JPS63134442A - 物品の受渡し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はキャリヤカセットに収納された板状の物品を
受渡すための受渡し装置に関する。

（従来の技術） 物品としての半導体ウェハの処理や検査工程においては
、上記半導体ウェハは上面が開口した箱形状のキャリヤ
カセットに収納された状態で受渡される。そして、その
工程における所定の処理が終了すると、再度上記キャリ
ヤカセットに収納されて次の工程へ搬送されるというこ
とが行われている。

上記キャリヤカセットに対して半導体ウェハを挿脱する
には、種々の手段が取られているが、最近では生産工程
の自動化にともないロボットで行なわれるようになって
きた。ロボットで半導体ウェハの挿脱作業を行なう場合
、そのロボットのアームに取付けられたハンドを上記キ
ャリヤカセット内に挿入しなければならない。しかしな
がら、上記キャリヤカセット内には半導体ウェハが通常
４〜５ｊＩＩＩの非常に狭い間隔で並設収納されている
。

したがって、これら半導体ウェハ間に上記ハンドを挿入
することができないという問題があった。

そこで、従来は上記キャリヤカセットの一番端の１枚分
のスペースに半導体ウェハを入れずにおき、そのスペー
スに上記ハンドを挿入してキャリヤカセット内の半導体
ウェハを１枚ずつ順次取出すようにしている。しかしな
がら、このような手段によると、１つのキャリヤカセッ
トに入れることができる半導体ウェハの数が１枚少なく
なるから、その分だけ処理や検査の能率低下を招くこと
になる。

また、上記半導体ウェハは上記キャリヤカセットに形成
された半導体ウェハの厚さよりも幅寸法の大きな溝に挿
入支持されている。つまり、半導体ウェハは上記キャリ
ヤカセットにガタのある状態で収納されているので、半
導体ウェハを取出す場合にハンドを高精度に位置決め制
御しても、ハンドから半導体ウェハが外れてしま“うと
いうこともある。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、キャリヤカセット内にロボットのハ
ンドを挿入するための余分なスペースを確保しなくとも
その内部に並設収納された板状の物品を順次取出すこと
ができ、しかもキャリヤカセットにガタのある状態で収
納された上記物品を簡単かつ確実に位置決めできるよう
にした物品の受渡し装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、上面が開口した箱形状に形
成され内部に多数の板状の物品が所定間隔で平行に離間
して挿脱自在に収納されたキャリヤカセットと、このキ
ャリヤカセットを上記物品の配列方向に沿って所定の角
度で傾斜させて保持する保持部を有する装置本体と、こ
の装置本体に設けられ上記キャリヤカセットに保持され
る多数の物品のうちの少なくとも配置方向末端の１枚の
物品をその下端が上記キャリヤカセットの物品の配置方
向に位置する側壁の上端よりも上方になる位置まで押し
上げる押し上げ機構とを具備する。そして、物品を押し
上げることによってロボットのハンドをキャリヤカセッ
ト内に挿入せずに物品を取出すことができ、またキャリ
ヤカセットを傾斜させることによってその内部の物品を
傾斜方向に位置決めする。

（実庸例） 以下、この考案の一実施例を図面を参照して説明する。

第３図は受渡し装置の側面図であり、この受渡し装置は
本体１を有する。この本体１は第１図に示すように底板
２と、この底板２に対して所定の角度θで傾斜した台板
３とから構成されている。この台板３の傾斜角度θはと
くに制限されるものでないが、４５度以内が望ましい。

上記台板３の上面にはその長手方向に所定間隔で複数の
保持部４が形成されている。この保持部４は上記台板３
の傾斜方向上端に立設された第１のガイド板５と、下端
に立設された第２のガイド板６とからなり、上記第１の
ガイド板５の内面には円弧状の押しばね７ａが設けられ
ている。

このように構成された各保持部４には図示せぬ搬送ロボ
ットなどによって搬送されてきたキャリヤカセット７が
保持される。このキャリヤカセット７は上下面が開放し
た箱形状に形成されていて、幅方向の両側壁８内面には
それぞれ長手方向はぼ全長にわたり所定間隔で挿入溝９
が形成されている。また、キャリヤカセット７はその両
側１８の高さ方向下部が幅方向内方に傾斜したテーバ部
１１に形成され、このテーバ部１１によって上記各挿入
溝９にスライド自在に挿入された板状物品としての半導
体ウェハ１２の挿入位置が規制されている。さらに、上
記キヤ・リヤカセット７の前後方向両端の側壁１３の上
部は切欠かれ、それによってこれらの上端面１３ａは幅
方向の一対の側壁８の上端面よりも低く形成されている
。なお、半導体ウェハ１２はキャリヤカセット７内に無
駄なスペースが生じることがないようその全ての挿入溝
９に挿入されている。そして、このように形成されたキ
ャリヤカセット７は上記保持部４の一対のガイド板５．
６間にその前後方向の側壁１３を挿入させて設けられて
いるため、キャリヤカセット７は本体１の台板３の傾斜
角度と同じ角度で傾斜して上記保持部４に保持されてい
る。したがって、キャリヤカセット７の挿入溝９に保持
された半導体ウェハ１２は傾斜方向下方に位置する上記
挿入溝９の幅方向−側内面に当接して位置決めされる。

