JPS63178845A - 付着物除去装置 - Google Patents
付着物除去装置Info
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- JPS63178845A JPS63178845A JP890787A JP890787A JPS63178845A JP S63178845 A JPS63178845 A JP S63178845A JP 890787 A JP890787 A JP 890787A JP 890787 A JP890787 A JP 890787A JP S63178845 A JPS63178845 A JP S63178845A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
- B08B7/0042—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は付着物除去装置に関し、特に光学部品の付着物
を除去するに適した装置に関する。
を除去するに適した装置に関する。
従来、物品、特に光学部品の付着物を除去するに当って
は、主としてエタノール、アセトン等の有機溶剤で洗浄
、除去するか、磨き粉を使い磨いた後に有機溶剤で洗浄
、除去しておシ、特に付着物除去装置としては確立され
たものはない。
は、主としてエタノール、アセトン等の有機溶剤で洗浄
、除去するか、磨き粉を使い磨いた後に有機溶剤で洗浄
、除去しておシ、特に付着物除去装置としては確立され
たものはない。
従来の物品、特に光学部品の付着物の除去方法では部品
の材質によシ使用する有機溶剤を選定しなければならず
、しかも付着物の状態により磨き粉を使ったりして手間
と時間がかかるという欠点があった。また分析器機など
に使われている光学部品については、付着物を除去する
時は器機から取シ外さなければならないため、頻繁に精
度チェック、光軸合せを行う必要があるという厄介な問
題をか\えていた。
の材質によシ使用する有機溶剤を選定しなければならず
、しかも付着物の状態により磨き粉を使ったりして手間
と時間がかかるという欠点があった。また分析器機など
に使われている光学部品については、付着物を除去する
時は器機から取シ外さなければならないため、頻繁に精
度チェック、光軸合せを行う必要があるという厄介な問
題をか\えていた。
本発明は、上記従来法におけるような問題点を解消し、
未だ装置化されていなかった付着物除去装置を提供しよ
うとするものである。
未だ装置化されていなかった付着物除去装置を提供しよ
うとするものである。
本発明はYAGレーザー光発振器、該発振器によって発
振されたYAGレーザー光を導く光ファイバー用カテー
テルと、該カテーテルに接続する温風送風器とをレーザ
ーガンに連結してなることを特徴とする付着物除去装置
である。
振されたYAGレーザー光を導く光ファイバー用カテー
テルと、該カテーテルに接続する温風送風器とをレーザ
ーガンに連結してなることを特徴とする付着物除去装置
である。
すなわち、本発明は、YAGレーザーの熱エネルギーを
利用し、光学部品の付着物に付着物の状況により出力コ
ントロールしたYAGレーザーを光ファイバーを介して
照射して付着物を燃焼、除去し、同時に温風を送風し、
かつ吸引することによって付着物の燃焼後の再付着を防
止するようにした付着物除去装置である。
利用し、光学部品の付着物に付着物の状況により出力コ
ントロールしたYAGレーザーを光ファイバーを介して
照射して付着物を燃焼、除去し、同時に温風を送風し、
かつ吸引することによって付着物の燃焼後の再付着を防
止するようにした付着物除去装置である。
〔実施例1〕
本発明の一実施例を第1図によって詳述する。
第1図において、1はYAGレーザー発振器、2はYA
Gレーザーのレーザー光を後記の光ファイバー内へ送り
込むアタッチメント(光ファイバー変換器)、3は光フ
ァイバー、4は温風送風器付レーザーガン、5は前記ガ
ン内部のヒータ及びファンモータ用電源(AO100V
lirj)、6は付着物のついた光学部品の支持台、7
はレーザー光吸収ボックスである。
Gレーザーのレーザー光を後記の光ファイバー内へ送り
込むアタッチメント(光ファイバー変換器)、3は光フ
ァイバー、4は温風送風器付レーザーガン、5は前記ガ
ン内部のヒータ及びファンモータ用電源(AO100V
lirj)、6は付着物のついた光学部品の支持台、7
はレーザー光吸収ボックスである。
支持台乙に固定した付着物のついた光学部品に、YAG
レーザー発振器1によって発振され、光ファイバー変換
器2を介して光ファイバー3にて送られてくるYAGレ
ーザーを、電源5によって生成される温風と共に温風送
風器付レーザーガン5より照射する。このようにするこ
とによって付着物の付着状態に応じてYAGレーザーの
出力をコントロールすることにより、付着物は除去され
る。
レーザー発振器1によって発振され、光ファイバー変換
器2を介して光ファイバー3にて送られてくるYAGレ
ーザーを、電源5によって生成される温風と共に温風送
風器付レーザーガン5より照射する。このようにするこ
とによって付着物の付着状態に応じてYAGレーザーの
出力をコントロールすることにより、付着物は除去され
る。
〔実施例2〕
本発明の他の実施例を第2図及び第3図によって詳述す
る。第1図はその実施例の全体の概略図、第2図は第1
図のレーザー用カテーテルの部分拡大図である。
る。第1図はその実施例の全体の概略図、第2図は第1
図のレーザー用カテーテルの部分拡大図である。
第2図において、1はYAGレーザー発振器、2は光フ
ァイバー変換器、3は光ファイバー、8はレーザー用カ
テーテル、9は温風送風器付吸引器、10はYAGレー
ザー光、11は分析機器、12は付着物のついた光学部
品、13はガイドワイヤである。
ァイバー変換器、3は光ファイバー、8はレーザー用カ
テーテル、9は温風送風器付吸引器、10はYAGレー
ザー光、11は分析機器、12は付着物のついた光学部
品、13はガイドワイヤである。
第3図において、8はレーザー用カテーテル、13はガ
イドワイヤ、14は温風送風口、15は吸引口、16は
YAGレーザー照射口である。
イドワイヤ、14は温風送風口、15は吸引口、16は
YAGレーザー照射口である。
分析機器11内の付着物のついた光学部品12ところに
、YAGレーザー発振器1によって発振され光ファイバ
ー変換器2を介してレーザー用カテーテル8内を通って
くるレーザー光をYAGレーザー照射口16より照射し
、同時に温風送風器付吸引器9からの温風をレーザー用
カテーテル8内の温風送風口よシ噴射して付着物を燃焼
させる。この際生成する燃焼生成物は温風送風器付吸引
器9の吸引力によシ吸引口15から吸引し燃焼生成物が
光学部品に再付着することが力いようにする。このよう
にすることKよって付着物除去装置を付着物に直接接触
させることなく付着物を除去することができる。
、YAGレーザー発振器1によって発振され光ファイバ
ー変換器2を介してレーザー用カテーテル8内を通って
くるレーザー光をYAGレーザー照射口16より照射し
、同時に温風送風器付吸引器9からの温風をレーザー用
