JPS63182547A - Particle analyzer - Google Patents
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、フローサイトメータ等においてフローセル内
の流通部を流れるサンプル液流の流径測定を可能とした
粒子解析装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a particle analysis device that is capable of measuring the flow diameter of a sample liquid flowing through a flow section in a flow cell in a flow cytometer or the like.
［従来の技術１
フローサイトメータ等に用いられる従来の粒子解析装置
では、フローセル中央部の例えば２５０ルｍＸ２５０ｐ
ｍの微小な断面を有する流通部内を、流体力学的焦点合
わせの原理に基づいて層流の状態で流れている高速のシ
ース液に包まれたサンプル液流にレーザービームを照射
し、サンプル液中の検体粒子によって散乱された前方散
乱光及び側方散乱光から、検体粒子の形状、大きさ、屈
折率等の粒子的性質を得るようになっている。[Prior art 1] In a conventional particle analysis device used in a flow cytometer, etc., a particle size of, for example, 250 m x 250 p in the center of the flow cell
A laser beam is irradiated onto the sample liquid flow surrounded by the high-speed sheath liquid flowing in a laminar flow state based on the principle of hydrodynamic focusing in a flow section with a minute cross section of m. The particle properties such as the shape, size, and refractive index of the sample particles are obtained from the forward scattered light and side scattered light scattered by the sample particles.
サンプル液及びシース液を高速で流すために、サンプル
液、シース液はそれぞれ加圧されており、サンプル液に
はシース液よりも僅かに高い圧力が加えられている。サ
ンプル液流の流径はサンプル液及びシース液に加えられ
る圧力の差によって変化し、圧力差が大きくなるとサン
プル液流の流径は大きくなり、圧力差が小さくなるとサ
ンプル液流の流径は小さくなる。In order to flow the sample liquid and the sheath liquid at high speed, the sample liquid and the sheath liquid are each pressurized, and a pressure slightly higher than that of the sheath liquid is applied to the sample liquid. The flow diameter of the sample liquid flow changes depending on the difference in pressure applied to the sample liquid and the sheath liquid; as the pressure difference increases, the flow diameter of the sample liquid flow increases, and as the pressure difference decreases, the flow diameter of the sample liquid flow decreases. Become.
ところで、検体粒子の大きさに比べてサンプル液流の流
径が大きい場合には、サンプル液流中での検体粒子の通
過位置にばらつきが生ずる。また、検体粒子に照射され
るレーザービームの光強度分布はガウス分布になるので
、検体粒子の通過位置にばらつきが生ずると、同一の検
体粒子でも照射光強度に差が出てしまい、その結果とし
て検体粒子から得られる光電信号に強度差が生じて精度
の高い測定が困難になる。逆に、検体粒子の大きさに比
べてサンプル液流の流径が小さい場合には、測定精度が
高くなる反面で単位時間当りの検体粒子の通過個数が減
少してしまい解析速度が低下する。高精度でかつ効率の
良い測定結果を得るためには、サンプル液流の流径を検
体粒子の大きさとほぼ等しくすることが望ましい。By the way, when the flow diameter of the sample liquid flow is larger than the size of the sample particles, variations occur in the passage positions of the sample particles in the sample liquid flow. In addition, the light intensity distribution of the laser beam irradiated to the sample particles is a Gaussian distribution, so if there is variation in the passing position of the sample particles, there will be a difference in the irradiation light intensity even for the same sample particle, and as a result, Differences in intensity occur in the photoelectric signals obtained from the sample particles, making highly accurate measurements difficult. Conversely, if the flow diameter of the sample liquid flow is small compared to the size of the sample particles, the measurement accuracy will increase, but the number of sample particles passing per unit time will decrease, and the analysis speed will decrease. In order to obtain highly accurate and efficient measurement results, it is desirable that the flow diameter of the sample liquid flow be approximately equal to the size of the sample particles.