一方、上記本体１にはキャリヤカセット７の傾斜方向最
上段に位置する半導体ウェハ１２を押し上げるための押
し上げ機構１５が設けられている。

つまり、この押し上げ機構１５は上記保持部４の上端側
に上記本体１の長手方向に沿って配設された帯状の可動
板１６を有す４．この可動板１６には複数のスライダ１
７が固着されている。各スライダ１７は上記本体１の底
板２と台板３との間にほぼ垂直に設けられたガイドロッ
ド１８にスライド自在に設けられている。また、上記可
動板１６には一対のガイド溝１９がそれぞれ一ガイドバ
ー２１によって形成されている。各ガイド溝１９にはカ
ムフォロア２２がスライド自在に係合されている。一対
のカムフォロア２２はそれぞれカム２３に回転自在に取
付けられている。これらのカム２３は上記本体１に回転
自在に設けられたプーリ２４に一体的に取付けられてい
る。また、一対のプーリ２４間には駆動モータ２５が配
置されている。このモータ２５の回転軸２６には駆動プ
ーリ２７が嵌着されている。そして、上記一対のプーリ
２４と駆動プーリ２７とにはベルト２８が張設されてい
る。したがって、上記モータ２５を作動させて駆動プー
リ２７を矢示方向に回転させれば、ベルト２８が走行し
て一対のプーリ２４が回転するから、これに上記カム２
３が連動する。一対のカム２３が回転すれば、カムフォ
ロア２２がガイド溝１９をスライドしながら可動板１６
を上下動させる。つまり、カム２３が第３図に示す状態
から時計方向に１８０度回紙回転範囲では可動板１６が
上昇方向に変位し、１８０度を越えて３６０度の範囲で
は下降方向に変位する。なお、上記ベルト２８には上記
駆動プーリ２７の近くに配置されたテンションプーリ２
９と補助プーリ３１とが係合している。

また、上記可動体１６の上記本体１に形成された保持部
４と対応する箇所にはほぼＵ字状の押し板３２の下端が
連結されている。この押し板３２の上端部は上記台板３
に形成されたスリット３ａからその上面側に突出してい
る。また、押し板３２の一対の上端にはそれぞれ断面７
字状の係合溝３３が形成されている。そして、押し板３
２の上端部は上記保持部４に保持されたキャリヤカセッ
ト７内に突出し、その係合溝３３がキャリヤカセット７
の傾斜方向上端に位置する半導体ウェハ１２の下端部に
対向位置している。したがって、押し板３２が可動板１
６とともに上昇駆動されれば、その係合溝３３は半導体
ウェハ１２に係合してこのウェハ１２を上昇させること
になる。半導体ウェハ１２の上昇ストロークは上記カム
２３に設けられたカムフォロア２２の回転半径によって
決定される。つまり、そのストロークは第２図と第３図
とに示すように半導体ウェハ１２の下端がキャリヤカセ
ット７の後端側の側！１３の上端面１３ａよりも上方と
なる位置まで上昇させられる。

つぎに、上記構造の受渡し装置の動作について説明する
。まず、図示せぬ搬送ロボットなどによってキャリヤカ
セット７が保持部４に供給されると、このキャリヤカセ
ット７は上記保持部４の台板３の傾斜角度に応じて傾斜
する。そのため、キャリヤカセット７内の半導体ウェハ
１２は傾斜方向下端側に位置する収納溝９の幅方向−側
内面に当接して上°２傾斜方向に沿う位置決めがなされ
る。

つぎに、第１図と第２図に示す受渡しロボット３５によ
ってキャリヤカセット７内の半導体ウニ１１１２が１枚
ずつ取出される。つまり、この受渡しロボット３５は３
本のフィンガ３６が一列に設けられたアーム３７を備え
ている。各アーム３７は上下方向に駆動されるとともに
、中央のアーム３７は他のアーム３７よりも長く形成さ
れている。。

