JPS63207507A - 自動線引機における線引き位置の位置決め方法 - Google Patents
自動線引機における線引き位置の位置決め方法Info
- Publication number
- JPS63207507A JPS63207507A JP3654187A JP3654187A JPS63207507A JP S63207507 A JPS63207507 A JP S63207507A JP 3654187 A JP3654187 A JP 3654187A JP 3654187 A JP3654187 A JP 3654187A JP S63207507 A JPS63207507 A JP S63207507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- line segment
- wire drawing
- pitch
- moved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 title abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 18
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010422 painting Methods 0.000 abstract 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Milling, Broaching, Filing, Reaming, And Others (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、紙、ビールオフフィルム等のシート材や刻
線層、感光層等を表面に設けたガラス板、金属板等の板
材よりなる基材に所定のピッチで平行線群を描く(以後
、線引外と称する)際に、そのピッチ精度を向上させる
のに好ましい線引き位置の位置決め方法に関するもので
ある。以下、本発明に係る方法を自動的に線引きを行な
う機械、すなわち自動線引機に適用した場合について説
明する。
線層、感光層等を表面に設けたガラス板、金属板等の板
材よりなる基材に所定のピッチで平行線群を描く(以後
、線引外と称する)際に、そのピッチ精度を向上させる
のに好ましい線引き位置の位置決め方法に関するもので
ある。以下、本発明に係る方法を自動的に線引きを行な
う機械、すなわち自動線引機に適用した場合について説
明する。
〈従来技術〉
この種の自動線引機では、基材を載置した基台テーブル
をテーブル駆動手段で所定ピッチづつ間欠的に移動させ
、移動のたびごとに、例えばダイヤモンドバイトで構成
した描画手段を基台テーブルの移動方向と交差する方向
へ描画駆動手段で移動させて、基材表面に形成された刻
線層、例えば耐酸性被膜に所定ピッチの刻線を施こすよ
うに構成されており、基台テーブルを所定ピッチ移動す
るための位置制御系は、従来基台テーブルの位置をレー
ザ干渉計を用いて読み取り、その位置データとあらかし
め設定されている所定ピッチデータとに基づいて基台テ
ーブルの移動位置を算定し、その算定位置へ基台テーブ
ルを移動させるべく、閉ループ制御するように構成され
ていた。
をテーブル駆動手段で所定ピッチづつ間欠的に移動させ
、移動のたびごとに、例えばダイヤモンドバイトで構成
した描画手段を基台テーブルの移動方向と交差する方向
へ描画駆動手段で移動させて、基材表面に形成された刻
線層、例えば耐酸性被膜に所定ピッチの刻線を施こすよ
うに構成されており、基台テーブルを所定ピッチ移動す
るための位置制御系は、従来基台テーブルの位置をレー
ザ干渉計を用いて読み取り、その位置データとあらかし
め設定されている所定ピッチデータとに基づいて基台テ
ーブルの移動位置を算定し、その算定位置へ基台テーブ
ルを移動させるべく、閉ループ制御するように構成され
ていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
例えば、2000線/インチの金属メツシュを製造する
ための原板を標準的な寸法(150mmX150mm)
のガラス基板上に作製する場合、1万本以」二の刻線が
施こされるが、上記自動線引機を用いて線引外作業を行
なうと、数十時間に亘って線引作業が行われる。このよ
うに線引作業が長時間に及ぶと当該線引機が設置されて
いる環境、殊に温度、湿度、気圧の変化は避けられない
。上記あレーザ干渉計を用いた位置制御装置ではレーザ
光線の波長がこれらの影響を受けて変化するため各刻線
間にピッチムラが生ずることがある。また、レーザ光線
による干渉稿の計数に際しノイズによるカラン)ミスを
生ずる場合には、同様に各刻線間のピッチムラとして現
われる。その上レーザ干渉計が高価で、使用されるレー
