JPS63134151A - ツール設定位置の検査装置及び検査方法 - Google Patents

ツール設定位置の検査装置及び検査方法

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JPS63134151A
JPS63134151A JP62287590A JP28759087A JPS63134151A JP S63134151 A JPS63134151 A JP S63134151A JP 62287590 A JP62287590 A JP 62287590A JP 28759087 A JP28759087 A JP 28759087A JP S63134151 A JPS63134151 A JP S63134151A
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JP62287590A
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デヴィド ロバーツ マクマトリ
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Renishaw PLC
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    • GPHYSICS
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  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、旋盤のような工作機械における切削ツールの
設定あるいは基準決めの技術に関する。
[従来の技術] 従来、旋盤における切削ツールの設定は手操作で行なわ
れ、ツールホルダにおけるツールの位置が測定および調
整されて切削チップを所定の位置に設定するようにして
いた。旋盤ベッド上方にチップの高さを設定する場合、
位置の設定はツールとツールホルダの間に間隙調整板を
詰め、チップの高さが旋盤の中心軸線(旋盤におけるワ
ークホルダチャックの回転軸線)に一致するようにして
いた。ワークピースホールドチャックの回転軸線をZ軸
と定義する慣例上、この高さ調整の方向は旋盤のY方向
と呼び得るものである。また、ツールホルダは少なくと
もXおよびZ方向にスライドできるように装着されてい
る。
最近のコンピュータ数値制御旋盤では、旋盤のヘットを
基準とした所定の位置にツール設定用プローブを具える
ことは知られている。プローブはスタイラスを有し、こ
のスタイラスのチップは立°方形をなして、少なくとも
X釉およびZ軸方向の1つかあるいはそれ以上の基準面
を有している。
このスタイラスチップは基準面の1つがツールチップと
接触したときその静止位置から変位することができる。
プローブは接触トリガ機構(例えば、米国特許4,15
3,998号に記述されるような)を有し、このトリガ
機構は上記接触の瞬間に信号を出力し、これにより旋盤
の制御コンピュータは旋盤に設けられた測定スケールか
らツール位置を読みとる。この読みと基準面の既に知ら
れた位置との差は、コンピュータにおける以降の工作機
械の制御の間にツールチップのオフセット量として用い
られる。このようなツール設定用プローブはレニショウ
メトロロジイ(Renishaw Metrology
)のパンフレット「マシニングセンタおよび旋盤の工程
サイクル中における基準位置決めのための3次元プロー
ブ(3Dimentional Probes for
 In−11:ycle(iauging  Appl
ications  on  Machining C
entersand Lathes) Jに見ることが
できる。また、このようなプローブを用いた基準決めや
ツール設定のチェックの方法は、米国特許4,382,
215号やレニショウ(Renishawl刊「ユーザ
ーズハンドブックーファナック6TBの制御におけるプ
ログラム、部材検査およびツール基準決め(User’
s Handbook −Programs、 Com
ponent rnspection and Too
lDatu+++ing with Fanuc 6T
B Control) Jのパート5.44頁〜56頁
に記述されている。
