JPS631965A - Phased array probe - Google Patents
Phased array probeInfo
- Publication number
- JPS631965A JPS631965A JP61144722A JP14472286A JPS631965A JP S631965 A JPS631965 A JP S631965A JP 61144722 A JP61144722 A JP 61144722A JP 14472286 A JP14472286 A JP 14472286A JP S631965 A JPS631965 A JP S631965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallel
- vibrator
- wire electrodes
- array probe
- phased array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title description 42
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 27
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 235000010627 Phaseolus vulgaris Nutrition 0.000 description 1
- 244000046052 Phaseolus vulgaris Species 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は超音波探傷試験に使用される超音波探傷器の欠
陥検知手段である）丁−ズドアレー探触子に関するもの
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application 1] The present invention relates to a pinned array probe which is a defect detection means for an ultrasonic flaw detector used in ultrasonic flaw detection tests.
［従来の技術］
一般に材料の非破壊検査法の一つとして超音波探傷試験
があることは知られている。この超音波探傷試験は超音
波の良好な指向性を利用し、その伝播経路に欠陥等があ
るど、そこで散乱反ｑ・Ｊされやすくなるので、この性
質に着目して物体内部に存ｔ−Ｅ する欠陥の右無なら
びにＫｔ置を検出Ｍるようにしたものである。[Prior Art] It is generally known that ultrasonic flaw detection is one of the non-destructive testing methods for materials. This ultrasonic flaw detection test utilizes the good directivity of ultrasonic waves, and if there is a defect in the propagation path, it is likely to be scattered and reflected. It is designed to detect the presence or absence of defects as well as the position of Kt.
従来、この超音波探傷試験に使用さ壜′λる珀？″Ｊ５
；＊探傷器のフェーズドアレー探触子ａは第８１図及び
゛第９図に示す如く構成されていた。図示づるＪ、うに
、平板状の振動子１〕の相対向する面ｃ、ｒｌの一方の
而Ｃには上記振動子すよりもヤ〉ヤ）小さな甲板状の共
通電極ｅが設けられている。また、他ブノの而ｄには小
さく区分された複数個のブロック電極ｆ・・・が縦横に
配設されている。ト記甲板状の共通電極ｅ及び複数個の
ブロック電極ｔ・・・には各々配線９が成されていた。Conventionally, the bottle used for this ultrasonic flaw detection test is ? ″J5
*The phased array probe a of the flaw detector was constructed as shown in FIGS. 81 and 9. A small deck-shaped common electrode e is provided on one of the opposing surfaces c and rl of the flat plate-shaped vibrator 1 shown in the figure. . In addition, a plurality of small block electrodes f... are arranged vertically and horizontally in the other panes d. Wiring 9 was provided to each of the deck-shaped common electrode e and the plurality of block electrodes t.
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、従来のフェーズド）７レー探触子にあっては
以下のごとき問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, the conventional phased 7-ray probe has the following problems.
例えば上記複数個のブロック電極ｆ・・・を縦横に各々
１００列とするど１００Ｘ １００−１０，０００
個のブロツクＮ極ｆ・・・に対する１０，０００本の配
線９ど、上記バ通電極ｅに対する１本の配線ｇとの１０
，００１本の配線Ｑが必要となり、配線０が複雑になっ
ていた。For example, if the plurality of block electrodes f... are arranged in 100 columns each in the vertical and horizontal directions, the number of block electrodes f...
10,000 wires 9 for each block N-pole f..., 10,000 wires 9 for the above-mentioned bar conduction electrode e, etc.
,001 wirings Q were required, making wiring 0 complicated.
特に、振動子すの中央に位置されたブロック電極ｆに配
線０するにあたって、該配線９をフェーズドアレー探触
子ａの外部へ取り出すのに複雑な機構が必要となるとい
う問題があった。このため、通常はブロック電極ｆを一
列のみ配列した線状のものが多く用いられてきた。In particular, when wiring 0 to the block electrode f located at the center of the vibrator, there was a problem in that a complicated mechanism was required to take out the wiring 9 to the outside of the phased array probe a. For this reason, linear electrodes in which block electrodes f are arranged in only one row have generally been used.
