JPS63145738A - Alloy for film formation - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain an alloy for film formation which is to be deposited and formed on a substrate surface and has magnetism and heat resistant characteristics, by specifying the compsn. of an Ni-Cu-P alloy. CONSTITUTION:The alloy for film formation is deposited by electroless plating as an underlying layer of a magnetic recording medium on the substrate 1 to form a nonmagnetic hardening layer 2. A magnetic medium layer 3 consisting of gamma ferrite, etc., is then formed by sputtering and heat treatment on said layer and further, a lubricating layer 4 is provided thereon. The Ni-Cu-P alloy is used as the above-mentioned alloy for film formation for the magnetic recording medium parts to be thereby obtd. and the compsn. thereof is specified to 40-60wt% Ni and the balance Cu and P. The alloy for film formation which is not magnetized even in a high-temp. treatment stage at least at about 450 deg.C, does not required a protective film for the surface of the magnetic medium 3 and can decrease gap losses is thereby obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は被膜用合金、特に磁性記録媒体における磁性媒
体層のＦ地層として用いるのに好適な被膜用合金に関す
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a coating alloy, particularly to a coating alloy suitable for use as the F layer of a magnetic medium layer in a magnetic recording medium.

（従来の技術） 従来１例えば固定磁気ディスク装置等の磁性記録媒体に
おいては、磁性媒体層のド地層として、磁性媒体層のＦ
地の強度、耐蝕性を向卜させることを１：１的としたも
のとしてはアルマイト１漠が用いらね、また高温処理し
た後であっ′てもその非磁性特性を維持する必要がある
ときには、Ｎｉ　−Ｐ系のものをＦ地層として用いてい
る。(Prior Art) Conventional 1 For example, in a magnetic recording medium such as a fixed magnetic disk device, F of the magnetic medium layer is used as a ground layer of the magnetic medium layer.
Alumite is not used as a one-to-one material that improves the strength and corrosion resistance of the base, and when it is necessary to maintain its non-magnetic properties even after high-temperature treatment. , Ni-P type is used as the F layer.

第８図はアルマイト膜を磁性媒体のＦ地として用いる従
来の磁性記録媒体を示す。アルミニウム合金Ｊ＾板（ｌ
　１）にクロム酸浴、有機酸浴を行なうことにより５〜
２０μ（ミクロン）程度のアルマイトＩｔｓ！（１６）
を形成する。ラッピング等の機械的方法で鏡面に研磨後
、スパッタリングによりマグネタイト（Ｆｅ１２．）薄
１１Ｑ　（ｏ、＋　〜０．３　ｕ）　（＋３）を形成し
、これを大気中で３００℃近辺で数時間加熱して、ガン
マフェライト（γ−ＦｅｚＯ：１）　（ｌ：］）を形成
する。このガンマフェライト（１３）は磁気記録に適し
た記録媒体で、磁気ヒステリシス曲面の角形比の高い特
性を打しており、最後にガンマフェライト（１３）の、
Ｆ面に厚さ０．０３〜０．０８μの保護膜（＋７）を形
成している。FIG. 8 shows a conventional magnetic recording medium using an alumite film as the F base of the magnetic medium. Aluminum alloy J^ plate (l
By applying chromic acid bath and organic acid bath to 1), 5~
It's alumite of about 20μ (microns)! (16)
form. After polishing to a mirror surface using a mechanical method such as lapping, a thin 11Q (o, + ~ 0.3 u) (+3) of magnetite (Fe12.) is formed by sputtering, and this is heated in the air at around 300℃ for several hours. Thus, gamma ferrite (γ-FezO:1) (l:]) is formed. This gamma ferrite (13) is a recording medium suitable for magnetic recording, and has the characteristics of a high squareness ratio of the magnetic hysteresis curved surface.
A protective film (+7) with a thickness of 0.03 to 0.08 μm is formed on the F side.

この場合のアルマイトＷＡ（１６）の機能は、基板（１
１）の表面を鏡面に仕トげるために固くすることと、記
録媒体（１３）のド地の強度、耐蝕性をＥげるための硬
質、耐蝕性膜を学えることにある。In this case, the function of the alumite WA (16) is to
1) to harden the surface to give it a mirror finish, and to learn about hard, corrosion-resistant films that increase the strength and corrosion resistance of the recording medium (13).