[発明が解決しようとする問題点] 上述したようなツール設定用プローブはX軸方向および
Z軸方向におけるツールの基準決めを容易にする。しか
しながら、このプローブは旋盤が3釉旋盤(ツールホル
ダが通常のXおよびZ@力方向同様Y軸方向にも移動で
きるもの)でない限り、Y@力方向おけるツールの基準
決め(すなわち、高さの設定をチェックするため)には
用いることができない。上述の3軸旋盛はまだ比較的面
なものである。それ故、現在は単にツールホルダヘツー
ルを装着するときの高さの精度を信頼するのみである。
しかし、このような方法は常に信頼できるものではなく
、いずれにせよツールのチップにおける欠損や摩滅のよ
うな問題が生じていることを指示することができない。
正確な加工のためには、ツールチップの高さはチャック
の回転軸線と一致しなければならず、もちろん表面仕上
げや切断の場合もツールはこのような回転軸線との一致
を必要とする。
本発明の目的の1つは、少なくとも好適実施例において
、2軸旋盤(すなわち、ツールホルダがX軸方向および
Z軸方向に移動可能である)のY軸方向あるいは高さ方
向におけるツール設定位置のチェックのための手段を提
供することにある。
しかし、本発明のいくつかの実施例は、少なくとも、3
!i[il旋盤やマシニングセンタのような他の工作機
械におけるツールの基準決めやツール設定のチェックの
ために選択されてもよい。そして、実施例はこのような
応用を行う場合には、少なくとも、高さ方向よりも他の
方向におけるツール位置設定のために用いられることが
可能である。また、実施例シよ、切削ツールと同様に、
ワークピースを検査するためのプローブのような基率決
め工具として用いられてもよい。
[問題点を解決するための手段] そのために、本発明では、第1の形態としては、工作機
械におけるツール設定用プローブのためのスタイラスチ
ップにおいて、プローブにチップを取付けるための手段
と少なくとも1つの第1基準面とを有し、第1基準面の
中に第1基準面に対して非90度の角度で延在する第2
基準面を具える。好適には第1基準面は使用時に鉛直と
なるよう、取付は手段に相対して配置される。第2基準
面は使用時に水平面に対して非90度の角度となるよう
、取付は手段に相対して配置される。第2基準面は角度
で延在する階段形状を有し、階段形状は各々が第1基準
面に平行なそれぞれ異なる平面として延在する複数の準
基準面からなる。
第2の形態としては、ツール設定用プローブは、スタイ
ラスチップを具えたスタイラスと、切削ツールとスタイ
ラスチップとの接触または近接を検知する手段とを有す
る。
第3の形態としては、スタイラスチップを具えたスタイ
ラスを有するプローブと、スタイラスチップと切削ツー
ルとの接触あるいは近接を検知下る手段とを用い、スタ
イラスチップは少なくとも1つの第1基準面および、第
1基準面の中に第1基準面に対して非90度の角度て延
在する第2基準面を有し、(a) ツールを第1基準面
に垂直な第1軸に沿って移動させて第1および第2基!
(面に接触あるいは近接させ、接触あるいは近接を検知
手段によって検知し、(b)第1および第2基準面の各
々との接触あるいは近接が生じた時の第1軸に沿ったツ
ールの位置を各々読みとり、(c) N:Aみとった値
の差を求め、(d)差から第1軸に垂直な第2)袖に沿
またツールの位置を求める。
[実施例] 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
なお、ここで用いられる゛°鉛直°゛および゛°水平”
という用語は相対的な用語であって、場合に応1ノで理
解されるべきである。これら用語は、例えば工作機械に
おいて用いられる場合のスタイラスチップあるいはプロ
ーブの方向に関連する。ある種の工作機械、特に旋盤の
ヘットは絶対水平面に対しである角度で傾いている場合
もある(例えば、上述された米国特許4,382,21
5号に示される場合)。この場合゛″水平パという用語
は工作機械のベットに平行な平面に関連し、絶対水平面
とは関係ない。また、゛鉛直”という用語やツールの高
さに関する用語は場合に応じて解釈されなければならな
い。
まず、第1図を参照すると、旋盤は切削チップ30を有
するツール32を具え、また、旋盤のX釉およびZ軸方
向にツールを動作させるためのモータとスケール64あ