また超音波探傷試験において、従来の探傷方法の探触子
の走査は一般に手走査にて成されており、検査員が欠陥
を検出すると、探触了位冒、ビーム路程、エコー高さを
読み取り、記録し、後にこれの作図等を行なっていた。In addition, in ultrasonic flaw detection tests, scanning of the probe in conventional flaw detection methods is generally done manually, and when the inspector detects a defect, the probe position, beam path, and echo height are read. , and later made drawings of it.
そのため、熟練した検査員が必要であるという問題があ
った。また、機械的に探触子を操作する場合も、探触Ｔ
＠被検査物に安定に接触させるため、ゆっくりと【ノた
走査が必要であった。Therefore, there was a problem in that a skilled inspector was required. Also, when operating the probe mechanically, the probe T
＠In order to make stable contact with the object to be inspected, slow scanning was necessary.
上述のごとき問題点に鑑みて本発明は簡単な構造で、そ
の製作が容易にでき、Ｄつ超音波探傷試験の高速化及び
探藺結宋の画像化が容易に達成できるフェーズドアレー
探触子を提供づろことを目的とするものである。In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a phased array probe that has a simple structure, can be easily manufactured, and can easily achieve high-speed ultrasonic flaw detection and imaging of detection results. The purpose is to provide the following.
［問題点を解決するための手段］
従来のフェーズドアレー探触子における問題点を解決す
るために本発明は振動子の相対向する面の一方の而に複
数個の線状電極を所定の間隔を隔てて並列に設けると共
に、他方の面に上記−方の而に設けられた複数個の線状
電極と交叉づ−る方向に複数個の線状電極を所定の間隔
を隔てて並列に設け、これら両面に設けられた複数個の
線状電極の一端部に各々通電手段を接続しｋものである
。[Means for Solving the Problems] In order to solve the problems in the conventional phased array probe, the present invention provides a method of disposing a plurality of linear electrodes at predetermined intervals on one of the opposing surfaces of the vibrator. and a plurality of linear electrodes are provided in parallel at predetermined intervals on the other surface in a direction intersecting with the plurality of linear electrodes provided on the other side. , a current supply means is connected to one end of each of the plurality of linear electrodes provided on both surfaces.
［作 用］
以上の如く構成されることにより、フェーズドアレー探
触子の構造が簡単に成り、上記両面に設けられた複数個
の線状電極の一※１：；部に接続された各々の通電手段
にて任意に両面の線状電極を選ＩＲしてこれを電気的に
走査することにより、超音波探傷試験の高速化及び精密
化が達成されるものである。[Function] By configuring as described above, the structure of the phased array probe becomes simple, and each of the plurality of linear electrodes provided on both sides connected to one part *1: ; By selectively applying IR to the linear electrodes on both sides using an energizing means and electrically scanning them, speeding up and precision of the ultrasonic flaw detection test can be achieved.
［実施例］
以下に本発明のフェーズドアレー探触子の第１の実施例
を添付図面に従って詳述する。[Example] A first example of the phased array probe of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第１図及び第２図に示す如く、フェーズドアレー探触子
１の振動子２は平板状の直方体にて形成されている。こ
の振動子２は例えばレラミックス等にて形成されている
。この振動子２の相対向する而３．４の一方の而３には
複数個の線状電極５が設けられている。これら線状電極
５は一方向に所定の間隔［を隔てて並列に設けられてい
る。そして、これら並列に設けられた線状電極５の同じ
側の一端部には各々通電手段６が接続されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the vibrator 2 of the phased array probe 1 is formed of a flat rectangular parallelepiped. This vibrator 2 is made of, for example, Reramix. A plurality of linear electrodes 5 are provided on one side 3 of the vibrator 2 which faces each other. These linear electrodes 5 are provided in parallel at a predetermined interval in one direction. An energizing means 6 is connected to one end of the same side of the linear electrodes 5 provided in parallel.