従来の粒子解析装置においては、サンプル液、シース液
のそれぞれに加えられる圧力は、検体粒子の単位時間当
りの通過個数が一定となるように調整されている。この
ため、この方法による測定では、サンプル液とシース液
に加えられる圧力の差は、サンプル液中の検体粒子濃度
に左右され、例えば濃度が薄い場合には検体粒子の通過
個数を増加させるために、サンプル液に加える圧力を高
くして、サンプル液流の流径が大きくなるように調節さ
れる。しかし、サンプル液流の流径な太きくすると、前
述したように検体粒子の通過位置がばらつき、精度の高
い測定を行うことが困難になる。In conventional particle analysis devices, the pressures applied to each of the sample liquid and the sheath liquid are adjusted so that the number of sample particles passing per unit time is constant. Therefore, in measurements using this method, the difference in pressure applied to the sample liquid and the sheath liquid depends on the concentration of analyte particles in the sample liquid. , the pressure applied to the sample liquid is increased to increase the flow diameter of the sample liquid flow. However, if the flow diameter of the sample liquid flow is increased, as described above, the passing positions of the sample particles will vary, making it difficult to perform highly accurate measurements.
［発明の目的］
本発明の目的は、サンプル液中の検体粒子濃度に左右さ
れることなく、効率良く高精度の粒子解析を行うため、
サンプル液流の流径測定手段を備えた粒子解析装置を提
供することにある。[Objective of the Invention] The object of the present invention is to perform particle analysis efficiently and with high accuracy without being affected by the concentration of analyte particles in a sample liquid.
An object of the present invention is to provide a particle analysis device equipped with means for measuring the flow diameter of a sample liquid flow.
［発明の概要］
上述の目的を達成するための本発明の要旨は、フローセ
ル内の流通部を流れる検体粒子に光ビームを照射する照
射光学系と、検体粒子による散乱光及び蛍光を測定する
測光用光学系とを有し、前記フローセルを前記測光用光
学系と共に基台上に載置して、該基台を前記光ビームの
照射光軸に対して相対的に移動可能とした粒子解析装置
において、前記光ビームはサンプル流の流れと直交する
方向でサンプル流を横切る形状と、サンプル流の流れと
直交する方向の幅を狭めてサンプル流の一部を照射する
形状との２つの形状に切換える手段を設けたことを特徴
とする粒子解析装置である。[Summary of the Invention] The gist of the present invention to achieve the above-mentioned object is to provide an irradiation optical system that irradiates a light beam to sample particles flowing through a flow section in a flow cell, and a photometry system that measures scattered light and fluorescence by the sample particles. a particle analysis device, wherein the flow cell is placed on a base together with the photometric optical system, and the base is movable relative to the irradiation optical axis of the light beam. In this method, the light beam has two shapes: one that crosses the sample flow in a direction perpendicular to the flow of the sample flow, and one that narrows the width in the direction perpendicular to the flow of the sample flow and irradiates a part of the sample flow. This is a particle analysis device characterized by being provided with switching means.
［発明の実施例］ 本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。[Embodiments of the invention] The present invention will be explained in detail based on illustrated embodiments.
第１図は光学系及びアライメント装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of the optical system and alignment device.
フローセルｌの中央部には、紙面に垂直な上下方向にサ
ンプル液を通過する流通部２が設けられており、このサ
ンプル液の流れと直交する方向にレーザー光源３が配置
され、レーザー光源３からの照射光を流通部２に導光す
るために、光軸０１上にレーザービームＬを任意の長径
、短径から成る楕円形状のスポットに調整する例えばシ
リンドリカルレンズを組合わせた結像レンズ４が配され
ている。また、レーザービームＬによる検体粒子Ｓから
の前方散乱光側には、検体粒子Ｓが無い場合にレーザー
ビームＬの直接光を遮断するストッパ５、対物レンズ６
及び光電検出器７が配置されている。A flow section 2 through which the sample liquid passes in the vertical direction perpendicular to the plane of the paper is provided in the center of the flow cell l, and a laser light source 3 is arranged in a direction perpendicular to the flow of the sample liquid. In order to guide the irradiated light to the flow section 2, an imaging lens 4, for example, combined with a cylindrical lens, is installed on the optical axis 01 to adjust the laser beam L to an elliptical spot having arbitrary major and minor axes. It is arranged. Further, on the side of the forward scattered light from the sample particles S caused by the laser beam L, there is a stopper 5 that blocks the direct light of the laser beam L when there is no sample particle S, and an objective lens 6.
and a photoelectric detector 7 are arranged.
