JPS63182281A - 電子部品等の焼成用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックコンデンサやフェライト等の電子
部品又はアルミナ磁器その他の被焼成物を焼成する際に
用いられる棚板、合板、セフタ−又は匣鉢等の治具に関
する。

〔従来の技術〕

通常、セラミックコンデンサ等の電子部品等を焼成する
場合、Ａ１ｔＯｚ質や３＾１ｚｏｉ　　・２　ｓｔｏ。

質等からなる棚板等の治具上に、高純度のＡｌｚ（ｈ質
、ＺｒＱ□質やＭｇＯ質からなるセンターを載せ、その
セッター上に被焼成物をＲＣして焼成している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記棚板等の焼成用治具によれば、次のような
問題がある。

＋１１　　セッターを使用するため、その蓄熱損失が大
きい。

（２）　　センターがあるため、その治具に対するセツ
ティングや製品を治具からアンローディングする際のセ
ッターの損傷等がネックとなり、治具に対する被焼成物
の積み卸し工程の自動化が困難である。

かかる問題を解消するため、例えば特公昭６０−５１４
２６号公報所載の電子工業部品熱処理用複層容器のよう
に、ＡＩＪ３−Ｓｉｎｇ質容器本体の底部内側にＺｒ０
ｔ質層を一体に構成した焼成用治具が知られているが、
治具本体とＺｒＯ，￥ｔＮとの熱膨張差によりＺｒ０ｚ
質層に亀裂や剥離を生ずるおそれがある。

そこで、本発明は、Ｍ熱損失の低減、被焼成物の積み卸
し工程の自動化及び亀裂や剥離等の発生防止をなし得る
ようにした電子部品等の焼成用治具を提供しようとする
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

前記問題点を解決するため、本発明は、治具本体の少な
くとも被焼成物が載置される部分に、高純度の安÷惰Ｚ
ｒ０ｚ、ＡＩよＯ，、ＭｇＯのうちの一種又は二種以上
からなり、厚さ５０〜４００　μｍ１面積５０ｃｄ以下
の複数の被覆部を離隔して形成したものである。

〔作　用〕 上記手段によれば、各被覆部上に被焼成物を直に載置可
能となり、かつ治具本体と被覆層との熱膨張差による応
力歪が隣り合う被覆部間の間隙によって吸収緩和される
。

患 なお、被覆部は、膜厚がμｍ未満の場合、治具本体と被
焼成物との反応が生じ、４００　μｍを越える場合、被
覆層の剥離が急速になる。

又、各被覆部は、面積が５０ｃｍ２を越える場合、治具
本体と被覆層との熱膨張差による応力歪で、治具本体に
反りや割れが発生したり又は被覆層の剥離が起こり易い
、しかして、被覆部の最小面積は、１ｃＩ１１以上であ
ることが望ましく、ｌ　ｃｒＡ未満であると、被焼成物
が被覆部からはみ出す場合がある。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は第１実施例のフェライト焼成用棚板１の平面図
で、このフェライト焼成用棚板１は、Ａｌ２（ｈ質９８
重量％の棚板本体（３００ＬＸ１５０１１Ｘ８ｔｌｌ）
２の平坦な片面に、−辺が３０ｔｍの正方形の区画で、
隣り合う区画間を５重曹離隔して基盤目状の３６区画を
画成し、各区画にＣａＯを４重量％含んだ安定化ＺｒＯ
□の被覆部３が、プラズマ溶射により２００〜２５０　
μｍの厚さで形成されている。

第２図及び第３図は第２実施例のフェライト焼成用棚板
４の平面図及び正面図で、このフェライト焼成用棚板４
は、Ａ１□０．質９８重量％の棚板本体（３００Ｌｘ１
５０　＠ｘ８もｍ）５の片面に、複数の凸部６と凹部７
とを５ｆｉピツチ（凸部３ｍ、凹部２龍）、深さ１ｎで
形成し、この凸凹面にＣａＯを４重量％含んだ安定化Ｚ
ｒＯ，の被覆部８が、棚板本体５に対して垂直な（９０
°の角度の）プラズマ溶射により２００〜２５０　μｍ
の厚さで形成されている。

第４図は第３実施例のフェライト焼成用棚板４′の要部
の断面図で、このフェライト焼成用棚板４′は、第２実
施例のものが棚板本体５に対して垂直なプラズマ溶射に
より被覆部８を形成したのに対して、棚板本体５に対し
て約８５″の角度でプラズマ溶射して被覆部９を形成し
たものであり、凸部６の一側面等に被覆部９が形成され
ない点を除けば、第２実施例のものとほぼ同様であるの
で、同−構成部材等には同一符号を付してその説明を省
略する。

ここで、上記各実施例のフェライト焼成用棚板１．４．
４’の被覆部３，８．９の厚さ等を変えたものの冷熱試
験結果は、第１表（棚板本体の全面に溶射膜を形成した
比較例を併記）のようになった。