るいはモータとリゾルバ64を有する。これらにより、
ツールはコンピュータ60の制御に基づき、スケールあ
るいはリゾルバによって示される所望の位置に移動する
ことが可能となる。しかし、スケールに関連したこれら
切削チップ30の位置は、旋盤か操作される匍に予め設
定される必要がある。この目的のために、第1および第
2図に示すように、旋盤のベット12上にツール位置設
定用プローブlOが搭1成される。また、他の方法とし
て、プローブ10を回動自在なアーム上に搭載し、プロ
ーブ1oが旋盤のヘッドと相対的に固定された位置に回
動するようにし、さらにプローブ10を必要としないと
きは旋盤動作にじゃまにならない位置に回動させるよう
にしてもよい。プローブlOはろ動可能なスタイラス保
持部材18をその内部に有するハウジング14を具える
。スタイラスチップ18は直立して上方に突き出たスタ
イラス2゜の上に設けられており、スタイラス2oはス
タイラス保持部材16とねし接合部22によって螺合す
る。
スタイラス支持部材16はプローブ10の鉛直軸のまわ
りに一定の間隔をおいて放射状に突出した3つのシリン
ダ24を有し、シリンダ24の各々は、ハウジング14
上に配設された一対のポール26により形成される収束
面(convergir+gsurfaces)の間に
着座する。ばね28はスタイラス支持部材16をその静
正位置へ偏倚する。この静止位置は、一対のボール26
の間へのシリンダ24の着座によって運動力学的に定ま
るものであり、従って正確にその位置を反復可能なもの
である。
スタイラス保持部材16およびスタイラス20は、ツー
ル32のチップ30がスタイラスチップ18と接触した
とき、この接触によるばね28の挙動に対応して静止位
置から変位することが可能である。この変位はボール2
6およびシリンダ24を介した直列の電気的接続34に
よって検知される。すなわち、電気的接続34はシリン
ダ24のうちいずれか1つでも一対のボール26のどち
らか一方との接触を断てば、その接続が遮断される。プ
ローブインターフェース62を介した遮断の検知によっ
て、旋盤の制御コンピュータ60はスケールあるいはリ
ゾルバからのツール32の位置を読み取る。この読み取
り値に基づいてコンピュータ60はツール32のオフセ
ット量を計算し、計算結果はこの後の機械加工の間に用
いられる。直列の電気的接続34は、スタイラスチップ
18とツール32との接触あるいは近接を検出するもの
であれば、他の公知な手段のいずれとも代換可能であり
、これら手段としては、例えば圧電型の検出器、静電容
量型の検出器、電磁気的検出器あるいは光学的検出器が
ある。あるいはまた、ツールとスタイラスチップとが接
触することによって電気的に導通することを検出するも
のがある。
第1図および第3図に示されるように、チップ ・18
は一般に立方形であり、鉛直の基準面36を有する。ツ
ール32を矢印Aの方向に移動させること(こよって、
ツール32のチップ30を基準面36に接触させること
かできる。この矢印Aで示される方向は、旋盤のZ軸方
向と平行なものとすることができるけれども、以後の記
述においてはX軸に平行なものとする。基準面36は正
確に研削および設置がなされ、スタイラスが静止位置に
あるときは旋盤のX軸に垂直となる。さらに鉛直の基準
面40は、基準面36に直角であり、正確に研削および
設置がなされてZ@に垂直となる。
さらに、スタイラスチップ18にはスタイラスチップ1
8の横方向で基準面36に隣接し、下方に傾斜した基準
面38が形成されている。基準面38は基準面36およ
び水平面と45度の角度をなす。
ツール32は第1O図に示されるような方法で設定ある
いは基準法めが行なわれる。すなわち、第10図は旋盤
を制御するコンピュータ60によって実行されるプログ
ラムを表わすフローチャートである。プローブlOの較
正が予め行なわれれば、基準面36,38.40の位置
を知ることができる。傾斜基準面38の場合は、較正さ
れる位置は基準面38と旋盤の中心線(換言すればチャ
ックの回転軸線)を含む水平面との交線である。
ツールのチップ30は、゛まずスタイラスチップ18の
基準面40へ向けて、Z軸と平行に移動しくステップ1
00)、ステップ102において、プローブ10からの
1−リガ信号を受は取るとツールのし動を停止する。こ
のトリガ信号はツールのチップ30が基準面40と接触