また、検体粒子Ｓの流れの軸及び光軸０１にそれぞれ直
交する光軸０２上に、フローセルｌ側から測光用対物レ
ンズ８、集光レンズ９、絞り１０、集光レンズ１１、グ
イクロイックミラー１２．１３及びミラー１４が順次に
配置されている。グイクロイックミラー１２の反射方向
にバリアフィルタ１５、光電検出器１６が、グイクロイ
ックミラー１３の反射方向にバリアフィルタ１７、光電
検出器１８が、ミラー１４の反射方向にバリアフィルタ
１９、光電検出器２０が配置されている。これらの光電
検出器１６．１８．２０には、微弱光を増強して検出可
能にするフォトマルが用いられている。Further, on the optical axis 02 perpendicular to the flow axis of the sample particles S and the optical axis 01, from the flow cell l side, a photometric objective lens 8, a condensing lens 9, an aperture 10, a condensing lens 11, and a gicroic mirror are arranged. 12, 13 and mirror 14 are arranged in sequence. A barrier filter 15 and a photoelectric detector 16 are installed in the direction of reflection of the guichroic mirror 12, a barrier filter 17 and a photodetector 18 are installed in the direction of reflection of the guichroic mirror 13, a barrier filter 19 is installed in the direction of reflection of the mirror 14, and a photoelectric detection A container 20 is arranged. These photoelectric detectors 16, 18, and 20 use photomultis that enhance weak light and make it detectable.
光軸０１上のレーザー光源３〜光電検出器７は軸調整後
に基板３０上に固定されている。また、フローセルｌ及
び光軸０２上の測光用対物レンズ８〜ミラー１４、バリ
アフィルタ１５．１７．１９、光電検出器１６．１８．
２０は、焦点調整後に光軸０２と平行なＹ方向に移動自
在のステージ３１上に配置され、基板３０とステージ３
１の間には、更に光軸０１と平行なＸ方向に移動自在の
ステージ３２が介在されている。そして、ステージ３１
のＹ方向の移動量はダイヤルゲージ３３により、ステー
ジ３２のＸ方向の移動量はダイヤルゲージ３４により測
定されるようになっている。また、ステージ３１はつま
み３５により基板３０に対してＹ方向に平行移動し、ス
テージ３２はつまみ３６により基板３０に対してＸ方向
に平行移動するように構成されている。The laser light source 3 to the photoelectric detector 7 on the optical axis 01 are fixed on the substrate 30 after axis adjustment. Further, the flow cell I and the photometric objective lens 8 to mirror 14 on the optical axis 02, barrier filters 15, 17, 19, photoelectric detectors 16, 18, .
20 is placed on a stage 31 that is movable in the Y direction parallel to the optical axis 02 after focus adjustment, and the substrate 30 and the stage 3
A stage 32 that is movable in the X direction parallel to the optical axis 01 is further interposed between the optical axis 01 and the optical axis 01. And stage 31
The amount of movement of the stage 32 in the Y direction is measured by a dial gauge 33, and the amount of movement of the stage 32 in the X direction is measured by a dial gauge 34. Further, the stage 31 is configured to be moved parallel to the substrate 30 in the Y direction by a knob 35, and the stage 32 is configured to be moved parallel to the substrate 30 in the X direction by a knob 36.
レーザー光源３から照射されたレーザービームＬは、結
像レンズ４を介してフローセル１の流通部２に入射し、
検体粒子Ｓによる前方散乱光は対物レンズ６を介して光
電検出器７に集光されその光強度が測光される。また、
検体粒子Ｓによる側方散乱光は測光用対物レンズ８、集
光レンズ９、絞り１０、集光レンズ１１を介してグイク
ロイックミラー１２．１３及びミラー１４に入射し、こ
れらのグイクロイックミラー１２．１３．１４による波
長領域ごとの各反射光は、バリアフィルタ１５．１７．
１９を介して、光電検出器１６．１８．２０上にそれぞ
れ集光され光強度が測光される。The laser beam L emitted from the laser light source 3 enters the flow section 2 of the flow cell 1 via the imaging lens 4,
Forward scattered light by the sample particles S is focused on a photoelectric detector 7 via an objective lens 6, and its light intensity is measured. Also,
Side-scattered light by the sample particles S enters the gicroic mirrors 12, 13 and 14 via the photometric objective lens 8, condensing lens 9, aperture 10, and condensing lens 11, and these gicchroic mirrors Each reflected light for each wavelength range by 12.13.14 is filtered by barrier filter 15.17.