これら通電手段６は例えばリード線７又は端子（図示せ
ず）等にて形成されている。まに１上記振動子２の相対
向する而３，４の他方の而４にはト記−方の百３に一方
向に並列に設けられた複数個の線状電極５と交叉する方
向に複数個の線状電極５が所定の間隔Ｍを隔てて並列に
にＱけられている。本実施例にあっては−Ｆ記−方の百
３に並列に設けられた複数個の線状電極５ど上記他方の
而４に並列に設けられた複数個の線状電極５どは上記振
動子２を間に挟持して平行な工事面上で直交する方向に
設けられている。そして、ト記他方の面４に並列に設け
られた線状の電極５の同じ側の一端部には各々通電手段
６が接続されている。これら通電手段６は上述したよう
に例えばリード線７又は端子にて形成されている。These energizing means 6 are formed of, for example, lead wires 7 or terminals (not shown). 1. On the other side 4 of the vibrator 2 facing each other, there is a plurality of linear electrodes 5 arranged in parallel in one direction. A plurality of linear electrodes 5 are arranged in parallel at a predetermined interval M. In this embodiment, the plurality of linear electrodes 5 provided in parallel to the 103 of the above-mentioned one, and the plurality of linear electrodes 5 provided in parallel to the other 4 of the above-mentioned form are the same as those described above. They are provided in orthogonal directions on parallel construction surfaces with the vibrator 2 sandwiched between them. A current supply means 6 is connected to one end of the linear electrodes 5 provided in parallel on the other surface 4 on the same side. These energizing means 6 are formed of, for example, lead wires 7 or terminals, as described above.
次に以上の如く構成された第１の実施例のフェーズドア
レー探触子１の作用を走査方法に基づいて述べる。Next, the operation of the phased array probe 1 of the first embodiment constructed as described above will be described based on the scanning method.
超音波探傷を行なう場合、超音波を発信する振動子２の
寸法は超音波ビームの指向性を考慮して決定される。こ
れは振動子２の寸法が小さ過ぎる場合には超音波ビーム
の広がりが大きくなり、探傷感度が悪くなるからである
。従って、振動子２の寸法をある程度大きくする必要が
あり、通常は５Ｍｔｌｚで１０ｍｍ角、２Ｍ Ｈｚ １
２０ｍｍ角の寸法ヲ要する。−方、走査間隔は精密な超
音波探傷を行なうためには小さくする必要がある。When performing ultrasonic flaw detection, the dimensions of the vibrator 2 that emits ultrasonic waves are determined in consideration of the directivity of the ultrasonic beam. This is because if the dimensions of the vibrator 2 are too small, the spread of the ultrasonic beam becomes large and the flaw detection sensitivity deteriorates. Therefore, it is necessary to increase the dimensions of the vibrator 2 to some extent, and normally it is 5Mtlz, 10mm square, 2MHz 1
Requires a size of 20mm square. - On the other hand, the scanning interval needs to be small in order to perform precise ultrasonic flaw detection.
このような条イ１の下に第３図において、例えば−方の
百３の線状電極５の６）、■、（す、（旬、 ＠の１ｊ
−ド線７を並列に結び、Ｄつ他方の而１の線状電極５の
■、■、■、■、■の１片−じ線７を並列ｔこ結ぶ。そ
して、これらに電圧８を加Ａると、図中、Ｉ、ＩＩ、Ｉ
ＩＩＩＶで囲まれた振φ＋１了２の領域から超音波ビー
ｌ＼が光信されることになる。Under such a strip 1 in FIG.
The - wires 7 are connected in parallel, and the wires 7 of one piece of the wire electrodes 5 (■, ■, ■, ■, ■) are connected in parallel. Then, when voltage 8 is applied to these, in the figure, I, II, I
The ultrasonic beam l\ will be transmitted from the area of φ+1R2 surrounded by IIIV.