−Ｆ記機能を満足させるには、アルマイト膜（１６）は
良好な特性を有しているのであるが、耐Ｃ５Ｓ特性Ｅに
問題があり、保ｊｌｌｌＱ　（＋７）を必要としている
。In order to satisfy the function described in -F, the alumite film (16) has good characteristics, but has a problem with the C5S resistance characteristic E, and requires a resistance of JllllQ (+7).

第９図に、ウィンチェスタ型ディスクにおける磁気ディ
スク（１４）とヘッド（１５）の位置関係を示すが、通
常はディスク（１４）の起動時、停止時のディスク（１
４）とヘッド（１５）の相対速度が一定値以下のときに
はディスク（Ｉ４）とヘッド（Ｉ５）は接触し摺動する
。通常１万サイクル以上の起動−停止（Ｃ５Ｓと略称）
に耐えねばならないが、保護膜（１７）がない場合には
、第７図、試料へ曲面に示すように、ＣＳ　Ｓ　２００
〜３００サイクルあたりで、摺動時のヘッドによる媒体
の加圧減磁によりヘッドの読出し電圧は、最初より２５
％程減少してしまう。Figure 9 shows the positional relationship between the magnetic disk (14) and the head (15) in a Winchester type disk.
When the relative speed between the disk (I4) and the head (15) is below a certain value, the disk (I4) and the head (I5) come into contact and slide. Start-stop usually over 10,000 cycles (abbreviated as C5S)
However, if there is no protective film (17), as shown in the curved surface of the sample in Fig. 7, the CS S 200
Around ~300 cycles, the read voltage of the head decreases to 25% from the beginning due to pressurization and demagnetization of the medium by the head during sliding.
It will decrease by about %.

通常、この加圧減磁による出力紙Ｆは１０％以内は、不
ｉｉ１避のものとして認められているのであり、　１０
％を越えることが問題なのである。Normally, output paper F due to pressure demagnetization of 10% or less is recognized as unavoidable, and 10
The problem is that it exceeds %.

通常のＣ５Ｓサイクルで、加圧減磁による１０％を越え
る出力紙Ｆが起こる原因は、媒体（１３）の直接の下地
のアルマイトｒＩＡ（１６）の多孔性（１０〜：ｌＯＸ
　１Ｇ’孔／ｃｍ”　）に起因する脆弱性の故であると
考えられる。In a normal C5S cycle, the cause of output paper F exceeding 10% due to pressurized demagnetization is the porosity (10~:lOX
This is thought to be due to the fragility caused by 1G'hole/cm''.

媒体（菖３）の下地が脆弱であると、Ｃ５Ｓ時のヘッド
による加圧で媒体（１３）が微少であるが変形し、いわ
ゆる逆磁歪現象を起こすと考えられるのである。If the base of the medium (iris 3) is weak, the medium (13) is slightly deformed by the pressure applied by the head during C5S, which is thought to cause the so-called reverse magnetostriction phenomenon.

従来は、この異常な加圧減磁を抑えるためには、ヘッド
（１５）と媒体（１３）との直接の接触を避ける必要が
あり、０．０３〜０．０８μ程度の保護膜（１７）を施
していた。この保護膜（Ｉ７）を施すことによって、第
７図の試料Ｂの曲線のように、加圧減磁によるヘッドの
読出し電圧の低下は、　１０％以内におさまるのである
。Conventionally, in order to suppress this abnormal pressure demagnetization, it was necessary to avoid direct contact between the head (15) and the medium (13), and a protective film (17) of about 0.03 to 0.08μ was used. was being administered. By applying this protective film (I7), the drop in read voltage of the head due to pressurized demagnetization is kept within 10%, as shown by the curve of sample B in FIG.