ザーチューブの寿命が比較的短いため、コスト高となる
等の問題があった。
ための原板を標準的な寸法(150mmX150mm)
のガラス基板上に作製する場合、1万本以」二の刻線が
施こされるが、上記自動線引機を用いて線引外作業を行
なうと、数十時間に亘って線引作業が行われる。このよ
うに線引作業が長時間に及ぶと当該線引機が設置されて
いる環境、殊に温度、湿度、気圧の変化は避けられない
。上記あレーザ干渉計を用いた位置制御装置ではレーザ
光線の波長がこれらの影響を受けて変化するため各刻線
間にピッチムラが生ずることがある。また、レーザ光線
による干渉稿の計数に際しノイズによるカラン)ミスを
生ずる場合には、同様に各刻線間のピッチムラとして現
われる。その上レーザ干渉計が高価で、使用されるレー
ザーチューブの寿命が比較的短いため、コスト高となる
等の問題があった。
本発明は、このような問題点を解決することをその目的
とする。
とする。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は上記問題点を解決するために前記従来の方法を
以下のように改良したものである。
以下のように改良したものである。
即ち、基台テーブルの移動に先立って、線引した線分の
位置を撮像手段で読み取り、あらかじめ設定した所定ピ
ッチデータと当該線分の位置データとに基づいて前記線
分の次に線引きすべき位置を算定し、前記所定ピッチデ
ータに基づいて基台テーブルを移動させ、その移動後、
当該線分の位置データな撮像手段で読み取り、前記算定
位置データと比較して当該線分が所定位置にあることを
確認した後、次の線分を線引きするようにしたことを特
徴とするものである。
位置を撮像手段で読み取り、あらかじめ設定した所定ピ
ッチデータと当該線分の位置データとに基づいて前記線
分の次に線引きすべき位置を算定し、前記所定ピッチデ
ータに基づいて基台テーブルを移動させ、その移動後、
当該線分の位置データな撮像手段で読み取り、前記算定
位置データと比較して当該線分が所定位置にあることを
確認した後、次の線分を線引きするようにしたことを特
徴とするものである。
く作 用〉
最初に線引きした1番目の線分(平行線群の最初の1本
)の位置が撮像手段で読み取られる。次いであらかじめ
設定しである所定ピッチのテーブル送りデータと、当該
線分の位置データとに基づいて次の線分の位置データが
算定される。しかる後あらかじめ設定された所定ピッチ
に基づいて基台テーブルが移動され、再び移動後の最初
の線分の位置が撮像手段で読み取られる。何らかの原因
で万一線分が所定の位置にない場合には、正しく位置決
めされるよう基台テーブルの位置を補正する。
)の位置が撮像手段で読み取られる。次いであらかじめ
設定しである所定ピッチのテーブル送りデータと、当該
線分の位置データとに基づいて次の線分の位置データが
算定される。しかる後あらかじめ設定された所定ピッチ
に基づいて基台テーブルが移動され、再び移動後の最初
の線分の位置が撮像手段で読み取られる。何らかの原因
で万一線分が所定の位置にない場合には、正しく位置決
めされるよう基台テーブルの位置を補正する。
移動後の線分の位置が所定位置に正しく位置決めされた
ならば描画手段により2番目の線分を線引きする。以下
同様にして順次所要本数の線分が線引きされることにな
る。このようにして自動線引機が設定されている環境の
変化やノイズ等の影響があっても、これにわずられされ
ることなくピッチムラのない線分が線引きされる。
ならば描画手段により2番目の線分を線引きする。以下
同様にして順次所要本数の線分が線引きされることにな
る。このようにして自動線引機が設定されている環境の
変化やノイズ等の影響があっても、これにわずられされ
ることなくピッチムラのない線分が線引きされる。
〈実 施 例〉
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明を具体化する上で好ましい実施例装置、
つまり自動線引機の概要構成を示す斜視図である。
つまり自動線引機の概要構成を示す斜視図である。
この自動線引機は、基材1を載置し、矢印X方向へ移動
可能に設けられた基台テーブル2と、基 一台テー
ブル2を所定ピッチずつ移動させるテーブル駆動手段1
0と、基台テーブル2の移動方向と交差する方向へ走行
可能に設けられ、基材1上に形成された耐酸性被膜に刻
線1aを刻設する描画手段20と、描画手段20を、基
板テーブル2の移動方向と交差する方向に走行させる描
画駆動手段30と、テーブル駆動手段10及び描画駆動
手段30を駆動制御する制御部40とを具備して成る。
可能に設けられた基台テーブル2と、基 一台テー
ブル2を所定ピッチずつ移動させるテーブル駆動手段1
0と、基台テーブル2の移動方向と交差する方向へ走行
