JPS63210274A - ロ−ル端面における真空シ−ル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ロール端面における真空シール装置に関し、
詳しくは帯板の表面を蒸着メッキさせるための蒸着装置
に用いられているロール端面における真空シール装置に
関するものである。

〔従来の技術とその問題点〕

一般に、真空蒸着法を行う装置には真空形成装置が必要
である。そこで、その真空度を高く保って真空ポンプの
小容化を図る提案が特開昭６０−２３４９６４号公報で
紹介されている。すなわち、これを添付第４図で説明す
れば、真空ケーシング１内に回転自在に横架された１対
のロール２．２と、これらロール２．２の両端面にその
軸方向に移動自在な側板（カーボンまたはカーボン繊維
ライニングを形成された鋼板）３をバネ４で弾接するよ
うなロール端面における真空シール装置が紹介されてい
る。

これを更にいえば、帯板５を大気圧から真空蒸着を行う
真空ケーシング１へ連続的に導入する場合、大気圧側か
らの気体の侵入を防ぐため、真空ケーシング１前後に数
段の予備真空ケーシングを設け、これらを真空ポンプで
排気することにより、大気側から真空蒸着用ケーシング
までの圧力勾配を形成する。そしてかかる真空ケーシン
グに使用されているロール端面における真空シール装置
が前記公報に紹介されている。

ところが、かかるロール端面における真空シール装置は
、真空ケーシングの凹部に嵌合された側板３を、ロール
端面ヘバネ４より弾接しているため、各種の不都合が生
じている。これを分析してみると、次のことが判明した
。すなわち、第４図（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、該ロ
ール２．２をピンチロールとすれば、該ピンチロール２
．２の回転力は、 Ｔ＝ＲＸ（ＦｏＸμＩ　−２Ｆｌ　　Ｘμ２）ここでＲ
＝ピンチロール２の半径 Ｆｏ＝ピンチロール２の押圧力 μｍ−帯板５とピンチロール２間の 摩擦係数 Ｆｌ−側板３の押圧力 で、かかるピンチロール２の回転力Ｔを得るためには、
ロール径Ｒを大きくするか、ピンチロール２の押圧力Ｆ
。を大きくする必要があるので、そのようにすれば、抗
張力の低い帯板材料に適用するのが困難となる。一方、
ピンチロール２の押圧力Ｆ０を小さくすれば、ロール径
Ｒを大きくする必要上、装置全体が大となる。

また、ピンチロール２の端面と側板３との間にはバネ４
による弾接により摩擦力が発生するが、バネ４が強すぎ
ると両者の間にブレーキの作用が起こり、抗張力の高い
帯板材料であっても通板動゛力を多く必要とし、またバ
ネ力が弱いとシール作用が損なわれる他、側板３の傾動
により空気流入抵抗値が変動するということも判明した
。

〔問題点を解決するための手段〕

そこで本発明は、かかる従来技術の判明した不都合を解
消するために創作されたもので、真空ケーシングに回転
自在に横架された１対のロールに挾み搬送される長尺物
の真空蒸着装置において、前記各ロール両端面に、それ
ぞれスラストボールベアリングのインナーレースの外面
を当接・押圧させ、かつ、該インナーレースの外周面を
、前記真空ケーシングに凹設した円形凹部に微小間隔を
もたせて嵌合させたロール端面における真空シール装置
を提供することにある。

〔実施例〕

本発明の構成を作用とともに、添付図面に示す実施例に
より詳細に説明する。なお、第４図示の従来例と同一の
部分は同一符号で示し、その説明を省略する。

本実施例の１対のロール２．２はフリーローラを示し、
厚さ０．６龍巾３００ｍ■の帯体（ストリップ）５をコ
イラー（図示せず）等で引張られながら、ロール２．２
間を、１５ｍ１／ｍｉｎの速度で搬送される。これらロ
ール２は同一構造であるのでその一方について述べる。

