JPS63180392A - 加工レンズの焦点距離調整装置 - Google Patents
加工レンズの焦点距離調整装置Info
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- JPS63180392A JPS63180392A JP62011288A JP1128887A JPS63180392A JP S63180392 A JPS63180392 A JP S63180392A JP 62011288 A JP62011288 A JP 62011288A JP 1128887 A JP1128887 A JP 1128887A JP S63180392 A JPS63180392 A JP S63180392A
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、レーザ加工機に集光用レンズとして用いられ
るレーザ用加工レンズの焦点距離をオフマシンで測定し
、その加工レンズがレーザ加工機に装着される際に正確
に焦点距離に応じた位置にセットできるようにした装置
に関する。
るレーザ用加工レンズの焦点距離をオフマシンで測定し
、その加工レンズがレーザ加工機に装着される際に正確
に焦点距離に応じた位置にセットできるようにした装置
に関する。
[従来の技術]
従来CO2レーザ等不可視レーザ加工における加工レン
ズの焦点位置の調整は、レーザ加工機に加工レンズを装
着した上で、被加工物に対して実際にCO全レーザ光を
照射し、「金属プレス、1983年10月号99頁図4
」に示される様に、加工ヘッドに設けられたレンズ上下
機構により、加工レンズを上下動させることによって加
工レンズと被加工物の距離を変化させ、レーザ照射部に
発生するプラズマの状態変化、もしくは被加工物の加工
状態等を調べることによって、焦点距離を推測し、加工
レンズの位置を設定する方法が一般的に用いられている
。
ズの焦点位置の調整は、レーザ加工機に加工レンズを装
着した上で、被加工物に対して実際にCO全レーザ光を
照射し、「金属プレス、1983年10月号99頁図4
」に示される様に、加工ヘッドに設けられたレンズ上下
機構により、加工レンズを上下動させることによって加
工レンズと被加工物の距離を変化させ、レーザ照射部に
発生するプラズマの状態変化、もしくは被加工物の加工
状態等を調べることによって、焦点距離を推測し、加工
レンズの位置を設定する方法が一般的に用いられている
。
また、レーザ加工機に1le−Neレーザ光等の可視レ
ーザ先発振器を組込み、そのレーザ光を用いて加工レン
ズの位置を設定する方法も知られている(たとえは特開
昭57−137092号公報、特開昭57−17509
3号公報)。
ーザ先発振器を組込み、そのレーザ光を用いて加工レン
ズの位置を設定する方法も知られている(たとえは特開
昭57−137092号公報、特開昭57−17509
3号公報)。
[発明が解決しようとする問題点コ
C02レーザ加工機の場合、加工レンズはZn5e、に
C1等を素材として表面に無反射コーティングを施した
ものが従来一般的に使用されているが、その寿命は50
0時間程度の有限のものであり、適時交換が必要となる
。また、被加工物から発生する飛散物、金属蒸気、スパ
ッタ等がレンズ面に付着した場合、比較的短時間に加工
レンズが破損に至る場合があり、レーザ加工機が稼動中
にレンズ交換作業が必要となることが多い。
C1等を素材として表面に無反射コーティングを施した
ものが従来一般的に使用されているが、その寿命は50
0時間程度の有限のものであり、適時交換が必要となる
。また、被加工物から発生する飛散物、金属蒸気、スパ
ッタ等がレンズ面に付着した場合、比較的短時間に加工
レンズが破損に至る場合があり、レーザ加工機が稼動中
にレンズ交換作業が必要となることが多い。
また、レーザ加工においては、加工レンズによリレーザ
を集光し、その集光点を被加工物に対しである設定され
た位置に配する必要があり、たとえば5インチレンズを
用いて溶接、切断等の加工を実施する場合、その位置設
定の余裕度は、±1゜0IIIJft程度といわれてい
る。
を集光し、その集光点を被加工物に対しである設定され
た位置に配する必要があり、たとえば5インチレンズを
用いて溶接、切断等の加工を実施する場合、その位置設
定の余裕度は、±1゜0IIIJft程度といわれてい
る。
それに対し加工レンズの焦点距離は製作時の加工による
バラツキによって個々のレンズによって異なっており、
製造公差±2%のバラツキが存在しているのが現状であ
る。つまり、焦点距離5インチのレンズを使用した場合
、上2゜54mのバラツキが生じる。これはレーザ加工
に際して必要な焦点位置の設定余裕度±1履を超えてお
り、加工レンズを交換した場合必らず焦点位置の再設定
