ上電子回路検査装置の場合と同様に、基
台２上に、水平移動機構３及び垂直移動機構４を介して
設けられていることにより、それら水平移動機構３及び
垂直移動機構４から、ウェファ５及び探針装架体１１の
探針１０に対する雑音が発生するとしても、その雑音が
、ウェファ載置台６と、探針装架体保持台８と、′Ｆｉ
磁遮蔽体１２及び１３とによって、確実に、電磁遮蔽さ
れる。このため、上述したウェファ５上に形成されてい
る電子回路の検査が、雑音によって影響される、という
おそれをほとんど有しない。

さらに、第１図に示す本発明によるウェファ上電子回路
検査装置の場合、ウェファ５が、ウェファ載置台６及び
探針装架体１１上８と、電磁遮蔽体１２及び１３とによ
って、取囲まれているとしても、その空間が、第３図で
上述した従来のウェファ上電子回路検査装置におけるウ
ェファ５を取囲んでいる電子遮蔽用箱体１の空間に比し
、格段的に狭いので、上述したウェファ５上に形成され
ている電子回路の検査を、ウェファ５から発生する熱を
外部に放熱させながら行なったり、また、逆にウェファ
５を外部から加熱しながら行なったりしようとして、ウ
ェファ５に対する外部からの温度制御を行う場合、それ
を、第３図で上述した従来のウェファ上電子回路検査装
置の場合に比し、簡易容易に行うことができる。

また、第１図に示す本発明によるウェファ上電子回路検
査Ｖ装置の場合、ウェファ５上に形成されている電子回
路との間で検査用信号の授受を行なわけるための検査装
置本体は、ウェファ載置台６及び探針装架体保持台８と
電磁遮蔽体１２及び１３とによって取囲まれた空間外に
設けられるが、その空間は、第３図で上述した従来のウ
ェファ上電子回路検査装置の電子遮蔽用箱体１に比し格
段的に小さな大きさにしかならないので、探針装架体１
１の探針１０をリード線を用いて検査装置本体まで長く
延長しなくてもづみ、よって、高周波の検査用信号によ
る、ウェファ上に形成されている電子回路の検査も、容
易に行うことができる。

実施例２ 次に、第２図を伴って本発明によるウェファ上電子回路
検査装置の第２の実施例を述べよう。

第２図において、第１図との対応部分には同一符号を付
し、詳細説明を省略する。

第２図に示す本発明によるウェファ上電子回路検査′￥
［は、次の事項を除いて、第１図で上述した本発明によ
るウェファ上電子回路検査装置と同様の構成を有する。

すなわち、探針装架体１１が、探針１０を延長している
窓１１ａを形成しているカード状体でなり、そのカード
状体でなる探針装架体１１上に、電磁遮蔽用材（導電性
材）層１４が形成されている。そして、その探針装架体
１１が、電磁遮蔽用材（導電性材）でなる押え板１５と
、それを口過して探針装架体保持台８に螺入している電
磁遮蔽用材（導電性材）でなる螺子手段１６によって、
探針装架体保持台８上に、位置決めして設けられている
。この場合、押え板１５は、探針装架体１７上の電磁遮
蔽用材層１４に接触し、そして、電磁遮蔽用材層１４及
び押え板１５によって、電ｖ７１遮蔽体１３が構成され
ている。

また、探針装架体１１の窓１１ａが、上方から、電磁遮
蔽用材でなる蓋板１７によってｍざされている。

以上が、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の第
２の実施例の構成である。

このような構成を有する本発明によるウェファ上電子回
路検査装置によれば、それが上述した事項を除いて第１
図で上述した本発明によるウェファ上電子回路検査装置
と同様の構成を有づるので、詳ＩＩＩ説明は省略するが
、第１図で上述した本発明によるウェファ上電子回路検
査装置と同様の作用効果が眠りられる。

なお、上述においては、本発明によるウェファ上電子回
路検査装置の僅かな２つの実施例を示したに留まり、例
えば第１図で上述した構成において、その円筒状の電磁
遮蔽体１２の母螺１２ａ及びウェファ載置台６の螺子６
ａを省略し、Ｍ磁遮蔽体１２をその上端面または探針装
架体保持台８の下面に取付けた磁石を用いて、探針装架
体保持台８の下面に固定させることによって、ウェファ
載置台６及び探針装架体保持台８間に設けた構成とする
こともでき、また、円筒状の？！ｉｌ遮蔽体１２を、ウ
ェファ載置台６にその上端面から予め形成されている円
環状溝内に配し、そして、その電１１″！！１蔽体１２
及び探針装架体保持台８間に発条を介挿させることによ
って、ウェファを置台６及び探針装架体保持台８問に設
けた構成とすることらでき、ざらに、第２図に示す構成
において、カード状の探針装架体１１上に形成した電子
遮蔽用箱体１４及び蓋板１７を、第１図に示されている
電磁遮蔽体１３と同様の蓋体に代えた構成とすることも
でき、さらに、ウェファ載置台６の上面に、絶縁層を電
磁遮蔽の効果を妨げない厚さに形成し、ウェファ５に所
要の電位を与えて、検査を行うようにすることもでき、
その他、本発明の精神を脱することなしに、種々の変型
、変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるウェファ上電子回路検査装Ｕの
第１の実施例を示す一部を断面にして示す路線的正面図
である。 第２図は、本発明によるウェファ上電子回路検査装置の
第２の実施例を示す一部を断面にして示す路線的正面図
である。 第３図は、従来のウェファ上電子回路検査装置を示す一
部を断面にして示す路線的正面図である。 １・・・・・・・・・電子遮蔽用箱体 ２・・・・・・・・・基台 ３・・・・・・・・・水平移動機構 ４・・・・・・・・・垂直移動機構 ５・・・・・・・・・ウェファ ６・・・・・・・・１ク工フ７！！置台６ａ・・・・・
・螺子 ７・・・・・・・・・支持用杆 ８・・・・・・・・・探針装架体保持台９．１１ａ ・・・・・・・・・窓 １０・・・・・・・・・探針 １１・・・・・・・・・探針装架体 １２、１３ ・・・・・・・・・電！！遮蔽体 １２ａ・・・・・・母螺 １４・・・・・・・・・電磁遮蔽用材層１５・・・・・
・・・・押え板 １６・・・・・・・・・螺子手段 １７・・・・・・・・・蓋板

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子回路を形成しているウエフアを載置するウエフア載
   置台と、 上記ウエフア載置台に上方から対向し且つ上記ウエフア
   を上外方に臨ませる窓を有する探針装架体保持台と、 探針を有し、且つ上記探針装架体保持台上に、探針を上
   記窓を通じて上記ウエフア載置台側に延長させて、保持
   される探針装架体とを有するウエフア上電子回路検査装
   置において、 上記ウエフア載置台及び上記探針装架体保持台が電磁遮
   蔽用材でなり、 上記ウエフアが、上記ウエフア載置台及び上記探針装架
   体保持台間に設けられた第１の電磁遮蔽体によって側方
   から取囲まれ、 上記探針装架体が、上記探針装架体保持台上に設けられ
   た第２の電磁遮蔽体によって覆われていることを特徴と
   するウエフア上電子回路検査装置。