ロール２は、第２図に示すように、周表面をゴムライニ
ング２ａＬ、両端面にはカーボンプレート２ｂを添着し
ている。

カーボンプレート２ｂと、真空ケーシング１の側蓋１ｂ
に設けた円形の凹部６との間にスラストボールベアリン
グ７を介在させている。該スラストボールヘアリング７
のアウターレース７ｂは勿論、インナーレース７ａの外
周面は該凹部６に嵌合し、その外周面と該凹部６の内周
面６ａとの間は２０〜３０μの間隙８を形成し、大気側
よりの空気流入抵抗部としている。ロール端面の一方の
スラストボールベアリング７のアウターレース７ｂの外
面には、押圧用のボルト９　（バネでもよい）を当接し
、ロール２の加工誤差などを調整するとともに、これら
スラストボールヘアリング７やロール２を真空ケーシン
グ１に押圧している。なお、スラストボールベアリング
７の押圧装置（ボルトあるいはバネ）をロール２の両端
面に配置するものでもよい。１０はロール軸、１１はロ
ール軸１０の軸受、１２は真空ケーシング１のシールブ
ロックで側蓋１ｂの外面で上下方向に摺動できるように
構成されている。１３はシールバーで、ロール２の周表
面の軸方向の近傍に並設している。１５はボルト緩み止
め用のバネ、１６はインナーレース７ａの回転支持用ボ
ールベアリングを示す。なお、このボールベアリング１
６は側蓋１ｂに嵌着されているが、ロール軸ＩＯに嵌着
させるようにしてもよい。

本実施例は以上の構成となっているので、以下の動作を
行う。すなわち、帯板５は図示しないコイラーにより巻
かれながら真空ケーシング１内を通過するように搬送さ
れるが、真空ケーシング１内中央部のメッキ処理室通過
時に金属蒸気が帯板５の表面に凝縮して薄膜を形成する
。

かかる真空ケーシング１は第１図では紙表面側を真空側
の室Ａとすれば、背面側が大気側の室Ｂとなるので、紙
表面側に向け、つまり手前に帯板５が導入される。その
ため、手前側の室Ａを真空にしなければならないので、
ロール２．２の周表面と帯板５とはゴムライニング２ａ
で密着させ両室Ａ、　Ｂを隔絶している。また、ロール
２の周表面の軸方向と真空ケーシングｌの内面とは、第
１図、第２図および第３図に示すように、シールパー１
３でシールしている。したがって、大気側の室Ａと真空
側の室Ｂとは、ロール２が回転することから、ロール２
の周表面とシールパー１３の下端面との若干の間隙から
、矢印ａのように空気が侵入する。更に、凹部６とイン
ナーレース７ａの外周面との間隙８より矢印すのように
若干の空気が侵入する。そのため、これら侵入した空気
は真空ポンプ１４で真空ケーシングｌより排出する。

そして、ロール２はスラストボールベアリング７を介し
て真空ケーシング１の側蓋１ｂに押圧され密着されなが
ら真空シールを形成し、かつ、軽快に自転する。

なお、本実施例はストリップの真空蒸着で説明したが、
本発明はこれに限らず、合成樹脂の帯板の真空蒸着にも
適用できることは云う迄もない。

〔発明の効果〕

ロールの端面にスラストボールベアリングのインナーレ
ースの外面を当接・押圧させ、かつ、インナーレースを
真空ケーシングに設けた凹部に微小隙間をもたせて嵌合
させたので、ロール端面における真空シールは向上でき
る。殊に、インナーレースとロールとが一体化し、かか
る回転状態のインナーレースの外周面と、静止状態の真
空ケーシングの凹部とで間隙を形成するので安定した空
気流入抵抗部が得られ、ひいて、使用する真空ポンプの
容量を下げることができる。更に、スラストボールベア
リングを使用したので、ロール軸方向に押圧しても、ロ
ールの回転は軽快にでき、長尺物の搬送動力の節減、ロ
ール径を小とすることや、更には脆弱な長尺物を良好に
搬送することができる等、多くの効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の全体断面図、第２図は第１図
の要部詳細図、第３図は第２図のＸ−Ｘ断面図、第４図
は従来例を示す。 １・・・真空ケーシング、２・・・ロール、５・・・帯
板、６・・・凹部、７・・・スラストボールベアリング
、７ａ・・・インナーレース。 代理人　弁理士　加　藤　正　信 （ほか１名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 真空ケーシングに回転自在に横架された１対のロールに
   挟み搬送される長尺物の真空蒸着装置において、 前記各ロール両端面に、それぞれスラストボールベアリ
   ングのインナーレースの外面を当接・押圧させ、かつ、
   該インナーレースの外周面を、前記真空ケーシングに凹
   設した円形凹部に微小隙間をもたせて嵌合させたロール
   端面における真空シール装置。