が必要になる。
バラツキによって個々のレンズによって異なっており、
製造公差±2%のバラツキが存在しているのが現状であ
る。つまり、焦点距離5インチのレンズを使用した場合
、上2゜54mのバラツキが生じる。これはレーザ加工
に際して必要な焦点位置の設定余裕度±1履を超えてお
り、加工レンズを交換した場合必らず焦点位置の再設定
が必要になる。
しかし、従来の加工レンズの焦点位置調整方法では、レ
ーザ加工機にレンズを装着しなければ調整ができないた
め、レーザ加工機が稼動中に加工レンズが破損した場合
には、その作動を停止させ、レンズを予備の新しいもの
に交換し、その後でレンズの焦点位置合せの作業を行な
うことが必要であり、そのために加工装置の停止時間を
長くとることになり、作業効率を大幅に低下させる原因
ともなっているのが現状である。
ーザ加工機にレンズを装着しなければ調整ができないた
め、レーザ加工機が稼動中に加工レンズが破損した場合
には、その作動を停止させ、レンズを予備の新しいもの
に交換し、その後でレンズの焦点位置合せの作業を行な
うことが必要であり、そのために加工装置の停止時間を
長くとることになり、作業効率を大幅に低下させる原因
ともなっているのが現状である。
また、C02レーザ光は可視光ではないために、とくに
前述のような被加工物の加工状態を調べる方法では、そ
の焦点合せの作業は熟練作業者の経験と勘に頼って行な
われているのが普通であり、しかもその技術に熟練した
作業者によっても調整作業は時間のかかる仕事であり、
したがってこれまでは加工レンズが破損した場合には設
備の停止時間が非常に長くなるという問題があった。
前述のような被加工物の加工状態を調べる方法では、そ
の焦点合せの作業は熟練作業者の経験と勘に頼って行な
われているのが普通であり、しかもその技術に熟練した
作業者によっても調整作業は時間のかかる仕事であり、
したがってこれまでは加工レンズが破損した場合には設
備の停止時間が非常に長くなるという問題があった。
本発明は、上記のような問題点に着目し、被加工物を実
際に加工することなく、しかもレーザ加工機に対しオフ
マシン状態にて、正確にかつ容易に加工レンズの焦点距
離を測定でき、加工レンズ交換後にはレーザ加工機にお
けるレンズ位置調整を全く不要とすることのできる装置
を提供することを目的とする。
際に加工することなく、しかもレーザ加工機に対しオフ
マシン状態にて、正確にかつ容易に加工レンズの焦点距
離を測定でき、加工レンズ交換後にはレーザ加工機にお
けるレンズ位置調整を全く不要とすることのできる装置
を提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段]
この目的に沿う本発明の加工レンズの焦点距離調整装置
は、 可視レーザ光を発振し、発振された可視レーザ光を横断
面が円環で平行に照射される円筒状光に整形する光学機
構と、 上記円筒状光の光路上に設けられ、レーザ加工機に用い
られレーザ加工機のレーザ光を集光する加工レンズを、
円筒状光の中心軸に対し垂直に保持する加工レンズホル
ダと、 円筒状光が加工レンズを透過し該加工レンズにより集光
される透過光の光路上に配設され、該集光される透過光
に対する受光面を有し、該受光面が加工レンズに接近、
離反する方向に移動可能であるとともにその位置を計測
可能な受光手段と、上記光学機構、加工レンズホルダお
よび受光手段を円筒状光の中心軸上に支持する支持体と
、から成る。
は、 可視レーザ光を発振し、発振された可視レーザ光を横断
面が円環で平行に照射される円筒状光に整形する光学機
構と、 上記円筒状光の光路上に設けられ、レーザ加工機に用い
られレーザ加工機のレーザ光を集光する加工レンズを、
円筒状光の中心軸に対し垂直に保持する加工レンズホル
ダと、 円筒状光が加工レンズを透過し該加工レンズにより集光
される透過光の光路上に配設され、該集光される透過光
に対する受光面を有し、該受光面が加工レンズに接近、
離反する方向に移動可能であるとともにその位置を計測
可能な受光手段と、上記光学機構、加工レンズホルダお
よび受光手段を円筒状光の中心軸上に支持する支持体と
、から成る。
[作 用]
このような装置においては、可視レーザ光の円筒状光の
中心軸上に、加工レンズホルダに保持された加]ニレン
ズと、受光手段とが配置され、加工レンズを透過し集光
される可視レーザ光が受光手段の受光面に照射される。
中心軸上に、加工レンズホルダに保持された加]ニレン
ズと、受光手段とが配置され、加工レンズを透過し集光
される可視レーザ光が受光手段の受光面に照射される。
受光手段は、加工レンズに接近、離反する方向に移動可
能であるから、受光面の位置を加工レンズの焦点近傍で
動かすことにより、受光面上で上記集光透過光の影像パ