（発明が解決しようとする問題点） 本来、ガンマフェライト媒体は、硬度が高く（マイクロ
ビッカース硬度、、、１．０００　）　、耐蝕性も抜群
に優れており、他のメッキ媒体、スパッタコバルト合金
媒体の場合に必要とされるような保：ｔｗＡは不要なの
である。しかしながら、従来ではｔ記のように保護膜が
形成されており、このため、保護膜を必要とする分だけ
空ｗＸ１１を生じ、特に、今後ヘッド浮ト高を０．２μ
以丁にしようとするとき、この保護膜は大きな障害とな
るという問題点があった。(Problems to be Solved by the Invention) Gamma ferrite media originally have high hardness (micro-Vickers hardness, 1.000) and excellent corrosion resistance, making it difficult to use with other plating media or sputtering cobalt alloy media. There is no need for the kind of protection twA required in the case of . However, in the past, a protective film was formed as shown in t, and as a result, an empty space wX11 was created as much as the protective film was required.
There was a problem in that this protective film was a major hindrance when trying to clean the device.

一方、高温処理した後であっても、その非磁性特性を維
持する必要があるときに用いられるＮｉ　−Ｐ系の被膜
用合金の場合、この合金は３００℃以下に磁気転移点を
有し、約２５０℃という比較的低温において磁性化して
しまうのが現状であった。そのため、このような現象は
、弱磁場中　（ｌにＯｅ以Ｆ）で用いられる部品におい
ては、さらに太きな問題となり１例えば磁性体の面内方
向の磁気的（＋を号により動作するような装置において
、その磁性媒体のＦ地層が磁性体化してしまうと磁性媒
体とＦ地層間で磁束が閉じてしまい、媒体表層に現われ
る実効的な磁束？が減少し、　ＳＮ比の低下を招くこと
になる。ところがその製造り程りは高温処理な打してお
り、そのため＠気的信号がその根幹たるもの、或は、磁
気的ノイズが装置全体に対して、少なからず悪影響を与
えるような場合にあって、従来の被膜用合金では、−ｈ
記高温処理［程において磁性化してしまい、ひいては実
効的磁束量の低Ｆを招き、あるいは磁気的ノイズの発生
を招くため、装置全体としての性能を低下させるという
問題点を（１していた。On the other hand, in the case of a Ni-P coating alloy used when it is necessary to maintain its non-magnetic properties even after high-temperature treatment, this alloy has a magnetic transition point below 300 ° C. At present, it becomes magnetized at a relatively low temperature of about 250°C. Therefore, this phenomenon becomes an even bigger problem in parts that are used in weak magnetic fields (1 Oe or more). In a device, if the F layer of the magnetic medium becomes magnetic, the magnetic flux will close between the magnetic medium and the F layer, reducing the effective magnetic flux appearing at the surface layer of the medium, resulting in a decrease in the S/N ratio. However, the manufacturing process involves high-temperature processing, so if the magnetic signal is the basis of the signal, or if the magnetic noise has a considerable negative effect on the entire device. In the case of conventional coating alloys, -h
During the high-temperature treatment, it becomes magnetized, resulting in a low effective magnetic flux or generation of magnetic noise, which causes a problem of deteriorating the performance of the device as a whole (1).

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、少なくとも４５０℃前後の高温部Ｆ１１ｍ程におい
ても磁性化せず非磁性体特性を保持する磁性化耐熱特性
を有し、またガンマフェライト性の磁性媒体の下地とし
て通用した場合には、磁性媒体表面の保護膜を省略して
空隙損を減らすことができる被膜用合金を得ることを目
的とする。The present invention has been made to solve such problems, and has magnetization heat-resistant characteristics that do not become magnetized and maintain non-magnetic properties even at a high temperature part F11m of around 450 degrees Celsius, and also has gamma ferrite The object of the present invention is to obtain a coating alloy that can omit a protective film on the surface of the magnetic medium and reduce air gap loss when it is used as a base for a magnetic medium.

〔問題点を解決するためのト段〕[Steps to solve the problem]

本発明に係る被膜用合金は、被膜用合金をＮｉ−Ｃｕ−
Ｐ、ｆ−合金として構成するとともに、その合金組成を
、　Ｎｉ　４０〜６０ｗｔ％、残部をＣｕ及びＰとする
ようにしたものである。The coating alloy according to the present invention is a coating alloy made of Ni-Cu-
It is constructed as a P, f-alloy, and its alloy composition is 40 to 60 wt% Ni, and the balance is Cu and P.

