JPS6320921Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6320921Y2 JPS6320921Y2 JP17649982U JP17649982U JPS6320921Y2 JP S6320921 Y2 JPS6320921 Y2 JP S6320921Y2 JP 17649982 U JP17649982 U JP 17649982U JP 17649982 U JP17649982 U JP 17649982U JP S6320921 Y2 JPS6320921 Y2 JP S6320921Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- control device
- clean room
- value
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案はクリーンルームの送風量制御装置に
関する。従来のクリーンルームの送風量制御装置
においては、単純に塵埃数の瞬時値によつて送風
量を制御していた。しかし、室内での作業状態に
よつては発塵量が急激に増加又は減少することが
あり瞬時値の変化に追いつくことができず、塵埃
数が危険値に達したり、あるいは制御系が不安定
になるなどの不工合があつた。この考案はこれを
解消するため、塵埃数が危険値に達するまでの時
間を予測し、この予測時間によつてクリーンルー
ムへの送風量を制御するようにしたものである。
関する。従来のクリーンルームの送風量制御装置
においては、単純に塵埃数の瞬時値によつて送風
量を制御していた。しかし、室内での作業状態に
よつては発塵量が急激に増加又は減少することが
あり瞬時値の変化に追いつくことができず、塵埃
数が危険値に達したり、あるいは制御系が不安定
になるなどの不工合があつた。この考案はこれを
解消するため、塵埃数が危険値に達するまでの時
間を予測し、この予測時間によつてクリーンルー
ムへの送風量を制御するようにしたものである。
図について説明すれば、第１図はこの考案を使
用したクリーンルームの空気調和装置の系統図で
ある。
用したクリーンルームの空気調和装置の系統図で
ある。
空調機１より出た給気は給気ダクト２、クリー
ンルーム上部の圧力チヤンバー３、および高性能
フイルター４を通つてクリーンルーム５に達す
る。ここから還気口６、還気ダクト７を通つて再
び空調機にもどる。８は外気取入ダクトである。
ンルーム上部の圧力チヤンバー３、および高性能
フイルター４を通つてクリーンルーム５に達す
る。ここから還気口６、還気ダクト７を通つて再
び空調機にもどる。８は外気取入ダクトである。
この考案はこのようなクリーンルームの空気調
和設備において、クリーンルーム内の塵埃数の変
動傾向によつて送風量を可変に制御する制御装置
を提供するものである。
和設備において、クリーンルーム内の塵埃数の変
動傾向によつて送風量を可変に制御する制御装置
を提供するものである。
即ち第１図に示したように、クリーンルーム室
内に塵埃測定器９をおき、これにより一定時間間
隔で塵埃数を測定し、その値を制御装置１０に入
力する。制御装置１０は第２図に述べる方法によ
つて塵埃数の危険値への到達時間を予測し、それ
にもとづいて、送風量調節器１１に対し、第３図
に示すような送風量の設定値を出力する。送風量
調節器１１は、送風量測定器１２によつて送風量
を監視しながら操作器１３を操作して送風量が設
定値に一致するように制御する。
内に塵埃測定器９をおき、これにより一定時間間
隔で塵埃数を測定し、その値を制御装置１０に入
力する。制御装置１０は第２図に述べる方法によ
つて塵埃数の危険値への到達時間を予測し、それ
にもとづいて、送風量調節器１１に対し、第３図
に示すような送風量の設定値を出力する。送風量
調節器１１は、送風量測定器１２によつて送風量
を監視しながら操作器１３を操作して送風量が設
定値に一致するように制御する。
操作器１３は流れの絞り機構又は抵抗であつ
て、これを操作すると送風機１８の吐出圧力が変
化する。それを圧力測定器１４で検出し、圧力調
節器１５に入力する。圧力調節器はその値を前も
つて定められた吐出圧力設定値と比較し、その偏
差に応じた出力を回転数制御装置１６に出力し、
それによつて電動機１７の回転数を制御し、もつ
て送風量を制御する。
て、これを操作すると送風機１８の吐出圧力が変
化する。それを圧力測定器１４で検出し、圧力調
節器１５に入力する。圧力調節器はその値を前も
つて定められた吐出圧力設定値と比較し、その偏
差に応じた出力を回転数制御装置１６に出力し、
それによつて電動機１７の回転数を制御し、もつ
て送風量を制御する。
第２図は制御装置１０が、塵埃数の測定値から
塵埃数の危険値への到達時間を予測する方法を示
す。同図の横軸は時間ｔ、たて軸は塵埃数Ｎで、
P0，P1……Poは各時刻ごとの測定点である。現
在の時刻をtn，その測定点をPo，塵埃数をNnと
し、現在よりひとつ前の測定時刻における表示を
夫々tn-1，Po-1，Nn-1とする。また室内単位空
気中の塵埃数をこれ以上増やしたくなくという下
限値すなわち危険値をNxとする。このとき塵埃