ターンが、点およびリング状の状態に変化する。つまり
、受光面が加工レンズの焦点にあるときは点になり、そ
れから両側に離れると、それぞれリング状になる。この
リング状のパターンは、多少個人差はあるものの目視に
より明確に認識できるものである。受光手段の受光面の
位置は計測可能であるから、上記焦点両側のリング状パ
ターンの位置を計測し、その中間点を算出すればそれが
加工レンズの焦点位置ということになり、単に目視によ
る計測のみにより、かつレーザ加工機からオフマシン状
態にて、加工レンズの焦点距離が測定される。この測定
値に、本装置に用いた可視レーザ光とレーザ加工機に用
いる不可視レーザ光との違いによる補正を加えれば、加
工レンズをレーザ加工機に装着した際に改めてその焦点
距離を確認しなくても、加工レンズは正確に所定位置に
セットされる。
能であるから、受光面の位置を加工レンズの焦点近傍で
動かすことにより、受光面上で上記集光透過光の影像パ
ターンが、点およびリング状の状態に変化する。つまり
、受光面が加工レンズの焦点にあるときは点になり、そ
れから両側に離れると、それぞれリング状になる。この
リング状のパターンは、多少個人差はあるものの目視に
より明確に認識できるものである。受光手段の受光面の
位置は計測可能であるから、上記焦点両側のリング状パ
ターンの位置を計測し、その中間点を算出すればそれが
加工レンズの焦点位置ということになり、単に目視によ
る計測のみにより、かつレーザ加工機からオフマシン状
態にて、加工レンズの焦点距離が測定される。この測定
値に、本装置に用いた可視レーザ光とレーザ加工機に用
いる不可視レーザ光との違いによる補正を加えれば、加
工レンズをレーザ加工機に装着した際に改めてその焦点
距離を確認しなくても、加工レンズは正確に所定位置に
セットされる。
[実施例]
以下に、本発明の望ましい実施例を図面を参照して説明
する。
する。
第1図は、本発明の一実施例に係る加工レンズの焦点距
離調整装置を示している。図において、1は、可視レー
ザ光としてのHe−Neレーザ光2を発振する1le−
Heレーザを示している。tie−Heレーザ1から照
射されたHe−Neレーザ光2は、ミラー3で反tJJ
され、ミラー4へと照射される。ミラー4は、モータ5
により同転可能となっており、該ミラー4から反射され
たレーザ光は円錐状光に整形されてレンズ6を透過する
。レンズ6により、レーザ光は横断面が円環で平行に照
射される円筒状光7に整形される。したがって、これら
装置は、本発明でいう光学機構8を構成している。
離調整装置を示している。図において、1は、可視レー
ザ光としてのHe−Neレーザ光2を発振する1le−
Heレーザを示している。tie−Heレーザ1から照
射されたHe−Neレーザ光2は、ミラー3で反tJJ
され、ミラー4へと照射される。ミラー4は、モータ5
により同転可能となっており、該ミラー4から反射され
たレーザ光は円錐状光に整形されてレンズ6を透過する
。レンズ6により、レーザ光は横断面が円環で平行に照
射される円筒状光7に整形される。したがって、これら
装置は、本発明でいう光学機構8を構成している。
上記円筒状光7の光路上に、レーザ加工機に用いられレ
ーザ加工機のレーザ光を集光する加工レンズ9が位置さ
れる。加工レンズ9は、加工レンズホルダ10内に、円
筒状光7の中心軸11に対し垂直になるように保持され
る。
ーザ加工機のレーザ光を集光する加工レンズ9が位置さ
れる。加工レンズ9は、加工レンズホルダ10内に、円
筒状光7の中心軸11に対し垂直になるように保持され
る。
円筒状光7が加工レンズ9を透過すると、該加工レンズ
9により集光されるが、この集光される透過光12の光
路上に受光手段としてのマイクロメータヘッド13が配
設されている。マイクロメータヘッド13の頂面14は
、透過光12に対する受光面を構成する。このマイクロ
メータヘッド13の頂面14は、加工レンズ9に接近、
離反する方向(第1図の上下方向)に位置調整可能とな
っている。そして、その移動位置は、ある基準点から、
望ましくは加工レンズ9の位置からの距離が、計測可能
となっている。
9により集光されるが、この集光される透過光12の光
路上に受光手段としてのマイクロメータヘッド13が配
設されている。マイクロメータヘッド13の頂面14は
、透過光12に対する受光面を構成する。このマイクロ
メータヘッド13の頂面14は、加工レンズ9に接近、
離反する方向(第1図の上下方向)に位置調整可能とな
っている。そして、その移動位置は、ある基準点から、
望ましくは加工レンズ9の位置からの距離が、計測可能
となっている。
これら光学機構8、加工レンズホルダ10およびマイク
ロメータヘッド13を、円筒状光7の中心軸11上に支
持するために、支持体としてのスタンド15が設けられ
ている。
