JPS63213984A - レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 - Google Patents

レ−ザ発振器の出力電圧検出装置

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JPS63213984A
JPS63213984A JP62048409A JP4840987A JPS63213984A JP S63213984 A JPS63213984 A JP S63213984A JP 62048409 A JP62048409 A JP 62048409A JP 4840987 A JP4840987 A JP 4840987A JP S63213984 A JPS63213984 A JP S63213984A
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Japan
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current transformer
laser
frequency power
laser tube
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Akira Egawa
明 江川
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ発振器の出力電圧検出装置に関し、特に
低電圧で安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出
力電圧検出装置に関する。
〔従来の技術〕
レーザ管は内部のガスの状態等によって、電気的なイン
ピーダンスが変化し、このためにレーザ管に供給される
電圧が変動する。例えば、レーザ管への電流帰還ループ
を有するレーザ発振器において、レーザ管の電気的イン
ピーダンスが変動すれば、電流を一定になるように制御
しいるので供給電圧が変動する。これをそのまま放置す
れば、高周波電源内のインバータを構成している半導体
、レーザ管等を損傷する原因となる。また、安定な供給
電圧を得るために出力電圧を監視する必要もある。
このために従来より、レーザ管に供給される電圧を検出
し、基準の電圧を越えるときはアラームを上げ、また危
険電圧を越えたときは運転を停止する等の制御を行い、
さらに、出力電圧を一定に制御するために、出力電圧を
検出して監視する必要があった。　従って、レーザ発振
器において、レーザ管への供給電圧監視、測定は重要な
測定項目の一つである。従来これらの測定は計器用変圧
器または分割コンデンサを使用して行われてきた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧が相当高
いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が必要であり、ま
た高周波電源の周波数が高いので高周波特性も必要であ
った。このために非常に高価な計器用変圧器を必要とし
た。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレーザ管へ
の供給電力ラインと制御装置側のアースを分離すること
ができず、制御回路へのノイズ等が混入する危険性が高
いという問題点があった。
本発明の目的は上記問題点を解決し、低電圧で安価に構
成できるようにしたレーザ発振器の出力電圧検出装置を
提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、 高周波電源（１）とレーザ管（４）の間にマツチング回
路（３）を有し、該マツチング回路（４）が並列にリア
クタンス素子（３１，３３）を存するレーザ発振器の出
力電圧検出装置において、前記マツチング回路の出力端
リアクタンス素子（３３）のアース側に電流を検出する
変流器（５）を設け、 該変流器（５）の電流からレーザ管（４）に印加される
電圧を検出するように構成したことを特徴とするレーザ
発振器の出力電圧検出装置が、提供される。
〔作用〕
変流器をリアクタンス素子のアース側に設けたので、変
流器の電圧は非常に低いものでたりる。
また、この変流器からの電流値と並列リアクタンス３３
のインピーダンスの積から出力電圧を計算することがで
きる。
〔実施例〕
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。
図において、■は高周波電源装置であり、商用電源を整
流して直流に変換し、これを高周波インバータによって
高周波の電圧に変換する。２は昇圧用のトランスであり
、高周波電源装置からの高周波電源を必要な電圧まで昇
圧する。３はマツチング回路であり、トランス２とレー
ザ管とのインピーダンスマツチングをとり、高周波電源
装置からの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実施
例ではπ型のマツチング回路を使用している。３１及び
３３は並列リアクタンスを構成するコンデンサであり、
３２は直列リアクタンスを構成するインダクタンスであ
る。
４はレーザ管である。４１は石英ガラス等で形成された
管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が循環されている
。４３ａ及び４３ｂは電極であり、この電極を介して管
４１に高周波電源が印可されいる。この管４１内にある
レーザ媒質ガス４２に高周波電源による放電をおこない
、レーザ光を発振、増幅させている。レーザ光の方向は
紙面と直角方向である。
５は変流器であり、出力端の並列コンデンサ３３のアー
ス側に設けられている。従って、変流器５の電圧は非常
に低（、変流器５の絶縁電圧は低いものでたりる。また
、変流器５はアースがマツチング回路３から分離されて
おり、ノイズ等が混入する可能性も低い。
６は制御装置であり、変流器５からの電流信号値と並列
コンデンサのインピーダンスの積からレーザ管に供給さ
れる高周波電源の電圧を算出することができる。これは
、変流器５からの電流信号値をＤＡコンバータによって
ディシイタル値に変摸して、予めコンデンサ３３のイン
ピーダンス値を記憶しておき２つ値の積を求めることに
より算出することができる。この電圧値を予め定められ
た基準電圧値と比較して、基準電圧値を所定の値以上越
えているときはアラームを表示する。また、この電圧値
が危険電圧以上に達した場合は運転を停止する。さらに
、この電圧を監視して、自動的に電圧を一定に保つよう
に制御することもできる。
上記の説明では、マツチング回路はπ型のマツチング回
路を使用したが、これ以外のマツチング回路でも出力端
に並列インピーダンスがあれば、同様に変流器を使用す
ることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、電圧の検出をマツチン
グ回路の出力端の並列リアクタンスのアース側に設けた
変流器から検出した電流から得るように構成しているの
で、変流器の絶縁電圧が低く、安価な変流器を使用でき
、簡単な構成でレーザ管への供給電圧を測定することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）高周波電源装置とレーザ管の間にマッチング回路
    を有し、該マッチング回路が並列にリアクタンス素子を
    有するレーザ発振器の出力電圧検出装置において、 前記マッチング回路の出力端のリアクタンス素子のアー
    ス側に電流を検出する変流器を設け、該変流器の電流か
    らレーザ管に印加される電圧を検出するように構成した
    ことを特徴とするレーザ発振器の出力電圧検出装置
  2. （２）前記リアクタンス素子がコンデンサであることを
    特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器の
    出力電圧検出装置。
JP62048409A 1987-03-03 1987-03-03 レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 Granted JPS63213984A (ja)

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EP88901929A EP0306536B1 (en) 1987-03-03 1988-02-19 Device for detecting output voltage of a laser oscillator
US07/269,745 US4872178A (en) 1987-03-03 1988-02-19 Output voltage detecting device in a laser oscillator
PCT/JP1988/000182 WO1988006809A1 (en) 1987-03-03 1988-02-19 Device for detecting output voltage of a laser oscillator
DE8888901929T DE3864479D1 (de) 1987-03-03 1988-02-19 Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators.

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JPH0341992B2 JPH0341992B2 (ja) 1991-06-25

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US (1) US4872178A (ja)
EP (1) EP0306536B1 (ja)
JP (1) JPS63213984A (ja)
DE (1) DE3864479D1 (ja)
WO (1) WO1988006809A1 (ja)

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EP0306536A1 (en) 1989-03-15
EP0306536B1 (en) 1991-08-28
WO1988006809A1 (en) 1988-09-07
EP0306536A4 (en) 1989-02-23
DE3864479D1 (de) 1991-10-02
JPH0341992B2 (ja) 1991-06-25
US4872178A (en) 1989-10-03

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