JPS63195942A - 電子顕微鏡の高電圧発生装置 - Google Patents
電子顕微鏡の高電圧発生装置Info
- Publication number
- JPS63195942A JPS63195942A JP2628487A JP2628487A JPS63195942A JP S63195942 A JPS63195942 A JP S63195942A JP 2628487 A JP2628487 A JP 2628487A JP 2628487 A JP2628487 A JP 2628487A JP S63195942 A JPS63195942 A JP S63195942A
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- JP
- Japan
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- voltage
- discharge
- high voltage
- aimed
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業の利用分野〕
本発明は、電子顕微鏡に係り、特に高電圧発生に好適な
電子顕微鏡の高電圧発生装置に関する。
電子顕微鏡の高電圧発生装置に関する。
従来は、過剰電圧を印加する場合０Ｎ１０ＦＦによりい
つきに昇圧していた。
つきに昇圧していた。
本公知例（特公昭５６−３７５６２）は、インダクタン
スを利用した放電防止方法である。
スを利用した放電防止方法である。
上記従来技術は、過剰電圧印加時の放電開始電圧につい
て配慮されておらず、過剰電圧印加による放電の問題が
あった。
て配慮されておらず、過剰電圧印加による放電の問題が
あった。
本発明の目的は、放電開始電圧を検出し過剰電圧印加に
よる無用な放電をなくすことにある。
よる無用な放電をなくすことにある。
上記目的は、過剰電圧印加を電圧検知器に連動させるこ
とにより放電開始電圧を認知し過剰電圧印加を制御する
ことにより達成される。
とにより放電開始電圧を認知し過剰電圧印加を制御する
ことにより達成される。
過剰電圧印加手段は、目的の高電圧で安定して使用する
ために目的の高電圧より１〜２割増の高電圧を数百Ｖの
電圧ステップで階段状に印加できる。
ために目的の高電圧より１〜２割増の高電圧を数百Ｖの
電圧ステップで階段状に印加できる。
過剰電圧印加手段を制御する手段は、高電圧検知器に連
動し、過剰電圧印加手段により高電圧を徐々に印加し放
電開始電圧を認知することにより放電開始電圧の近傍で
過剰電圧を昇圧、減圧を繰り返し放電開始電圧を徐々に
上げるよう動作する。
動し、過剰電圧印加手段により高電圧を徐々に印加し放
電開始電圧を認知することにより放電開始電圧の近傍で
過剰電圧を昇圧、減圧を繰り返し放電開始電圧を徐々に
上げるよう動作する。
過剰電圧印加手段を制御する手段により、過剰電圧印加
時の大放電を防止することが出来る。
時の大放電を防止することが出来る。
以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は、高電圧発生装置のブロック図で、１はマイクロコ
ンピュータ、２はディジタル／アナログ変換器等の電圧
印加手段、３は差動増巾器、４は放電検出装置、５は高
電圧振込用の一次振込回路５６は昇圧トランス、整流回
路及び平滑回路よりなる既知の高電圧トランス、７は高
抵抗で差動増巾器３ヘフィードバックし高電圧の安定印
加を行なう。
図は、高電圧発生装置のブロック図で、１はマイクロコ
ンピュータ、２はディジタル／アナログ変換器等の電圧
印加手段、３は差動増巾器、４は放電検出装置、５は高
電圧振込用の一次振込回路５６は昇圧トランス、整流回
路及び平滑回路よりなる既知の高電圧トランス、７は高
抵抗で差動増巾器３ヘフィードバックし高電圧の安定印
加を行なう。
本実施例によれば、目的とする電圧Ｖｓを印加する場合
、目的とする電圧Ｖｓより１割程度低い電圧から数百Ｖ
ステップ、数百μＳで昇圧する様マイクロコンピュータ
１からディジタル−アナログ変換器等の電圧印加手段２
ヘデータが送られ。
、目的とする電圧Ｖｓより１割程度低い電圧から数百Ｖ
ステップ、数百μＳで昇圧する様マイクロコンピュータ
１からディジタル−アナログ変換器等の電圧印加手段２
ヘデータが送られ。
該データに対応した出力電圧を電圧印加手段２が出力す
る。該出力電圧と高抵抗７を通してブイ−ドパツクされ
た電圧で差動増巾器３が動作し一次振込回路５で数１０
Ｖの直流電圧をスイッチングトランジスタで０Ｎ１０Ｆ
ＦＬ、、高電圧トランス６で直流高電圧を発生させる。
る。該出力電圧と高抵抗７を通してブイ−ドパツクされ
た電圧で差動増巾器３が動作し一次振込回路５で数１０
Ｖの直流電圧をスイッチングトランジスタで０Ｎ１０Ｆ
ＦＬ、、高電圧トランス６で直流高電圧を発生させる。
第２図に示す様に目的とする電圧Ｖｓより低い電圧から
ステップ状に電圧を印加し過剰電圧Ｖ。
ステップ状に電圧を印加し過剰電圧Ｖ。
まで印加し放電がない場合、過剰電圧Ｖｏから目的とす
る電圧Ｖｓへ戻し使用する。
る電圧Ｖｓへ戻し使用する。
第３図の様に昇圧途中で放電が発生した場合、例えば、
目的とする電圧Ｖｇで放電が発生した場合、放電検出装
置４よりマイクロコンピュータ１へ放電有の信号が入り
