JPS63148528A - Mass spectrometer - Google Patents
Mass spectrometerInfo
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- JPS63148528A JPS63148528A JP61296313A JP29631386A JPS63148528A JP S63148528 A JPS63148528 A JP S63148528A JP 61296313 A JP61296313 A JP 61296313A JP 29631386 A JP29631386 A JP 29631386A JP S63148528 A JPS63148528 A JP S63148528A
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 67
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 46
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 7
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 8
- 238000004895 liquid chromatography mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は質量分析装置に関し、特に接続Ｉｌ！器との放
電を防止することのできる質量分析装置に関するもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a mass spectrometer, in particular a connection Il! The present invention relates to a mass spectrometer that can prevent electrical discharge with a device.
［従来技術］
磁場型？［分析５Ａ置のイオン源には、数ＫＶ〜１０Ｋ
Ｖ程度のイオン加速電圧が印加される。一方、ガスクロ
マトグラフと質量分析装置を接続したＧＧＭＳや、液体
クロマトグラフと質量分析装置を接続したＬＣＭＳにお
いては、イオン源内に大量のガスや液体が導入される。[Conventional technology] Magnetic field type? [The ion source for analysis at 5A is several KV to 10K.
An ion accelerating voltage of about V is applied. On the other hand, in a GGMS in which a gas chromatograph and a mass spectrometer are connected, and in an LCMS in which a liquid chromatograph and a mass spectrometer are connected, a large amount of gas or liquid is introduced into the ion source.
［発明が解決しようとする問題点〕
従って、これらの装置ではイオン源内の圧力が高くなる
ことが多く、イオン源内であるいはイオン源とそれらの
接続ｍ器との間で放電が生じやすい。[Problems to be Solved by the Invention] Therefore, in these devices, the pressure within the ion source is often high, and discharge is likely to occur within the ion source or between the ion source and the devices connected thereto.
放電が生じると分析に支障を来たすし、放電を防ぐため
イオン源内への気体や液体の導入口を制限すると充分な
強度のスペクトルが得られないという問題が発生する。If discharge occurs, it will interfere with analysis, and if the inlet for gas or liquid into the ion source is restricted to prevent discharge, a problem arises in that a spectrum of sufficient intensity cannot be obtained.
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、接続
機器との間の放電を防止できる質量分析装置を提供する
ことを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to provide a mass spectrometer that can prevent electrical discharge between connected devices.
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するため、本発明は、イオン源と、該イ
オン源で生成されたイオンが導入される分析場と、該分
析場を通過したイオンを検出するイオン検出器と、前記
イオン源からイオン検出器までのイオン通路を真空に保
持するための分析管とを備えた質母分析装置において、
前記分析管を周囲と絶縁し、該分析管にイオン加速電圧
を印加するようにしたことを特徴としている。[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, the present invention provides an ion source, an analysis field into which ions generated by the ion source are introduced, and a method for detecting ions that have passed through the analysis field. In a sample analyzer equipped with an ion detector and an analysis tube for keeping an ion passage from the ion source to the ion detector in a vacuum,
It is characterized in that the analysis tube is insulated from the surroundings and an ion accelerating voltage is applied to the analysis tube.
［作用１
本発明においては、分析管にイオン加速電圧を印加する
ため、イオン源には数１０Ｖから数１００Ｖ程度の必要
最小限の電圧を印加すれば良く、従って、通常接地電位
にある接続機器との間の放電を防止することができる。[Operation 1] In the present invention, in order to apply an ion accelerating voltage to the analysis tube, it is sufficient to apply the minimum necessary voltage of several tens of volts to several hundreds of volts to the ion source. It is possible to prevent discharge between the
以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳説する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be explained in detail using the drawings.