カテーテル8内の温風送風口よシ噴射して付着物を燃焼
させる。この際生成する燃焼生成物は温風送風器付吸引
器9の吸引力によシ吸引口15から吸引し燃焼生成物が
光学部品に再付着することが力いようにする。このよう
にすることKよって付着物除去装置を付着物に直接接触
させることなく付着物を除去することができる。
一般的に温風送風器付吸引器9においては、送風力の方
を吸引力よシ高くするのがよく、送風力、引吸力ともパ
ワー調整を可能し、かつ切換スイッチによって片方のみ
を使用したシ、送風しながら吸引できるようにしてもよ
い。
を吸引力よシ高くするのがよく、送風力、引吸力ともパ
ワー調整を可能し、かつ切換スイッチによって片方のみ
を使用したシ、送風しながら吸引できるようにしてもよ
い。
なお第2図におけるガイドワイヤ13はレーザー用カテ
ーテル8自体が曲り易いので該カテーテル8を補強し腰
を強くするために設けられたものである。
ーテル8自体が曲り易いので該カテーテル8を補強し腰
を強くするために設けられたものである。
本発明装置によれば、付着物のついた部品に、装置を接
触させることなく付着物の除去ができるので部品に傷を
つけることがなく、付着物除去に要する時間が短縮でき
る。またレーザーの出力をコントロールするため、付着
物の付着状態に左右されない。更に複雑な装置部品を分
解することなく付着物の除去が可能である。
触させることなく付着物の除去ができるので部品に傷を
つけることがなく、付着物除去に要する時間が短縮でき
る。またレーザーの出力をコントロールするため、付着
物の付着状態に左右されない。更に複雑な装置部品を分
解することなく付着物の除去が可能である。
第1図は本発明の一実施例を示す概略図、第2図及び第
3図は本発明の他の実施例を示す概略図で、第2図はそ
の全体図、第3図は第2図のレーザー用カテーテルの部
分拡大図である。
3図は本発明の他の実施例を示す概略図で、第2図はそ
の全体図、第3図は第2図のレーザー用カテーテルの部
分拡大図である。
Claims (1)
- YAGレーザー光発振器、該発振器によつて発振された
YAGレーザー光を導く光ファイバー用カテーテルと、
該カテーテルに接続する温風送風器とをレーザーガンに
連結してなることを特徴とする付着物除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP890787A JPS63178845A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 付着物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP890787A JPS63178845A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 付着物除去装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63178845A true JPS63178845A (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=11705743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP890787A Pending JPS63178845A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 付着物除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63178845A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0633823A4 (en) * | 1992-03-31 | 1995-02-15 | Cauldron Lp | Removal of surface contaminants by irradiation. |
WO1995024279A1 (fr) * | 1994-03-10 | 1995-09-14 | Ishikawa, Toshiharu | Dispositif d'enlevement de pellicule |
US5531857A (en) * | 1988-07-08 | 1996-07-02 | Cauldron Limited Partnership | Removal of surface contaminants by irradiation from a high energy source |
US5821175A (en) * | 1988-07-08 | 1998-10-13 | Cauldron Limited Partnership | Removal of surface contaminants by irradiation using various methods to achieve desired inert gas flow over treated surface |
US5984305A (en) * | 1997-05-15 | 1999-11-16 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming apparatus having releasable sheet conveying paths and method of use |
WO2012134287A3 (en) * | 2011-03-30 | 2013-01-17 | Lasercentrum Oppervlaktereiniging BV | Method and device for cleaning printing rolls by a laser beam |
CN110730694A (zh) * | 2017-04-25 | 2020-01-24 | 三菱电机株式会社 | 激光清洗装置及激光清洗方法 |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP890787A patent/JPS63178845A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5531857A (en) * | 1988-07-08 | 1996-07-02 | Cauldron Limited Partnership | Removal of surface contaminants by irradiation from a high energy source |
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CN110730694A (zh) * | 2017-04-25 | 2020-01-24 | 三菱电机株式会社 | 激光清洗装置及激光清洗方法 |
CN110730694B (zh) * | 2017-04-25 | 2022-07-22 | 三菱电机株式会社 | 激光清洗装置及激光清洗方法 |
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