また、例えば上記他方の而４の線）べ電ＫＡ５の並列結
線をそのままにしておき、上記−方の面３の線状電極５
の並列結線をΦ）、■、■）、（豆）、（ｌゆに切り換
えると、超音波ビームの発信領域は線状電極５に与えら
れた所定の間隔ｌ−たけ移動することになる。このよう
にして所定の間隔１−の整数倍の任意の間隔ｎｘＬで図
中左右方向に超音波ｔ”−１＼を電気的に走査すること
ができる。Also, for example, by leaving the parallel connection of the other wire KA5 as it is, the linear electrode 5 on the negative side 3
When the parallel connection of is switched to Φ), ■, ■), (bean), and (l), the ultrasonic beam transmission area moves by a predetermined distance l given to the linear electrode 5. In this way, it is possible to electrically scan the ultrasonic wave t''-1\ in the left-right direction in the figure at any interval nxL that is an integral multiple of the predetermined interval 1-.
同様に、例えば−Ｌ紀−方の面３の線状？ｈ極５の並列
結線をぞのままにしておき、上記他方の百４の線状電極
５の並列結線を■、■、■、■、■に切り換えると、超
音波ビームの発信領域は線状型ｌ！ｉ５に与えれた所定
の間隔へ４だ（Ｊ移動づることになる。従って、所定の
間隔Ｍの整数（ｆ＼の（ｆ息の間隔ｎ Ｘ Ｍ−（”図
中−１下方向にｐＢ 、７’、６ ｉ１＋／（’、’−
ムを電気的に走査することができる。すなりｌ′□ｌ、
重直探（方法におい−（縦横（こｆＦ意σ）間隔１．
ｘ ｌ−、ｎ ｘ Ｍ−でパ電気的に超音波ビームを走
査Ｊることがで゛さる。このよう【こ、フＹ−ズト）ル
ー−探触了１を千走合に」、らず電気的に走査すること
により超音波探傷試験の高速化及び精密化が達成され、
ひいてし１探１ａ ｉ、’ｉ果を画像化（ることができ
る。Similarly, for example, the linear shape of surface 3 on the -L period- side? When the parallel connection of the h-pole 5 is left as is, and the parallel connection of the other 104 linear electrodes 5 is switched to ■, ■, ■, ■, ■, the ultrasonic beam transmission area becomes linear. Type l! 4 (J movement) to the predetermined interval given to i5. Therefore, the integer of the predetermined interval M (f\'s (f breath interval n 7', 6 i1+/(','-
can be electrically scanned. Sunari l'□l,
Vertical search (Method - (vertical/horizontal (kofF meaning σ) interval 1.
It is possible to electrically scan the ultrasonic beam with x l-, n x M-. In this way, speeding up and precision of ultrasonic flaw detection tests has been achieved by electrically scanning the probes in a thousand scans.
In addition, it is possible to image the result.
次に本発明のフェース゛ドアレー探触了１を斜角探傷法
に適用する場合の走査方法を）ホベる。個々の振動イー
「レメン１〜を発信させるタイミングをずらすことによ
って任意の角麿に超音波じ−ムを発信させる斜角探傷法
が可能であることは周知の如くである。また集束ビーム
を光信することも可能である。Next, we will discuss the scanning method when the faceted array probe 1 of the present invention is applied to the angle angle flaw detection method. It is well known that it is possible to perform oblique flaw detection in which an ultrasonic beam is emitted at any angle by shifting the timing of emitting each vibration beam. It is also possible to do so.
第３図にＪ３いて、例えば上記−方の而３の線状電極５
間で発信ターイミング９を調整すれば第４図に示す如く
図中左右方向へ傾いた超音波ビーム１０或いは東京ビー
ムを発信Ｊることがτ・きる。In FIG. 3, there is J3, for example, the linear electrode 5 of the above-mentioned
By adjusting the transmission timing 9 between the two, it is possible to transmit the ultrasonic beam 10 or the Tokyo beam tilted in the horizontal direction in the figure as shown in FIG.