（作用） 本発明においては、被膜用合金を旧−Ｃｕ　−Ｐ系合金
としその旧組成を４０〜６０ｗＬ％とじているのでスパ
ッタリング等の高温処理に対しても、合金被膜は磁性化
することがなく、したがって、磁場中にあってもその実
効的磁束量の低ドあるいは磁気的ノイズの発生を防止で
きる。(Function) In the present invention, the alloy for the coating is a former -Cu-P alloy, and the former composition is limited to 40 to 60wL%, so that the alloy film does not become magnetic even when subjected to high-temperature treatment such as sputtering. Therefore, even in a magnetic field, the effective amount of magnetic flux can be reduced or the generation of magnetic noise can be prevented.

また上記被膜用合金をガンマフェライト製の磁性媒体の
下地として使用すると、無孔質で均一強固な下地が得ら
れ、磁性媒体表面の保ｊ！！膜を省略できる。Furthermore, when the above-mentioned coating alloy is used as a base for a magnetic medium made of gamma ferrite, a non-porous, uniformly strong base can be obtained, and the surface of the magnetic medium can be maintained. ! The membrane can be omitted.

（実施例） 以下第１図ないし第５図に示す第１実施例及びその試験
結果に基づいて本発明を説明する。第１図は本実施例に
係る磁性記録媒体を示す部分断面図である。図は板状の
媒体を示し、非磁性Ｊ、Ｃ板（１）にこれを保護する非
磁性硬化層（２）が施され、さらに磁性媒体層（３）及
び州滑層（４）が順次積層して形成されている。このと
き、非磁性基板（１）表面に被着形成された非磁性硬化
層（２）が本発明に係る被１１１２川合金である。この
非磁性硬化層（２゛）は無電解めっきによって形成した
ものである。この無電解めっきによって４種類の合金組
成からなる被膜を形成し、これらの非磁性硬化層（２）
の高温処理における磁気特性をグラフとして表わしたも
のが第２図である。図からも明らかなように従来のＮｉ
　−Ｐ系合金の被膜では、　２００℃以トにおいて急激
に磁性化していることが明らかである。また、Ｎｉ−Ｃ
ｕ−Ｐ系合金であってもＮｉ組成が７０％以トであると
、Ｎｉ−Ｐ系よりは磁化の程度は低下するものの、磁気
記録媒体としては多少の磁束！ｌ【低ドを招き、あるい
は磁気ノイズ発生をもたらす可能があり、充分なものと
は言えない。ところが、Ｎｉ組成を５０ｗｔ％、４０ｗ
Ｌ％と低下させると温度処理を２００℃〜４５０℃に高
めていっても、逆に磁性化の程度は逓減することになり
、むしろ非磁性状態を有効に保持していることが判る。(Example) The present invention will be described below based on a first example shown in FIGS. 1 to 5 and its test results. FIG. 1 is a partial sectional view showing a magnetic recording medium according to this embodiment. The figure shows a plate-shaped medium, in which a non-magnetic hardened layer (2) is applied to a non-magnetic J and C plate (1) to protect it, and a magnetic medium layer (3) and a smooth layer (4) are applied in sequence. It is formed by laminating layers. At this time, the nonmagnetic hardened layer (2) formed on the surface of the nonmagnetic substrate (1) is the 1112 alloy according to the present invention. This nonmagnetic hardened layer (2') was formed by electroless plating. Through this electroless plating, a film consisting of four types of alloy compositions is formed, and these non-magnetic hardened layers (2)
FIG. 2 is a graph showing the magnetic properties during high-temperature treatment. As is clear from the figure, conventional Ni
It is clear that the -P alloy coating rapidly becomes magnetized at temperatures above 200°C. Also, Ni-C
Even in a u-P alloy, if the Ni composition is 70% or more, the degree of magnetization will be lower than that of the Ni-P alloy, but it will still have some magnetic flux as a magnetic recording medium! This is not sufficient as it may lead to low voltage or magnetic noise. However, when the Ni composition was 50wt% and 40w
It can be seen that when the temperature is lowered to L%, the degree of magnetization decreases even if the temperature treatment is increased from 200° C. to 450° C., and rather the non-magnetic state is effectively maintained.

