JPS63166050A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体と同様に、繰り返し情報を消去
、再書込みすることが可能な光磁気記録媒体に関する。

〔従来技術〕

従来より、レーザヘッドの案内手段がプリフォーマット
された光磁気記録媒体が知られている。

第６図（ａ）〜（１）に、従来知られているこの種光磁
気記録媒体の製造工程を示す。

まず、第６図（ａ）に示すように、鏡面仕上げに研摩さ
れ、高度に洗浄されたガラス円盤３１の表面にシランカ
ップリング剤層３２を形成する。

次いで、第６１！１（ｂ）に示すように、前記シランカ
ップリング剤層３２上にホトレジスト３３を均一に塗布
してディスク原盤３４を作製する。

次いで、第６図（ｃ）に示すように、前記ディスク原盤
３４を回転駆動しつつ前記ホトレジスト層３３に記録し
ようとするトラッキング信号によって変調されたレーザ
光３５を照射する。

次いで、前記露光済み円盤を現像処理し、第６図（ｄ）
に示すように、前記ホトレジスト層３３のレーザ光照射
部分にトラッキング信号に対応した配列の案内［３６を
形成する。

次いで、第６図（ｅ）に示すように、前記のようにして
トラッキング信号が案内溝の形で記録された記録済み原
盤３７の当該信号面に、真空蒸着やスパッタリング等に
よってニッケル導電１１３８を形成する。

次いで、第６図（ｆ）に示すように、このニッケル導電
１１３８を陰極としてニッケルを約０．２ｍｍの厚さに
電気めっきし、ニッケルスタンバ３９を形成する。

次いで、第６図（ｇ）に示すように、前記ニッケル導ｆ
ｌ！ｌ１ｊ３８とホトレジスト層３３の界面を剥離し、
前記記録済み原盤３７と凹凸パターンが逆になったニッ
ケルスタンバ３９を得る。

次いで、前記のようにして得られニッケルスタンバ３９
に残存ホトレジストの灰化処理や所要の機械加工を施し
たのち、第６図（ｈ）に示すように、このニッケルスタ
ンバ３９を原型として透明基板４０に前記案内溝３６を
転写する。

さらに、第６図（ｉ）に示すように、前記案内溝３６が
転写された透明基板４０の当該案内溝形成面に、見掛は
上のカー回転角を大きくして再生特性を改善するための
エンハンス１１４１と、光磁気記録膜４２と、保護膜４
３を順次積層して、所望の光磁気記録媒体とする。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、前記のようにして複製された光磁気記録媒体
のトラッキングは、第７図に示すように、前記透明基板
４０の外面に配置された光学ヘッド４４から前記案内溝
３６にレーザ４５、光学回路４６を経て導かれたレーザ
ビーム４７を照射し、前記記録［４３からの反射光４７
ａを円柱レンズ４８を介して１例えば４分割ホトダイオ
ードなどの光検出器４９にて検出することによって行わ
れる。即ち、ビームスポットが前記案内溝３６にオント
ラックしているときに前記４分割ホトダイオード４９の
各素子の出力差が零になるように調整しておくと、オフ
トラックしたときには、前記各素子に入射される反射光
の光量が変化するため。

各素子の出力に差を生じる。従って、前記各素子の出力
差が零になるようにトラッキングサーボをかけることに
より、前記光学ヘッド４４を前記案内溝３６に沿ってト
ラッキングすることができる。

また、透明基板４０に同じく凹凸の形で記録された情報
は、前記記録膜４３からの反射光４７ａを焦光レンズ５
０を介して、光検出Ｄ５１にて検出することによって行
われる。

かように、透明基板４０上に形成された案内溝３６にレ
ーザビーム４７を照射し、該案内溝３６からの反射光４
７ａを検出することによってトラッキングサーボをかけ
る方式の光磁気配＠媒体においては、トラッキング精度
は案内溝３６の加工精度に依存し、案内溝３Ｇの加工精
度が悪いと。

クロストークなどの不具合を生じ、また、最悪の場合に
は、光学ヘッドがトラックオフして情報の記録、再生が
不能になるといった問題を生じる。

然るに、前記透明基板４０に転写される案内溝３６は、
幅が０．４μｍ乃至０．６μｍで、深さが約０．１μ■
１、ピッチが約１．６μｍという超微細加工によって形
成されること、ディスクの全面積に亘って形成されるこ
と、及び複数回の転写を繰り返すことによって形成され
ることから、精度良く形成することが困鬼である。この
ため、光磁気記録媒体の歩留りが悪く、製造コストが高
価になるという間順がある。