ロメータヘッド13を、円筒状光7の中心軸11上に支
持するために、支持体としてのスタンド15が設けられ
ている。
このような装置においては、レーザ用加工レンズの焦点
距離は次のように測定される。
距離は次のように測定される。
He−Heレーザ装置1からの可視レーザ光がミラー3
、回転ミラー4で反射され、レンズ6により円筒状光7
に整形される。この円筒状光7に整形されたtt e
−Heレーザ光が加工レンズ9に入射する。
、回転ミラー4で反射され、レンズ6により円筒状光7
に整形される。この円筒状光7に整形されたtt e
−Heレーザ光が加工レンズ9に入射する。
加工レンズ9によって透過したHe−Neレーザ光は円
錐状に集光され、マイクロメータヘッド13の頂部の受
光面14に照射される。
錐状に集光され、マイクロメータヘッド13の頂部の受
光面14に照射される。
第2図に、本装置による加工レンズ9の焦点距離測定の
概念図を示す。円筒状に整形されたH e −Neレー
ザ光は、加工レンズ9によって集光されるが、集光点近
傍でのマイクロメータヘッド13の受光面14での1i
e−Heレーザ光の形状は、集光点の上方A点および下
方C点では、中央が抜けた赤色のリングとして認識され
るが、焦点位置B点では、中央の暗部がない赤色の点と
して認識される。このリングから点に変わる境界位置で
のマイクロメータの読み値を、焦点位置の上方、下方で
読み取り、基準位置からの距離をそれぞれDA 、DC
とすると、DB=(DA−DC)/2+DCが焦点位置
での読み値となる。この際、受光面14が上方に移動し
たときにマイクロメータヘッドの読みが正となる様に設
置される。
概念図を示す。円筒状に整形されたH e −Neレー
ザ光は、加工レンズ9によって集光されるが、集光点近
傍でのマイクロメータヘッド13の受光面14での1i
e−Heレーザ光の形状は、集光点の上方A点および下
方C点では、中央が抜けた赤色のリングとして認識され
るが、焦点位置B点では、中央の暗部がない赤色の点と
して認識される。このリングから点に変わる境界位置で
のマイクロメータの読み値を、焦点位置の上方、下方で
読み取り、基準位置からの距離をそれぞれDA 、DC
とすると、DB=(DA−DC)/2+DCが焦点位置
での読み値となる。この際、受光面14が上方に移動し
たときにマイクロメータヘッドの読みが正となる様に設
置される。
一方、COaレーザ光とtie−Neレーザ光との違い
による補正は次のように行われる。
による補正は次のように行われる。
CO2レーザの波長は10.6μm、 He−Ne レ
ーザの波長は0.633μ汎であり、Zn5eのレンズ
に対する屈折率αは、α。。= 2.4028、α1i
e−Ne =2”0であるからIf e −N eレー
ザ光の焦点距” tle−Neは、CO□レーザの焦点
距a!tEco2に対し補正係数[(α −1)/(
α −1) =0.8823]CO2He−Ne を乗することにより、 FHe−Ne = FCO,Xo、8823で求められ
る。逆に、 FCo、 = F He−Ne / 0.8823で換
算が可能である。
ーザの波長は0.633μ汎であり、Zn5eのレンズ
に対する屈折率αは、α。。= 2.4028、α1i
e−Ne =2”0であるからIf e −N eレー
ザ光の焦点距” tle−Neは、CO□レーザの焦点
距a!tEco2に対し補正係数[(α −1)/(
α −1) =0.8823]CO2He−Ne を乗することにより、 FHe−Ne = FCO,Xo、8823で求められ
る。逆に、 FCo、 = F He−Ne / 0.8823で換
算が可能である。
また、現在CO2レーザ加工機に装着して使用中のレン
ズ[)B値が判明していれば、交換用の予備レンズを予
備のホルダに装着し、予価レンズについて同様の方法で
[)AおよびDCの値をDA −1DC=とじて読みと
れば、予備レンズのDB −値は、 DB −= (DA −−DC′)/2+DC′で算出
され、新しいレンズを装置する場合には、その差分と補
正形数で徐した量ΔD= (DB −DB ” ) 1
0.8823だけ加工ヘッドに設けられたレンズ上下機
構により加工レンズを上下動させて補正を加えることに
よって容易に加工レンズ交換時の焦点位置調整を行なう
ことができる。
ズ[)B値が判明していれば、交換用の予備レンズを予
備のホルダに装着し、予価レンズについて同様の方法で
[)AおよびDCの値をDA −1DC=とじて読みと
れば、予備レンズのDB −値は、 DB −= (DA −−DC′)/2+DC′で算出
され、新しいレンズを装置する場合には、その差分と補
正形数で徐した量ΔD= (DB −DB ” ) 1
0.8823だけ加工ヘッドに設けられたレンズ上下機
構により加工レンズを上下動させて補正を加えることに