これは、隣合った線状電極５の超音波ビームがＴ渉し合
うため、タイミングをずら−４ことにより、発信方向を
変えることができるものである。尚、発信領域の移動は
上記垂直探傷法の場合と同様に縦横に任意の間隔ｎ Ｘ
Ｌ、ｎ ＸＭで電気的に超音波ビームを走査Ｊることが
できる。This is because the ultrasonic beams of adjacent linear electrodes 5 cross each other, so by shifting the timing by -4, the direction of transmission can be changed. Note that the transmission area can be moved at any vertical and horizontal intervals n
L, n XM can electrically scan the ultrasound beam.
ところで、本発明のフェーズドアレー探触了１は構造が
筒中であるので、以下のようにし一τ容易に製作するこ
とができる。第１図及び第２図に示したように振動子２
の相対向づる而３，４の両面に複数個の線状電極５を設
けるわ（Ｊであるが、まず、線状電極５となる部分」ス
外の範囲をマスキングしておき、爾後、線状電極５どな
る部分に良好４「伝導性を有する銀塗料を塗布する。ぞ
して、マスキングを除去した後上記銀塗料を焼き付１）
ることで振動子２上に所定の線状電極５を設（ｊること
ができる。By the way, since the phased array probe 1 of the present invention has a cylinder structure, it can be easily manufactured as follows. As shown in FIGS. 1 and 2, the vibrator 2
A plurality of linear electrodes 5 are provided on both sides of 3 and 4, which face each other. Apply silver paint with good conductivity to the part of the shaped electrode 5. Then, after removing the masking, bake the silver paint 1)
By doing so, a predetermined linear electrode 5 can be provided on the vibrator 2.
また、第５図（△）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す如く、振動
子２の相対向する而３，４の両面に各々甲板状に一つの
電極１１を取り付けた後に、所定の線状電極５の形状と
なるように振動子２表面に一〇−
カッター等で切溝１２を形成し、線状電極５うとなる部
分以外の電極１１を除去するＪどて゛、振動子２の相対
向する而３，４の両面に各々複数個の線状型Ｉｆ！５を
品々けることができる。尚、−方の而３に並列に設（）
られた複数個の線状電極（５ど、他方の而１に一１ｆ！
列に設けらねた複数ａηの線状型（・セ５どは［記振動
了２を挟持（〕て甲行む二Ｈ１７面にてｎいに直交する
ように設りられる。更に、こ１１ら両ｍ１゜３．７１に
設けられた複数個の線状１ｔ１与ｉ５の−（Ｉ：：ｊ部
には第１図及び第２図に示した如く、通電ｆ （ＱＯが
接続される。この通電１段６（−１例えばり−１・゛粍
；７又は端子にて形成さねでいる１１本実施例にあ−）
ては両面３，４の線状電極５を名’、？ ４００列と
（）でも、 １００＋１００＝ ２００本のり＝Ｆ粍
ｊ７て・足り、しかも、その接続箇所が各々の’６ ＃
ｊ：電極１ｈの一端部であるので従来１こ比べてフェー
スドアレー探触了１の配線が非常に簡略化される。また
更に、」−）ボの如く作成された線状電極付振動子の一
乃の而に保護板を、他方の面に振動子２の振動を調整づ
るためのパッキング口を取り付１１、上記リード線７又
は端子を外部に取り出すことにより本実施例のフェーズ
ドアレー探触子１が完成されることになる。この保護板
及びバッキング材ｌ＼の接合は従来同様にエポキシ系の
接着剤にて成されることになる。In addition, as shown in FIGS. 5(△), (B), and (C), one electrode 11 is attached to each of the opposing sides 3 and 4 of the vibrator 2 in a deck shape, and then a predetermined line is attached. Cut grooves 12 are formed on the surface of the vibrator 2 using a cutter or the like to form the shape of the linear electrode 5, and the electrode 11 other than the portion that will become the linear electrode 5 is removed. There are multiple linear types If! on both sides of 3 and 4 facing each other. You can sell 5 items. In addition, - is set in parallel to 3 ()
A plurality of linear electrodes (5 and 1 and 1 and 1 and 1 and 1 and 1 and 1, respectively)
