JPS63167250A - Ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は、複数の分光結晶を交換して使用することがで
きる機構を備えたＸ線分析装置に関する口、従来の技術 複数個（６〜８個）の分光結晶を備えた蛍光Ｘ線分析装
置においては通常回転ドラム方式の結晶交換機構が用い
られている。この機構は第２図に示すように、回転ドラ
ム型の分光結晶台３に６〜８個の分光結晶２を取付け、
分光結晶台３を回転させて、任意の一つの分光結晶を使
用位置に位置させるものである。そして、分光結晶台３
とそれを回転させる切換駆動装置（不図示）の全体が。

使用位置にある分光結晶の表面に沿い、表面中心を通る
分光器中心線を軸として回転可能になっており、この回
転によって使用位置にある分光結晶によって分光器の波
長走査を行う。この時ＸｖＡ検出器４を分光器中心Ｏを
中心として、分光結晶の回転角θに対して２倍角の２θ
だけ回転させる必要があるが、従来は分光結晶の回転と
検出器の回転とは２倍角伝達機構によって連結し、−個
の波長走査用駆動モータによって駆動し、このモータの
回転量によって波長を検知するようになっていた。

ハ　発明が解決しようとする問題点 分光精度を保つためには、ドラムの機械加工精度、ドラ
ムの回転停止位置の精度１分光結晶をベースに取付ける
精度を夫々１／１００度以内にする必要がある。そのた
めに加工、調整、検査に多大の労力を要した。ドラムの
回転軸を分光器の光軸を含む平面上に平行に設けること
で、ドラムの回転停止位置の精度がＸ線の分光７１１度
に対する影響を大幅に低減することができる。しかし、
ドラムの機械加工精度と分光結晶をベースに取付ける精
度に関しては、分光精度への影響を簡単に取り除く方法
がない。何れにしても、既知波長のＸ線を分光すること
により分光結晶の設定位置のずれが発見された時点で位
置調整をする必要があるので、分光結晶ベースと分光結
晶台との間に微調整機構を設けて、調整を行わなければ
ならない為に、多くの時間と労力が必要とされ、また、
装置を完全に調整することは極めて困難であるために、
結晶交換型のＸ線分析装置は分光精度が良くなかった。

本発明は、ドラムの加工精度、結晶交換機構の回転停止
位置の精度７分光結晶をベースに取り付ける精度等が格
別高くない装置を使用し、調整の労力時間を大幅に低減
して、しかも、高いＸ線の分光精度が得られるようにす
ることを目的とする二１問題点解決のための手段 Ｘ線分析装置において、複数の分光結晶をＸ線分光器中
心位置に交互に設置する結晶交換機構を備え、分光器中
心に位置させた分光結晶をＸ線分光器中心を中心として
回転させる手段と、Ｘ線検出器をＸ線分光器中心を中心
として回転させる機構とを互いに独立に設けると共に、
分光結晶の回転角とＸ線検出器の回転位置を検知する手
段を設け、既知元素の特性Ｘ線の検出出力が最大になる
分光結晶及びＸ線検出器の位置と、同分光結晶及びＸ線
検出器の機構上のＸ線波長対応位置との差を記憶する手
段を設け、波長走査時分光結晶に上記差だけのオフセッ
トを与えて、分光結晶を駆動するようにした９ ホ０作用 本発明によれば、波長走査において分光結晶と検出器と
を独立に回転制御できるので、較正測定で各分光結晶及
びＸ線検出器の機構上の所定波長位置とＸ線検出強度が
最大値を示す最適位置との差を測定すれば、このずれ角
は分光結晶の取付は精度、結晶交換機構の精度等を総合
した分光結晶の位置の誤差を表しているから、ＣＰＵに
よりそのずれ角度を考慮にいれて分光結晶を駆動するこ
とで、分光結晶の取付けの微調整分質せず分光結晶の設
置台や検出器の駆動装置の加工精度が格別高くなくても
、最適な設定位置に分光結晶及び精確なＸ線分光測定が
できるようになった。