可能に設けられ、基材1上に形成された耐酸性被膜に刻
線1aを刻設する描画手段20と、描画手段20を、基
板テーブル2の移動方向と交差する方向に走行させる描
画駆動手段30と、テーブル駆動手段10及び描画駆動
手段30を駆動制御する制御部40とを具備して成る。
基台テーブル2は基台3に固定されたガイド4に沿って
矢印X方向へ移動可能に設けられ、押引ロッド5によっ
て押引き駆動されるとともに、そのテーブル上面に基材
1を載置して吸着保持するように構成されている。
矢印X方向へ移動可能に設けられ、押引ロッド5によっ
て押引き駆動されるとともに、そのテーブル上面に基材
1を載置して吸着保持するように構成されている。
テーブル駆動手段10は駆動モータ11と、減速器12
と、押引ロッド5を挟持して押引駆動する一対の押引ロ
ーラ13と、駆動モータ11と同期回転するように同軸
接続されたパルスゼネレータ15と、駆動モータ11の
駆動回路16とを具備して或ワ、制御部40のテーブル
制御回路42からの制御信号に基づいて、駆動回路16
を介して駆動モータ11を駆動し、所定ピッチで基台テ
ーブル2を間欠的に移動させるように構成されている。
と、押引ロッド5を挟持して押引駆動する一対の押引ロ
ーラ13と、駆動モータ11と同期回転するように同軸
接続されたパルスゼネレータ15と、駆動モータ11の
駆動回路16とを具備して或ワ、制御部40のテーブル
制御回路42からの制御信号に基づいて、駆動回路16
を介して駆動モータ11を駆動し、所定ピッチで基台テ
ーブル2を間欠的に移動させるように構成されている。
描画手段20は、基台テーブル2を跨ぐように架設され
た梁部材6に沿って矢印Y方向へ移動可能に設けられた
走行ブロック21と、走行ブロフク21の一側面に揺動
自在に設けられ、その先端部にダイヤモンドバイト22
を保持する揺動アーム23と、揺動アーム23を揺動駆
動する駆動カム24とを具備して成り、基材1表面に形
成された耐酸性被膜にバイト22で刻線を施こすように
構成されている。
た梁部材6に沿って矢印Y方向へ移動可能に設けられた
走行ブロック21と、走行ブロフク21の一側面に揺動
自在に設けられ、その先端部にダイヤモンドバイト22
を保持する揺動アーム23と、揺動アーム23を揺動駆
動する駆動カム24とを具備して成り、基材1表面に形
成された耐酸性被膜にバイト22で刻線を施こすように
構成されている。
描画駆動手段30は、駆動モータ31と、減速器32と
走行ブロック21を走行駆動させる無端ベルト33を巻
掛けた駆動ローラ34・34と、駆動モータ31と同期
回転するように同軸接続されたパルスゼネレータ36と
、駆動モータ31の駆動回路37とを具備して成り、制
御部40の描画部制御回路44からの制御信号に基づい
て駆動回路37を介して駆動モータ31を駆動させると
ともに、描画手段20の駆動カム24を介して揺動アー
ム23を適宜揺動させることにより、刻線時にバイト2
2を基材1の表面に接触させるように構成されている。
走行ブロック21を走行駆動させる無端ベルト33を巻
掛けた駆動ローラ34・34と、駆動モータ31と同期
回転するように同軸接続されたパルスゼネレータ36と
、駆動モータ31の駆動回路37とを具備して成り、制
御部40の描画部制御回路44からの制御信号に基づい
て駆動回路37を介して駆動モータ31を駆動させると
ともに、描画手段20の駆動カム24を介して揺動アー
ム23を適宜揺動させることにより、刻線時にバイト2
2を基材1の表面に接触させるように構成されている。
制御部40は、例えばマイクロコンピュータによって構
成されており、電源スィッチ、操作キイ、表示管等を配
置して成る操作入力部39の線引データ設定キイからの
線引データに基づいて、演算制御部41で所要の演算を
し、その演算結果に基づいてテーブル制御回路42及び
描画部制御回路44を制御するように構成されている。
成されており、電源スィッチ、操作キイ、表示管等を配
置して成る操作入力部39の線引データ設定キイからの
線引データに基づいて、演算制御部41で所要の演算を
し、その演算結果に基づいてテーブル制御回路42及び
描画部制御回路44を制御するように構成されている。
以下本発明に係る特徴的構成について説明する。
基台テーブル2を所定ピッチずつ移動させるための位置
制御系は、基台テーブル2の上方へ水平に延出した一対
の固定アーム7・7の先端部へ固設したCODカメラ等
の撮像手段8・8と、これらの撮像手段8・8からの画
像信号に基づいて刻線1aの中心位置データを算定出力
する刻線位置演算部43と、あらかじめ線引データとし
て設定した線間ピッチ、ピッチ送り誤差許容範囲、線引
本数等のデータと当該刻線1aの位置データとから、次
に線引きすべ外側線の中心位置を算定出力する、演算制
御部41と、その算定結果に基づいて位置制御信号を出