A plurality of linear shapes (a) arranged in a row are arranged so as to be orthogonal to n on the two H17 planes in the A row, with the recording vibrations 2 sandwiched between them. As shown in Figs. 1 and 2, the -(I::j part of the plurality of linear 1t1 and i5 provided on both m1゜3.71 .This current-carrying one stage 6 (-1, for example, -1 mm; 7 or 11 formed by terminals in this embodiment)
What is the name of the linear electrodes 5 on both sides 3 and 4? Even with 400 columns and (), 100 + 100 = 200 lines = F7 is enough, and the connection points are each '6 #
j: One end of the electrode 1h, so the wiring of the face array probe 1 is greatly simplified compared to the conventional one. Furthermore, a protective plate is attached to one side of the vibrator with a linear electrode made as shown in ``-'', and a packing opening for adjusting the vibration of the vibrator 2 is attached to the other side 11, and the above-mentioned By taking out the lead wire 7 or the terminal to the outside, the phased array probe 1 of this embodiment is completed. The protection plate and the backing material l\ are bonded using an epoxy adhesive as in the conventional case.
また、次に、第６図及び第７図に本発明のフェーズドア
レー探触子の第２の実施例を述べる。図示するように、
ブロック状に形成された振動子２の相対向する面３．４
の両面には同様にブロック状に形成されたブロック電極
１３が各々一つずつ設けられている。第７図に示す如く
、−方の百３に設けられたブロック電極１３の一部分に
は切り欠き部１４が形成されており、この切り欠き部１
４には他方の而４のブロック電極１３の延出部１５が導
かれている。このように形成されたブロック探触子１６
の上記−方の百３を上側として変形可能な材質にて形成
された保護板１７上に上記ブロック探触子１６を縦横に
複数個配設する。そして、第６図に示す如く、上記−方
の而３に設けられたブロック電極１３は一方向（図中横
方向）にリード線７により直列結線して線状電極５とな
るように形成されている。また上記他方の而４のブロッ
ク電極′１３の延出部１５を上記直夕１１結線された線
状電極５に対して直交する方向（図中縦方向）に同様に
直列結線して直交づる方向の線状電極５として形成され
でいる。Next, a second embodiment of the phased array probe of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. As shown,
Opposing surfaces 3.4 of the block-shaped vibrator 2
One block electrode 13 similarly formed in a block shape is provided on each of both surfaces. As shown in FIG. 7, a notch 14 is formed in a part of the block electrode 13 provided on the - side.
4, an extension 15 of the block electrode 13 of the other block 4 is guided. Block probe 16 formed in this way
A plurality of the block probes 16 are arranged vertically and horizontally on a protection plate 17 made of a deformable material with the above-mentioned - side 103 facing upward. As shown in FIG. 6, the block electrodes 13 provided on the lower side 3 are connected in series by lead wires 7 in one direction (horizontal direction in the figure) to form linear electrodes 5. ing. Further, the extending portion 15 of the block electrode '13 of the other block electrode 4 is similarly connected in series in the direction (vertical direction in the figure) perpendicular to the linear electrode 5 which is directly connected to the linear electrode 11. It is formed as a linear electrode 5.