数が現在の値Nnから危険値Nxに到達するまでに
要する時間ΔTを次式で予測する。
塵埃数の危険値への到達時間を予測する方法を示
す。同図の横軸は時間ｔ、たて軸は塵埃数Ｎで、
P0，P1……Poは各時刻ごとの測定点である。現
在の時刻をtn，その測定点をPo，塵埃数をNnと
し、現在よりひとつ前の測定時刻における表示を
夫々tn-1，Po-1，Nn-1とする。また室内単位空
気中の塵埃数をこれ以上増やしたくなくという下
限値すなわち危険値をNxとする。このとき塵埃
数が現在の値Nnから危険値Nxに到達するまでに
要する時間ΔTを次式で予測する。
ΔT＝Nx−Nn／Nn−Nn-1×（tn−tn-1） …(1)
あるいはtn−tn-1＝Δtとおけば
ΔT＝Nx−Nn／Nn−Nn-1・Δt …(2)
なおこの式は第２図からも判るように、Po-1と
Poを直線で結び、その延長上に危険値への到達
点Pxをもとめたものである。これに対して、さ
らにPo-2，Po-3などの多くのデータを用いれば、
現在までの塵埃数の時系列変化を曲線で近似して
ΔTを計算することができる。
Poを直線で結び、その延長上に危険値への到達
点Pxをもとめたものである。これに対して、さ
らにPo-2，Po-3などの多くのデータを用いれば、
現在までの塵埃数の時系列変化を曲線で近似して
ΔTを計算することができる。
制御装置１０はこのようにして到達時間ΔTを
予測したあと、それにもとづいて、送風量調節器
１１に送風量設定値を出力する。このときのΔT
と送風量設定出力Ｖとの関係の例を第３図に示
す。
予測したあと、それにもとづいて、送風量調節器
１１に送風量設定値を出力する。このときのΔT
と送風量設定出力Ｖとの関係の例を第３図に示
す。
すなわち図中のCd間は予測到達時間ΔTがある
値ΔT2より大きいときで送風量設定出力Ｖは最小
値Vminに固定される。図中のab間は逆にΔTが
ある値ΔT1より小さいときでＶは最大値Vmaxと
なる。bc間はΔTとＶとが比例的に変化する領域
である。なおこのような比例動作だけではなく、
ΔTを用いて出力Ｖを決定する演算機能には積分
特性や微分特性をもたせることも可能である。図
には表示していないが、Nn＜Nn-1となつてΔT
が負になつたときはＶは最小値Vminとする。
値ΔT2より大きいときで送風量設定出力Ｖは最小
値Vminに固定される。図中のab間は逆にΔTが
ある値ΔT1より小さいときでＶは最大値Vmaxと
なる。bc間はΔTとＶとが比例的に変化する領域
である。なおこのような比例動作だけではなく、
ΔTを用いて出力Ｖを決定する演算機能には積分
特性や微分特性をもたせることも可能である。図
には表示していないが、Nn＜Nn-1となつてΔT
が負になつたときはＶは最小値Vminとする。
なお制御装置１０から回転数制御装置１６にい
たる給気量制御系の構成はつぎのように変更して
もよい。
たる給気量制御系の構成はつぎのように変更して
もよい。
(1) 制御装置１０で送風量制御用操作器１３を直
接制御してもよい。その場合送風量調節器１１
と送風量測定器１２は不要となる。
接制御してもよい。その場合送風量調節器１１
と送風量測定器１２は不要となる。
(2) 制御装置１０の出力を回転数制御装置１６に
あたえてもよい。その場合、送風量調節器１
１、送風量測定器１２、操作器１３、圧力測定
器１４、圧力調節器１５は不要となる。
あたえてもよい。その場合、送風量調節器１
１、送風量測定器１２、操作器１３、圧力測定
器１４、圧力調節器１５は不要となる。
(3) さらに制御装置１０に回転数制御装置１６の
機能をもたせ、制御装置１０によつて直接、電
動機１７の回転数を制御してもよい。その場合
送風量調節器１１、送風量測定器１２、操作器
１３、圧力測定器１４、圧力調節器１５、回転
数制御装置１６が不要となる。
機能をもたせ、制御装置１０によつて直接、電
動機１７の回転数を制御してもよい。その場合
送風量調節器１１、送風量測定器１２、操作器
１３、圧力測定器１４、圧力調節器１５、回転
数制御装置１６が不要となる。
第１図は、この考案による制御装置を用いたク
リーンルーム空気調和装置の系統図、第２図は塵
埃数が危険値に到達するまでに要する予測時間の
予測方式を示す図、第３図は送風量設定出力の算
定方式を示す図である。 符号の説明、１……空調器、２……給気ダク
ト、３……圧力チヤンバー、４……高性能フイル
タ、５……クリーンルーム、６……還気口、７…
…還気ダクト、８……外気取入ダクト、９……塵
埃測定器、１０……制御装置、１１……送風量調
節器、１２……送風量測定器、１３……送風量制
御用操作器、１４……圧力測定器、１５……圧力
調節器、１６……回転数制御装置、１７……電動
機、１８……送風機。
リーンルーム空気調和装置の系統図、第２図は塵
埃数が危険値に到達するまでに要する予測時間の
予測方式を示す図、第３図は送風量設定出力の算
定方式を示す図である。 符号の説明、１……空調器、２……給気ダク
ト、３……圧力チヤンバー、４……高性能フイル
タ、５……クリーンルーム、６……還気口、７…
…還気ダクト、８……外気取入ダクト、９……塵
埃測定器、１０……制御装置、１１……送風量調
節器、１２……送風量測定器、１３……送風量制