力するテーブル位置制御回路42と、前記テーブル駆動
手段10とから構成されており、以下のように動作する
。
制御系は、基台テーブル2の上方へ水平に延出した一対
の固定アーム7・7の先端部へ固設したCODカメラ等
の撮像手段8・8と、これらの撮像手段8・8からの画
像信号に基づいて刻線1aの中心位置データを算定出力
する刻線位置演算部43と、あらかじめ線引データとし
て設定した線間ピッチ、ピッチ送り誤差許容範囲、線引
本数等のデータと当該刻線1aの位置データとから、次
に線引きすべ外側線の中心位置を算定出力する、演算制
御部41と、その算定結果に基づいて位置制御信号を出
力するテーブル位置制御回路42と、前記テーブル駆動
手段10とから構成されており、以下のように動作する
。
第2図は上記位置制御系により基台テーブル2を間欠ピ
ッチ送りする場合の動作手順を示す70−チャートであ
り、第3図は撮像手段8の視野内に投影された刻線の部
分拡大図である。
ッチ送りする場合の動作手順を示す70−チャートであ
り、第3図は撮像手段8の視野内に投影された刻線の部
分拡大図である。
先ずステップS1では操作入力部39より、線間ピッチ
、ピッチ送り誤差の許容範囲、線引本数等一連の線引外
データを入力設定する。
、ピッチ送り誤差の許容範囲、線引本数等一連の線引外
データを入力設定する。
ステップS2では入力された線引データに従って先ず1
番目の刻線1a+を線引トする。
番目の刻線1a+を線引トする。
ステップS3では、その刻線1a、を撮像手段8・8に
より撮像する(第3図A)。
より撮像する(第3図A)。
ステップS、では撮像手段8・8からの画像信号tこ基
づいて、刻線位置演算部43により、当該刻線の中心位
置データを算定する。なお撮像手段8・8は一方だけで
も充分機能するが、一対の撮像手段8・8を設けること
により、刻線の始端側及び終端側を同時に撮像して、刻
線位置の読取精度を向上させることがでトる。
づいて、刻線位置演算部43により、当該刻線の中心位
置データを算定する。なお撮像手段8・8は一方だけで
も充分機能するが、一対の撮像手段8・8を設けること
により、刻線の始端側及び終端側を同時に撮像して、刻
線位置の読取精度を向上させることがでトる。
ステップS5ではあらかじめ操作入力部39より設定入
力された線間ピッチPと上記刻線1a、の当初中心位置
データA、とに基づいて次に線引きすべと刻線1a2の
中心位置データA2を演算するとともに、その中心位置
データA2を対応するアドレスメモリ内ヘメモリしてお
く(第3図B)。
力された線間ピッチPと上記刻線1a、の当初中心位置
データA、とに基づいて次に線引きすべと刻線1a2の
中心位置データA2を演算するとともに、その中心位置
データA2を対応するアドレスメモリ内ヘメモリしてお
く(第3図B)。
ステップS6では、基台テーブル2を所定ピッチPだけ
移動させる。このときテーブル制御回路42はパルスゼ
ネレータ15からのパルスを計数して目標のカウント数
に達すると、駆動回路16へ停止信号を出力し、駆動モ
ータ11を停止する。
移動させる。このときテーブル制御回路42はパルスゼ
ネレータ15からのパルスを計数して目標のカウント数
に達すると、駆動回路16へ停止信号を出力し、駆動モ
ータ11を停止する。
ステップS7ではテーブル移動後の刻線1a、を再び撮
像手段8・8で撮像する(第3図C)。ステップS8で
はステップS4と同様に当該刻線1a、の実際の中心位
置A2’を算定する。
像手段8・8で撮像する(第3図C)。ステップS8で
はステップS4と同様に当該刻線1a、の実際の中心位
置A2’を算定する。
ステップS、ではその中心位置A2’が上記メモリ内へ
記憶されている中心位置データA2と比較され、カウン
トミス等で過剰に送られているか否か、基台テーブル2
の移動量がチェックされる(ステップS、、)。万−過
剰送りの場合にはその過剰分だけテーブルの戻し駆動が
なされ(ステップ511)、送り不足の場合にはステッ
プS6へ戻って不足分だけテーブルの送り駆動がなされ
、基台テーブル2の移動量が補正される。
記憶されている中心位置データA2と比較され、カウン
トミス等で過剰に送られているか否か、基台テーブル2
の移動量がチェックされる(ステップS、、)。万−過
剰送りの場合にはその過剰分だけテーブルの戻し駆動が
なされ(ステップ511)、送り不足の場合にはステッ
プS6へ戻って不足分だけテーブルの送り駆動がなされ
、基台テーブル2の移動量が補正される。
基台テーブル2の送りが適正範囲内であれば、ステップ
S12で刻線が全数について線引きされたか否かがチェ
ックされ、まだ全数について線引されていない場合には
、ステップS13で次の刻線が線引きされ(第3図D)
、次いでステップS、〜ステップS12の手順が繰返し
実行される。全数について線引作業がなされると、この
作業は終了する。