したがって、被覆部３，８．９の厚さが５０μｍ未満の
場合には、棚板本体２．５と被焼成物との反応が生じ、
又、４００　μｍを越えると被覆部３．８．９の剥離が
急速になることがわかる。

※　　　　　　※ 又、被覆部３，８を片面のみに形成する場合よりも、両
面に形成する場合の方が反りが少なく、かつ隣り合う被
覆部３．９間に間隙を形成する場合の方が反りが少ない
ことがわかる。

しかして、棚板本体５の凸凹面に被覆部８を形成した場
合は、棚板本体５と被覆部８との熱膨張差から生ずる応
力歪は、被覆部８の凹部に集中して、この部分に亀裂が
生じ、その亀裂により被覆部８の剥離あるいは棚板本体
５の反りなどが防止されるものである。

又、棚板本体５の凸凹面金面を被覆したものを反復加熱
して使用した際、凹部以外の部分に亀裂が生じたり、亀
裂の発生はないが棚板本体５の反りが著しく発生するよ
うな被覆材と本体材との組み合わせの場合には、前記凸
凹形状の棚板本体に対して溶射ガンのノズルの角度を４
５″以上の範囲で傾けることにより、凸部の影になった
部分の凹部等に被覆部９の形成されない部分が出来るこ
とになり、第１実施例の場合と同様に、被覆部９の剥離
又は棚板本体５の反りを防止することができる。この場
合、ノズルの角度を４５″″未満とすると、溶射効率が
著しく低下し好ましくない。

なお・被覆部３，８．９の形成は、棚板本体２．５に限
らず、被焼成物が載置される合板、センター又匣鉢等の
焼成用治具に行ってもよく、かつ被覆部の形状は、正方
形又は短棚状に限らず、被焼成物の形状によって矩形、
円形、楕円形、多角形又は線状等任意の形状にしてもよ
い。

又、治具本体は、Ａ１．Ｏ，を主成分とする場合に限ら
ず、例えば３Ａ］□０．・２ＳｉＯ□又は２　Ｍｇ０・
２＾１．０３　　・５　Ｓｉｎ、等を主成分としてもよ
い。

更に、被覆材質は、高純度の安定化ＺｒＯ□（ＣａＯ安
定化）に限らず、例えば高純度の安定化ＺｒＯ＠（Ｙｚ
Ｏ３又はＭｇＯ安定化）、＾１．０．又はＭｇＯ等の一
種又は二種以上の混合物としてもよい。

更に又、被覆部間の間隙は、被焼成物の形状に合わせて
１〜Ｌｏｔｓ程度とすることが望ましい。

１鶴未満の間隙では、平均的な被覆部を形成することは
技術的に困難であり、かつ１０鶴を越える間隙では、被
焼成物の形状によっては焼成中に治具本体と接触して反
応するおそれがある。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、従来技術に比し、次の効
果が得られる。

（１）　　被覆部上に被焼成物を直に載置可能となるの
で、従来のセッターが不要となり、その蓄熱損失を低減
することができる。

（２）　　セッターが不要となり、棚板等の焼成用治具
に対するセンターの積み卸し工程が省略でき、かつ治具
を傾けて被焼成物を卸すことができるので、積み卸し工
程の自動化が容易となる。

（３）　　治具本体と被覆部との熱膨張差による応力歪
が隣り合う被覆部間の間隙によって吸収緩和されるので
、治具本体の反りや割れ又は被覆部の亀裂やＩ、１１離
を防止することができる。

（４）　　焼成用治具がセッターの場合、安価かつ軽量
な材料のセンタ一本体に被覆部を形成することにより、
セッターの低コスト化、軽量化及び長寿命化を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すもので、第１図は第１実施例
の棚板の平面図、第２図及び第３図は第２実施例の棚板
の平面図及び正面図、第４図は第３実施例の棚板の要部
の断面図である。 ２−−−−−一棚板本体 ３−一一一一一被覆部 ５−−−−−一棚板本体 ６−−−−へ−凸部 ７−−−−−一凹部 ８．９−−−−−一被覆部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）治具本体の少なくとも被焼成物が載置される部分
   に、高純度のＺｒＯ＿２、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＭｇＯのう
   ちの一種又は二種以上からなり、厚さ５０〜４００μｍ
   、面積５０ｃｍ＾２以下の複数の被覆部を離隔して形成
   したことを特徴とする電子部品等の焼成用治具。
2. （２）前記各被覆部が治具本体に設けられた平坦部分に
   形成されている特許請求の範囲第１項記載の電子部品等
   の焼成用治具。
3. （３）前記各被覆部が治具本体に設けられた多数の凸部
   上面に形成されている特許請求の範囲第１項記載の電子
   部品等の焼成用治具。