さらに第３図は、本発明に係るＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金被
膜のＮｉ組成比を４０〜７０臀（％まで変化させた場合
における。４００℃で熱処理した後の残留磁束密度を測
定した結果を示したグラフである。このグラフからも明
らかなように、４０〜６０ｗｔ％のＮｉ組成では、この
合金被膜の非磁性状態は安定的に保持されているが、７
０ｗＬ％＠後になると急激に磁化していることが判る。Furthermore, Figure 3 shows the results of measuring the residual magnetic flux density after heat treatment at 400°C when the Ni composition ratio of the Ni-Cu-P alloy film according to the present invention was varied from 40 to 70%. As is clear from this graph, the non-magnetic state of this alloy film is stably maintained at a Ni composition of 40 to 60 wt%;
It can be seen that magnetization occurs rapidly after 0wL%@.

また、このような合金の非磁性硬化層（２）　として要
求される硬度は、ヌープ硬度によって測定する。この測
定結果を示したグラフが第４図である。このグラフによ
れば実用硬度）ＩＫ４００以上を確保することがきる。Further, the hardness required for the non-magnetic hardened layer (2) of such an alloy is measured by Knoop hardness. FIG. 4 is a graph showing the results of this measurement. According to this graph, it is possible to secure a practical hardness of IK400 or higher.

換言すれば、硬化層としての被膜合金のＮｉ組成が４０
ｗｔ％以下であるとその実用性に乏しいことになる。In other words, the Ni composition of the coating alloy as a hardened layer is 40
If it is less than wt%, its practicality will be poor.

つまり、非磁性硬化層（２）としてのＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系
合金におけるＮｉ組成は、高温処Ｆｌ後に非磁性状態を
保持し得るか否かによって６０ｗＬ％のＬ限が決まり、
硬化層としての硬度に実用性があるか否かによって４０
ｗＬ％のトー限が決まることになる。In other words, the Ni composition in the Ni-Cu-P alloy as the non-magnetic hardened layer (2) has an L limit of 60 wL%, which is determined by whether it can maintain a non-magnetic state after high-temperature treatment Fl.
40 depending on whether the hardness as a hardened layer is practical.
The toe limit of wL% will be determined.

このような合金を基体（１）に被着した後、さらにその
表面にスパッタリングによって磁性媒体層（３）を形成
すると、このスパッタリングにおける４００℃前後の高
温Ｆにあっても、非磁性硬化層（２）は非磁性状態をそ
のまま保持することになる。After depositing such an alloy on the substrate (1), if a magnetic medium layer (3) is further formed on the surface by sputtering, the non-magnetic hardened layer ( 2) will maintain the non-magnetic state as it is.

このようにして得られた記録媒体に１１３号を、−２き
込んだ場合の周波数特性を示したのが第５図のスペクト
ルである。このスペクトルは３Ｍ１ｌｚの４ｒＳ　”ｆ
を古き込んだ後の読み出し出力の周波数スペクトルを示
しており、これからも明らかなように。The spectrum in FIG. 5 shows the frequency characteristics when −2 No. 113 was written into the recording medium thus obtained. This spectrum is 4rS ”f of 3M1lz
It shows the frequency spectrum of the readout output after aging, as is clear from this.

本発明に係るＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系のＦ述した合金では３帽
１ｚの周波数をシャープに出力するが、従来のＮｉ　−
Ｐ系合金にあっては３Ｍ１ｌｚの周波数はブロードにな
ってノイズの大きいことが判る。つまり。The Ni-Cu-P alloy according to the present invention outputs a sharp frequency of 3 caps 1z, but the conventional Ni-
It can be seen that in the P-based alloy, the frequency of 3M1lz is broad and the noise is large. In other words.

本発明に係るＮｉ　−Ｃｕ　−Ｐ　、ｔ８合金は従来の
ものに比べてＳＮ比が格段に向上していることが明らか
である。It is clear that the Ni-Cu-P, t8 alloy according to the present invention has a significantly improved signal-to-noise ratio compared to the conventional one.