電圧印加手段２へ送るデータを１ステップ下げ次に２ス
テツプ昇圧して２ステツプ減圧する数百μｓのコンディ
ショニング時間１のサイクルを繰り返した後に再度、昇
圧し始める０次にまた印加電圧ＶＢ２で放電を放電検出
装置４が検出す゛ると前記動作により１ステツプ印加電
圧を下げ２ステツプ印加電圧を昇圧するサイクルをコン
ディショニング時間２だけ繰り返した後に再度昇圧すし
過剰電圧Ｖｏで放電なく印加された時、第２図の様に目
的とする電圧Ｖｓに減圧される。
目的とする電圧Ｖｇで放電が発生した場合、放電検出装
置４よりマイクロコンピュータ１へ放電有の信号が入り
電圧印加手段２へ送るデータを１ステップ下げ次に２ス
テツプ昇圧して２ステツプ減圧する数百μｓのコンディ
ショニング時間１のサイクルを繰り返した後に再度、昇
圧し始める０次にまた印加電圧ＶＢ２で放電を放電検出
装置４が検出す゛ると前記動作により１ステツプ印加電
圧を下げ２ステツプ印加電圧を昇圧するサイクルをコン
ディショニング時間２だけ繰り返した後に再度昇圧すし
過剰電圧Ｖｏで放電なく印加された時、第２図の様に目
的とする電圧Ｖｓに減圧される。
本発明によれば、目的の電圧Ｖａで安定に高電圧を使用
するため、従来の様に過剰電圧Ｖｏをいつきに印加する
ことによる大放電を防止でき、高電圧を安定に供給出来
る。
するため、従来の様に過剰電圧Ｖｏをいつきに印加する
ことによる大放電を防止でき、高電圧を安定に供給出来
る。
第１図は本発明の高電圧発生装置のブロック図、第２図
、第３図は本発明による高電圧印加を表わした図である
。
、第３図は本発明による高電圧印加を表わした図である
。
Claims (1)
- １、放電検出装置と電圧印手段を有する電子顕微鏡の高
電圧発生装置において、放電検出装置に連動し電圧印加
手段を制御する手段を設けたことを特徴とする電子顕微
鏡の高電圧発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2628487A JPS63195942A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 電子顕微鏡の高電圧発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2628487A JPS63195942A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 電子顕微鏡の高電圧発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195942A true JPS63195942A (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=12188990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2628487A Pending JPS63195942A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 電子顕微鏡の高電圧発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195942A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078103A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング処理方法および処理装置 |
| JP2009146834A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Jeol Ltd | 電子ビーム装置 |
| JP2010218885A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング処理方法 |
| JP2012038858A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置 |
-
1987
- 1987-02-09 JP JP2628487A patent/JPS63195942A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078103A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング処理方法および処理装置 |
| JP2009146834A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Jeol Ltd | 電子ビーム装置 |
| JP2010218885A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング処理方法 |
| JP2012038858A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Nuflare Technology Inc | 電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置 |
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