19, the light is focused on photoelectric detectors 16, 18, and 20, respectively, and the light intensity is measured.
第２図〜第４図はフローセル１のサンプル液流の軸に沿
った断面図であり、サンプル液がシース液に包まれて流
れている状態を示している。第２図は測光時における検
体粒子ＳとレーザービームスポットＢとの関係図であり
、サンプル液流中を流れる検体粒子Ｓの通過位置がばら
ついても検体粒子Ｓに十分なレーザービームが照射され
るように、サンプル液流の流れる方向、即ち矢印Ａ方向
に対してレーザービームスポットＢの長径方向が直交す
るようレーザービームスポットＢを照射する。FIGS. 2 to 4 are cross-sectional views taken along the axis of the sample liquid flow in the flow cell 1, and show a state in which the sample liquid is surrounded by the sheath liquid and flows. Figure 2 is a diagram showing the relationship between the sample particles S and the laser beam spot B during photometry, and even if the passing position of the sample particles S flowing in the sample liquid flow varies, the sample particles S are irradiated with a sufficient laser beam. The laser beam spot B is irradiated so that the major axis direction of the laser beam spot B is perpendicular to the direction in which the sample liquid flows, that is, the direction of the arrow A.
第３図、第４図はサンプル液流の流径を測定する際の検
体粒子ＳとレーザービームスポットＢとの関係図であり
、レーザービームスボッ）Ｈの長径方向がサンプル液流
の流れる方向、即ち矢印Ａ方向に対して平行になるよう
にレーザービームスポットＢは照射される。Figures 3 and 4 are diagrams showing the relationship between the sample particles S and the laser beam spot B when measuring the flow diameter of the sample liquid flow. That is, the laser beam spot B is irradiated parallel to the direction of the arrow A.
ここで、サンプル液流の流径を測定する手順を説明する
と、先ず、結像レンズ４を光軸０１を中心軸として９０
’回転させ、レーザービームスポットＢの長径方向が第
３図、第４図に示されるように矢印Ａ方向と平行になる
ようにする。次に、つまみ３５によりステージ３１を基
板３０に対してＹ方向に平行移動させることによって、
フローセル１を光軸Ｏ１に対してＹ軸方向に平行移動さ
せ、レーザービームスポットＢを第３図の２点鎖線で示
す位置、即ちサンプル液流に全くレーザービームスポッ
トＢが照射されない位置にセットする。Here, to explain the procedure for measuring the flow diameter of the sample liquid flow, first, the imaging lens 4 is
'Rotate it so that the major axis direction of the laser beam spot B becomes parallel to the direction of arrow A as shown in FIGS. 3 and 4. Next, by moving the stage 31 parallel to the substrate 30 in the Y direction using the knob 35,
The flow cell 1 is moved parallel to the optical axis O1 in the Y-axis direction, and the laser beam spot B is set at the position shown by the two-dot chain line in FIG. 3, that is, the position where the sample liquid flow is not irradiated with the laser beam spot B at all. .