第６図及び第７図は本発明の第２実施例を示すもので、
以下これについて説明する。6 and 7 show a second embodiment of the present invention,
This will be explained below.

第６図に、本発明の第２実施例による磁気ディスクの断
面を示す。基板（１１）にはアルミニウム合金を用い、
先ず非磁性硬化層として、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金のメッ
キ１１９（＋２）をｌＯ〜２０μの厚みに形成する。ｆ
ｉ電解メッキ浴は、代表的には硫酸塩からのニッケルイ
オン・３グラム／リツトル、硫酸塩からの銅イオン・１
グラム／リツトル、次亜燐酸ソーダ・０．５グラム／リ
ツトル、酸化剤通量を含み、　Ｐ１１９〜ｌＯ１温度７
０〜８０℃のものを使用する。FIG. 6 shows a cross section of a magnetic disk according to a second embodiment of the invention. An aluminum alloy is used for the substrate (11),
First, as a non-magnetic hardened layer, plating 119 (+2) of Ni--Cu--P alloy is formed to a thickness of 10 to 20 .mu.m. f
i Electrolytic plating baths typically contain 3 grams/liter of nickel ions from sulfates and 1 liter of copper ions from sulfates.
grams/liter, sodium hypophosphite 0.5 grams/liter, including oxidizing agent flow rate, P119~1O1 temperature 7
Use one with a temperature of 0 to 80°C.

Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金のメッキ膜（１２）をその後、ラ
ッピングにより、表面の２〜５μを除去研磨し、表面粗
さ、　Ｒ，、，０，０５μ程度に仕Ｆげる。その後、ガ
ンマフェライト媒体（＋３）を施す。The Ni--Cu--P alloy plating film (12) is then polished by lapping to remove 2 to 5 .mu.m of the surface to a surface roughness of about R, 0.05 .mu.m. Afterwards, a gamma ferrite medium (+3) is applied.

即ち、グロー放電のスパッタリングによりメッキ膜（＋
２）　Ｌに鉄を飛ばし、同時に適量の酸素ガスを送り込
み、研磨面Ｅにマグネタイト（Ｆ　ｅａｏｎ）を０．１
〜０．３μ均一に析出させる。その後、このディスクを
大気中に出し、例えば３００℃、２時間加熱し、ガンマ
フェライト（γ−Ｆｅ、０コ）　（１３）に酸化し、優
れた磁気特性の記録媒体（＋３）とする。That is, the plating film (+
2) Spray iron onto L, simultaneously feed an appropriate amount of oxygen gas, and apply 0.1% of magnetite (F eaon) to polished surface E.
~0.3μ is deposited uniformly. Thereafter, this disk is taken out into the atmosphere and heated at, for example, 300° C. for 2 hours to oxidize it to gamma ferrite (γ-Fe, 0) (13), resulting in a recording medium (+3) with excellent magnetic properties.

本実施例で得た磁気ディスクのＣ５Ｓサイクルによる読
出し電圧の変化は第７図、試料Ｃの曲線のようになる。The change in read voltage due to the C5S cycle of the magnetic disk obtained in this example is as shown in the curve of sample C in FIG.

ＣＣＳ、１００サイクル迄は、サイクルに比例して出力
紙ドが起こるが、それ以降は出力紙Ｆは起こらない。そ
して、出力紙Ｆは、１０％以内におさまっているのであ
る。Up to the 100th cycle of CCS, output paper F occurs in proportion to the cycle, but after that, output paper F does not occur. The output paper F is within 10%.