以上の如く構成された第２の実施例におｌ−１６フエー
ズドアレー探触子１は第１の実施例と同様の作用効果を
有するものであるが、特に、探傷表面に多少の凹凸があ
る場合でもフェーズドアレー探触子１が探傷表面に沿っ
て変形し良好な接触状態が得られるものである。これは
通常振動子２がセラミックス等にて形成されているため
変形せず、探傷表面との接触状態が悪いという欠点を解
消するものである。The l-16 phased array probe 1 in the second embodiment configured as described above has the same functions and effects as the first embodiment, but especially when the flaw detection surface has some irregularities. However, the phased array probe 1 deforms along the flaw detection surface and a good contact condition can be obtained. This is to eliminate the drawback that the vibrator 2 is usually made of ceramics or the like, so it does not deform, and the contact condition with the flaw detection surface is poor.
［発明の効果１
以上型するに本発明によれば、次のごとき優れた効果を
発揮する。[Effects of the Invention 1] According to the present invention, the following excellent effects are achieved.
中 ７エーズドアレー探触子の構造が簡単であるので、
その製作が容易にできる。Since the structure of the middle 7 aided array probe is simple,
Its production is easy.
（２１１項の如くフェー探触子レー探触了の構造が簡単
になったので、探触子がら取り出す配線の数が少な（な
り、ｎつ、少ない配線にて探触子の走査ができる。(As shown in Section 211, the structure of the Feh probe and Ray probe has been simplified, so the number of wires taken out from the probe is small.) The probe can scan with n fewer wires.
（３） 超音波探傷試験において、超音波ビームを機
械的な走査によらず、電気的に走査するようにしたので
、超音波探傷試験の高速化及び精密化が達成できる。(3) In the ultrasonic flaw detection test, the ultrasonic beam is scanned electrically instead of mechanically, so that the ultrasonic flaw detection test can be performed faster and more precisely.
（４）３項の如く、電気的に走査するようにしたので、
同一構造のフェーズドアレー探触子を垂直探傷法と斜角
探傷法とに適用することができる。(4) As mentioned in section 3, since the scanning was done electrically,
A phased array probe with the same structure can be applied to the vertical flaw detection method and the oblique flaw detection method.
（５）３項の如く、超音波探傷試験の精密化が達成でき
るので、探傷結果を画像化することができる。(5) As described in item 3, since the ultrasonic flaw detection test can be made more precise, the flaw detection results can be visualized.
第１図は本発明の第１の実施例におけるフェーズドアレ
ー探触子の一方の而を示す平面図、第２図は本発明の第
１の実施例におけるフェーズドアレー探触子の他方の面
を示す平面図、第３図は本発明のフェーズドアレー探触
子の走査方法を示す図、第４図は本発明のフェーズドア
レー探触子を斜角探傷法に適用した図、第５図は本発明
の第１の実施例におけるフェーズドアレー探触子の製作
方法を示す図（（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ
）は側面図）、第６図は本発明の７エーズドアレー探触
子の第２の実施例を示す斜視図、第７図は従来の７エー
ズドアレー探触子の一方の面を示す平面図、第８図は従
来の７エーズドアレー探触子の一方の面を示す平面図、
第９図は従来の７エーズドアレー探触子の他方の而を示
す平面図である。
図中、１はフェーズドアレー探触子、２は振動子、３は
一方の面、４は他方の面、５は線状電極、６は通電手段
、しは所定の間隔（−方の面）、Ｍは所定の間隔（他方
の面）である。
特許出願人 石川島播磨重工業株式会社代理人弁理士
絹 谷 信 雄−１４＝FIG. 1 is a plan view showing one side of the phased array probe according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing the other side of the phased array probe according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing the scanning method of the phased array probe of the present invention, FIG. 4 is a diagram showing the phased array probe of the present invention applied to the angle angle flaw detection method, and FIG. 5 is a diagram showing the scanning method of the phased array probe of the present invention. Diagrams showing a method for manufacturing a phased array probe in the first embodiment of the invention ((A) is a plan view, (B) is a front view, (C
) is a side view), FIG. 6 is a perspective view showing a second embodiment of the 7-aided array probe of the present invention, FIG. 7 is a plan view showing one side of a conventional 7-aided array probe, and FIG. Figure 8 is a plan view showing one side of a conventional 7A aided array probe.