〔間眩点を解決するための手段〕

本発明は、前記した従来技術の問題点を解消し。

生産性及び歩留りの向上を図ると共に、ＩＩ造ココスト
低減を図るため、レーザヘッドの案内手段がプリフォー
マットされた光磁気記録媒体において。

記録膜に案内用磁区トラックをプリフォーマットしたこ
とを特徴とするものである。′ 〔実施例〕 以下１本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。

第１図は案内用磁区トラックの一例を示す光磁気記録媒
体の平面図、第２図は光磁気記録媒体の膜構成を模式的
に示す断面図であって、１は基板。

２はエンハンス膜、３は記録膜、４は保Ｗｉ膜、５は案
内用磁区トラック、６は記録ビットを示している。

基板１は１例えばガラス、ポリメチルメタクリレート（
ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、エポキシなど
の透明物質をもって構成されており、表裏両面が平滑な
円板状に形成されている。

エンハンス［２は、見掛は上のカー回転角を大きくする
ためのものであって５例えばＳｉＮ　などの誘電体をも
って前記基板１の片面に形成される。

記録膜３は１例えばＴｂＦｅＣｏ　、ＧｄＴｂＦｅ、Ｔ
ｂＦｅ−ＧｄＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅＧｅ、ＧｄＴｂＣ
ｏなど、任意の光磁気記録材料から成り、前記エンハン
ス膜２上に形成される。

保：ｆ！！１膜４は５例えばＳｉＮ　など２本分を透過
しない材料をもって前記記録膜３上に形成される。

案内用磁区トラック５は、前記記録膜３に磁気的手段を
もって記録される。この案内用磁区トラック５は、記録
再生ヘッド（励磁コイル）がオフトラックしない間隔を
もって周方向に断続する螺旋状または同心円状に記録す
ることもできるし、また、第１図に示すように、記＠領
域の始端から終端まで連続に形成することもできる。周
方向に断続して磁気記録する場合には、基板１の偏芯量
を３０〜１００μｍとした場合、ｌ＃接する反転磁区の
間隔を０　、８　ｍ　ｍ〜２　、６　ｍ　ｍにすること
が可能であるが、信頼性の点から約１ｍｍ程度にするこ
とが好ましい。

記録ピット６は、第１Ｉ３！Ｉに示すように、２つの案
内用磁区トラック５，５の中間領域に記録される。また
、案内用磁区トラックを断続に形成する場合には、反転
磁区の間に記録することも可能である。

前記実施例の光磁気記録媒体は、前記案内用磁区トラッ
ク５に沿ってレーザビームを照射し、反射光のカー回転
角を読み出すことによって案内用磁区トラック５を追跡
することができる。これによって、情報の記録、再生、
消去、再書込みが行われる。

前記実施例の光磁気記録媒体は、案内手段（案内用磁区
トラック）を磁気的手段によって形成し、転写技術によ
らないので、不良品の発生がほとんどなく、生産性、特
に歩留りを著しく向上することができる。なお、案内用
磁区トラックを断続に形成した場合には２３１！続に形
成した場合に比べて案内用磁区トラックの形成時間が短
かくて済み、より実用性に優れる。

以下１本発明に係る光磁気配＠媒体の製造方法の第１例
を説明する。

第３図は本発明に係る光磁気記録媒体の製造装置の第１
例を示す断面図であって、主として、スピンドルＩＩと
、励磁コイル１２と、レーザ１３と、光変調器１４と、
前記光変１１１６１４の入力回路１５と、前記励磁コイ
ル１２と対向に配置された反射鏡１６及び対物レンズエ
フとから成る。この図において、１８は前記スピンドル
１１に装着された光磁気ｖ２＠媒体を示す。

前記製造装置を用いて前記光磁気記録媒体１８の記録膜
に案内トラックを磁気記録する場合は。

前記スピンドル１１を回転し、一定方向に全面を磁化さ
せた前記光磁気記録媒体１８を定角速度にて回転駆動す
る。また、前記励磁コイル１２に通電し、前記光磁気記
録媒体１８の記録膜に所望の記録方向の磁界をかける６
次いで、前記レーザ１３を作動すると共に反射＊１６を
回動し、前記対物レンズ１７より照射されるレーザビー
ム１９を前記光磁気記録媒体１８の記＠領域の始端から
終端まで定速度で振る。勿論、レーザビーム１９の振り
速度は、案内用磁区トラック５が所定ピッチで連続して
形成されるように調整される。これによって、記＠膜の
半径方向に螺旋状の案内用磁区トラック５が形成される
。