この曲線は、試料Ａ（アルマイト膜上媒体（保護膜あり
））の場合と殆ど同じ曲線となっている。これは、媒体
Ｆ地にＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金膜（１２）を用いれば、媒
体（１３）上に保護膜がない場合でもアルマイト膜下地
を使った場合の媒体ヒ保護膜を有する場合と同等の性能
が得られることを示してイル。コレハ、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐ
系合金ｖｌ；Ｊ、（Ｉｚ）がより硬度で、しかも、金属
としては一般的なことであるが、アルマイト膜とは異な
り、無孔質で均一な強固なＦ地を提供したためと考えら
れる。Ｆ地が均一で強固になると、Ｃ８Ｓ時のヘッドの
加圧があっても、媒体の逆磁歪現象が起こり難く、減磁
が進行しないためであると考えられる。This curve is almost the same as that of sample A (medium on alumite film (with protective film)). If a Ni-Cu-P alloy film (12) is used as the base of the medium F, even if there is no protective film on the medium (13), it will be different from the case where the medium has a protective film when an alumite film base is used. It has been shown that equivalent performance can be obtained. Coreha, Ni-Cu-P
It is thought that this is because the alloy vl; This is believed to be because when the F ground becomes uniform and strong, even if the head is pressurized during C8S, the reverse magnetostriction phenomenon of the medium is less likely to occur, and demagnetization does not proceed.

なお、Ｅ２第２実施例では、ガンマフェライト媒体（＋
３）をＩＡ’Ｆ−記録に使った場合を述べたが、これは
、ガンマフェライト媒体（１３）を垂直記録に使った場
合にも有効と推定される。即ち、ガンマフエラ、、イト
媒体（１３）に、バリウム又はレニウムを添加した場合
、！ｌ！直記録に適した媒体となるが、垂直の場合には
長ト記録の場合よりも、より空隙損は大きく記録特性に
悪影舌を及ぼす故に、媒体ｔの保護膜を不要にする必要
性が高く、それだけ、このＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金膜（１
２）を媒体Ｆ地に使うことは有効となる。In addition, in the E2 second embodiment, the gamma ferrite medium (+
Although the case where 3) is used for IA'F-recording has been described, it is presumed that this is also effective when the gamma ferrite medium (13) is used for perpendicular recording. That is, when barium or rhenium is added to the gamma ferrite medium (13),! l! The medium is suitable for direct recording, but in the case of vertical recording, the gap loss is greater than in the case of long length recording, which adversely affects the recording characteristics, so it is necessary to eliminate the need for a protective film on the medium. The higher the cost, the more this Ni-Cu-P alloy film (1
It is effective to use 2) for the medium F.

今後ヘッド浮ト距芝を０．１〜０．２μに息下げる要求
は強いが、このとき保護膜（０，０：ｌ〜０．０８μ）
が不要ということは、極めて大きな魅力となる。In the future, there will be a strong demand for lowering the head floating distance to 0.1 to 0.2μ, but in this case, a protective film (0.0:l to 0.08μ) will be required.
The fact that it is not necessary is an extremely attractive feature.

また、Ｆ配置実施例では磁気記録媒体の非磁性硬化層に
通用した場合について説明したが、励磁コイルの支持体
等の表面層として使用してもよく、この場合は、広い温
度範囲で磁性化することのないＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金の
特性から、高温（〜４００℃）においても磁場の均　性
を維持することができ、効率よい電磁変換特性を得る効
果がある。In addition, in the F arrangement example, the case where it is applicable to a non-magnetic hardened layer of a magnetic recording medium was explained, but it may also be used as a surface layer of a support of an excitation coil, etc. In this case, it is possible to magnetize it in a wide temperature range. Due to the characteristics of the Ni-Cu-P alloy, which does not cause any electromagnetic conversion, it is possible to maintain the uniformity of the magnetic field even at high temperatures (~400°C), which has the effect of obtaining efficient electromagnetic conversion characteristics.

（発明の効果）　。(Effect of the invention) .