したことを示すものである。コンピュータ60は旋盤の
スケールあるいはリゾルバの読みを入力する(ステップ
104)。この読みは、ツール32を保持するツールホ
ルダのZIlh上の位置を示すものである。この読みと
基準面40の較正された位置との差は、Z方向における
ツールのオフセット量を与え、このオフセット量はステ
ップl口6で計算され、ワークを加工するときのツール
の位置決めに用いるために記憶される。
次に、同様の処理手順がステップ108〜114におい
て繰り返され、X方向のツールのオフセット量を得る。
すなわち、ツールのチップ30をX方向に移動させてス
タイラスチップの基準面36と接触させ、旋盤のX軸の
スケールあるいはリゾルバからの読みを得る。そして、
ツールのX方向オフセット量か将来の使用に備えて記憶
される。
さらに、ツール32を傾斜基準面38に向けてX軸方向
へ移動させ(ステップ116)、プローブ10からのト
リガ信号によって基準面38との接触を検出したとき移
動を停止する(ステップ118)。旋盤のX軸スケール
あるいはリゾルバからのもう1つのX方向における読み
がステップ120において得られる。ステップ122に
おいて、コンピュータ60はステップ112および12
0て得られたX方向の読みの差を求める。基準面38が
傾斜していることにより、上記差は、Y方向におけるチ
ップ30の高さの目安を表わす。この差はステップ12
4て用いられ、Y方向のオフセット−量が計算される。
基準面38の傾斜角は45度であるから、Y方向のオフ
セ・ント量は、単にステップ122における計算結果と
、基準面38が旋盤の中心軸線を含む水平面と交わる線
における較正されたX軸方向の位置との差になる(ただ
し、基準面38の較正されたX軸方向の位置を基準面3
6の同様に較正された位置に関連つける定数を付加する
ことを条件とする)。
上述の如くして得られたY方向のオフセット量は、旋盤
の操作者に、ツールが誤った高さにあり、ツールは交)
奏されなけれは゛ならず、さらにオフセット量が誤った
ツールによって予め定めた許容誤差範囲外になっている
ということを単に示すために用いられると言ってもよい
。Y方向におけるオフセット量の最も預繁な用途は、表
面仕上げや切断のために用いられるときのツールにおい
てY方向のオフセット量を用いることである。これに代
わり、Y方向のオフセット量を、正確な半径rか要求さ
れる加工の場合に、チップのxH力方向おける位置の補
正値を計算するために用い′Cもよい。このことを示す
のか第11図である。ツール32のチップ30は、旋盤
の中心軸線52を通る水平面50からY方向にhのオフ
セットを有する。従って、正確な半径rは、あたかも半
径Xの位置で加工するかのようにチップ30を位置づけ
ることによって得られる。ここに、Xはピタゴラスの定
理によって与えられる。すなわち、 X = (、2H2) l/2 コンピユータ60は上述の式で示される計算を行ないオ
フセラ1−iXを求めることによってチップ。
30の位置決めを行なう。そして、この位はによって加
工を行なう。
第4図および第5図は他のスタイラスチップ418を示
す。スタイラスチップ418はXおよびZ軸方向の基準
面436および440を有し、スタイラスチップX8と
同様な方法で用いられることが可能である。スタイラス
チップ18との違いは、スタイラスチップ418の傾斜
基準面438は、水平面とのなす角度が基準面38の場
合よりかなり小さな角度であることである。このことは
Y方向のオフセット量を求めるための処理の手間を増加
させる。すなわち、Y方向のオフセット量の計算には、
明らかに三角法の計算が含まれるものであり、ここでは
、[、J基準面438の傾斜角のタンジェントが用いら
れる。しかし、上述したような小さな角度の傾斜は常に
理想的であるとはいえない。何故なら、チップ30はあ
る状態においては、プローブがトリガ(′g号を発生す
る前にこのような小さな角度の傾斜に沿ってわずかにス
ライドし得るからである。そして、この信頼性のないト
リガ信号は検出の再現性を損なうものである。事実、上
述したような理由によって、垂直により近い傾斜角、例
えば垂直の手前30度以内の傾斜角か時として要求され
ることもある。
ツール位置設定用プローブに精通した人は、第1図に示
されるようなホールとシリングの配置が通常の配Mと逆
