JPS63192106A - Sequence control system - Google Patents
Sequence control systemInfo
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- JPS63192106A JPS63192106A JP2574687A JP2574687A JPS63192106A JP S63192106 A JPS63192106 A JP S63192106A JP 2574687 A JP2574687 A JP 2574687A JP 2574687 A JP2574687 A JP 2574687A JP S63192106 A JPS63192106 A JP S63192106A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明はマイコンを利用したシーケンス制御方式におい
て、複雑多様なシーケンスを、その内容が変わるごとに
プログラミングし直し、そのために膨大な時間を必要と
するという問題点を解決するため、シーケンス制御プロ
グラム言語として「式」形式を導入し、この「式」によ
って所望のシーケンスを記述して操作卓から入力すると
、これを解読し、その内容に対応する実行可能なプログ
ラムに展開するようにしたことにより、複雑なシーケン
スを簡単にプログラミングできるようにしたものである
。[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention solves the problem that, in a sequence control method using a microcomputer, complex and diverse sequences must be reprogrammed every time their contents change, which requires an enormous amount of time. In order to solve this problem, we introduced the "formula" format as a sequence control programming language. When a desired sequence is described using this "formula" and input from the console, it is decoded and an executable corresponding to the contents is created. By expanding it into a program, complex sequences can be easily programmed.
本発明はマイコンを利用したシーケンス制御方式に関す
る。The present invention relates to a sequence control method using a microcomputer.
シーケンス制御は、産業界の各分野で広く行われている
。その制御内容は複雑で、しかも多種多様化する趨性に
ある。かかる傾向に対応して、簡単に、しかも多岐にわ
たる要求に対応可能なシーケンス制御用プログラミング
言語の出現が要望されている。Sequence control is widely practiced in various fields of industry. The control contents are complex and tend to become more diverse. In response to this trend, there is a demand for a programming language for sequence control that can easily meet a wide variety of requirements.
従来のシーケンス制御方法を第３図に示す。A conventional sequence control method is shown in FIG.
第３図Ｔａ１． （ｂ）により、かねてより用いられて
いる一般的なシーケンス制御方法を説明する。Figure 3 Ta1. A general sequence control method that has been used for some time will be explained with reference to (b).
同図（ａ）は実行しようとするシーケンス制御の内容を
示す図で、Ａ、Ｂ、Ｃは実行しようとするシーケンス制
御における要素動作である。モータの回転制御に例をと
ると、モータの右回転、左回転等がこれに当たる。また
、ｌ、 ｔｐｒ、 ｎはシーケンスを繰り返す回数を示
す。FIG. 5A is a diagram showing the contents of the sequence control to be executed, and A, B, and C are element operations in the sequence control to be executed. Taking the rotation control of a motor as an example, this applies to clockwise rotation, counterclockwise rotation, etc. of the motor. Also, l, tpr, and n indicate the number of times the sequence is repeated.
即ち、同図（ａ）の場合は、要素動作Ａを実行した後、
引き続いてＢを実行するという動作をｎ回繰り返し、次
いでＣを１回行う、更にこの一連の動作をｍ回実行しよ
うとするものである。That is, in the case of (a) in the same figure, after executing element operation A,
Subsequently, the operation of executing B is repeated n times, then C is executed once, and this series of operations is further executed m times.
かかるシーケンス制御を実行するには、このシーケンス
に従って処理を行うハードウェアを作成するか、或いは
このシーケンスに従って処理を実行させるためのプログ
ラムを、しかるべきプログラム言語を用いて作成し、こ
のプログラムを実行させるという、２つの方法がある。To execute such sequence control, either create hardware that performs processing according to this sequence, or create a program to perform processing according to this sequence using an appropriate programming language, and execute this program. There are two methods.
前者の方法は処理が一定で、且つこの処理装置を大量に
製造する場合にはよいが、シーケンスの変更が困難であ
り、システムの柔軟性に欠ける。The former method has a constant process and is good when the processing apparatus is manufactured in large quantities, but it is difficult to change the sequence and the system lacks flexibility.
そのため、現在では通常後者の方法が多く用いられる。Therefore, the latter method is currently often used.
同図山）は、上記シーケンスを後者の方法を用いて実行
するための、プログラムの構成を示すフローチャートで
ある。FIG. 3) is a flowchart showing the configuration of a program for executing the above sequence using the latter method.