次に１本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法の第２例
を説明する。

第４図は本発明に係る光磁気記録媒体の！Ｒ造表装置第
２例を示す断面図であって、２１はマスクを示し、その
他第３図に示したと同一の部材、装置については、それ
と同一の符号が表示されている。

前記マスク２１は、第５図に示すように、前記光磁気記
録材料１８の半径よりもやや長い長さを有する矩形の平
板をもって形成されており、一端に前記スピンドル１１
に嵌着するための透孔２２が開設されている。また、前
記透孔２２を中心として光磁気記録媒体１８の記録領域
と対応する位置に、所望のトラックピッチと等しい間隔
をもって多数のスリット２３が開口されている。

前記製造装置を用いて前記光磁気記録媒体１７の記録膜
に案内トラックを磁気記録する場合は、前記第１例の場
合と同様に、スピンドル１１を回転し、励磁コイル１２
に通電し、さらにはレーザ１３を作動する。この状態で
、前記入力回＠ｔＳより前記光変調器１４に駆動信号を
入力すると共に、前記反射鏡１６を回動して、前記対物
レンズ１７より照射されるレーザビーム１９を前記光磁
気記録媒体１８の半径方向に振って、前記マスク２１の
スリット２３より前記記録膜に照射する。

これによって、記録膜の半径方向にトラックピッチに対
応する短かい反転磁区が形成される。これを前記光磁気
記録媒体の周方向に連続的に行うことによって１周方向
に断続する同心円状の案内用磁区トラック５を形成する
ことができる。

尚、本発明の要旨は、光磁気配＠膜に案内用磁区トラッ
クを磁気記録した点にあるのであって。

案内用磁区トラックの形成手段が前記第１例及び第２例
に示したもので限定されるものではなく。

例えば、光磁気記録媒体１８の半径方向に複数個の反射
鏡及び光学ヘッドを配置し、各光学ヘッドにて記＠領域
を小部分ずつ記録するようにすることもできる。この場
合には１反射光１つ当りの振幅を小さくすることができ
るので、その公案内用磁区トラックの形成速度を向上す
ることができる。

また、所望の案内用磁区トラックと同一の磁気トラック
を有する磁気スタンパを作製し、該磁気スタンバに光磁
気記録媒体を押圧することによって、光磁気記録媒体に
案内用磁区トラックを転写するなど、他の手段を用いる
ことも可能である。

また、前記実施例においては、光磁気記録媒体の単体に
ついて説明したが１本発明の要旨はこの状態で使用され
るものに限定されるものではなく。

例えば、記録膜を内側にして前記単体を２枚貼り合せ、
両面記録方式の光磁気配＠媒体としたものなど、任意の
構造の光磁気記録媒体に応用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の光磁気記録媒体は、案内
手段を磁気的手段によって形成し、転写技術によらない
ので、不良品の発生がほとんどなく、生産性、特に歩留
りを著しく向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光磁気記録媒体の平面図。 第２図は本発明に係る光磁気記録媒体の断面図。 第３図は光磁気記録媒体製造装置の第１例を示す断面図
、第４図は光磁気記録媒体製造装置の第２例を示す断面
図、第５ｖＲは第２例の光磁気記録媒体製造装置に適用
されるマスクの斜視図、第６図（８）〜（１）は従来知
られている光磁気記録媒体の製造工程を示す工程説明図
、第７図は従来知られている光学式トラックサーボ方式
を示す回路図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・エンハンス瞑、３
・・・・・・記録膜、４・・・・・・保１ＩＩＩｌ［，
５・・・・・・案内用磁区トラック。 ６・・・・・・記録ピット、１１・・・・・・スピンド
ル、１２・・・・・・励磁コイル、１３・・・・・・レ
ーザ、１４・・・・・・光変調器、１５・・・・・・入
力回路、１６・・・・・・反射鏡、１７・・・・・・対
物レンズ、１８・・・・・・光磁気記録媒体、１９・・
・・・・レーザビーム、２１・・・・・・マスク第１図 １：基板 ５“ｆ内用３区野ッ７ ５ａ：／ｆｉｌ罐１ ６　：１こ＠ｃ”、ｙｔ− 第２図 第３図 第４図 ］２ 第５図 図 （ａ） １フ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザヘッドの案内手段がプリフォーマットされた光磁
   気記録媒体において、記録膜に案内用磁区トラックをプ
   リフォーマットしたことを特徴とする光磁気記録媒体。