であることに気付くてあろう。すなわち、より一段的な
配置は、ばねによって上方に偏倚されたシリンダ24か
、1対のボール26によって形成される座に下向きに面
するような配置である。このような配置は用いられるこ
とは可能であるが、第1図に示すような配置か最適なも
のである。何故なら、より一般的な配置では、チップ3
2か傾斜基準面38に接触したときのスタイラスチップ
18の上向きの動きを阻止できないし、また、基準面3
8の下側でチップ32の無理な押し込みを生しさせるこ
ともあるからである。この無理な押し込みの問題は第4
図および第5図に示すような小さな角度の傾斜において
より顕著なものとなる。
ホールとシリンダの第1図に示した配置と、上述したよ
り一般的な配置との両方とも、共通にファイブ−ウェイ
 アレンジメント(five−wayarrangem
ents) と呼ばれる配置である。すなわち、スタイ
ラスチップは水平面内の4つの全方向に変位可能である
か、垂直方向には唯一つの方向(上向きあるいは下向き
で両方向は不可)にのみ変位できる。シックスーウエイ
 アレンジメント(six−way arrangem
ents)を代わりに用いることも可能である。この配
置によってスタイラスチップは上向きと下向きの両方向
に変位することが可能となる。適切なシックスーウエイ
 アレンジメントが米国特許4,288,925号に示
される(ただし工具設定用プローブとしてよりむしろワ
ーク°との接触検知用プローブという関係においてであ
る)。
第6図および第7図はスタイラスチップ618を示し、
このスタイラスチップ618はY方向のオフセット量を
求める手間はかかるが、小さな角度の傾斜面へのチップ
の押し込みや傾斜面に沿ってのスライドの問題を除去す
る。スタイラスチップ618はX軸方向およびZ軸方向
の基準面638,640に関してはスタイラスチップ1
8と同様であるが、傾斜基準面638は階段状の形状を
有し、この形状は交互の水平および垂直の準基準面65
0,652よりなる。垂直の準基準面652の各々は基
準面636と平行であり、基準面636からの水平距離
か知られている。第1θ図のステップ124におけるY
I!Ilb方向のオフセット量の計算では、垂直の準基
準面652のうちのどれが接触しているかを判断すれば
よく、この判断に基づぎ予め記憶したテーブルでY軸方
向の高さを調べる。基準面638における準基準面の階
段の高さは、例えば0.5mmとすることができる。こ
の階段の高さは、それに応してオフセット量の解析等を
限定するけれども、あるシステムでは問題にはならない
(例えば、ツールブロックにおけるツールの位置決めが
もっばら±0.25mmの許容誤差範囲で行なわれ得る
場合)。
ある種の旋盤では、ツールの切削チップが(第1図に示
すように)ツールの上側のエツジに設けられておらず、
下側のエツジに設けられていることがある。この例が第
8図に示される。同図において、832はツール、83
0はツールチップをそれぞれ示す。第8図には、また上
述した状況に合わせたスタイラスチップ818が示され
る。スタイラスチップ818はX軸方向およびZ軸方向
の基準面836.840を有し、これら基準面は第1図
および第3図における基準面36.40に相当する。し
かし、面を下向きにした傾斜基準面38の代わりに、面
を上向きにした傾斜基準面838を有する。このスタイ
ラスチップ818の使用方法は、スタイラスチップ18
のそれと同様である。また、同様にして、第4図〜第7
図の基準面438および638に相当し、面を上向きに
した角度の小さな、あるいは階段状の傾斜基準面を具え
ることは可能である。このような上向きの傾斜基準面を
用いた場合、第1図に示すようなボールとシリンダの配
置と逆の配置よりむしろ上方に偏倚されたシリンダ24
がボールの座に下向きに面するよう゛な配置を用いるの
が望ましい。
最近の旋盤は、様々な型のワークに対応するための様々
な方向に向いたチップを有する種々の切削ツールを具え
ている(例えば、内径や外径の旋削、前面および背面の
加工等)。第1図および第3図に示す基準面38は、こ
れら種々のツールには用いることができない。この理由
によって、基準面38は、基準面36の代わりに基準面
40に90度でない角度で形成されるように配置されて
もよい。あるいは、特殊な目的のためにより多く用いる