さらに、各アーム３７の一側面下端には係合ビン３８が
突設されている。そして、このような構造の受渡しロボ
ット３５は第１図に示すようにキャリヤカセット７の傾
斜方向上端側からこのキャリヤカセット７に接近するよ
う駆動される。

上記受渡しロボット３５が上記キャリャカセツドアに接
近する方向に駆動される前に、押し上げ機構１５が作動
してキャリヤカセット７の傾斜方向上方の一番端に位置
する半導体ウェハ１２が押し板３２によって第２図に鎖
線で示すようにその下端がキャリヤカセット７の側壁１
３の上端面１３ａよりもわずかに上になるまで押し上げ
られた状態で待機している。そして、受渡しロボット３
５のアーム３７が押し上げられた半導体ウェハ１２に接
近すると、３本のフィンガ３６が矢示方向に駆動されて
その半導体ウェハ１２を３本の係合ビン３８によって保
持する。そして、半導体ウェハ１２を保持したアーム３
７は、その半導体ウェハ１２を図示しない処理や検査な
どの工程に受渡す。なお、押し板３２はアーム３７が半
導体ウェハ１２を保持すると同時に下降方向に駆動され
る。　　　・ このようにして半導体ウェハ１２を受渡したアーム３７
は、再度キャリヤカセット７にその傾斜方向上端側から
接近してくる。そして、キャリヤカセット７の傾斜方向
上端の最初の１枚を取出したことによって生じたスペー
スからキャリヤカセット７内に人込み、２番目の半導体
ウェハ１２を保持して検査や処理工程に受渡す。そして
、このようにしてキャリヤカセット７内の半導体ウェハ
１２を１枚ずつ順次取出して！２！ｌ置や検査工程に受
渡してその工程における作業が終了すると、半導体ウェ
ハ１２は受渡し時とは逆の手順でキャリヤカセット７内
に回収される。すると、そのキャリヤカセット７は図示
せぬ搬送ロボトによって保持部４から適所に搬出される
ことになる。

つまり、上記構造の受渡し装置によれば、キャリヤカセ
ット７に受渡しロボット３５のアーム３７が入り込むた
めのスペースを予め確保しておかなくてすむから、キャ
リヤカセット７内のスペースをむだなく利用することが
できる。また、キャリヤカセット７が保持部４に所定の
角度で傾斜して保持されることにより、このキャリヤカ
セット７内の半導体ウェハ１２が挿入溝９の幅方向の一
側によって・位置決めされる。したがって、上記半導体
ウェハ１２を受渡しロボット３５によって確実に取出す
ことができる。

なお、この発明は上記一実施例に限定されず、板状の物
品としては半導体ウェハだけでなく、磁気デスクなどで
あってもよい。また、押し上げ機構によって押し上げる
半導体ウェハの枚数は１枚以上であってもよく、たとえ
ばキャリヤカセット内に保持された全ての物品を一度に
押し上げるようにしてもよい。さらに、押し上げ機構に
よって１枚の半導体ウェハだけを押し上げる場合、キャ
リヤカセットの傾斜方向上端でなく、下端側のものを押
し上げるようにしてもよい。

〔発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、キャリヤカセットを装置
本体に形成された保持部に所定の角度で傾斜させて保持
するとともに、少なくとも配置方向末端に位置する１枚
の物品を押し上げ機構によって押し上げるようにしたか
ら、キャリヤカセット内に無駄なスペースを作っておか
なくても、上記物品を確実に取出すことができ、しかも
キャリヤカセットが保持部に傾斜して保持されることに
より、内部の物品が傾斜方向に沿って位置決めされるか
ら、その物品をロボットによって確実に取出すことがで
きるなどの利点を有する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はキャリヤカ
セットが保持部に保持された状態の断面図、第２図は第
１図■−■線に沿う断面図、第３図は装置全体の概略的
構成の側面図、第４図はキャリヤカセットの縦断面図で
ある。 １・・・本体、４・・・保持部、７・・・キャリヤカセ
ット、１２・・・半導体ウェハ（物品）、１５・・・押
し上げ機構、３２・・・押し板、３５・・・受渡しロボ
ット。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　上面が開口した箱形状に形成され内部に多数の板状の
   物品が所定間隔で平行に離間して挿脱自在に収納された
   キャリヤカセットと、このキャリヤカセットを上記物品
   の配列方向に沿って所定の角度で傾斜させて保持する保
   持部を有する装置本体と、この装置本体に設けられ上記
   キャリヤカセットに保持される多数の物品のうちの少な
   くとも配置方向末端の１枚の物品をその下端が上記キャ
   リヤカセットの物品の配置方向に位置する側壁の上端よ
   りも上方になる位置まで押し上げる押し上げ機構とを具
   備したことを特徴とする物品の受渡し装置。