そして、更につまみ３５にステージ３１をＹ方向に平行
移動させることによって、フローセル１を第３図のＹ軸
方向へ徐々に平行移動させ、前方散乱光の信号が検出さ
れ始める位置、つまりレーザービームスポットＢがサン
プル液流の端面を横切る時のダイヤルゲージ３３の示す
値を測定する。その後、更にフローセル１をＹ軸方向に
徐々に動かし、今度は前方散乱光の信号が検出されなく
なり始める位置、つまり第４図に示されるようにサンプ
ル液流の他の端面を横切る時のダイヤルゲージ３３の示
す値を測定する。すると、後者の測定値と前者の測定値
との差はサンプル液流の流径に相当することになる。Then, by using the knob 35 to move the stage 31 in parallel in the Y direction, the flow cell 1 is gradually moved in parallel in the Y-axis direction in FIG. The value indicated by the dial gauge 33 when B crosses the end face of the sample liquid flow is measured. After that, the flow cell 1 is gradually moved further in the Y-axis direction, and this time the dial gauge is at the position where the forward scattered light signal starts to be no longer detected, that is, when it crosses the other end face of the sample liquid flow as shown in FIG. Measure the value indicated by 33. Then, the difference between the latter measured value and the former measured value corresponds to the flow diameter of the sample liquid flow.
上述した実施例においては、結像レンズ４を光軸０１を
中心にして９０″回転させることによって、前方散乱光
の測定からサンプル液流の流径測定に切り換えているが
、サンプル液流の流径測定の精度を向上させるために、
レーザービームスポットＢの短径を更に短くする結像レ
ンズを用意して、結像レンズ４と交換するようにしても
同様の効果が得られる。また、レーザービームスポット
Ｈの回転は結像レンズ４の回転によらずに、結像レンズ
４の出射側に配置したイメージローテータによってもよ
い。In the embodiment described above, by rotating the imaging lens 4 by 90'' about the optical axis 01, the measurement is switched from measuring the forward scattered light to measuring the diameter of the sample liquid flow. To improve the accuracy of diameter measurement,
A similar effect can be obtained by preparing an imaging lens that further shortens the minor axis of the laser beam spot B and replacing it with the imaging lens 4. Further, the laser beam spot H may be rotated by an image rotator disposed on the exit side of the imaging lens 4 instead of rotating the imaging lens 4.
更には、本実施例においては、サンプル液流の流径測定
にダイヤルゲージを使用し、その測定値からサンプル液
流の流径を算出するようにしているが、磁気式リニアス
ケール等を使用することによってデジタル表示すること
も可能である。また、この場合にステージ３１等の移動
によらずに、レーザービームスボッ）Ｂを走査して流径
を求めるようにしてもよい。Furthermore, in this example, a dial gauge is used to measure the flow diameter of the sample liquid flow, and the flow diameter of the sample liquid flow is calculated from the measured value, but it is also possible to use a magnetic linear scale or the like. It is also possible to display it digitally. Further, in this case, the flow diameter may be determined by scanning the laser beam (substrate) B without moving the stage 31 or the like.
［発明の効果１
以上説明したように本発明に係る粒子解析装置は、サン
プル液流の流径な容易に測定でき、サンプル液流の流径
を検体粒子の大きさとほぼ等しくすることが可能である
ため、検体粒子の測光部における通過位置にばらつきが
生ぜず、高精度でかつ効率の良い粒子解析を行うことが
可能になるという効果がある。[Advantageous Effects of the Invention 1] As explained above, the particle analyzer according to the present invention can easily measure the flow diameter of the sample liquid flow, and can make the flow diameter of the sample liquid flow almost equal to the size of the sample particles. Therefore, there is no variation in the passing position of the sample particles in the photometry section, and there is an effect that highly accurate and efficient particle analysis can be performed.
図面は本発明に係る粒子解析装置の実施例を示すもので
あり、第１図は光学系とアライメント装置の構成図、第
２図は測光時のサンプル液流とレーザービームスポット
との位置関係図、第３図、第４図はサンプル液流の流径
測定時のサンプル液流とレーザービームスポットの位置
関係図である。
符号１はフローセル、２は流通部、３はレーザー光源、
４は結像レンズ、５はストッパ、６は対物レンズ、７は
光電検出器、１２．１３はダイクロイックミラー、１４
はミラー、１５．１７．１９はバリアフィルタ、１６．
１８は光電検出器、３０は基板、３１．３２はステージ
、３３．３４はダイヤルゲージである。
特許出願人 キャノン株式会社
第１図
′Ｊｙ開昭６３−１８２５４７ （５）第２図
第４図The drawings show an embodiment of the particle analysis device according to the present invention, and Fig. 1 shows the configuration of the optical system and alignment device, and Fig. 2 shows the positional relationship between the sample liquid flow and the laser beam spot during photometry. , 3 and 4 are diagrams showing the positional relationship between the sample liquid flow and the laser beam spot when measuring the flow diameter of the sample liquid flow. 1 is a flow cell, 2 is a flow section, 3 is a laser light source,
4 is an imaging lens, 5 is a stopper, 6 is an objective lens, 7 is a photodetector, 12.13 is a dichroic mirror, 14
is a mirror, 15.17.19 is a barrier filter, 16.