のであれば、立方体の他の面に基準面38を形成しても
よい。第9図に示すように、2つかまたはそれ以上の基
準面38を立方体の異なった面に形成するようにしてス
タイラスチップの融通性を増すようにしてもよい。
上述した種々のスタイラスチップは金属、あるいは軽量
化のためにセラミックで作製される。後者の場合、少な
くとも垂直の基準面が正確に研磨されることだけが必要
であり、Y軸方向で要求される正確さを信頼する以上、
スタイラスチップの傾斜基準面あるいは他の面は製作上
の正確さで十分であり、それ以上の研磨は必要ない。
以上説明してとたのは2釉旋盤を使用した場合に関する
ものであったが、本発明は3軸旋盤やマニシングセンタ
のような他の工作機械にも適用され得る。例えば、YI
I11方向に動作できる3軸旋盤の能力は、いったん本
発明を用いてY #、d+方向のオフセット全が測られ
たなら、このオフセットの補正に用いるようにしてもよ
い。3軸工作機械においては、傾ぶ一1基準面38は水
平面に対して傾斜する必要はなく、その代わりに垂直と
することがてき、さらに、工作機械の水平な2!I!I
Ilの両方に90度でない角度である必要はない。この
ようなスタイラスチップは特殊な型のツールの基準出し
に利点かあるといってよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は切削ツールの一部と旋盤の他の要素を含み、旋
盤ベット上のツール設定用プローブを示すは断面図、 第2図は第1図のII −II線における断面図、第3
図は第1図に示すスタイラスデツプの斜視図、 第4図および第5図はそれぞれスタイラスチップの正面
図および側面図、 第6図および第7図はそれぞれ第3の実施例におけるス
タイラスチップの正面図および側面図、 第8図は切削ツールの一部を含んだ第4の実施例におけ
るスタイラスチップの正面図、第9図は第5の実施例に
おけるスタイラスチップの斜視図、 第10図はプローブと共に用いられるプログラムのフロ
ーチャート、 第11図はワークピースを加工するためのツール位置の
概略図である。 10・・・プローブ、 14・・・ハウジング、 16・・・スタイラス保持部材、 18.418,618,818・・・スタイラスチップ
、20・・・スタイラス、 22・・・ねし接合部、 24・・・シリンダ、 26・・・ボール、 30.830・・・チップ、 32.832・・・ツール、 36.40,436,440,636.840,836
,840・・・基準面、38.438,638,838
・・・傾斜基準面、50・・・水平面、 52・・・中心軸線、 60・・・コンピュータ、 62・・・プローブインターフェース、64・・・旋盤
のモータおよびスケール。 n)      −+D ■の 区

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)工作機械におけるツール設定用プローブのためのス
    タイラスチップにおいて、 前記プローブに前記チップを取付けるための手段と少な
    くとも1つの第1基準面とを有し、該第1基準面の中に
    該第1基準面に対して非90度の角度で延在する第2基
    準面を具えたことを特徴とするスタイラスチップ。 2)特許請求の範囲第1項記載のスタイラスチップにお
    いて、前記第1基準面は使用時に鉛直となるよう、前記
    取付け手段に相対して配置されていることを特徴とする
    スタイラスチップ。 3)特許請求の範囲第1項記載のスタイラスチップにお
    いて、前記第2基準面は使用時に水平面に対して非90
    度の角度となるよう、前記取付け手段に相対して配置さ
    れていることを特徴とするスタイラスチップ。 4)特許請求の範囲第1項記載のスタイラスチップにお
    いて、前記第2基準面は前記角度で延在する階段形状を
    有し、該階段形状は各々が前記第1基準面に平行なそれ
    ぞれ異なる平面として延在する複数の準基準面からなる
    ことを特徴とするスタイラスチップ。 5)特許請求の範囲第1項記載のスタイラスチップにお
    いて、2つの前記第1基準面と、該2つの第1基準面の
    各々に対して非90度の角度で各々延在する2つの前記
    第2基準面を有することを特徴とするスタイラスチップ