・本発明は以ト説明したとおり、被膜用合金なＮｉ−（
：ｕ−Ｐ系合金として構成するとともに、その合金組成
をＮｉ４０〜６０ｗＬ％、残部をＣｕ及びＰとしている
ので、スパッタリング等の高温処理に対しても、合金被
膜は磁性化することがなく、したがって、６４ｉ場中に
あってもその実効的磁束量の低Ｆあるいは磁気的ノイズ
の発生を防上することができる− また、ト配液膜用合金を、ガンマフェライト製の磁性媒
体の下地として使用した場合には、無孔質で均一強固な
Ｆ地が得られ、磁性媒体表面の保護膜を不要としてその
膜厚外の空隙損を減らすことができ、記録密度をトげる
ごとができる等の効果がある。・As explained below, the present invention uses Ni-(
: It is constructed as a u-P alloy, and the alloy composition is 40 to 60wL% Ni, and the balance is Cu and P, so the alloy film does not become magnetized even when subjected to high-temperature treatments such as sputtering. , 64i field, it is possible to prevent the effective magnetic flux amount from being low F or the generation of magnetic noise. In addition, the alloy for the liquid distribution film can be used as the base for the gamma ferrite magnetic medium. In this case, a non-porous and uniformly strong F base can be obtained, eliminating the need for a protective film on the surface of the magnetic medium, reducing air gap loss outside the film thickness, and increasing recording density. There is an effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の第１実Ｍｉ例を示す部品の部分断面図
、第２図は従来合金と本発明合金の耐熱磁化特性を比較
して示したグラフ図、第３図はＮｉ−［：ｕ−Ｐ系合金
の非磁性特性のＮｉ組成に対する変化を示すグラフ図、
第４図は本発明合金のヌープ硬度のＮｉ組成に対する変
化を示す説明図、第５図は従来合金と本発明合金の媒体
ノイズを比較して示すスペクトルの説明図、第６図は本
発明の第２実施例を示す磁気ディスクの断面図、第７図
は各種磁気ディスクのＣ３Ｓ回数と出力との関係を示す
グラフ図、第８図は従来の磁気ディスクの断面図、第９
図は磁気ディスクとヘッドとの位置関係を示す説明図で
ある。 （１）−・・基体、（２）　−・・非磁性硬化層、（３
）・・・磁性媒体層、 （ｌｌ）・・・アルミニウム合金基板（基体）、（１２
）−・・メッキ層（非磁性硬化層）、（１３）・・・ガ
ンマフェライト媒体（磁性媒体層）。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第２図 Ａｎｎｅａｌ　ｉｎｇ　！ｅｍｐｅｒａｊｕｒｅ電々４
ゴ臓４−彎＆も→FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a part showing the first practical example of the present invention. FIG. 2 is a graph comparing the heat-resistant magnetization properties of the conventional alloy and the alloy of the present invention. FIG. :Graph diagram showing changes in non-magnetic properties of u-P alloy with respect to Ni composition,
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the change in Knoop hardness of the present invention alloy with respect to Ni composition, FIG. 5 is an explanatory diagram of the spectrum showing a comparison of the media noise of the conventional alloy and the present invention alloy, and FIG. 7 is a graph showing the relationship between the number of C3S and the output of various magnetic disks; FIG. 8 is a sectional view of a conventional magnetic disk; FIG.
The figure is an explanatory diagram showing the positional relationship between a magnetic disk and a head. (1) --- Substrate, (2) --- Nonmagnetic hardened layer, (3
)...Magnetic medium layer, (ll)...Aluminum alloy substrate (substrate), (12
)--plated layer (non-magnetic hardened layer), (13)... gamma ferrite medium (magnetic medium layer). In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Figure 1 Figure 2 Annealing! emperajure electricity 4
Go viscera 4-King&Mo→

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）基体表面に被着形成する被膜用合金において、上
記被膜用合金をＮｉ−Ｃｕ−Ｐ系合金として構成すると
ともに、該合金組成をＮｉ４０〜６０ｗｔ％、残部をＣ
ｕ及びＰとしたことを特徴とする被膜用合金。(1) In the coating alloy to be deposited and formed on the surface of the substrate, the coating alloy is composed of a Ni-Cu-P alloy, and the alloy composition is 40 to 60 wt% Ni and the balance is C.
An alloy for coating, characterized by comprising U and P. （２）上記被膜用合金を磁気記録媒体の下地層として形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の被
膜用合金。(2) The coating alloy according to claim 1, wherein the coating alloy is formed as an underlayer of a magnetic recording medium. （３）上記被膜用合金が無電解めっきによって形成され
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記
載の被膜用合金。(3) The coating alloy according to claim 1 or 2, wherein the coating alloy is formed by electroless plating.