JPS6320848A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPS6320848A JPS6320848A JP61164768A JP16476886A JPS6320848A JP S6320848 A JPS6320848 A JP S6320848A JP 61164768 A JP61164768 A JP 61164768A JP 16476886 A JP16476886 A JP 16476886A JP S6320848 A JPS6320848 A JP S6320848A
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- JP
- Japan
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- fine
- coarse
- lever
- diaphragm
- axis
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- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、 １１動および微動機構を用いて物体を高精
度て位置決めする装置に関し１例えは゛半導体製造用の
露光装置において幾つかの微細パータンをｊ順次転写す
るためにフォトマスクを高精度に位置決めするなど、精
密な機械的位置決めを行なうだめの位置決め装置に関す
る。
度て位置決めする装置に関し１例えは゛半導体製造用の
露光装置において幾つかの微細パータンをｊ順次転写す
るためにフォトマスクを高精度に位置決めするなど、精
密な機械的位置決めを行なうだめの位置決め装置に関す
る。
［従来の技術］
従来の露光装置におけるアライメント機構は、移動率が
ボール転勤方式で移動し、その駆動は例えばモータと歯
車あるいはレバーなどを用いて行なっている。この場合
、従来ては移動体の位置分解能の一精度を上げるために
複数の歯車て駆動伝達系を構成しているので、歯車およ
びそれに関連する部品の粘度誤差か原因でバックラッシ
ュによ□る送りむらなどが生じ、微少・送りの応答性、
精度か悪くなる欠点かあった。
ボール転勤方式で移動し、その駆動は例えばモータと歯
車あるいはレバーなどを用いて行なっている。この場合
、従来ては移動体の位置分解能の一精度を上げるために
複数の歯車て駆動伝達系を構成しているので、歯車およ
びそれに関連する部品の粘度誤差か原因でバックラッシ
ュによ□る送りむらなどが生じ、微少・送りの応答性、
精度か悪くなる欠点かあった。
［発明か解決しようとする問題点］
本発明の課題は、前述の従来技術の欠点を除去して、短
時間で正確な位置決めを果たすと共に分解能の向上など
の装置整合の改善を図った裕置快め装置を提供すること
である。
時間で正確な位置決めを果たすと共に分解能の向上など
の装置整合の改善を図った裕置快め装置を提供すること
である。
［問題点を解決するための手段］
本発明による位置決め装とは、前述の課題を達成するた
めに、保持した物体を所定位置に位置決めする移動可能
なステージに対して、ステージを移動させるモータの回
転量を制御することにより、ステージの位置整合の粗：
Ａ整を行なう粗動手段と、ステージを微小移動させろタ
イヤプラム機構への駆動流体の供給を制御してステージ
の位置整合の微調整を行なう微動手段との二手段を組合
せた機構か設けられている。
めに、保持した物体を所定位置に位置決めする移動可能
なステージに対して、ステージを移動させるモータの回
転量を制御することにより、ステージの位置整合の粗：
Ａ整を行なう粗動手段と、ステージを微小移動させろタ
イヤプラム機構への駆動流体の供給を制御してステージ
の位置整合の微調整を行なう微動手段との二手段を組合
せた機構か設けられている。
［作用コ
本発明の位置決め装置ては、ステージの駆動系か粗動手
段と微動手段の組合せ機構からなるのて１両手段の連動
か重畳的にステージに作用する。したかって、粗動手段
によって微動手段のストローク範囲内に目標位置との偏
差か入るようにステージを駆動し、その後微動手段によ
って高精度の位置決めを行なうことかてき、モータの回
転量の制御を小きざみに何回も行なう必要かないのて、
位置決めを短時間に高精度に行なうことかできると共に
、微動手段の流体ｆｉ、量制御て高分解能の位置決めか
達成されるものである。
段と微動手段の組合せ機構からなるのて１両手段の連動
か重畳的にステージに作用する。したかって、粗動手段
によって微動手段のストローク範囲内に目標位置との偏
差か入るようにステージを駆動し、その後微動手段によ