このようにプログラム制御を用いた場合には、シーケン
スの変更等があった場合にも、ハードウェアを変更する
ことなく、プログラムを変更するのみで、柔軟に対処で
きる。When program control is used in this way, even if there is a change in the sequence, it can be handled flexibly by simply changing the program without changing the hardware.
しかしこの場合でも、プログラムは実行しようとするシ
ーケンスと１対ｌに対応しているため、シーケンスが大
幅に変更された場合、特に繰り返し手順（方法）が変更
された場合は、先に作成したプログラムを全く使用でき
ず、また最初からプログラム作成しなければならない。However, even in this case, the program has a one-to-one correspondence with the sequence to be executed, so if the sequence is significantly changed, especially if the repeating procedure (method) is changed, the program that was previously created cannot be used at all, and the program must be created from scratch.
プログラムの作成はハードウェアの作成に較べれば迩か
に容易且つ短時間で実行できるとは言え、なおかなりの
時間を要し、また誰でもできるというものではなく、プ
ログラミングの素養を持った要員を必要とする。Although creating a program is much easier and faster than creating hardware, it still takes a considerable amount of time and cannot be done by just anyone; it requires personnel with programming skills. I need.
そのため、シーケンス制御装置を使用して研究開発を行
なっている研究室等において、処理のシーケンス変更が
煩雑で時間がかかり、試作・開発のサイクルが長くなる
という問題があり、シーケンスの設定、変更を容易にす
る手段ないしは方法の出現が強く要望されている。Therefore, in laboratories that conduct research and development using sequence control devices, changing the processing sequence is complicated and time-consuming, prolonging the prototyping and development cycle. There is a strong need for a means or method to facilitate this.
本発明の目的は、複雑で多岐にわたるシーケンスであっ
ても、単にシーケンスを指定するのみで、所望のシーケ
ンス制御を実行することができるシーケンス制御方式を
提供することにある。An object of the present invention is to provide a sequence control method that can execute desired sequence control by simply specifying a sequence, even if the sequence is complex and diverse.
本発明の構成を第１図に示す。 The configuration of the present invention is shown in FIG.
本発明においては、制御部１とシーケンス実行指令部４
と操作卓５とを具え、予め定められた手順に従ってシー
ケンス実行指令部４が制御対象６の動作を制御すること
により、所望のシーケンス制御を行うシーケンス制御装
置に、命令解読部２と制御指令手順組み立て部３とを設
け、操作卓５から入力された所定の様式に基づくステー
トメントを命令解読部２が解読し、この解読結果に基づ
いて制御指令手順組゛み立て部３は制御プログラムを組
み立て、このプログラムに従ってシーケンス制御実行指
令部４は制御対象６に駆動信号を送出することにより、
所望のシーケンス制御を行う。In the present invention, the control unit 1 and the sequence execution command unit 4
and an operation console 5, and the sequence execution command unit 4 controls the operation of the controlled object 6 according to a predetermined procedure, so that the sequence control device performs desired sequence control. The command decoding part 2 decodes statements based on a predetermined format input from the operation console 5, and the control command procedure assembling part 3 assembles a control program based on the decoding result. According to this program, the sequence control execution command unit 4 sends a drive signal to the controlled object 6, thereby
Perform desired sequence control.
上述の如く本発明においては、所望のシーケンスを所定
の様式に従って記述したステートメントを操作卓５から
入力すると、これは命令解読部２によって解読され、更
に制御指令手順組み立て部３によって制御指令手順が組
み立てられ、入力されたステートメントが示すシーケン
スを実行するためのプログラムに展開される。プログラ
ムができれば、後はこのプログラムを実行することによ
りシーケンス制御が行われることは従来と同様である。As described above, in the present invention, when a statement describing a desired sequence according to a predetermined format is input from the operation console 5, this is decoded by the command decoding section 2, and then a control command procedure is assembled by the control command procedure assembling section 3. is expanded into a program to execute the sequence indicated by the input statements. Once the program is created, sequence control is performed by executing the program, as in the past.
上記ステートメントは簡単な様式で複雑なシーケンスで
も表現できるので、所望のシーケンスを容易に記述でき
、入力されたステートメントは直ちにプログラム化され
、即実行されるので、シーケンスの変更、修正が簡単且
つ短時間で可能となる。The above statements can be expressed in a simple manner even in complex sequences, so the desired sequence can be easily written, and the input statements are immediately programmed and executed, making it easy to change and modify the sequence. This becomes possible.