S12で刻線が全数について線引きされたか否かがチェ
ックされ、まだ全数について線引されていない場合には
、ステップS13で次の刻線が線引きされ(第3図D)
、次いでステップS、〜ステップS12の手順が繰返し
実行される。全数について線引作業がなされると、この
作業は終了する。
また、ガラススフクリーン、金属メッユ用原板等のよう
に交線を線引する場合には、Y方向に所定数の刻線を線
引した後に、基材1を90度回転させて基台テーブル2
に載置固定し、上記手順を実行する。
に交線を線引する場合には、Y方向に所定数の刻線を線
引した後に、基材1を90度回転させて基台テーブル2
に載置固定し、上記手順を実行する。
なお、上記実施例装置においては、基台テーブルが一方
向のみに移動するものについて説明したが、これに限ら
ず、直交する二方向に移動するものについても同様に実
施することがでトる。
向のみに移動するものについて説明したが、これに限ら
ず、直交する二方向に移動するものについても同様に実
施することがでトる。
〈発明の効果〉
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、基台
テーブルの、次の線引き位置への移動に先立って線引き
した線分の位置を撮像手段で読み取り、あらかじめ設定
した所定ピッチに基づいて基台テーブルを移動させて、
テーブル移動後の線分の位置を再び撮像手段で読み取り
、基台テーブルが所定位置にあることを確認した後に次
の線分を線引きするようにしたから、自動線引機が設定
されている環境の変化やノイズ等の影響を受けたとして
も、ピッチムラのない線分を線引きすることができる。
テーブルの、次の線引き位置への移動に先立って線引き
した線分の位置を撮像手段で読み取り、あらかじめ設定
した所定ピッチに基づいて基台テーブルを移動させて、
テーブル移動後の線分の位置を再び撮像手段で読み取り
、基台テーブルが所定位置にあることを確認した後に次
の線分を線引きするようにしたから、自動線引機が設定
されている環境の変化やノイズ等の影響を受けたとして
も、ピッチムラのない線分を線引きすることができる。
しかも従来例のように高価で比較的寿命の短いレーザ干
渉計に代えて撮像手段を用いることにより、コストの低
減を図ることができる。
渉計に代えて撮像手段を用いることにより、コストの低
減を図ることができる。
第1図は本発明を具体化した自動線引機の概要構成を示
す斜視図、第2図は基台テーブルを間欠ピッチ送りする
場合の動作手順を示すフローチャート、第3図は撮像手
段の視野内に投影された線分の部分拡大図である。 1・・・基材、2・・・基台テーブル、 訃・・撮像
手段、10・・・テーブル駆動手段、 20・・・描画
手段、30・・・描画駆動手段、 40・・・制御部(
マイクロコンピュータ)、 41・・・演算制御部、
42・・・テーブル位置制御回路、 43・・・刻線
位置演算部、 44・・・描画部制御回路。
す斜視図、第2図は基台テーブルを間欠ピッチ送りする
場合の動作手順を示すフローチャート、第3図は撮像手
段の視野内に投影された線分の部分拡大図である。 1・・・基材、2・・・基台テーブル、 訃・・撮像
手段、10・・・テーブル駆動手段、 20・・・描画
手段、30・・・描画駆動手段、 40・・・制御部(
マイクロコンピュータ)、 41・・・演算制御部、
42・・・テーブル位置制御回路、 43・・・刻線
位置演算部、 44・・・描画部制御回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基材を載置した基台テーブルをテーブル駆動手段で
所定ピッチずつ移動させ、描画手段を基台テーブルの移
動方向と交差する方向へ移動させながら基材に所定ピッ
チの線分を線引きするように構成した自動線引機におけ
る線引き位置の位置決め方法において、 基台テーブルの移動に先立つて、線引した線分の位置を
撮像手段で読み取り、あらかじめ設定した所定ピッチデ
ータと当該線分の位置データとに基づいて前記線分の次
に線引きすべき位置を算定し、前記所定ピッチデータに
基づいて基台テーブルを移動させ、その移動後、当該線
分の位置データを撮像手段で読み取り、前記算定位置デ
ータと比較して当該線分が所定位置にあることを確認し
た後、次の線分を線引きするようにしたことを特徴とす
る自動線引機における線引き位置の位置決め方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3654187A JPH0710483B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 自動線引機における線引き位置の位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3654187A JPH0710483B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 自動線引機における線引き位置の位置決め方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63207507A true JPS63207507A (ja) | 1988-08-26 |