18 is a photoelectric detector, 30 is a substrate, 31.32 is a stage, and 33.34 is a dial gauge. Patent applicant Canon Co., Ltd. Figure 1 'Jy 182547 (5) Figure 2 Figure 4
Claims (1)
を照射する照射光学系と、検体粒子による散乱光及び蛍
光を測定する測光用光学系とを有し、前記フローセルを
前記測光用光学系と共に基台上に載置して、該基台を前
記光ビームの照射光軸に対して相対的に移動可能とした
粒子解析装置において、前記光ビームはサンプル流の流
れと直交する方向でサンプル流を横切る形状と、サンプ
ル流の流れと直交する方向の幅を狭めてサンプル流の一
部を照射する形状との２つの形状に切換える手段を設け
たことを特徴とする粒子解析装置。 ２、前記光ビームの切換手段は前記光ビームを楕円形状
とし、サンプル流の流れ方向に対し回転するようにした
特許請求の範囲第１項に記載の粒子解析装置。 ３、前記光ビームの切換手段はシリンドリカルレンズか
ら成る結像レンズを光軸を中心に回転するようにした特
許請求の範囲第１項に記載の粒子解析装置。 ４、前記光ビームの切換手段はイメージローテータを有
するようにした特許請求の範囲第１項に記載の粒子解析
装置。 求の範囲第１項に記載の粒子解析装置。 ５、前記基台の移動量検出手段を備えた特許請求の範囲
第１項に記載の粒子解析装置。[Scope of Claims] 1. An irradiation optical system that irradiates a light beam to sample particles flowing through a flow section in a flow cell, and a photometric optical system that measures scattered light and fluorescence by the sample particles, and the flow cell In the particle analysis device, the light beam is placed on a base together with the photometric optical system, and the base is movable relative to the irradiation optical axis of the light beam. Particles characterized by being provided with means for switching between two shapes: one that crosses the sample flow in a direction perpendicular to the sample flow, and one that narrows the width in the direction perpendicular to the flow of the sample flow and irradiates a part of the sample flow. Analysis device. 2. The particle analysis apparatus according to claim 1, wherein the light beam switching means makes the light beam elliptical and rotates with respect to the flow direction of the sample flow. 3. The particle analysis device according to claim 1, wherein the light beam switching means rotates an imaging lens made of a cylindrical lens about an optical axis. 4. The particle analysis apparatus according to claim 1, wherein the light beam switching means includes an image rotator. The particle analysis device according to claim 1. 5. The particle analysis device according to claim 1, further comprising means for detecting the amount of movement of the base.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62015755A JPS63182547A (en) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | Particle analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62015755A JPS63182547A (en) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | Particle analyzer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182547A true JPS63182547A (en) | 1988-07-27 |
Family
ID=11897592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62015755A Pending JPS63182547A (en) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | Particle analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63182547A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090153883A1 (en) * | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Masataka Shinoda | Laminar flow width detecting method, laminar flow width control method, laminar flow control system, and flow cytometer |
| JP2012247235A (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Topcon Corp | Sensor device for plant |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP62015755A patent/JPS63182547A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090153883A1 (en) * | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Masataka Shinoda | Laminar flow width detecting method, laminar flow width control method, laminar flow control system, and flow cytometer |
| US8351034B2 (en) * | 2007-12-13 | 2013-01-08 | Sony Corporation | Laminar flow width detecting method, laminar flow width control method, laminar flow control system, and flow cytometer |
| JP2012247235A (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Topcon Corp | Sensor device for plant |
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