FIG. 9 is a plan view showing the other part of the conventional 7A aided array probe. In the figure, 1 is a phased array probe, 2 is a vibrator, 3 is one surface, 4 is the other surface, 5 is a linear electrode, 6 is a current supply means, and a predetermined interval (- side) , M is a predetermined interval (on the other side). Patent applicant: Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. Representative patent attorney: Nobuo Kinutani-14=
Claims (1)
所定の間隔を隔てて並列に設けると共に、他方の面に上
記一方の面に設けられた複数個の線状電極と交叉する方
向に複数個の線状電極を所定の間隔を隔てて並列に設け
、これら両面に設けられた複数個の線状電極の一端部に
各々通電手段を接続したことを特徴とするフェーズドア
レー探触子。A plurality of linear electrodes are provided in parallel at a predetermined interval on one of the opposing surfaces of the vibrator, and a plurality of linear electrodes provided on the other surface intersect with the plurality of linear electrodes provided on the one surface. A phased array detector characterized in that a plurality of linear electrodes are arranged in parallel at a predetermined interval in the direction in which the electrodes move, and a current-carrying means is connected to one end of each of the plurality of linear electrodes provided on both sides. Tentacles.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144722A JPS631965A (en) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | Phased array probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144722A JPS631965A (en) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | Phased array probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631965A true JPS631965A (en) | 1988-01-06 |
Family
ID=15368791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61144722A Pending JPS631965A (en) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | Phased array probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631965A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004251751A (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Acoustic sensor array, acoustic diagnostic device and acoustic diagnostic method |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP61144722A patent/JPS631965A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004251751A (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Acoustic sensor array, acoustic diagnostic device and acoustic diagnostic method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6073389B2 (en) | Ultrasonic immersion inspection of members with arbitrary surface contours | |
| US8924164B2 (en) | Apparatus and method for ultrasonic testing | |
| JPS61110050A (en) | Ultrasonic probe | |
| CN115380223B (en) | Ultrasound probe with row and column addressing array | |
| JPS58223059A (en) | Ultrasonic flaw detector | |
| Akhnak et al. | 64 elements two-dimensional piezoelectric array for 3D imaging | |
| JP2001305115A (en) | Phased array type ultrasonic flaw detector | |
| WO2021039640A1 (en) | Ultrasonic inspection device and ultrasonic inspection method | |
| JPS631965A (en) | Phased array probe | |
| RU2651431C1 (en) | Method of industrial ultrasound diagnostics of vertically oriented defects of prismatic metal products and device for its implementation | |
| TWI813121B (en) | Ultrasonic inspection device | |
| US3709029A (en) | Ultrasonic inspection apapratus | |
| US8058776B1 (en) | Laminar array ultrasound transducer and system | |
| JPS591980B2 (en) | Ultrasonic inspection device | |
| JPH11316215A (en) | Ultrasonic flaw detection apparatus and method | |
| JPH11304769A (en) | Ultrasonic inspection method | |
| JPH08105869A (en) | Standard sample for evaluating ultrasonic probe characteristics and method for evaluating ultrasonic probe characteristics | |
| JPH03257363A (en) | Ultrasonic flaw detection apparatus | |
| JPS6066159A (en) | Electronic scanning type transverse wave diagonal angle probe and non-destructive inspecting method using said probe | |
| WO2022044467A1 (en) | Ultrasonic inspection apparatus and ultrasonic inspection method | |
| JPS61286747A (en) | Three-dimensional probe and three-dimensional imaging apparatus | |
| JP2004191088A (en) | Ultrasonic flaw detection method and its device | |
| JPH1114611A (en) | Electronic scanning system ultrasonic inspection equipment | |
| JPH02269962A (en) | Ultrasonic inspection device | |
| JP2683719B2 (en) | Ultrasound imaging device |