［実施例］
第１図は本発明を実施したＬＣＭＳの一例を示す概略図
である。第１図において１はイオン源、２はイオン化室
、３はスリット群、４は主スリット、５は分析磁場を発
生する磁石、６はコレクタスリット、７はイオン検出器
、８は分析管、９はイオン源と分析管との間を絶縁する
絶縁体、１０は分析管と検出器７との間を絶縁する絶縁
体、１１はＬＣ，１２はＬＣ−ＭＳインタフェース、１
３はイオン源電源、１４はイオン加速電源、１５〜１７
は真空ポンプである。尚、図示しないが、分析管８と磁
石５の間も絶縁体によって絶縁されている。[Example] FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an LCMS implementing the present invention. In Fig. 1, 1 is an ion source, 2 is an ionization chamber, 3 is a slit group, 4 is a main slit, 5 is a magnet that generates an analysis magnetic field, 6 is a collector slit, 7 is an ion detector, 8 is an analysis tube, 9 10 is an insulator that insulates between the ion source and the analysis tube, 10 is an insulator that insulates between the analysis tube and the detector 7, 11 is the LC, 12 is the LC-MS interface, 1
3 is an ion source power supply, 14 is an ion acceleration power supply, 15 to 17
is a vacuum pump. Although not shown, the analysis tube 8 and the magnet 5 are also insulated by an insulator.
上記構成において、分析管８．インタフェース１２、イ
オン源１０分析管８及びイオン検出器７の内部は真空ポ
ンプ１５〜１７によって排気され、各部に最適な圧りに
Ｍ持される。In the above configuration, the analysis tube 8. The interiors of the interface 12, ion source 10, analysis tube 8, and ion detector 7 are evacuated by vacuum pumps 15 to 17, and maintained at optimal pressures for each part.
そして、正イオンを分析する場合、装置各部の電位は例
えば第２図（ａ）に示すように設定される。イオン化室
２．スリット８ｆ３及び主スリット４から構成されるイ
オン源においては、イオントランスミッションを確保す
るために必要最小限の電位（例えばＯｖ〜士数１００ｖ
程度）がイオン源電源１３により与えられる。イオン化
室内で生成されたイオンは、この必要最小限の電位によ
ってスリット群３．主スリット４の位置へ引出され、更
に分析管８に与えられている一３ＫＶの電位によって分
析管８内へ導入されて加速される。そして、イオンは分
析磁場によって質ｆｆｉ電荷比に応じてコレクタスリッ
ト６上に展開され、特定のものだけがこのコレクタスリ
ットを通過して検出器７へ入射して検出される。When positive ions are analyzed, the potentials of each part of the apparatus are set, for example, as shown in FIG. 2(a). Ionization chamber 2. In the ion source composed of the slit 8f3 and the main slit 4, the minimum potential (for example, Ov to 100v) is required to ensure ion transmission.
degree) is provided by the ion source power supply 13. The ions generated in the ionization chamber are moved to the slit group 3 by this minimum necessary potential. It is pulled out to the position of the main slit 4, and further introduced into the analysis tube 8 and accelerated by the 13 KV potential applied to the analysis tube 8. Then, the ions are spread onto the collector slit 6 according to the charge ratio by the analysis magnetic field, and only specific ions pass through the collector slit and enter the detector 7 to be detected.
このように、分析管８にイオン加速電圧を印加する本発
明では、イオン源部には必要最小、限の低い電圧を印加
すれば良いため、接地電位にあるインタフェース１２や
ＬＣＩ １との間の電位差を従来よりも桁違いに小さく
し得る。そのため、イオン源内の圧力が高くなっても放
電する恐れは極めて小さくなり、大ｍの液体試料をイオ
ン源内へ導入することが可能となる。As described above, in the present invention in which an ion accelerating voltage is applied to the analysis tube 8, it is sufficient to apply the minimum necessary and low voltage to the ion source, so that the voltage between the interface 12 and the LCI 1, which are at ground potential, is The potential difference can be made much smaller than before. Therefore, even if the pressure inside the ion source becomes high, the risk of discharge is extremely small, and it becomes possible to introduce a liquid sample of large m into the ion source.
第２図（ｂ）は負イオンを分析する場合の装置各部の電
位を示し、同図（ａ）と極性が反転している。FIG. 2(b) shows the potential of each part of the apparatus when analyzing negative ions, and the polarity is reversed from that of FIG. 2(a).