へ、実施例 第１図及び第２図に本発明の一実施例を示す。

第２図において、Ｓは試料、Ｅ　ｉ、ｔ　Ｘ線、ＫはＸ
線Ｅによって励起されて試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線
、１はＸ線管、２は蛍光Ｘ線Ｋを分光するための分光結
晶、３は複数の分光結晶２を設置した回転可能な分光結
晶台、４は分光結晶２で分光された特性Ｘ線Ｔを検出す
る検出器で、Ｘ線分光器中心０を中心に回転可能な機構
を備えている。分光結晶台３は不図示の駆動装置で回転
せしめられ、任意の分光結晶を使用位置に位置させるよ
うになっている０分光結晶台３及びその駆動装置の全体
をＸ線分光器の中心０を中心に矢印のように回転できる
ようになっており、この回転によって、使用位置即ちＸ
線分光器中心に位置せしめられた分光結晶による波長走
査が行われる。第１図で５は上述した波長走査のための
分光結晶回転駆動装置である。６は検出器駆動装置で検
出器４を０点を中心に回転させる。７はＣＰＵで駆動信
号発生器って発生させた駆動信号を用いて、結晶駆動装
置５及び検出器駆動装置６を制御すると共にそれらの回
転角を読取っている。８はＣＰＵ７で読み取った分光結
晶及び検出器４の回転角とか、これらの回転角から換算
したＸ線波長を表示する角度表示装置である。

以上の構成で分光結晶台３に設置している分光結晶２例
えばＬｉＦ（２００＞面を使用位置に位置させ、ＣＰＵ
によってその角位置θをθ＝２２．５１５°−０，３°
の位置にセットし、この結晶の使用波長範囲のほぼ中間
に当たるＣｕの特性Ｘ線２θ＝４５．０３°のスペクト
ルを、２θ±０．３°の角度範囲で検出器駆動装置６を
駆動させて検出し、そのＸ線強度の最大となる検出器６
の角位置をＣＰＵ７に記憶させる。次に分光結晶２を上
記位置から０．０５°傾けて上記と同じ測定を行う、同
様にして分光結晶２の傾きθがθ＝２２．５１５°＋０
．３°になる迄測定を繰返す。その測定結果を基に、毎
回の測定における検出出力の最大値を連ねる曲線を作る
と第３図のようになる。この曲線からＸ線検出出力が最
大になる分光結晶の角位置及び検出器の角位置を求める
。

これは人間が作図によって行ってもよいが、適当なアル
コリズムを設定してＣＰＵに行わせればよい、このよう
にして分光結晶の設定角度と検出器４の設定角度を求め
、機構上の夫々の理論位置くθ＝２２．５１５°、２θ
＝４５．０３’　）とのずれを算出し、そのずれをＣＰ
Ｕ７に記憶させる、このずれは分光結晶の位置の誤差を
表す、従って、その分光結晶２の設定時には機構上の波
長位置からそのずれだけ補正した位置を正しい位置とす
る。同じように他の分光結晶２においても、較正測定を
行う。

ト、効果 本発明によれば、分光結晶の回転とＸ線検出器の回転と
を独立に行い、構造上の誤差を構造上の調整で補正する
のでなく、誤差量を記憶しておき、演算で補正するよう
にしたので、加工精度が格別高くない分光結晶の設置台
や検出器の駆動装置を使用しても、調整に多大な時間を
費やすことなく、精度のよいＸ線分光測定ができ、Ｘ線
分析装置の低価格化１分光精度の向上を計ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は本実
施例の構成図、第３図は較正測定の結果を示すグラフで
ある。 １・・・Ｘ線管、２・・・分光結晶、３・・・分光結晶
台、４・・・検出器、５・・・分光結晶駆動装置、６・
・・検出器駆動装置、７・・・ＣＰＵ、８・・・角度表
示装置、９・・・駆動信号発生器、Ｅ・・・Ｘ線、Ｓ・
・・試料、Ｋ・・・蛍光Ｘ線、Ｔ・・・特性Ｘ線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の分光結晶をＸ線分光器中心位置に交互に設置する
   結晶交換機構を備え、分光器中心に位置させた分光結晶
   をＸ線分光器中心を中心として回転させる手段と、Ｘ線
   検出器をＸ線分光器中心を中心として回転させる機構と
   を互いに独立に設けると共に、分光結晶の回転角とＸ線
   検出器の回転位置を検知する手段を設け、既知元素の特
   性Ｘ線の検出出力が最大になる分光結晶及びＸ線検出器
   の位置と、同分光結晶及びＸ線検出器の機構上のＸ線波
   長対応位置との差を記憶する手段を設け、波長走査時分
   光結晶に上記差だけのオフセットを与えて、分光結晶を
   駆動するようにしたことを特徴とするＸ線分析装置。