よって容易に加工レンズ交換時の焦点位置調整を行なう
ことができる。
本装置を使用して焦点位置の調整を行なった実施例を表
1、表2及び第3図に示す。焦点距離15インチの加工
レンズL1、L2の2枚を使用し、4人の測定者による
DA及び[)Cの測定値及びil算fa D Bを表1
.2に示すが、識別限界には個人差があるため測定値D
A 、DCは各人によりバラツキを示すが、DBを算出
する際に個人差はキャンセルされ、DBのバラツキは0
.3.以内と抑えられる。したがって、15インチレン
ズを使用して溶接を実施する場合の焦点位置余裕度(溶
込み深さがほぼ一定となる許容度)±2mmに対して、
十分に精度の良い値が得られている。
1、表2及び第3図に示す。焦点距離15インチの加工
レンズL1、L2の2枚を使用し、4人の測定者による
DA及び[)Cの測定値及びil算fa D Bを表1
.2に示すが、識別限界には個人差があるため測定値D
A 、DCは各人によりバラツキを示すが、DBを算出
する際に個人差はキャンセルされ、DBのバラツキは0
.3.以内と抑えられる。したがって、15インチレン
ズを使用して溶接を実施する場合の焦点位置余裕度(溶
込み深さがほぼ一定となる許容度)±2mmに対して、
十分に精度の良い値が得られている。
[表−11Lルンズ (単位二M)
また、表1、表2から、LlからL2ヘレンズを交換し
た場合の加工レンズ位置の補正量は、ΔD =0.41
m (4人の平均値)、10.8823=0.46mで
おり、この補正を加えたL2レンズとLルンズを使用し
て軟鋼平板にビードオン溶接を実施したところ、第3図
のような結果を得た。図から判るように、焦点位置の移
動に対し、溶込み深さは、両者は同様の特性を示し、本
発明によるレンズの焦点位置調整が精度よく行なわれた
ことを示している。
た場合の加工レンズ位置の補正量は、ΔD =0.41
m (4人の平均値)、10.8823=0.46mで
おり、この補正を加えたL2レンズとLルンズを使用し
て軟鋼平板にビードオン溶接を実施したところ、第3図
のような結果を得た。図から判るように、焦点位置の移
動に対し、溶込み深さは、両者は同様の特性を示し、本
発明によるレンズの焦点位置調整が精度よく行なわれた
ことを示している。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の加工レンズの焦点距離調
整装置によるときは、次のような種々の効果が得られる
。
整装置によるときは、次のような種々の効果が得られる
。
可視レーザ光を用いたオフマシン測定で必るため、被加
工物を実際に加工することなく焦点距離を測定できる。
工物を実際に加工することなく焦点距離を測定できる。
また、可視レーザ光を用いた測定であるため、測定に熟
練を要さず、かつ加工レンズの焦点距離がレーザ加工機
に装備する前に判るので、レーザ加工機における従来の
熟練を要する焦点位置調整作業が全く不要になる。した
がって、レーザ加工機における調整作業が大幅に簡略化
され、それに要する工数も少なくて済む。
練を要さず、かつ加工レンズの焦点距離がレーザ加工機
に装備する前に判るので、レーザ加工機における従来の
熟練を要する焦点位置調整作業が全く不要になる。した
がって、レーザ加工機における調整作業が大幅に簡略化
され、それに要する工数も少なくて済む。
また、可視レーザ光を用いたオフマシンでの焦点距離測
定であるため、レーザ加工機使用中でも測定が可能であ
り、レーザ加工機の稼動率を大幅に高めることができる
とともに、レンズ交換時間も短時間ですむ。
定であるため、レーザ加工機使用中でも測定が可能であ
り、レーザ加工機の稼動率を大幅に高めることができる
とともに、レンズ交換時間も短時間ですむ。
さらに、加工レンズ焦点近傍の2点測定による焦点距離
測定方法を採用すれば、測定者による読−み取り誤差も
出にくく、正確な測定が可能となる。
測定方法を採用すれば、測定者による読−み取り誤差も
出にくく、正確な測定が可能となる。
第1図は本発明の一実施例に係る加工レンズの焦点路#
を調整装置の、部分的に断面表示した側面図、 第2図は第1図の装置における焦点距離測定の状態を示
す概念図、 第3図は第1図の装置による測定レンズの特性図、 である。 1・・・・・・・・・l1e−Neレーザ2・・・・・
・・・・レーザ光 3.4・・・ミラー 5・・・・・・・・・モータ 6・・・・・・・・・レンズ 7・・・・・・・・・円筒状光 8・・・・・・・・・光学機構 9・・・・・・・・・加工レンズ 10・・・・・・・・・加工レンズホルダ11・・・・
・・・・・円筒状光の中心軸12・・・・・・・・・透
過光 13・・・・・・・・・受光手段 14・・・・・・・・・受光面 15・・・・・・・・・支持体
を調整装置の、部分的に断面表示した側面図、 第2図は第1図の装置における焦点距離測定の状態を示
