JPS63168300U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63168300U JPS63168300U JP6249887U JP6249887U JPS63168300U JP S63168300 U JPS63168300 U JP S63168300U JP 6249887 U JP6249887 U JP 6249887U JP 6249887 U JP6249887 U JP 6249887U JP S63168300 U JPS63168300 U JP S63168300U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffuser
- chamber
- vacuum
- nozzle
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
第1図は、本案の考案の一実施例を示した真空
エジエクターの真空破壊装置の縦断面図である。 3……デイフイーザー、7……電磁駆動弁。
エジエクターの真空破壊装置の縦断面図である。 3……デイフイーザー、7……電磁駆動弁。
補正 昭63.6.29
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
ノズルとデイフイーザーとの組合せにより構成
され、前記ノズルと前記デイフイーザー間にチヤ
ンバーを設けて、前記ノズルより前記デイフイー
ザーに向けて圧縮空気を送気することにより、前
記チヤンバー内の空気を吸引し、かつ前記デイフ
イーザーの出口より排気して、前記チヤンバー内
に真空状態を発生させると共に、前記チヤンバー
と真空吸着部とを連絡して構成される真空エジエ
クターポンプにおいて、前記デイフイーザーの出
口部に、外部信号により前記デイフイーザーの通
路を自動的に絞る手段を設けてなる真空エジエク
ターポンプの真空破壊装置。
され、前記ノズルと前記デイフイーザー間にチヤ
ンバーを設けて、前記ノズルより前記デイフイー
ザーに向けて圧縮空気を送気することにより、前
記チヤンバー内の空気を吸引し、かつ前記デイフ
イーザーの出口より排気して、前記チヤンバー内
に真空状態を発生させると共に、前記チヤンバー
と真空吸着部とを連絡して構成される真空エジエ
クターポンプにおいて、前記デイフイーザーの出
口部に、外部信号により前記デイフイーザーの通
路を自動的に絞る手段を設けてなる真空エジエク
ターポンプの真空破壊装置。
Claims (1)
- ノズルとデイフイーザーとの組合せにより構成
され、前記ノズルと前記デイフイーザー間にチヤ
ンバーを設けて、前記ノズルより前記デイフイー
ザーに向けて圧縮空気を送気することにより、前
記チヤンバー内の空気を吸引し、かつ前記デイフ
イザーの出口より排気して、前記チヤンバー内に
真空状態を発生させると共に、前記チヤンバーと
真空吸着部とを連絡して構成される真空エジエク
ターポンプにおいて、前記デイフイーザーの通路
内或いは前記デイフイザーの出口付近に、外部信
号により前記デイフイザーの通路を自動的に絞る
手段を設けてなる真空エジエクターポンプの真空
破壊装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6249887U JPS63168300U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6249887U JPS63168300U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63168300U true JPS63168300U (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=30896835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6249887U Pending JPS63168300U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63168300U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6088719B1 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-01 | 株式会社テイエルブイ | エゼクタ及びそれを備えた真空発生装置 |
WO2017047387A1 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 株式会社テイエルブイ | エゼクタ及びそれを備えた真空発生装置 |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP6249887U patent/JPS63168300U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6088719B1 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-01 | 株式会社テイエルブイ | エゼクタ及びそれを備えた真空発生装置 |
WO2017047387A1 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 株式会社テイエルブイ | エゼクタ及びそれを備えた真空発生装置 |