JPH0710483B2 JPH0710483B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=12472637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3654187A Expired - Lifetime JPH0710483B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 自動線引機における線引き位置の位置決め方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0710483B2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP3654187A patent/JPH0710483B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0710483B2 (ja) | 1995-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201344375A (zh) | 曝光微影裝置、記錄程式的記錄媒體以及曝光微影方法 | |
US4754404A (en) | Method of incising the contour in an image film | |
JPS60122154A (ja) | スクリ−ン印刷装置 | |
TWI693478B (zh) | 無罩曝光裝置及曝光方法 | |
JPS63207507A (ja) | 自動線引機における線引き位置の位置決め方法 | |
US6809798B1 (en) | Stage control method, exposure method, exposure apparatus and device manufacturing method | |
JPH07325623A (ja) | Xyステージの制御方法および装置 | |
US3783488A (en) | Film mounted electronic component insertion machine | |
JP2592475B2 (ja) | 投影露光装置及びそのパターンオフセツト補正方法 | |
JPH0469939B2 (ja) | ||
JP3480192B2 (ja) | Xyステージの位置決め装置 | |
KR20110113142A (ko) | 노광 방법 및 노광 장치 | |
JP2000056481A (ja) | 露光装置の位置合せ方法 | |
EP0367244B1 (en) | Apparatus for exposing an image of an original film on a photosensitive material in vacuum contact with the original film, and method therefor | |
US6646715B1 (en) | Scanning exposure apparatus and method with run-up distance control | |
JP4020468B2 (ja) | 基板サポートピンの配設方法およびその配設装置 | |
JP2005017204A (ja) | 位置決め装置 | |
JPS60123028A (ja) | 露光装置 | |
JPH1080883A (ja) | 搬送方法、搬送装置及び露光装置 | |
JPH01308632A (ja) | スクリーン印刷機の版合せ方法 | |
JPH03223012A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP3538211B2 (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
JPH11138743A (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
US3043189A (en) | Apparatus for producing template used in automatic data plotter | |
JPH055981A (ja) | フイルム露光装置におけるマスクの精度の測定方法 |