尚、イオン化室２の電位をＶｉ （正イオン分析の場
合はｖｌ〉０、負イオン分析の場合にはＶｉ〈０）１分
析管８の電位をＶｔ （正イオン分析の場合はｖｔく
０１負イオン分析の場合にはｖｔ＞Ｏ）とすれば、分析
磁場に入射する時点でイオンが持つエネルギーはＩＶｉ
−Ｖｔ ｌと表わされる。Note that the potential of the ionization chamber 2 is set to Vi (vl>0 for positive ion analysis, Vi<0 for negative ion analysis), and the potential of the analysis tube 8 is set to Vt (vt01 negative for positive ion analysis). In the case of ion analysis, if vt > O), the energy of the ion at the time of entering the analysis magnetic field is IVi
−Vt l.
ここで、分析Ｗｉ場強度の最大値をａｌｌとした時、検
出できる最高の質Ｒ電荷比Ｍｌは、ｋを定数として
Ｍｍ −ｋＢｇ＋ ２ ／ Ｉ Ｖｉ −Ｖｔ １
となり、上式から、分析管の電位Ｖｔを変えることによ
り測定質量範囲を任意に設定できることが分る。Here, when the maximum value of the analysis Wi field strength is all, the highest quality R charge ratio Ml that can be detected is Mm - kBg+ 2 / I Vi - Vt 1 with k as a constant.
From the above equation, it can be seen that the measurement mass range can be arbitrarily set by changing the potential Vt of the analysis tube.
本発明においては、分析管に高電圧を印加するため、オ
ペレータや周囲の物品が分析管に直接触れないよう分析
管をカバーで囲ったり、絶縁フィルムを被せたりするこ
とが望まルいことは言うまでもない。In the present invention, since a high voltage is applied to the analysis tube, it goes without saying that it is desirable to surround the analysis tube with a cover or cover it with an insulating film to prevent the operator and surrounding objects from directly touching the analysis tube. stomach.
［効果］
以上詳述した如く、本発明では、分析管を周囲と絶縁し
てイオン加速電圧を印加するようにしたため、イオン源
部分の電位を接地電位に近く設定することができ、各種
接続機器とイオン源との間の放電を防止することのでき
る質量分析装置が実現される。[Effects] As detailed above, in the present invention, since the analysis tube is insulated from the surroundings and the ion accelerating voltage is applied, the potential of the ion source can be set close to the ground potential, and various connected devices can be A mass spectrometer is realized that can prevent discharge between the ion source and the ion source.
第１図は本発明を実施したＬＣＭＳの一例を示す概略図
、第２図は装置各部に与えられる電位を示す図である。
１：イオン源 ２：イオン他室
３ニスリット群 ４：主スリット
５：磁石 ６：コレクタスリツト７：イオン
検出器 ８：分析管
９．１０：絶縁体 １にＬＣ
１２： ＬＣ−ＭＳインタフェース
１３：イオン源電源 １４：イオン加速電源１５〜１７
：真空ポンプFIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an LCMS embodying the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing potentials applied to various parts of the device. 1: Ion source 2: Ion other chamber 3 Nislit group 4: Main slit 5: Magnet 6: Collector slit 7: Ion detector 8: Analysis tube 9.10: Insulator 1: LC 12: LC-MS interface 13: Ion source power supply 14: Ion acceleration power supply 15 to 17
:Vacuum pump
Claims (1)
る分析場と、該分析場を通過したイオンを検出するイオ
ン検出器と、前記イオン源からイオン検出器までのイオ
ン通路を真空に保持するための分析管とを備えた質量分
析装置において、前記分析管を周囲と絶縁し、該分析管
にイオン加速電圧を印加するようにしたことを特徴とす
る質量分析装置。An ion source, an analysis field into which ions generated by the ion source are introduced, an ion detector that detects the ions that have passed through the analysis field, and an ion path from the ion source to the ion detector that is maintained in a vacuum. What is claimed is: 1. A mass spectrometer comprising an analysis tube for analyzation, wherein the analysis tube is insulated from the surroundings and an ion accelerating voltage is applied to the analysis tube.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61296313A JPS63148528A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61296313A JPS63148528A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Mass spectrometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148528A true JPS63148528A (en) | 1988-06-21 |
Family
ID=17831929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61296313A Pending JPS63148528A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Mass spectrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148528A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540529A (en) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | セムイクウィップ・インコーポレーテッド | Magnetic analysis apparatus and method for ion implantation |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP61296313A patent/JPS63148528A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540529A (en) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | セムイクウィップ・インコーポレーテッド | Magnetic analysis apparatus and method for ion implantation |
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