って高精度の位置決めを行なうことかてき、モータの回
転量の制御を小きざみに何回も行なう必要かないのて、
位置決めを短時間に高精度に行なうことかできると共に
、微動手段の流体ｆｉ、量制御て高分解能の位置決めか
達成されるものである。
本発明の実施例を図面と共に説明すれば以下の通っであ
る。
る。
［実施例］
第１図において、ＸＹ移動板ｌはボール転動方式て基板
２０上をＸＹ方向に移動Ｔｒｆ能であり、図示しないバ
ネ手段によりＴバー２に押し付けられている。Ｔバー２
は、ＸＹ移動板ｌに対してＹ方向の案内保持とＸ方向駆
動とを行ない、クロスローラ６によってＸ軸駆動レバー
３にスライド可能に案内支持され且つ駆動レバー３に取
付けられたＸ輪微動用ダイヤフラム７によってＸ軸方向
の微小駆動を受けるようになされている。Ｘ軸駆動レバ
ー３は、一端で軸１４により枢支され先端にセグメント
山車１５を有するＸ軸粗動手段としての回動レバーてあ
り、セグメント山車１５にはＸ軸モータ５の出力軸に取
付けられた山車４か噛合っている。
２０上をＸＹ方向に移動Ｔｒｆ能であり、図示しないバ
ネ手段によりＴバー２に押し付けられている。Ｔバー２
は、ＸＹ移動板ｌに対してＹ方向の案内保持とＸ方向駆
動とを行ない、クロスローラ６によってＸ軸駆動レバー
３にスライド可能に案内支持され且つ駆動レバー３に取
付けられたＸ輪微動用ダイヤフラム７によってＸ軸方向
の微小駆動を受けるようになされている。Ｘ軸駆動レバ
ー３は、一端で軸１４により枢支され先端にセグメント
山車１５を有するＸ軸粗動手段としての回動レバーてあ
り、セグメント山車１５にはＸ軸モータ５の出力軸に取
付けられた山車４か噛合っている。
ＸＹ移動板ｌのＹ軸方向の駆動は、軸１５によって枢支
された回動レバー８を介して同様な機構により行なわれ
る。すなわち、レバー８の一端を駆動するためにＹｆｄ
Ｉ微動用ダイヤフラム９かレバー８の一端に設けられ、
このタイヤフラム９はＹ軸組動用駆動レバー１７に支持
されており、駆動レバー１７はＸ袖粗動用駆動レバー３
と同様にセグメント山車１８を有していて、軸１９回り
にＹ軸モータ２１の出力歯車２２で回動される。
された回動レバー８を介して同様な機構により行なわれ
る。すなわち、レバー８の一端を駆動するためにＹｆｄ
Ｉ微動用ダイヤフラム９かレバー８の一端に設けられ、
このタイヤフラム９はＹ軸組動用駆動レバー１７に支持
されており、駆動レバー１７はＸ袖粗動用駆動レバー３
と同様にセグメント山車１８を有していて、軸１９回り
にＹ軸モータ２１の出力歯車２２で回動される。
ＸＹ移動板ｌの上には案内ローラ２３により回転を案内
されるようにボール転動力式で支持された回転板ｌＯか
配置されている。この回転板ＩＯはボール転勤方式て回
転方向のアライメントを行なうためのものてあり、ＸＹ
移動板ｌに支持されたθ軸駆動モータ１２により減速歯
車１１を介してθ袖組動を行なう送りねし装置２４と、
それに直列的に介装されたθ輛微動用のダイヤフラム１
３とによってＸＹ平面内て０輛回転駆動をされる。
されるようにボール転動力式で支持された回転板ｌＯか
配置されている。この回転板ＩＯはボール転勤方式て回
転方向のアライメントを行なうためのものてあり、ＸＹ
移動板ｌに支持されたθ軸駆動モータ１２により減速歯
車１１を介してθ袖組動を行なう送りねし装置２４と、
それに直列的に介装されたθ輛微動用のダイヤフラム１
３とによってＸＹ平面内て０輛回転駆動をされる。
以上の構成てＸ軸を例にとって動作説明をすれば、まず
粗調整をする場合、モータ５を駆動してｌ＆Ｉｉｔ ４
を回転させると、その回転１間に応してセラフ２５１Ｍ
ｌ１目５か袖口な中心とするレバー３の回動連動を生ぜ
しぬ、レバー３に取付けられたタイヤフラム７を介して
Ｔバー２か対応してＸ軸方向に変位し、ＸＹ移動板ｌか
Ｘ軸方向に移動する。
粗調整をする場合、モータ５を駆動してｌ＆Ｉｉｔ ４
を回転させると、その回転１間に応してセラフ２５１Ｍ
ｌ１目５か袖口な中心とするレバー３の回動連動を生ぜ
しぬ、レバー３に取付けられたタイヤフラム７を介して
Ｔバー２か対応してＸ軸方向に変位し、ＸＹ移動板ｌか
Ｘ軸方向に移動する。
微調整はモータ５および駆動レバー３を固定しておいて
、ダイヤフラム７への流体供給を制御する。これにより
ダイヤフラム７の微小変位てＴバー２を移動させ、ＸＹ
移動板ｌの微調整を行なう。
、ダイヤフラム７への流体供給を制御する。これにより
ダイヤフラム７の微小変位てＴバー２を移動させ、ＸＹ
移動板ｌの微調整を行なう。
以上はＸ軸についてであるか、Ｙ軸およびθ軸について
も同様にモータ２１．１２とダイヤフラム９．１３の制
御によって粗・微調整か行なわれる。
も同様にモータ２１．１２とダイヤフラム９．１３の制
御によって粗・微調整か行なわれる。