以下本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照しなが
ら説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
本実施例では、半導体装置の製造工程において、気相成
長装置を用いて所望薄膜の成長を行う際の、一連のプロ
セス制御を行う例を説明する。In this embodiment, an example will be described in which a series of process controls are performed when a desired thin film is grown using a vapor phase growth apparatus in the manufacturing process of a semiconductor device.
上記薄膜成長を行うには、気相成長装置の処理室内に複
数種のソースを置き、その上で回転する基板保持具の下
面に薄膜を成長させる基板を取りつけ、基板保持具を回
転させて基板を所望のソース上に移動させ、所定時間経
過後基板保持具を回転させて他のソース上に基板を移動
させる。To perform the above thin film growth, multiple types of sources are placed in the processing chamber of the vapor phase growth apparatus, the substrate on which the thin film is to be grown is attached to the bottom surface of the rotating substrate holder, and the substrate holder is rotated. is moved onto a desired source, and after a predetermined period of time, the substrate holder is rotated to move the substrate onto another source.
このような処理プロセスは、基板保持具の駆動モータの
回転をシーケンス制御することによって行われる。この
シーケンスは膜の成長順序と各膜厚によって定まるもの
で、その例を第２図（ａ）に示す。Such a treatment process is performed by sequentially controlling the rotation of the drive motor of the substrate holder. This sequence is determined by the growth order of the films and the thickness of each film, and an example thereof is shown in FIG. 2(a).
同図は以下のような手順を意味する。即ち、基板保持具
をまず右回転（同図のＲ）させた後、１０秒間停止（同
図のＳ）させ、次いで左回転（同図（７）Ｌ）させた後
、１０秒間停止させる。このシーケンスを１０回繰り返
す０次いで左回転させ、３０秒間停止させる。更にこの
シーケンスを３回繰り返す。The figure shows the following steps. That is, the substrate holder is first rotated to the right (R in the figure), then stopped for 10 seconds (S in the figure), then rotated to the left (L in the figure (7)), and then stopped for 10 seconds. Repeat this sequence 10 times. Then rotate counterclockwise and stop for 30 seconds. Repeat this sequence three more times.
同図（ｂ）は上記シーケンスを記述したステートメント
を示す図で、本実施例では、このステートメントを操作
卓５から入力する。入力されたステートメントは、一般
に表示画面上に表示されるが、本図はその画面に表示さ
れた状態を示すものである。FIG. 5B shows a statement describing the above sequence, and in this embodiment, this statement is input from the console 5. The input statement is generally displayed on a display screen, and this figure shows the state displayed on the screen.
同図の“ＳＥＱ″はシーケンスを示す式であることを意
味し、そのシーケンスは、等号“＝゛の右辺に記述され
る。"SEQ" in the figure means an expression indicating a sequence, and the sequence is written on the right side of the equal sign "=".
右辺の“Ｒ１，ｌｔ、ｌ は要素動作を指定するもので
、本実施例では右回転、左回転を指定する命令、その後
に引き続く小括弧“（）゛ は、その中の数字が停止時
間を指定する。“十′はこれの左側の要素動作の次に、
右側の要素動作を実行することを示す。大括弧“〔〕°
は一連のシーケンスの一つのかたまりをしめし、この
後の“・。"R1, lt, l" on the right side specifies the element operation, and in this example, the instructions specifying right rotation and left rotation. specify. “10′ is next to the element movement to the left of this,
Indicates that the element action on the right side is to be executed. Brackets “〔〕°
indicates one part of a series of sequences, and after this “・”.
と数字は、大括弧で括られた一連のシーケンスをその数
字で指定された回数だけ繰り返すことを指定する。and a number specify that the sequence enclosed in square brackets is to be repeated the number of times specified by the number.
シーケンス制御の実行に先立って、このステートメント
を操作卓５から入力すると、命令解読部２は入力された
ステートメントを、左から順に解読し、その内容を制御
指令手順組み立て部３に送出する。制御指令手順組み立
て部３は内容に対応して手順を組み立てる。これにより
入力されたステートメントは実行可能なプログラムに展
開された。このプログラムは制御部１に付属するメモリ
（図示せず）に格納され、実行可能な状態となる。When this statement is input from the console 5 prior to execution of sequence control, the instruction decoder 2 decodes the input statements in order from the left and sends the contents to the control command procedure assembler 3. The control command procedure assembling unit 3 assembles a procedure according to the contents. This expands the entered statements into an executable program. This program is stored in a memory (not shown) attached to the control unit 1 and becomes executable.