す概念図、 第3図は第1図の装置による測定レンズの特性図、 である。 1・・・・・・・・・l1e−Neレーザ2・・・・・
・・・・レーザ光 3.4・・・ミラー 5・・・・・・・・・モータ 6・・・・・・・・・レンズ 7・・・・・・・・・円筒状光 8・・・・・・・・・光学機構 9・・・・・・・・・加工レンズ 10・・・・・・・・・加工レンズホルダ11・・・・
・・・・・円筒状光の中心軸12・・・・・・・・・透
過光 13・・・・・・・・・受光手段 14・・・・・・・・・受光面 15・・・・・・・・・支持体
Claims (1)
- (1)可視レーザ光を発振し、発振された可視レーザ光
を横断面が円環で平行に照射される円筒状光に整形する
光学機構と、 前記円筒状光の光路上に設けられ、レーザ加工機に用い
られレーザ加工機のレーザ光を集光する加工レンズを、
前記円筒状光の中心軸に対し垂直に保持する加工レンズ
ホルダと、 前記円筒状光が前記加工レンズを透過し該加工レンズに
より集光される透過光の光路上に配設され、該集光され
る透過光に対する受光面を有し、該受光面が前記加工レ
ンズに接近、離反する方向に移動可能であるとともにそ
の位置を計測可能な受光手段と、 前記光学機構、加工レンズホルダおよび受光手段を前記
円筒状光の中心軸上に支持する支持体と、から成る加工
レンズの焦点距離調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62011288A JPS63180392A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 加工レンズの焦点距離調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62011288A JPS63180392A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 加工レンズの焦点距離調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63180392A true JPS63180392A (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=11773807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62011288A Pending JPS63180392A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 加工レンズの焦点距離調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63180392A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8304691B2 (en) * | 2005-06-23 | 2012-11-06 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Determining a focal position of a laser |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5769789A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-28 | Hitachi Ltd | Monitoring device for optical axis of laser beam |
-
1987
- 1987-01-22 JP JP62011288A patent/JPS63180392A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5769789A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-28 | Hitachi Ltd | Monitoring device for optical axis of laser beam |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8304691B2 (en) * | 2005-06-23 | 2012-11-06 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Determining a focal position of a laser |
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