［発明の効果］
以上に述べたように、本発明によれば、粗・微動手段の
組合せ機構を採用しているのて、従来に比べてステージ
機構の構成においてコンパクト化が図れると共に一誤差
の少ない微小送りを可能とし、したがって、アライメン
ト動作の回数を少なくして高精度の位置整合を短時間で
実現することか可能となる。
組合せ機構を採用しているのて、従来に比べてステージ
機構の構成においてコンパクト化が図れると共に一誤差
の少ない微小送りを可能とし、したがって、アライメン
ト動作の回数を少なくして高精度の位置整合を短時間で
実現することか可能となる。
第１図は本発明の実施例を示す乎面図である。
１：ＸＹ移動板、
２：Ｔバー、
３：セグメント歯車材Ｘ袖粗動用駆動レバー。
５：ｘ他モータ。
７：Ｘ軸微動用タイヤフラム、
８、Ｙ軸用回動レバー、
９・Ｙ軸倣動用ダイヤフラム、
ｌＯ：回転板、
１２：θ軸モータ、
１３：θ軸微動用タイヤプラム。
１７：Ｙ軸組動用駆動レバー、
２０：基板、
２１：Ｙ他モータ、
２４：Ｑ軸組動用送りねじ装置。
Claims (1)
- １、保持した物体を所定位置に位置決めする移動可能な
ステージの位置決め装置において、ステージを移動させ
るモータの回転量を制御することによりステージの位置
整合の粗調整を行なう粗動手段と、ステージを微小移動
させるダイヤフラム機構への駆動流体の供給を制御して
ステージの位置整合の微調整を行なう微動手段との二手
段を組合せた機構を備えたことを特徴とする位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61164768A JPS6320848A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61164768A JPS6320848A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320848A true JPS6320848A (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=15799561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61164768A Pending JPS6320848A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320848A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812335A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Hitachi Ltd | 微，粗動テ−ブル |
| JPS5830129A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-22 | Hitachi Ltd | 精密平面移動装置 |
| JPS5972135A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Hitachi Ltd | 超精密ｘｙ移動装置 |
| JPS6020513A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-01 | Canon Inc | 移動テーブルの姿勢制御方法 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP61164768A patent/JPS6320848A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812335A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Hitachi Ltd | 微，粗動テ−ブル |
| JPS5830129A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-22 | Hitachi Ltd | 精密平面移動装置 |
| JPS5972135A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Hitachi Ltd | 超精密ｘｙ移動装置 |
| JPS6020513A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-01 | Canon Inc | 移動テーブルの姿勢制御方法 |
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