御用操作器、１４……圧力測定器、１５……圧力
調節器、１６……回転数制御装置、１７……電動
機、１８……送風機。
Claims (1)
- クリーンルームの塵埃数を測定し、その値の時
間変化により塵埃数が危険値に達するまでに要す
る時間を予測し、その予測時間によつてクリーン
ルームへの送風量を制御するようにしたことを特
徴とするクリーンルームの送風量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17649982U JPS5980629U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クリ−ンル−ムの送風量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17649982U JPS5980629U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クリ−ンル−ムの送風量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980629U JPS5980629U (ja) | 1984-05-31 |
| JPS6320921Y2 true JPS6320921Y2 (ja) | 1988-06-09 |
Family
ID=30383715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17649982U Granted JPS5980629U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クリ−ンル−ムの送風量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5980629U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5381277B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2014-01-08 | オムロン株式会社 | 送風制御パターン作成装置 |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17649982U patent/JPS5980629U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5980629U (ja) | 1984-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4836095A (en) | Static pressure control in variable air volume delivery system | |
| JPS6320921Y2 (ja) | ||
| JPH05118630A (ja) | 空気調和装置及び空気調和機の風量制御装置 | |
| JPS61217641A (ja) | 空調換気設備における室内絶対圧制御法 | |
| JP2633415B2 (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
| JPH05322279A (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
| JPS59153046A (ja) | 集中吸排気装置 | |
| JP2884705B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JPH08219535A (ja) | Ｖａｖ式空気調和システム | |
| JPH0914737A (ja) | 空気調和制御装置 | |
| JP2536234B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JPH02290454A (ja) | 空気調和機 | |
| JPH02230046A (ja) | ダクト式空気調和機 | |
| JPH06159773A (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
| JPH0198848A (ja) | 室内気圧制御空調換気設備 | |
| JPH0351657A (ja) | 空気調和機 | |
| JP2000154931A (ja) | 空気調和機の給気温度設定値演算装置 | |
| JPH0593529A (ja) | 可変風量空気調和装置 | |
| JP2636553B2 (ja) | 空気調和機 | |
| JPH05288385A (ja) | 空気調和機の給気温度設定値演算装置 | |
| JPH0351658A (ja) | 空気調和機 | |
| JPH02306041A (ja) | 空気調和装置の製御装置 | |
| JPH03177735A (ja) | 空気調和機 | |
| JPH0350435A (ja) | 空調装置 | |
| JPH0517462B2 (ja) |