    。 6)特許請求の範囲第5項記載のスタイラスチップにお
    いて、前記第1基準面は互いに直角に配置されることを
    特徴とするスタイラスチップ。 7)工作機械のためのツール設定用プローブにおいて、 スタイラスチップを具えたスタイラスと、切削ツールと
    前記スタイラスチップとの接触または近接を検知する手
    段とを有し、 前記スタイラスチップは少なくとも1つの第1基準面と
    、該第1基準面の中に該第1基準面に対して非90度の
    角度で延在する第2基準面を具えたことを特徴とするプ
    ローブ。 8)特許請求の範囲第7項記載のツール設定用プローブ
    において、前記第1基準面は使用時には鉛直となるよう
    配置されることを特徴とするプローブ。 9)特許請求の範囲第7項記載のツール設定用プローブ
    において、前記第2基準面は使用時には水平面に対して
    非90度となるよう配置されることを特徴とするプロー
    ブ。 10)特許請求の範囲第7項記載のツール設定用プロー
    ブにおいて、前記第2基準面は前記角度で延在する階段
    形状を有し、該階段形状は各々が前記第1基準面に平行
    なそれぞれ異なる平面として延在する複数の準基準面か
    らなることを特徴とするプローブ。 11)特許請求の範囲第7項記載のツール設定用プロー
    ブにおいて、2つの前記第1基準面と、該2つの第1基
    準面の各々に対して非90度の角度で各々延在する2つ
    の前記第2基準面を有することを特徴とするプローブ。 12)特許請求の範囲第11項記載のツール設定用プロ
    ーブにおいて、前記第1基準面は互いに直角に配置され
    ることを特徴とするプローブ。 13)特許請求の範囲第7項記載のツール設定用プロー
    ブにおいて、前記スタイラスが取付けられた可動部材と
    固定部材とを具え、前記可動部材および前記固定部材は
    、前記固定部材上に前記可動部材が位置するような静止
    位置を力学的に定める協働の要素をそれぞれ有し、 前記可動部材を前記静止位置へ付勢する手段を具え、 前記可動部材は、前記スタイラスチップと切削ツールと
    の接触に応じて前記静止位置から変位可能であることを
    特徴とするプローブ。 14)特許請求の範囲第13項記載のツール設定用プロ
    ーブにおいて、前記第2基準面は下向きの傾斜を有し、
    前記付勢手段は前記固定部材上の上向きの着座に前記可
    動部材を下向きに付勢し、前記可動部材は前記スタイラ
    スと前記切削ツールとの接触に応じて上方に変位し得る
    ようにしたことを特徴とするプローブ。 15)特許請求の範囲第13項記載のツール設定用プロ
    ーブにおいて、前記検知手段は前記協働の要素を介した
    電気回路を有することを特徴とするプローブ。 16)スタイラスチップを具えたスタイラスを有するプ
    ローブと、前記スタイラスチップと切削ツールとの接触
    あるいは近接を検知する手段とを用い、 前記スタイラスチップは少なくとも1つの第1基準面お
    よび、該第1基準面の中に該第1基準面に対して非90
    度の角度で延在する第2基準面を有し、 (a)前記ツールを前記第1基準面に垂直な第1軸に沿
    って移動させて前記第1および前記第2基準面に接触あ
    るいは近接させ、当該接触あるいは近接を前記検知手段
    によって検知し、 (b)前記第1および前記第2基準面の各々との前記接
    触あるいは近接が生じた時の前記第1軸に沿ったツール
    の位置を各々読みとり、 (c)当該読みとった値の差を求め、 (d)前記差から前記第1軸に垂直な第2軸に沿った前
    記ツールの位置を求める ことを特徴とするツール設定位置の検査方法。
JP62287590A 1986-11-15 1987-11-16 ツール設定位置の検査装置及び検査方法 Pending JPS63134151A (ja)

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DE (1) DE3785645T2 (ja)
GB (1) GB8627374D0 (ja)

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