そこでこのプログラムを起動することにより、所望のシ
ーケンス制御が行われる。By starting this program, desired sequence control is performed.
即ち、シーケンス実行指令部４は上記プログラムに従っ
て、制御対象６９本実施例ではモータに右回転、左回転
、或いは停止を指令する信号を送出して、前述のシーケ
ンス〔同図（ａ）参照３通りモータを制御し、この結果
所望の薄膜成長が行われる。That is, in accordance with the above program, the sequence execution command section 4 sends a signal instructing the motor to rotate clockwise, counterclockwise, or stop in accordance with the above-mentioned program, and executes the above-mentioned sequence [see figure (a) in three ways]. The motor is controlled, resulting in the desired thin film growth.
本発明のステートメントの記述様式は非常に簡単である
にもかかわらず、複雑なシーケンスでも記述できる。そ
の−例を同図（Ｃ）に示す。Although the statement format of the present invention is very simple, even complex sequences can be written. An example of this is shown in FIG.
また上述のステートメントによるシーケンスの記述は簡
単であるので、操作卓５から所望のシーケンスを指定す
ることは至って容易である。また入力されたステートメ
ントは、短時間で実行可能なプログラムに展開される。Furthermore, since the sequence can be easily described using the above-mentioned statements, it is extremely easy to specify a desired sequence from the console 5. Input statements are expanded into programs that can be executed in a short time.
従って本発明を用い本発明−実施例説明図 第 ２ 図 第 ３ 図Therefore, using the present invention, the present invention-Explanatory diagram of embodiments Figure 2 Figure 3
Claims (1)
５）とを具え、予め定められた手順に従って前記シーケ
ンス実行指令部（４）が制御対象（６）の動作を制御す
ることにより、所望のシーケンス制御を行うシーケンス
制御装置（７）において、命令解読部（２）と制御指令
手順組み立て部（３）とを設け、所定の記述様式に基づ
くステートメントを前記操作卓（５）から入力し、前記
命令解読部（２）は該ステートメントの内容を解読し、
前記制御指令手順組み立て部（３）は該解読された内容
に基づいて制御プログラムを組み立て、前記シーケンス
制御実行指令部（４）は該プログラムに従って前記制御
対象（６）に駆動信号を送出することにより、所望のシ
ーケンス制御を行うようにしたこと特徴とするシーケン
ス制御方式。The control unit (1), the sequence execution command unit (4), and the operation console (
5), and the sequence control device (7) performs desired sequence control by controlling the operation of the controlled object (6) by the sequence execution command unit (4) according to a predetermined procedure. A control command procedure assembling section (2) and a control command procedure assembling section (3) are provided, a statement based on a predetermined description format is inputted from the console (5), and the instruction decoding section (2) decodes the contents of the statement. ,
The control command procedure assembling unit (3) assembles a control program based on the decoded content, and the sequence control execution command unit (4) sends a drive signal to the controlled object (6) according to the program. , a sequence control method characterized by performing desired sequence control.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2574687A JPS63192106A (en) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | Sequence control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2574687A JPS63192106A (en) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | Sequence control system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63192106A true JPS63192106A (en) | 1988-08-09 |
Family
ID=12174389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2574687A Pending JPS63192106A (en) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | Sequence control system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63192106A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0259905A (en) * | 1988-08-26 | 1990-02-28 | Fanuc Ltd | Sequence program edition system |
| JPH04227504A (en) * | 1990-05-09 | 1992-08-17 | Mitsubishi Electric Corp | Programming device of programmable controller |
| JPH05250009A (en) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Jgc Corp | Sequency control method for batch process |
-
1987
- 1987-02-05 JP JP2574687A patent/JPS63192106A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0259905A (en) * | 1988-08-26 | 1990-02-28 | Fanuc Ltd | Sequence program edition system |
| JPH04227504A (en) * | 1990-05-09 | 1992-08-17 | Mitsubishi Electric Corp | Programming device of programmable controller |
| JPH05250009A (en) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Jgc Corp | Sequency control method for batch process |
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